JPH05121711A - 赤外線ｃｃｄ - Google Patents
赤外線ｃｃｄInfo
- Publication number
- JPH05121711A JPH05121711A JP3279784A JP27978491A JPH05121711A JP H05121711 A JPH05121711 A JP H05121711A JP 3279784 A JP3279784 A JP 3279784A JP 27978491 A JP27978491 A JP 27978491A JP H05121711 A JPH05121711 A JP H05121711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ccd
- hole
- light receiving
- infrared
- infrared ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 赤外線ＣＣＤの裏面から入射する赤外線のウ
ェハ材料の吸収による減衰を減少させ、セル１個におけ
るＣＣＤ部分の全セル面積に占める割合を減じ、セル面
積を縮小することによって、感度を向上させるとともに
チップの小型化を図る。 【構成】 裏面入射型のインターラインタイプの赤外線
ＣＣＤにおいて、赤外線センサ部の受光部に相当する領
域に穴６をあけ、穴の底部に受光センサ部２を形成し、
穴の側面の一部をＣＣＤ電極４として利用し、表面を酸
化膜１でカバーする。
ェハ材料の吸収による減衰を減少させ、セル１個におけ
るＣＣＤ部分の全セル面積に占める割合を減じ、セル面
積を縮小することによって、感度を向上させるとともに
チップの小型化を図る。 【構成】 裏面入射型のインターラインタイプの赤外線
ＣＣＤにおいて、赤外線センサ部の受光部に相当する領
域に穴６をあけ、穴の底部に受光センサ部２を形成し、
穴の側面の一部をＣＣＤ電極４として利用し、表面を酸
化膜１でカバーする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、裏面入射型のインター
ラインタイプの赤外線ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌ
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
ラインタイプの赤外線ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌ
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】裏面入射型のインターラインタイプの赤
外線ＣＣＤは、個々の受光部を２次元に配置し、受光部
の列の間に垂直ＣＣＤを形成している。垂直ＣＣＤによ
って転送された信号電荷は、さらに水平ＣＣＤへ転送さ
れ、出力される。この種の赤外線ＣＣＤの受光部と垂直
ＣＣＤとを含んだセルの構造は、図２に示すように、受
光センサ部２とＣＣＤ電極（ポリシリコン電極）４がウ
ェハ（ｐ型ポリシリコン基板）５上に平面的に配置さ
れ、デバイスの形成されていない裏面から赤外線の入射
を受ける。図中１は保護膜としての酸化膜、３はｎ型拡
散層である。
外線ＣＣＤは、個々の受光部を２次元に配置し、受光部
の列の間に垂直ＣＣＤを形成している。垂直ＣＣＤによ
って転送された信号電荷は、さらに水平ＣＣＤへ転送さ
れ、出力される。この種の赤外線ＣＣＤの受光部と垂直
ＣＣＤとを含んだセルの構造は、図２に示すように、受
光センサ部２とＣＣＤ電極（ポリシリコン電極）４がウ
ェハ（ｐ型ポリシリコン基板）５上に平面的に配置さ
れ、デバイスの形成されていない裏面から赤外線の入射
を受ける。図中１は保護膜としての酸化膜、３はｎ型拡
散層である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の赤外線
ＣＣＤは、センサ部２が裏面の入射面からウェハ５の厚
さだけ離れているため、赤外線がウェハ５を透過して受
光センサ部２に達するまでに吸収され、その分感度が悪
くなったり、赤外線センサのセルと呼ばれる一画素部分
について受光部からの信号電荷を転送するＣＣＤ電極面
積のセルに占める割合が比較的大きく、フィルファクタ
ーが小さいため、感度がよくなかったり、赤外線ＣＣＤ
のセルの面積が大きくなってしまうため、チップの寸法
の縮小が困難であるという欠点がある。
ＣＣＤは、センサ部２が裏面の入射面からウェハ５の厚
さだけ離れているため、赤外線がウェハ５を透過して受
光センサ部２に達するまでに吸収され、その分感度が悪
くなったり、赤外線センサのセルと呼ばれる一画素部分
について受光部からの信号電荷を転送するＣＣＤ電極面
積のセルに占める割合が比較的大きく、フィルファクタ
ーが小さいため、感度がよくなかったり、赤外線ＣＣＤ
のセルの面積が大きくなってしまうため、チップの寸法
の縮小が困難であるという欠点がある。
【０００４】本発明の目的は、感度を向上し、しかもチ
ップの小型化を実現した赤外線ＣＣＤを提供することに
ある。
ップの小型化を実現した赤外線ＣＣＤを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による赤外線ＣＣＤにおいては、穴と、セン
サ部と、ＣＣＤ電極と、保護膜とを有する裏面入射型イ
ンターラインタイプの赤外線ＣＣＤであって、穴は、赤
外線センサ部の受光部に相当するウェハの領域に開口さ
れたものであり、センサ部は、穴の底に形成されたもの
であり、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部に
またがって形成されたものであり、保護膜は、センサ部
及びＣＣＤ電極表面を覆う酸化膜であるものである。
め、本発明による赤外線ＣＣＤにおいては、穴と、セン
サ部と、ＣＣＤ電極と、保護膜とを有する裏面入射型イ
ンターラインタイプの赤外線ＣＣＤであって、穴は、赤
外線センサ部の受光部に相当するウェハの領域に開口さ
れたものであり、センサ部は、穴の底に形成されたもの
であり、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部に
またがって形成されたものであり、保護膜は、センサ部
及びＣＣＤ電極表面を覆う酸化膜であるものである。
【０００６】
【作用】受光センサ部は、ウェハに開口された穴の底に
形成されるため、ウェハの裏面から入射される赤外線入
射光がセンサ部に達するまでの吸収による減衰が少な
い。また、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部
とにまたがって形成されるため、チャネル幅が拡大す
る。
形成されるため、ウェハの裏面から入射される赤外線入
射光がセンサ部に達するまでの吸収による減衰が少な
い。また、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部
とにまたがって形成されるため、チャネル幅が拡大す
る。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図によって説明す
る。
る。
【０００８】裏面入射型のインターラインタイプの赤外
線ＣＣＤは、デバイスが形成されていない裏面から赤外
線を入射させ、受光部等のデバイスが形成されている表
面で赤外線を感知させるデバイスである。本発明では、
２次元のマトリクス状に配置されている受光部の各々に
対してチップの表面から穴をあけ、穴の底部には、受光
部を形成し、チップ上および穴の側面の一部にはＣＣＤ
電極を形成したものである。
線ＣＣＤは、デバイスが形成されていない裏面から赤外
線を入射させ、受光部等のデバイスが形成されている表
面で赤外線を感知させるデバイスである。本発明では、
２次元のマトリクス状に配置されている受光部の各々に
対してチップの表面から穴をあけ、穴の底部には、受光
部を形成し、チップ上および穴の側面の一部にはＣＣＤ
電極を形成したものである。
【０００９】図１は、受光部を含んだセルの断面付の図
である。図において、ウェハ（ｐ型シリコン基板）５に
穴６があけられ、穴６の底部に受光部としてＰｔＳｉ膜
によるセンサ部２が形成されている。ｎ型拡散層３を介
して積層されたＣＣＤのポリシリコン電極４は、穴６の
上面から側面にまたがって形成され、チャネル幅を広げ
ている。センサ部２とポリシリコン電極４とは、酸化膜
１で覆われ、外部から保護されている。
である。図において、ウェハ（ｐ型シリコン基板）５に
穴６があけられ、穴６の底部に受光部としてＰｔＳｉ膜
によるセンサ部２が形成されている。ｎ型拡散層３を介
して積層されたＣＣＤのポリシリコン電極４は、穴６の
上面から側面にまたがって形成され、チャネル幅を広げ
ている。センサ部２とポリシリコン電極４とは、酸化膜
１で覆われ、外部から保護されている。
【００１０】本発明においても裏面から入射された赤外
線は、穴６内のセンサ部２に感知されるが、裏面からの
入射光がセンサ部２に達するまでの吸収量が減少し、受
光感度が向上する。
線は、穴６内のセンサ部２に感知されるが、裏面からの
入射光がセンサ部２に達するまでの吸収量が減少し、受
光感度が向上する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、赤外線セ
ンサ部の受光部に相当する領域に穴をあけ、穴の底部に
受光部を形成し、穴の側面の一部をもＣＣＤ電極として
利用し、保護膜でカバーした構造としたため、裏面から
の入射光が受光部へ達するまでの吸収による減衰を減少
させて受光感度を向上させることができる。
ンサ部の受光部に相当する領域に穴をあけ、穴の底部に
受光部を形成し、穴の側面の一部をもＣＣＤ電極として
利用し、保護膜でカバーした構造としたため、裏面から
の入射光が受光部へ達するまでの吸収による減衰を減少
させて受光感度を向上させることができる。
【００１２】また、赤外線センサのセル１個におけるＣ
ＣＤ部分の面積がセルに占める割合を減少させることが
でき、フィルファクターを増加させて感度を向上させる
と同時に、赤外線センサ部の面積を従来より縮小するこ
とが可能となり、チップ寸法は小さくて済み、赤外線Ｃ
ＣＤチップを小型化できる効果がある。
ＣＤ部分の面積がセルに占める割合を減少させることが
でき、フィルファクターを増加させて感度を向上させる
と同時に、赤外線センサ部の面積を従来より縮小するこ
とが可能となり、チップ寸法は小さくて済み、赤外線Ｃ
ＣＤチップを小型化できる効果がある。
【図１】本発明の赤外線ＣＣＤのセル部の一実施例を示
す縦断面斜視図である。
す縦断面斜視図である。
【図２】従来の赤外線ＣＣＤのセル部の縦断面図であ
る。
る。
１ 酸化膜 ２ ＰｔＳｉ膜によるセンサ部 ３ ｎ型拡散層 ４ ポリシリコン電極（ＣＣＤ電極） ５ ｐ型シリコン基板（ウェハ）
Claims (1)
- 【請求項１】 穴と、センサ部と、ＣＣＤ電極と、保護
膜とを有する裏面入射型インターラインタイプの赤外線
ＣＣＤであって、 穴は、赤外線センサ部の受光部に相当するウェハの領域
に開口されたものであり、 センサ部は、穴の底に形成されたものであり、 ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部にまたがっ
て形成されたものであり、 保護膜は、センサ部及びＣＣＤ電極表面を覆う酸化膜で
あることを特徴とする赤外線ＣＣＤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3279784A JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3279784A JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121711A true JPH05121711A (ja) | 1993-05-18 |
| JP2995960B2 JP2995960B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=17615871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3279784A Expired - Fee Related JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995960B2 (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000026967A1 (fr) * | 1998-11-02 | 2000-05-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Capteur d'energie en semi-conducteur |
| WO2004086506A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| WO2004086504A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| WO2004086505A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| US9021541B2 (en) | 2010-10-14 | 2015-04-28 | Activevideo Networks, Inc. | Streaming digital video between video devices using a cable television system |
| US9042454B2 (en) | 2007-01-12 | 2015-05-26 | Activevideo Networks, Inc. | Interactive encoded content system including object models for viewing on a remote device |
| US9077860B2 (en) | 2005-07-26 | 2015-07-07 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for providing video content associated with a source image to a television in a communication network |
| US9123084B2 (en) | 2012-04-12 | 2015-09-01 | Activevideo Networks, Inc. | Graphical application integration with MPEG objects |
| US9204203B2 (en) | 2011-04-07 | 2015-12-01 | Activevideo Networks, Inc. | Reduction of latency in video distribution networks using adaptive bit rates |
| US9219922B2 (en) | 2013-06-06 | 2015-12-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
| US9294785B2 (en) | 2013-06-06 | 2016-03-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
| US9326047B2 (en) | 2013-06-06 | 2016-04-26 | Activevideo Networks, Inc. | Overlay rendering of user interface onto source video |
| US9826197B2 (en) | 2007-01-12 | 2017-11-21 | Activevideo Networks, Inc. | Providing television broadcasts over a managed network and interactive content over an unmanaged network to a client device |
| US10275128B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-04-30 | Activevideo Networks, Inc. | Multiple-mode system and method for providing user selectable video content |
| US10409445B2 (en) | 2012-01-09 | 2019-09-10 | Activevideo Networks, Inc. | Rendering of an interactive lean-backward user interface on a television |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP3279784A patent/JP2995960B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000026967A1 (fr) * | 1998-11-02 | 2000-05-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Capteur d'energie en semi-conducteur |
| JP2000138365A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体エネルギー検出器 |
| US6541753B2 (en) | 1998-11-02 | 2003-04-01 | Hammatsu Photonics K.K. | Semiconductor energy detector having reinforcement |
| US7888766B2 (en) | 2003-03-27 | 2011-02-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and radiation detector having depressions of predetermined depth formed in regions corresponding to the regions where the photodiodes are formed in the semiconductor substrate |
| EP1608021A1 (en) * | 2003-03-27 | 2005-12-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and production method thereof, and radiation detector |
| KR101152514B1 (ko) * | 2003-03-27 | 2012-06-01 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 포토 다이오드 어레이 및 그 제조 방법 및 방사선 검출기 |
| JP2004296836A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Hamamatsu Photonics Kk | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
| CN100466273C (zh) * | 2003-03-27 | 2009-03-04 | 浜松光子学株式会社 | 光电二极管阵列及其制造方法和放射线检测器 |
| EP1608022A1 (en) * | 2003-03-27 | 2005-12-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and production method thereof, and radiation detector |
| EP1608020A1 (en) * | 2003-03-27 | 2005-12-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and production method thereof, and radiation detector |
| EP1608020A4 (en) * | 2003-03-27 | 2007-04-18 | Hamamatsu Photonics Kk | FOTODIODENARY ARRAY AND MANUFACTURING METHOD AND RADIATION DETECTOR |
| EP1608021A4 (en) * | 2003-03-27 | 2007-05-02 | Hamamatsu Photonics Kk | PHOTODIODE ASSEMBLY AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND RADIATION DETECTOR |
| EP1608022A4 (en) * | 2003-03-27 | 2007-05-09 | Hamamatsu Photonics Kk | FOTODIODENARY ARRAY AND MANUFACTURING METHOD AND RADIATION DETECTOR |
| US7408238B2 (en) | 2003-03-27 | 2008-08-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and production method thereof, and radiation detector |
| WO2004086504A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| US7663169B2 (en) | 2003-03-27 | 2010-02-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodiode array and production method thereof, and radiation detector |
| WO2004086506A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| WO2004086505A1 (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイ及びその製造方法、並びに放射線検出器 |
| US9077860B2 (en) | 2005-07-26 | 2015-07-07 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for providing video content associated with a source image to a television in a communication network |
| US9355681B2 (en) | 2007-01-12 | 2016-05-31 | Activevideo Networks, Inc. | MPEG objects and systems and methods for using MPEG objects |
| US9042454B2 (en) | 2007-01-12 | 2015-05-26 | Activevideo Networks, Inc. | Interactive encoded content system including object models for viewing on a remote device |
| US9826197B2 (en) | 2007-01-12 | 2017-11-21 | Activevideo Networks, Inc. | Providing television broadcasts over a managed network and interactive content over an unmanaged network to a client device |
| US9021541B2 (en) | 2010-10-14 | 2015-04-28 | Activevideo Networks, Inc. | Streaming digital video between video devices using a cable television system |
| US9204203B2 (en) | 2011-04-07 | 2015-12-01 | Activevideo Networks, Inc. | Reduction of latency in video distribution networks using adaptive bit rates |
| US10409445B2 (en) | 2012-01-09 | 2019-09-10 | Activevideo Networks, Inc. | Rendering of an interactive lean-backward user interface on a television |
| US9123084B2 (en) | 2012-04-12 | 2015-09-01 | Activevideo Networks, Inc. | Graphical application integration with MPEG objects |
| US10275128B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-04-30 | Activevideo Networks, Inc. | Multiple-mode system and method for providing user selectable video content |
| US11073969B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-07-27 | Activevideo Networks, Inc. | Multiple-mode system and method for providing user selectable video content |
| US9219922B2 (en) | 2013-06-06 | 2015-12-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
| US9326047B2 (en) | 2013-06-06 | 2016-04-26 | Activevideo Networks, Inc. | Overlay rendering of user interface onto source video |
| US10200744B2 (en) | 2013-06-06 | 2019-02-05 | Activevideo Networks, Inc. | Overlay rendering of user interface onto source video |
| US9294785B2 (en) | 2013-06-06 | 2016-03-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2995960B2 (ja) | 1999-12-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9373657B2 (en) | System and method for fabricating a 3D image sensor structure | |
| JP2995960B2 (ja) | 赤外線ｃｃｄ | |
| US5463232A (en) | Solid-state imaging device with internal smear eliminator | |
| JPS5819080A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH0318793B2 (ja) | ||
| JP3125303B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| US5122850A (en) | Blooming control and reduced image lag in interline transfer CCD area image sensors | |
| JP2797984B2 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
| JP2866328B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| US6278102B1 (en) | Method of detecting electromagnetic radiation with bandgap engineered active pixel cell design | |
| JPH0778959A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH0416948B2 (ja) | ||
| JPH05175471A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP4824241B2 (ja) | 半導体エネルギー検出器 | |
| JP2506697B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH05243546A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP2848435B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPS63164270A (ja) | 積層型固体撮像装置 | |
| JPH02304976A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH01241161A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH04158575A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0653476A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0778957A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH08162623A (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH05291551A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071029 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081029 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |