JPH05121532A - Ｉｃ搭載用トレイおよびハンドラー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣの分類ミスが生じないＩＣ搭載用トレイ
を得る。 【構成】 ＩＣ搭載用トレイ１０は、トレイ自身を認識
するトレイ認識記号としてのトレイナンバー１０９およ
びトレイのポケットナンバーを特定するための収納場所
認識記号１１０，１１２を備えている。 【効果】 トレイナンバー１０９を読み取ることにより
ＩＣ搭載用トレイが認識でき、収納場所認識記号１１
０，１１２を読み取ることによりＩＣの収納場所が認識
できる。そのため、トレイナンバー１０９とポケットナ
ンバーとＩＣのテスト結果を組み合わせたペアリングデ
ータを作成し、トレイナンバー，ポケットナンバーに対
応するテスト結果を読みだし，この読み出されたテスト
結果に基づきＩＣの分類を行うと間違いなく分類でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、複数のＩＣが搭載さ
れるＩＣ搭載用トレイおよび、トレイに搭載された複数
のＩＣをテストするテスト装置に含まれるハンドラー装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】以下、ＩＣはＱＦＰＩＣの場合を例に説
明する。図１１はＩＣの電気特性検査に用いるプラスチ
ック整形された従来のＩＣ搭載用トレイの外観を示す斜
視図である。図において、１はテストを行うためのＩＣ
を平面上に複数配列するＩＣ搭載用トレイ、１１〜１８
はＩＣ搭載用トレイ１の一部で１１は額縁部分、１２は
ＩＣ搭載用トレイ１の方向を示すノッチ、１３は成型時
に設けられた円筒状の位置決め穴、１４は個々のＩＣが
入るポケット、１５はＩＣ搭載用トレイ１の長辺方向に
ポケット１４を囲む仕切、１６は短辺方向に囲む仕切、
１７は貫通孔、１８はＩＣの外部電極の逃がし溝であ
る。このＩＣ搭載用トレイ１はＩＣの位置決めを考慮し
てポケット１４内での遊びが少なくなる様高精度で制作
されており、高価な為テスト用のみで使用されている。

【０００３】図１２はＩＣ搭載用トレイ１のポケット１
４に入るＩＣの外観を示す斜視図である。図において、
２はＩＣ、２１〜２３はＩＣ２の一部で、２１は封止樹
脂、２２は方向表示、２３は外部電極である。

【０００４】図１３は客先へ出荷する際に使用する出荷
トレイの外観を示す斜視図である。図において、６は出
荷トレイ、３０１〜３０４はその各部分で３０１は額縁
部分、３０２は出荷トレイ６の基準方向を示すノッチ、
３０３は成型時に設けられた円筒状の位置決め穴、３０
４は個々のＩＣが入るポケットである。この出荷トレイ
６は大量に客先へ出回る為、ＩＣ搭載用トレイ１に比べ
安価に作られており、その分ポケット内の加工精度も甘
くなっている。

【０００５】図１４は従来のテスト装置の概略構成を示
す正面図、図１５は図１４に示したテスト装置の平面
図、図１６は図１４，図１５に示されているテスター４
の周辺部の詳細図である。

【０００６】これらの図において、３１はハンドラー装
置本体、３２はローダー、３３はアンローダーである。
また４は、テストスタート信号を受けてＩＣ２の外部電
極２３に電気特性検査のための電流，電圧を印加した
り、テストの判定及び結果に応じＩＣの良品、不良品の
分類組み合わせを決定し、ハンドラー装置本体３１にテ
ストエンド信号と、分類信号を送信するテスターであ
る。

【０００７】４１はＩＣ２の外部電極２３に接触しテス
トコンタクトを得るＣｕ系金属材でできた板ばね接触子
で、表面にはＡｕ，Ｒｈなどのメッキが施されている。
４２は複数本の板ばね接触子をサンドイッチ状に挟み保
持する絶縁物で出来た保持具、４３は保持具４２を固定
する取付板、４４は接触子４１と導通する端子を有する
ソケット、４５はソケット４４を取付ける中継基板、４
６はテスター本体及びテストヘッド４８内の電気計測部
との信号経路を結ぶ為のテストボードで、スルーホール
孔、及びプリント配線が施されている。４７はテストボ
ード４６のスルーホール孔に挿入され導通を得るスプリ
ンググローブで、テストヘッド内の電気計測部とつなが
っている。４８はテストヘッド、４９はテスター４とテ
ストヘッド４８を結ぶ信号ケーブル群である。３４はＩ
Ｃ搭載用トレイ１の貫通孔１７を出入し、ＩＣ２を下か
ら突き上げる突上ピンである。

【０００８】図１７，図１８はテスト装置でテストの終
えたＩＣ搭載用トレイ１内のＩＣ２を良品・不良品に分
類すると共に、出荷用トレイ６に移し替える移載機を示
すもので、図１７は正面図、図１８は平面図である。こ
れらの図において、５１は移載機本体、５２ａ，５２ｂ
はローダーであり、ローダー５２ａにはテストが終了し
たＩＣ２が搭載されているＩＣ搭載用トレイ１が設置さ
れる。ローダー５２ｂには空の出荷トレイ６が設置され
る。５４はＩＣ搭載用トレイ１から出荷トレイ６にＩＣ
を移し替えるピックアップ機構部分、５５は不良ＩＣを
入れるケースである。

【０００９】５３ａ，５３ｂはアンローダーであり、ア
ンローダー５３ａには空のＩＣ搭載用トレイ１が設置さ
れる。アンローダー５３ｂには良品のＩＣ２が搭載され
た出荷トレイ６が設置される。

【００１０】次に動作について説明する。まず、テスト
されるＩＣ２は品種及びロット単位で複数のＩＣ搭載用
トレイ１に収納されて、前工程からテスト工程に送られ
て来る。テスト工程に来たＩＣ搭載用トレイ１はハンド
ラー装置本体３１のローダー３２に重ねた状態でセット
される。

【００１１】ローダー３２にＩＣ搭載用トレイ１がセッ
トされると、ハンドラー装置本体３１はスタンバイが完
了しスタート待ちの状態となる。テスター４のセットア
ップも完了しテストがスタートすると、ローダー３２の
最下部のＩＣ搭載用トレイ１が分離動作を開始し、切り
出されて搬送動作に入る。分離・切り出されたＩＣ搭載
用トレイ１が定ピッチ搬送機構（図示せず）によりＩＣ
２の外部電極２３と板ばね接触子４１がコンタクトする
テスト位置まで運ばれる。そして、ハンドラー装置本体
３１の有する位置決め機構（図示せず）が位置決め穴１
３を利用して固定される。

【００１２】ＩＣ搭載用トレイ１の貫通孔１７と突上ピ
ン３４の中心が揃う位置までくると、トレイ１は定位置
で一時停止する。ＩＣ搭載用トレイ１が定位置停止する
と、次に突上ピン３４が図示しない機構で上昇し、貫通
孔１７に挿入されＩＣ２の封止樹脂２１を突き上げて停
止する。この状態を示したのが図１６である。この動作
が終わると、ＩＣ２の各外部電極２３は板ばね接触子４
１にコンタクトされて、テスト装置本体３１からテスタ
ー４に図示しない信号線を介してテストスタート信号が
入力される。

【００１３】テストスタート信号を受け取ったテスター
４は、予め入力されているテストプログラムに従って動
作を開始し、信号ケーブル４９→テストヘッド４８→ソ
ケット４４→板ばね接触子４１を経由して、ＩＣ２のテ
ストを行いテスト項目の良否を判定する。

【００１４】判定を終えると、テスター４はハンドラー
装置本体３１へ図示しない信号線でもってＩＣ２の良否
分類信号とテストエンド信号を返信する。テストエンド
信号を受け取ったハンドラー装置本体３１は上昇位置に
あった突上ピン３４を下降させ、突出ピン３４をＩＣ搭
載用トレイ１の貫通孔１７から抜く。

【００１５】これで、ＩＣ２の外部電極２３は板ばね接
触子４１から解放される。続いてＩＣ搭載用トレイ１の
定ピッチ搬送が行われトレイ内の次のポケット１４がテ
スト位置に移動する。

【００１６】以上の動作を繰り返して１トレイ毎のテス
トが行われ、テスト順の分類データがディスク（図示せ
ず）に読み込まれる。その後ＩＣ搭載用トレイ１は移動
してアンローダー３３に収納される。そして順次積み重
ねられる。

【００１７】テストを終えたＩＣ搭載用トレイ１は、不
良品ＩＣの除去と、良品ＩＣを出荷用トレイ６に詰め替
える為、分類データの入ったディスク（図示せず）と共
に移載機本体５１にかけられる。

【００１８】出荷トレイ６のセット箇所であるローダー
５２ｂには、空の出荷トレイ６が重ねて置かれている。

【００１９】ＩＣ搭載用トレイ１のセット箇所であるロ
ーダー５２ａにはテストが完了したＩＣが搭載されてい
るＩＣ搭載用トレイ１がセットされる。そしてディスク
を図示しない箇所に投入し、移載機本体５１を操作する
と動作が始まり、ローダー５２ｂの最下部の出荷トレイ
６が分離、切り出されて移載箇所（ローダー５２ｂとア
ンロダー５３ｂの中央部）へ移動する。

【００２０】次に、ローダー５２ａの最下部のＩＣ搭載
用トレイ１が分離、切り出されて移載箇所（ローダー５
２ａとアンロダー５３ａの中央部）へ移動する。ＩＣ搭
載用トレイ１は各ポケット１４の中央がピックアップ機
構５４の中心に来る位置に定ピッチ搬送され、ピックア
ップ機構５４が動作を始める。ピックアップ機構５４は
下降して図示しない吸着機構でＩＣ２を吸い上げる。こ
の状態からディスク内の分類データに従い、不良品の場
合はケース５５の真上まで移動し、次にＩＣ２を落下さ
せる。良品の場合は出荷トレイ６の各ポケットの真上ま
で移動し、そして下降してＩＣ２を切り離し、出荷トレ
イ６に収納する。出荷トレイ６もＩＣ搭載用トレイ１と
同様、定ピッチで各ポケットが吸着ニードル５４の中心
に移動するようになっている。以上の動作を繰り返しテ
スト不良品の除去と、良品ＩＣのトレイの移し替え作業
が行われる。空のＩＣ搭載用トレイ１はアンローダー５
３の回収箇所５３１にストックされる。出荷トレイ６は
アンローダー５３ｂにストックされる。

【００２１】図１９は上記に示したテスト装置と移載機
を一体にした従来のテスト装置の平面図、図２０はその
正面図である。

【００２２】これらの図において、２００はトレイ及び
ＩＣの搬送・位置決め、テスターの分類信号に従って、
ＩＣを良品、不良品に振分けるハンドラー装置である。
２０１はテスト前のＩＣ２が搭載されたＩＣ搭載用トレ
イ１を複数重ねてセットするＩＣ搭載用トレイローダー
部、２０２は図示しない機構でＩＣ搭載用トレイローダ
ー部２０１からＩＣ搭載用トレイ１を切出しＩＣ搭載用
トレイ１をテストコンタクト位置へＸ−Ｙ方向に定ピッ
チ搬送する為のＸ−Ｙテーブル、２０３はＩＣ搭載用ト
レイ１の位置決め穴１３に契合する位置決めピン、２０
５はＸ−Ｙテーブル２０２により搬送されてきたＩＣ搭
載用トレイ１を取出し右方向にあるＸ−Ｙテーブル２０
７の上へ移動させる取出し機構２０６をスライドさせる
スライドレール、２０８はＸ−Ｙテーブル２０７上のＩ
Ｃ搭載用トレイ１の位置決め穴１３に契号する位置決め
ピン、２０９はＸ−Ｙテーブル２０７上のＩＣ搭載用ト
レイ１からＩＣ２をピックアップする吸着ニードル、２
１０はテスト不良のＩＣ２を収納する不良ケース、２１
１はＸ−Ｙテーブル２０７上の空になったＩＣ搭載用ト
レイ１を右方向へ取出し、ＩＣ搭載用トレイアンローダ
ー部２１３へ押込む為の取出し機構２１２のスライドレ
ールである。ＩＣ搭載用トレイアンローダー部２１３は
テスト分類を終えた空のＩＣ搭載用トレイ１を格納す
る。２１４はＩＣ搭載用トレイ１からテスト良品のＩＣ
２を詰替える為の空の出荷トレイ６を複数枚重ねてセッ
トする出荷トレイローダー部、２１５は図示しない機構
で出荷トレイローダー部２１４から切出された１枚の出
荷トレイ６にテスト良品のＩＣを各ポケットに収める為
のＸ−Ｙ方向に定ピッチ搬送するＸ−Ｙテーブル、２１
６は出荷トレイ６の位置決め穴３０３に契合する位置決
めピン、２１７はＸ−Ｙテーブル２１５上からテスト良
品ＩＣが詰められた出荷トレイ６を取出し右方向にある
出荷トレイアンローダー部２１９へ押込む為の取出し機
構２１８をスライドさせるためのスライドレールであ
る。出荷トレイアンローダー部２１９はテスト良品のＩ
Ｃが入った出荷トレイ６を格納する。

【００２３】３１０はテストスタート信号を受けてＩＣ
２の外部電極２３にテスト用の電流，電圧を印加した
り、テストの良否判定及びその結果に応じてＩＣの良
品、不良品の分類組合わせを決定し、ハンドラー装置２
００にテストエンド信号と、分類信号を送信するテスタ
ーである。テスター３１０に含まれるテストヘッド４８
の周辺部の構成は図１６に示した構成と同様である。

【００２４】次に動作について説明する。テスト前のＩ
Ｃ２は品種及びロット単位で複数のＩＣ搭載用トレイ１
に収納されて前工程からテスト工程に送られて来る。テ
スト工程に来たＩＣ搭載用トレイ１をＩＣ搭載用トレイ
ローダー部２０に重ねた状態でセットする。そして同じ
くハンドラー装置２００の出荷トレイローダー部２１４
に空の出荷トレイ６を重ねてセットする。テスター３１
０を該当品種のテストプログラムを選定して立上げ、ス
ンタバイさせる。以上のセットアップが完了するとテス
トスタート待ちの状態となる。図示しないスイッチを操
作しスタート信号を与えるとハンドラー装置２００は動
作を開始する。

【００２５】まずＩＣ搭載用トレイ１の移動動作につい
て述べる。ＩＣ搭載用トレイローダー部２０１にある最
下部のＩＣ搭載用トレイ１が図示しない機構によって分
離、切出されてＸ−Ｙテーブル２０２の真上に送り込ま
れる。続いて位置決めピン２０３が上昇しＩＣ搭載用ト
レイ１の位置決め穴１３に挿入される。しかる後Ｘ−Ｙ
テーブル２０２によってＩＣ搭載用トレイ１のポケット
１４内にあるＩＣ２の外部電極２３がテスター２の接触
子４１とコンタクトされる位置まで運ばれる。ＩＣ搭載
用トレイ１の貫通孔１７と突上ピン３４の中心が揃う位
置まで来るとＸ−Ｙテーブル２０２は定位置停止する。

【００２６】Ｘ−Ｙテーブル２０２が定位置停止する
と、突上ピン３４が図示しない機構で上昇し、貫通孔１
７に挿入してＩＣ２の封止樹脂２１を突き上げて停止す
る。この状態は図１６に示したのと同様である。この動
作が終わるとＩＣ２の各外部電極２３は接触子４１にコ
ンタクトされて、ハンドラー装置２００からテスター３
１０に図示しない信号線でテストスタート信号が入力さ
れる。テストスタート信号を受取ったテスター３１０は
予め入力されているテストプログラムに従ってテストを
開始し、信号ケーブル群２９→テストヘッド４８→スプ
リングプローブ４７→テストボード４６→中継基板４５
→ソケット４４→接触子４１を経由してＩＣ２の各外部
電極２３にテスト用の電流等を供給してＩＣ２のテスト
を行いテスト項目の良否を判定する。判定を終えるとテ
スター３１０はハンドラー装置２００へ図示しない信号
線でもってＩＣ２のテストエンド信号と良否分類信号を
返信する。テストエンド信号を受取ったハンドラー装置
２００は、各々ＩＣ毎に良否分類信号を記憶する。

【００２７】次に、上昇位置にあった突上ピン３４が下
降し、ＩＣ搭載用トレイ１の貫通孔１７から抜けて停止
する。これでＩＣ２の外部電極２３は接触子４１から解
放される。続いてＸ−Ｙテーブル２０２の定ピッチ移動
が行われ、ＩＣ搭載用トレイ１の次のポケット１４がテ
スト位置に来る。以上の動作を繰返して１トレイ毎のテ
ストが行われる。テストを終えたＩＣ搭載用トレイ１は
テスト順の良否分類データと共に次に移っていく。テス
トを終了すると位置決めピン２０３が下降してＩＣ搭載
用トレイ１の位置決め穴１３から抜ける。続いて取出し
機構２０６がスライドレール２０５上を滑りながらＸ−
Ｙテーブル２０２の方に移動し、ＩＣ搭載用トレイ１を
引掛けた後、右方へ移動してテストの終えたＩＣ搭載用
トレイ１を良否分類データと共にＸ−Ｙテーブル２０７
上へ送り込む。そして位置決めピン２０８が上昇してＩ
Ｃ搭載用トレイ１の位置決め穴１３に入る。以上がテス
ト前のＩＣ搭載用トレイ１内のＩＣ２がテストを終えて
これから出荷トレイ４へ良品のＩＣを移載開始するまで
の動作である。

【００２８】この間、空の出荷トレイ６が出荷トレイロ
ーダー部２１４から分離されてＸ−Ｙテーブル２１５上
へ送られる。そして位置決めピン２１６が上昇して出荷
トレイ６の位置決め穴３０３に入りスタンバイしてＩＣ
搭載用トレイ１からのＩＣ移載を待つ。

【００２９】この状態でＩＣ搭載用トレイ１から出荷ト
レイ６へＩＣ２の移載を開始する。Ｘ−Ｙテーブル２０
７上にあるＩＣ搭載用トレイ１の各ポケット１４内のＩ
Ｃ２を順番に吸着ニードル２０９がピックアップする。
ピックアップされたＩＣ２の内、テスト良否分類信号の
不良品は途中、不良ケース２１０へ落され、良品ＩＣ５
はＸ−Ｙテーブル２１５上の出荷トレイ６の各ポケット
３０４へ順番に収納されていく。移載を終えて空になっ
たＩＣ搭載用トレイ１は、Ｘ−Ｙテーブル２０７の位置
決めピン２０８が抜けた後、取出し機構２１２がスライ
ドレール２１１を滑り移動してＸ−Ｙテーブル２０７か
ら取出されそしてＩＣ搭載用トレイアンローダー部２１
３へ図示しない機構によって重ねられて格納される。Ｘ
−Ｙテーブル２０７上へは前記した動作に従って次のテ
ストを終えたＩＣ搭載用トレイ１がやって来る。

【００３０】移動を終えてテスト良品のＩＣ２が満杯に
なった出荷トレイ６は、Ｘ−Ｙテーブル２１５の位置決
めピン２１６が抜けた後、取出し機構２１８がスライド
レール２１７を滑り移動してＸ−Ｙテーブル２１５から
取出されて格納される。空になったＸ−Ｙテーブル２１
５上へは前記した動作に従って次の空出荷トレイがやっ
て来る。

【００３１】尚、ハンドラー装置のデータ処理、転送な
どの信号処理は図示しないプログラマブルシーケンサー
内で行われている。

【００３２】

【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣ搭載用トレ
イおよびハンドラー装置は以上のように構成され、ＩＣ
に良品、不良品の分類データがテストを行ったＩＣの順
番に記憶されており、ＩＣ搭載用トレイ１自体の認識記
号がなく、また個々のＩＣ２の収納場所に対応してテス
ト結果を記憶されていないので、以下のような問題点が
あった。すなわち、ＩＣ搭載用トレイ１の搬送時にトラ
ブルが生じた場合、ＩＣ搭載用トレイ１の順番が入れ代
わる場合がある。また、吸着ニードル５４，２０９でＩ
Ｃを分類しているときにＡ番目のＩＣ分類時に分類作業
が停止し、再開した場合Ａ番目のＩＣのテスト結果に基
づきＢ番目のＩＣの分類を行うというトラブルが発生す
る場合がある。このような場合、ＩＣの分類ミスが発生
するという問題点があった。

【００３３】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、分類ミスのないＩＣ搭載用トレ
イおよびハンドラー装置を得ることを目的とする。

【００３４】

【課題を解決するための手段】この発明に係るＩＣ搭載
用トレイの第１の態様は、複数のＩＣが搭載されるＩＣ
搭載用トレイにおいて、当該トレイを他のトレイと区別
して認識するためのトレイ認識記号と、前記個々のＩＣ
が収納され収納場所を各別に認識するための収納場所認
識記号とを備えている。

【００３５】この発明に係るＩＣ搭載用トレイの第２の
態様は、複数のＩＣが搭載されるＩＣ搭載用トレイにお
いて、当該トレイを他のトレイと区別して認識するため
のトレイ認識記号を備えている。

【００３６】この発明に係るＩＣ搭載用トレイの第３の
態様は、複数のＩＣが搭載されるＩＣ搭載用トレイにお
いて、前記個々のＩＣが収納される収納場所を各別に認
識するための収納場所認識記号を備えている。

【００３７】この発明に係るハンドラー装置の第１の態
様は、トレイに搭載された複数のＩＣをテストし、該テ
スト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不良品に分
類するテスト装置に含まれるハンドラー装置であって、
前記トレイに第１の態様ＩＣ搭載用トレイを使用し、前
記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられた
トレイ認識記号および収納場所認識記号を読み取る第１
の読取り手段と、前記第１の読取り手段により読み取ら
れたトレイ認識記号および収納場所認識記号と、前記個
々のＩＣのテスト結果とを組み合わせたペアリングデー
タを作成するペアリングデータ作成手段と、前記ＩＣの
分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられたトレイ認識
記号および収納場所認識記号を読み取る第２の読取り手
段と、前記ペアリングデータに含まれるトレイ認識記号
と前記第２の読取り手段により読み取られたトレイ認識
記号とを比較し、両者が等しいか否かを判定する判定手
段と、前記判定手段により等しいと判定された場合、前
記第２の読取り手段により読み取られた収納場所認識記
号を前記ペアリングデータに含まれる収納場所認識記号
に照合させることにより、対応の前記テスト結果を抽出
するテスト結果抽出手段と、前記テスト結果抽出手段に
より抽出されたテスト結果に基づいて前記複数のＩＣを
良品と不良品に分類する分類手段とを備えている。

【００３８】この発明に係るハンドラー装置の第２の態
様は、トレイに搭載された複数のＩＣをテストし、該テ
スト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不良品に分
類するテスト装置に含まれるハンドラー装置であって、
前記トレイに第２の態様のＩＣ搭載用トレイを使用し、
前記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられ
たトレイ認識記号を読み取る第１の読取り手段と、前記
第１の読取り手段により読み取られたトレイ認識記号と
前記個々のＩＣのテスト結果とを組み合わせたペアリン
グデータを作成するペアリングデータ作成手段と、前記
ＩＣの分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられたトレ
イ認識記号を読み取る第２の読取り手段と、前記ペアリ
ングデータに含まれるトレイ認識記号と前記第２の読取
り手段により読み取られたトレイ認識記号とを比較し、
両者が等しいか否かを判定する判定手段と、前記判定手
段により等しいと判断された場合、前記ペアリングデー
タに含まれるテスト結果に基づいて前記複数のＩＣを良
品と不良品に分類する分類手段とを備えている。

【００３９】この発明に係るハンドラー装置の第３の態
様は、トレイに搭載された複数のＩＣをテストし、該テ
スト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不良品に分
類するテスト装置に含まれるハンドラー装置であって、
前記トレイに第３の態様のＩＣ搭載用トレイを使用し、
前記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられ
た収納場所認識記号を読み取る第１の読取り手段と、前
記第１の読取り手段により読み取られた収納場所認識記
号と前記個々のＩＣのテスト結果とを組み合わせたペア
リングデータを作成するペアリングデータ作成手段と、
前記ＩＣの分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられた
収納場所認識記号を読み取る第２の読取り手段と、前記
第２の読取り手段により読み取られた収納場所認識記号
を前記ペアリングデータに含まれる収納場所認識記号に
照合させることにより、対応の前記テスト結果を抽出す
るテスト結果抽出手段と、前記テスト結果抽出手段によ
り抽出されたテスト結果に基づいて前記複数のＩＣを良
品と不良品に分類する分類手段とを備えている。

【００４０】

【作用】第１の態様のＩＣ搭載用トレイには、当該トレ
イを他のトレイと区別して認識するためのトレイ認識記
号と、個々のＩＣが収納される収納場所を各別に認識す
るための収納場所認識記号とを設けたので、当該トレイ
およびＩＣの収納場所を各別に認識することができる。

【００４１】第２の態様のＩＣ搭載用トレイには、当該
トレイを他のトレイと区別して認識するためのトレイ認
識記号を設けたので、当該トレイを他のトレイを区別し
て認識することができる。

【００４２】第３の態様のＩＣ搭載用トレイには、個々
のＩＣが収納される収納場所を各別に認識するための収
納場所認識記号を設けたので、ＩＣの収納場所を各別認
識することができる。

【００４３】第１の態様のハンドラー装置によれば、ト
レイに第１の態様のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣの
テスト時にＩＣ搭載用トレイに設けられたトレイ認識記
号および収納場所認識記号を読み取る第１の読取り手段
と、第１の読取り手段により読み取られたトレイ認識記
号および収納場所認識記号と、個々のＩＣのテスト結果
とを組み合わせたペアリングデータを作成するペアリン
グデータ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレイ
に設けられたトレイ認識記号および収納場所認識記号を
読み取る第２の読取り手段と、ペアリングデータに含ま
れるトレイ認識記号と第２の読取り手段により読み取ら
れたトレイ認識記号とを比較し、両者が等しいか否かを
判定する判定手段と、判定手段により等しいと判定され
た場合、第２の読取り手段により読み取られた収納場所
認識記号をペアリングデータに含まれる収納場所認識記
号に照合させることにより、対応のテスト結果を抽出す
るテスト結果抽出手段とを設けたので、ＩＣ搭載用トレ
イの順番が入れ替わった場合でもこれを正しく認識する
ことができると共に、ＩＣの収納場所に応じたテスト結
果を常に正しく読み出す事ができる。

【００４４】第２の態様のハンドラー装置によれば、ト
レイに第２の態様のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣテ
スト時にＩＣ搭載用トレイに設けられトレイ認識記号を
読み取る第１の読取り手段と、第１の読取り手段により
読み取られたトレイ認識記号と個々のＩＣのテスト結果
とを組み合わせたペアリングデータを作成するペアリン
グデータ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレイ
のトレイ認識記号を読み取る第２の読取り手段と、ペア
リングデータに含まれるトレイ認識記号と第２の読取り
手段により読み取られたトレイ認識記号を比較し、両者
が等しいか否かを判定する判定手段とを設けたので、Ｉ
Ｃ搭載用トレイの順番が入れ替わった場合でもこれを正
しく認識することができる。

【００４５】第３の態様のハンドラー装置によれば、ト
レイに第３の態様のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣの
テスト時にＩＣ搭載用トレイに設けられた収納場所認識
記号を読み取る第１の読取り手段と、第１の読取り手段
により読み取られた収納場所認識記号と個々のＩＣのテ
スト結果とを組み合わせたペアリングデータを作成する
ペアリングデータ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載
用トレイに設けられた収納場所認識記号を読み取る第２
の読取り手段と、第２の読取り手段により読み取られた
収納場所認識記号をペアリングデータに含まれる収納場
所認識記号に照合れさることにより、対応のテスト結果
を抽出するテスト結果抽出手段とを設けたので、ＩＣの
収納場所に応じたテスト結果を常に正しく読み出すこと
ができる。

【００４６】

【実施例】図１はこの発明に係るＩＣ搭載用トレイの一
実施例を示す斜視図である。図において、１０はＩＣ搭
載用トレイである。図７に示した従来のＩＣ搭載用トレ
イとの相違点は、ＩＣ搭載用トレイ１０自身の識別記号
であるトレイナンバー（トレイ認識記号）１０９、ＩＣ
搭載用トレイ１０の長手方向ポケットに設けられ、ＩＣ
２の収納場所を認識するための収納場所認識記号１１
０、ＩＣ搭載用トレイ１０の短辺方向ポケットに設けら
れ、ＩＣ２の収納場所を認識するための収納場所認識記
号１１２を設けたことである。収納場所認識記号１１
０，１１２の組み合わせによりＩＣ２が収納されている
ＩＣ搭載用トレイ１０のポケットナンバーが特定され
る。トレイナンバー１０９、収納場認識記号１１０，１
１２は複数ビットの孔の有無で示している。その他の構
成は従来のＩＣ搭載用トレイと同様の構成である。

【００４７】図２はＩＣ搭載用トレイ１０を使用する本
発明に係るハンドラー装置有するテスト装置の概略構成
を示す正面図、図３は図２の平面図である。これらの図
において、図１４，図１５に示した従来のテスト装置と
の相違点はセンサーユニット３５を新たに設けたことで
ある。センサーユニット３５は透過型センサーであり、
孔で表示されたＩＣ搭載用トレイ１０のトレイナンバー
１０９および収納場所認識記号１１０，１１２を読み取
る。その他の構成は従来のテスト装置と同様である。

【００４８】図４はＩＣ搭載用トレイ１０を使用する本
発明に係るハンドラー装置を有する移載機の概略構成図
を示す正面図、図５は図４の平面図である。これらの図
において、図１７，図１８に示した従来の移載機との相
違点はセンサーユニット５６を新たに設けたことであ
る。センサーユニット５６は透過型センサーであり、テ
スト終了後、移載機本体５１に移送されてきたＩＣ搭載
用トレイ１０に孔で表示されたトレイナンバー１０９お
よび収納場所認識記号１１０，１１２を読み取る。その
他の構成は従来の移載機と同様である。

【００４９】次に動作について図６に示したフローチャ
ートを用いて説明する。テスト時において、センサーユ
ニット３５はＩＣ搭載用トレイ１０の孔の有無を検出
し、トレイナンバー１０９を読み取り（ステップＳ１）
テスト装置の処理装置（図示せず）へ送る。次に個々の
ＩＣ２のテストを行いつつ、センサーユニット３５で収
納場所認識記号１１０，１１２の情報（ポケットナンバ
ー）を読み取りテスト装置の処理装置へ送る。処理装置
では収納場所認識記号１１０，１１２により特定される
ポケットナンバーとＩＣのテスト結果（良品または不良
品を示す分類信号）とを組み合わせ第１ペアリングデー
タを作成する（ステップＳ２）。次に第１のペアリング
データとトレイナンバーとを組み合わせた第２のペアリ
ングデータを作成する（ステップＳ３）。テスト終了
後、ＩＣ搭載用トレイ１０はアンローダー３３へ送られ
るると共に、第２のペアリングデータが図示しない情報
格納部へ転送される。情報格納部では第２ペアリングデ
ータが読み込まれたディスクが作成される。

【００５０】アンローダー３３からＩＣ搭載用トレイ１
０を取り出し移載機本体５１のローダー５２にセットす
る。また前記ディスクを移載機本体５１にセットする
（ステップＳ４）。センサーユニット５６は移動してき
たＩＣ搭載用トレイ１０のトレイナンバー１０９を読み
取る（ステップＳ５）。読み取られたトレイナンバー１
０９とディスクに記憶さている第２ペアリングデータに
含まれるトレイナンバーとを照合（ステップＳ６）し、
一致するか否かを判定する。一致する場合、センサーユ
ニット５６により収納場所認識記号１１０，１１２を読
み取りポケットナンバーを特定する（ステップＳ８）。
このポケットナンバーとディスクに記憶されている第２
のペアリングデータに含まれるポケットナンバーとを照
合し該ポケットナンバーに対応するＩＣのテスト結果を
読み出す（ステップＳ９）。この読み出されたテスト結
果に基づいてＩＣ搭載用トレイ１０に搭載されているＩ
Ｃ２の良品／不良品の分類を個々のＩＣごとに行う（ス
テップＳ１０）。そして１つのＩＣ２の分類が終了する
と次のＩＣ２の分類を行う。すべてのＩＣの分類が終了
した場合は分類作業は終了する。

【００５１】一方、読み取られたトレイナンバー１０９
とディスクに記憶さている第２のペアリングデータに含
まれているトレイナンバーとが不一致の場合、該当する
ＩＣ搭載用トレイではないと判断され、移載機の分類動
作は停止する（ステップＳ７）。その他のテスト装置及
び移載機の動作は従来例と同一である。

【００５２】このように、ＩＣ搭載用トレイ１０にトレ
イナンバー１０９、ポケットナンバーを特定するための
収納場所認識記号１１０，１１２を設け、テスト装置本
体３１および移載機本体５１に該トレイナンバー１０
９、収納場所認識記号１１０，１１２を読み取るセンサ
ーユニット３５、５６を設け、各々のセンサーユニット
３５，５６により読み取られた記号を照合するようにし
たので、ＩＣ搭載用トレイ１０移送時にトラブルが生じ
トレイの順番がずれたら即認識できる。また、ポケット
ナンバーに応じたテスト結果を読み出すことができる。
そのため、ＩＣの分類ミスがなくなる。

【００５３】なお、上記実施例ではトレイナンバー１０
９および収納場所認識記号１１０，１１２を孔の有無に
より表示し、センサーユニット３５，５６の透過型セン
サーで認識するようにしたが、トレイナンバー１０９お
よび収納場所認識記号１１０，１１２を印刷記号で表
し、この印刷記号をＣＣＤカメラで画像認識するように
してもよい。またセンサーユニット３５，５６は反射型
センサーでもよい。

【００５４】図７はこの発明に係るハンドラー装置を有
するテスト装置の他の実施例の平面図、図８はその正面
図である。これらの図において、図１９，図２０に示し
た従来のテスト装置との相違点は、読取りセンサーユニ
ット４１０、照合センサーユニット５１０を新たに設け
たことである。読取りセンサーユニット４１０、照合セ
ンサーユニット５１０は反射型センサーユニットであ
る。読取りセンサーユニット４１０および照合センサー
ユニット５１０には反射型センサー４２０，５２０が設
置されている。反射型センサー４２０はＩＣ搭載用トレ
イローダー部２０１とテストヘッド４８との間に設けら
れ、ＩＣのテストが行われる直前にトレイナンバー１０
９、収納場所認識記号１１０，１１２を読みとる。反射
型センサー５２０はテストヘッド４８と吸着ニードル２
０９との間に設けられ、ＩＣの分類直前にトレイナンバ
ー１０７、収納場所認識記号１１０，１１２を読み取
る。

【００５５】図９はテストヘッド４８近辺に設けられた
読み取りセンサー４１０の構成をテストヘッド４８の構
成ととも詳細に示した図である。図において、図１６に
示した従来のテストヘッド４８近辺の図との相違点は、
反射型センサー４２０を有する読み取りセンサー４１０
を設けたことである。その他の構成は図１６に示した従
来装置と同様である。

【００５６】次に動作について図１０に示したフローチ
ャートを用いて説明する。なお、以下に述べるデータの
作成および処理は図示しないプラグラマブルシーケンサ
ーで行われる。ＩＣ搭載用トレイ１０がＸ−Ｙステージ
２０２上に設置されるまでの動作は従来と同様である。
ＩＣ２のテスト時において、読み取りセンサーユニット
４１０はＩＣ搭載用トレイ１０の孔の有無を検出し、ま
ずトレイナンバー１０９を読み取る（ステップＳ１
０）。次に個々のＩＣ２のテストを行いつつ、読み取り
センサーユニット４１０で収納場所認識記号１１０，１
１２を読み取りポケットナンバーを特定する。プラグラ
マブルシーケンサーでは収納場所認識記号１１０，１１
２により特定されるポケットナンバーとＩＣのテスト結
果（良品または不良品を示す分類信号）とを組み合わせ
第１のペアリングデータが作成される（ステップＳ２
０）。次に第１のペアリングデータとトレイナンバーと
を組み合わせた第２のペアリングデータを作成する（ス
テップＳ３０）。

【００５７】テスト終了後、ＩＣ搭載用トレイ１０は従
来と同様の動作によりＸ−Ｙステージ２０７上に設置さ
れる。ＩＣ搭載用トレイ１０がＸ−Ｙステージ２０７上
に設置されると同時に第２のペアリングデータが転送さ
れる（ステップＳ４０）。照合センサーユニット５１０
は移動してきたＩＣ搭載用トレイ１０のトレイナンバー
１０９を読み取る（ステップＳ５０）。読み取られたト
レイナンバー１０９と第２ペアリングデータに含まれる
トレイナンバーとを照合（ステップＳ６０）し、一致す
るか否かを判定する。一致する場合、照合センサーユニ
ット５１０は収納場所認識記号１１０，１１２を読み取
りポケットナンバーを特定する（ステップＳ８０）。こ
のポケットナンバーと第２のペアリングデータに含まれ
るポケットナンバーとを照合し該ポケットナンバーに対
応するＩＣのテスト結果を読み出す（ステップＳ９
０）。この読み出されたテスト結果に基づいてＩＣ搭載
用トレイ１０に搭載されているＩＣ２の良品／不良品の
分類を個々のＩＣごとに行う（ステップＳ１０）。そし
て１つのＩＣ２の分類が終了すると次のＩＣ２の分類を
行う。すべてのＩＣの分類が終了した場合は分類作業は
終了する。

【００５８】一方、読み取られたトレイナンバー１０９
と第２のペアリングデータに含まれているトレイナンバ
ーとが不一致の場合、該当するＩＣ搭載用トレイではな
いと判断され、移載機の分類動作は停止する（ステップ
Ｓ７０）。その他のテスト装置及び移載機の動作は従来
例と同一である。このように、ＩＣ搭載用トレイ１０に
トレイナンバー１０９、ポケットナンバーを特定するた
めの収納場所認識記号１１０，１１２を設け、該トレイ
ナンバー１０９、収納場所認識記号１１０，１１２を読
み取る読取りセンサーユニット４１０および照合センサ
ーユニット５１０を設け、各々のセンサーユニット４１
０，５１０により読み取られた記号を照合するようにし
たので、ＩＣ搭載用トレイ１０移送時にトラブルにより
トレイの順番がずれた場合でも即認識できる。また、ポ
ケットナンバーに応じたテスト結果を読み出すことがで
きる。そのため、ＩＣの分類ミスがなくなる。

【００５９】なお、上記実施例ではトレイナンバー１０
９および収納場所認識記号１１０，１１２を孔の有無に
より表示し、読み取りセンサーユニット４１０，照合セ
ンサーユニット５１０が反射型センサーユニットの場合
について説明したが、トレイナンバー１０９および収納
場所認識記号１１０，１１２を印刷記号で表し、この印
刷記号をＣＣＤカメラで画像認識するようにしてもよ
い。また読み取りセンサーユニット４１０，照合センサ
ーユニット５１０は投受光型センサーユニットでもよ
い。

【００６０】また、上記実施例ではＩＣ搭載用トレイ１
０にトレイナンバー１０９および収納場所認識記号１１
０，１１２を設けた場合について説明したが、ＩＣ搭載
用トレイの搬送トラブルが生じる可能性のない場合には
トレイナンバー１０９を設けず、ポケットナンバーを特
定する収納場所認識記号１１０，１１２のみを設ければ
ＩＣの分類ミスがなくなる。つまり、ＩＣテスト時に収
納場所認識記号１１０，１１２を読み取り、ポケットナ
ンバーを特定する。そして、ポケットナンバーと個々の
ＩＣのテスト結果とを組み合わせたペアリングデータを
作成する。次に、テストが終了し、ＩＣを分類するとき
ＩＣ搭載用トレイ１０の収納場所認識記号１１０，１１
２を読みとり、ポケットナンバーを特定する。このポケ
ットナンバーをペアリングデータに含まれているポケッ
トナンバーに照合させ、対応のテスト結果に基づきＩＣ
を分類する。前述のように、ＩＣ搭載用トレイ１０の搬
送トラブルが生じる可能性はないので、ポケットナンバ
ーのみを特定すればＩＣの分類ミスは生じない。

【００６１】一方、吸着ニードルでＩＣの分類をしてい
るときにトラブルが生じる可能性のない場合には収納場
所認識記号１１０，１１２を設けず、トレイナンバー１
０９のみを設ければＩＣの分類ミスがなくなる。つま
り、ＩＣテスト時にトレイナンバーを読みとる。そし
て、各々のＩＣテスト結果とトレイナンバーと組み合わ
せたペアリングデータを作成する。次に、テストが終了
し、ＩＣを分類するとき、トレイナンバー１０９を読み
とり、ペアリングデータに含まれているトレイナンバー
と比較し、等しい場合、ペアリングデータに含まれてい
るテスト結果に基づいてＩＣを分類する。前述のよう
に、吸着ニードルにより分類動作においてトラブルがせ
生じる可能性がないので、トレイのみを特定すれば、Ｉ
Ｃの分類ミスは生じない。

【００６２】

【発明の効果】以上のように請求項１のＩＣ搭載用トレ
イによれば、当該トレイを他のトレイと区別して認識す
るためのトレイ認識記号と、個々のＩＣが収納される収
納場所を各別に認識するための収納場所認識記号とを設
けたので、当該トレイおよびＩＣの収納場所を各別に認
識することができる。

【００６３】請求項２のＩＣ搭載用トレイによれば、当
該トレイを他のトレイと区別して認識するためのトレイ
認識記号を設けたので、当該トレイを他のトレイと区別
して認識することができる。

【００６４】請求項３のＩＣ搭載用トレイによれば、個
々のＩＣが収納されている収納場所を各別に認識するた
めの収納場所認識記号を設けたので、ＩＣの収納場所を
認識することができる。

【００６５】請求項４のハンドラー装置によれば、トレ
イに請求項１のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣのテス
ト時にＩＣ搭載用トレイに設けられたトレイ認識記号お
よび収納場所認識記号を読み取る第１の読取り手段と、
第１の読取り手段により読み取られたトレイ認識記号お
よび収納場所認識記号と、個々のＩＣのテスト結果とを
組み合わせペアリングデータを作成するペアリングデー
タ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレイに設け
られたトレイ認識記号および収納場所認識記号を読み取
る第２の読取り手段と、ペアリングデータに含まれるト
レイ認識記号と第２の読取り手段により読み取られたト
レイ認識記号とを比較し、両者が等しいか否かを判定す
る判定手段と、判定手段により等しいと判定された場
合、第２の読取り手段により読み取られた第２の収納場
所認識記号をペアリングデータに含まれる収納場所認識
記号に照合させることにより、対応のテスト結果を抽出
するテスト結果抽出手段とを設けたので、ＩＣ搭載用ト
レイの順番が入れ替わった場合でもこれを正しく認識す
ることができると共に、ＩＣの収納場所に応じたテスト
結果を常に正しく読み出すことができる。その結果、Ｉ
Ｃの分類時に分類ミスが生じることがなくなるという効
果がある。

【００６６】請求項５のハンドラー装置によれば、トレ
イに請求項２のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣテスト
時にＩＣ搭載用トレイに設けられたトレイ認識記号を読
み取る第１の読取り手段と、第１の読取り手段により読
み取られたトレイ認識記号と個々のＩＣのテスト結果と
を組み合わせたペアリングデータを作成するペアリング
データ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレイに
設けられたトレイ認識記号を読み取る第２の読取り手段
と、ペアリングデータに含まれるトレイ認識記号と読取
り手段により読み取られた第２のトレイ認識記号とを比
較し、両者が等しいか否かを判定する判定手段と、判定
手段により等しいと判断された場合、ペアリングデータ
に含まれるテスト結果に基づいて複類のＩＣを良品と不
良品に分類する分類手段とを設けたので、ＩＣ搭載用ト
レイの順番が入れ替わった場合でもこれを正しく認識す
ることができる。その結果、ＩＣの分類時に分類ミスが
生じることがなくなるという効果がある。

【００６７】請求項６のハンドラー装置によれば、トレ
イに請求項３のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣテスト
時にＩＣ搭載用トレイに設けられた収納場所認識記号を
読み取る第１の読取り手段と、第１の読取り手段により
読み取られた収納場所認識記号と個々のＩＣのテスト結
果とを組み合わせたペアリングデータを作成するペアリ
ングデータ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレ
イに設けられた収納場所認識記号を読み取る第２の読取
り手段と、第２の読取り手段により読み取られた収納場
所認識記号をペアリングデータに含まれる収納場所認識
記号に照合させることにより、対応のテスト結果を抽出
するテスト結果抽出手段とを設けたので、ＩＣの収納場
所に応じたテスト結果を常に正しく読み出すことができ
る。その結果、ＩＣの分類時に分類ミスが生じることが
なくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るＩＣ搭載用トレイの一実施例を
示す斜視図である。

【図２】この発明に係るハンドラー装置を有するテスト
装置の一実施例の正面図である。

【図３】この発明に係るハンドラー装置を有するテスト
装置の一実施例の平面図である。

【図４】この発明に係るハンドラー装置を有する移載機
の一実施例の正面図である。

【図５】この発明に係るハンドラー装置を有する移載機
の一実施例の平面図である。

【図６】図２、図３、図４、図５に示したハンドラー装
置の動作を説明するためのフローチャートである。

【図７】この発明に係るハンドラー装置を有するテスト
装置の他の実施例の平面図である。

【図８】この発明に係るハンドラー装置を有するテスト
装置の他の実施例の正面図である。

【図９】図７、図８に示した装置の一部詳細図である。

【図１０】図８、図９に示したハンドラー装置の動作を
説明するためのフローチャートである。

【図１１】従来のＩＣ搭載用トレイの斜視図である。

【図１２】図１１に搭載されるＩＣの斜視図である。

【図１３】出荷トレイの斜視図である。

【図１４】従来のハンドラー装置を有するテスト装置の
正面図である。

【図１５】従来のハンドラー装置を有するテスト装置の
平面図である。

【図１６】図１４、図１５に示した装置の一部詳細図で
ある。

【図１７】従来のハンドラー装置を有する移載機の正面
図である。

【図１８】従来のハンドラー装置を有する移載機の平面
図である。

【図１９】従来のハンドラー装置を有する他のテスト装
置の正面図である。

【図２０】従来のハンドラー装置を有する他のテスト装
置の平面図である。

【符号の説明】

１０ ＩＣ搭載用トレイ ３５，５６ センサーユニット ５４，２０９ 吸着ニードル １０９ トレイナンバー １１０，１１２ 収納場所認識記号 ４１０ 読取りセンサーユニット ５１０ 照合センサーユニット

【手続補正書】

【提出日】平成３年１０月２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】以下、ＩＣはＱＦＰＩＣの場合を例に説
明する。図１１はＩＣの電気特性検査に用いるプラスチ
ック成型された従来のＩＣ搭載用トレイの外観を示す斜
視図である。図において、１はテストを行うためのＩＣ
を平面上に複数配列するＩＣ搭載用トレイ、１１〜１８
はＩＣ搭載用トレイ１の一部で１１は額縁部分、１２は
ＩＣ搭載用トレイ１の方向を示すノッチ、１３は成型時
に設けられた円筒状の位置決め穴、１４は個々のＩＣが
入るポケット、１５はＩＣ搭載用トレイ１の長辺方向に
ポケット１４を囲む仕切、１６は短辺方向に囲む仕切、
１７は貫通孔、１８はＩＣの外部電極の逃がし溝であ
る。このＩＣ搭載用トレイ１はＩＣの位置決めを考慮し
てポケット１４内での遊びが少なくなる様高精度で製作
されており、高価な為テスト用のみで使用されている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２２】これらの図において、２００はトレイ及び
ＩＣの搬送・位置決め、テスターの分類信号に従って、
ＩＣを良品、不良品に振分けるハンドラー装置である。
２０１はテスト前のＩＣ２が搭載されたＩＣ搭載用トレ
イ１を複数重ねてセットするＩＣ搭載用トレイローダー
部、２０２は図示しない機構でＩＣ搭載用トレイローダ
ー部２０１からＩＣ搭載用トレイ１を切出しＩＣ搭載用
トレイ１をテストコンタクト位置へＸ−Ｙ方向に定ピッ
チ搬送する為のＸ−Ｙテーブル、２０３はＩＣ搭載用ト
レイ１の位置決め穴１３に係合する位置決めピン、２０
５はＸ−Ｙテーブル２０２により搬送されてきたＩＣ搭
載用トレイ１を取出し右方向にあるＸ−Ｙテーブル２０
７の上へ移動させる取出し機構２０６をスライドさせる
スライドレール、２０８はＸ−Ｙテーブル２０７上のＩ
Ｃ搭載用トレイ１の位置決め穴１３に係合する位置決め
ピン、２０９はＸ−Ｙテーブル２０７上のＩＣ搭載用ト
レイ１からＩＣ２をピックアップする吸着ニードル、２
１０はテスト不良のＩＣ２を収納する不良ケース、２１
１はＸ−Ｙテーブル２０７上の空になったＩＣ搭載用ト
レイ１を右方向へ取出し、ＩＣ搭載用トレイアンローダ
ー部２１３へ押込む為の取出し機構２１２のスライドレ
ールである。ＩＣ搭載用トレイアンローダー部２１３は
テスト分類を終えた空のＩＣ搭載用トレイ１を格納す
る。２１４はＩＣ搭載用トレイ１からテスト良品のＩＣ
２を詰替える為の空の出荷トレイ６を複数枚重ねてセッ
トする出荷トレイローダー部、２１５は図示しない機構
で出荷トレイローダー部２１４から切出された１枚の出
荷トレイ６にテスト良品のＩＣを各ポケットに収める為
のＸ−Ｙ方向に定ピッチ搬送するＸ−Ｙテーブル、２１
６は出荷トレイ６の位置決め穴３０３に契合する位置決
めピン、２１７はＸ−Ｙテーブル２１５上からテスト良
品ＩＣが詰められた出荷トレイ６を取出し右方向にある
出荷トレイアンローダー部２１９へ押込む為の取出し機
構２１８をスライドさせるためのスライドレールであ
る。出荷トレイアンローダー部２１９はテスト良品のＩ
Ｃが入った出荷トレイ６を格納する。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６６】請求項５のハンドラー装置によれば、トレ
イに請求項２のＩＣ搭載用トレイを使用し、ＩＣテスト
時にＩＣ搭載用トレイに設けられたトレイ認識記号を読
み取る第１の読取り手段と、第１の読取り手段により読
み取られたトレイ認識記号と個々のＩＣのテスト結果と
を組み合わせたペアリングデータを作成するペアリング
データ作成手段と、ＩＣの分類時にＩＣ搭載用トレイに
設けられたトレイ認識記号を読み取る第２の読取り手段
と、ペアリングデータに含まれるトレイ認識記号と読取
り手段により読み取られた第２のトレイ認識記号とを比
較し、両者が等しいか否かを判定する判定手段と、判定
手段により等しいと判断された場合、ペアリングデータ
に含まれるテスト結果に基づいて複数のＩＣを良品と不
良品に分類する分類手段とを設けたので、ＩＣ搭載用ト
レイの順番が入れ替わった場合でもこれを正しく認識す
ることができる。その結果、ＩＣの分類時に分類ミスが
生じることがなくなるという効果がある。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のＩＣが搭載されるＩＣ搭載用トレ
   イにおいて、 当該トレイを他のトレイと区別して認識するためのトレ
   イ認識記号と、 前記個々のＩＣが収納され収納場所を各別に認識するた
   めの収納場所認識記号とを備えたＩＣ搭載用トレイ。
2. 【請求項２】 複数のＩＣが搭載されるＩＣ搭載用トレ
   イにおいて、 当該トレイを他のトレイと区別して認識するためのトレ
   イ認識記号を備えたＩＣ搭載用トレイ。
3. 【請求項３】 複数のＩＣが搭載されるＩＣ搭載用トレ
   イにおいて、 前記個々のＩＣが収納される収納場所を各別に認識する
   ための収納場所認識記号を備えたＩＣ搭載用トレイ。
4. 【請求項４】 トレイに搭載された複数のＩＣをテスト
   し、該テスト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不
   良品に分類するテスト装置に含まれるハンドラー装置で
   あって、 前記トレイに請求項１のＩＣ搭載用トレイを使用し、 前記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられ
   たトレイ認識記号および収納場所認識記号を読み取る第
   １の読取り手段と、 前記第１の読取り手段により読み取られたトレイ認識記
   号および収納場所認識記号と、前記個々のＩＣのテスト
   結果とを組み合わせたペアリングデータを作成するペア
   リングデータ作成手段と、 前記ＩＣの分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられた
   トレイ認識記号および収納場所認識記号を読み取る第２
   の読取り手段と、 前記ペアリングデータに含まれるトレイ認識記号と前記
   第２の読取り手段により読み取られたトレイ認識記号と
   を比較し、両者が等しいか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段により等しいと判定された場合、前記第２
   の読取り手段により読み取られた収納場所認識記号を前
   記ペアリングデータに含まれる収納場所認識記号に照合
   させることにより、対応の前記テスト結果を抽出するテ
   スト結果抽出手段と、 前記テスト結果抽出手段により抽出されたテスト結果に
   基づいて前記複数のＩＣを良品と不良品に分類する分類
   手段とを備えたハンドラー装置。
5. 【請求項５】 トレイに搭載された複数のＩＣをテスト
   し、該テスト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不
   良品に分類するテスト装置に含まれるハンドラー装置で
   あって、 前記トレイに請求項２のＩＣ搭載用トレイを使用し、 前記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられ
   たトレイ認識記号を読み取る第１の読取り手段と、 前記第１の読取り手段により読み取られたトレイ認識記
   号と前記個々のＩＣのテスト結果とを組み合わせたペア
   リングデータを作成するペアリングデータ作成手段と、 前記ＩＣの分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられた
   トレイ認識記号を読み取る第２の読取り手段と、 前記ペアリングデータに含まれるトレイ認識記号と前記
   第２の読取り手段により読み取られたトレイ認識記号と
   を比較し、両者が等しいか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段により等しいと判断された場合、前記ペア
   リングデータに含まれるテスト結果に基づいて前記複数
   のＩＣを良品と不良品に分類する分類手段とを備えたハ
   ンドラー装置。
6. 【請求項６】 トレイに搭載された複数のＩＣをテスト
   し、該テスト結果に基づいて前記複数のＩＣを良品と不
   良品に分類するテスト装置に含まれるハンドラー装置で
   あって、 前記トレイに請求項３のＩＣ搭載用トレイを使用し、 前記ＩＣのテスト時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられ
   た収納場所認識記号を読み取る第１の読取り手段と、 前記第１の読取り手段により読み取られた収納場所認識
   記号と前記個々のＩＣのテスト結果とを組み合わせたペ
   アリングデータを作成するペアリングデータ作成手段
   と、 前記ＩＣの分類時に前記ＩＣ搭載用トレイに設けられた
   収納場所認識記号を読み取る第２の読取り手段と、 前記第２の読取り手段により読み取られた収納場所認識
   記号を前記ペアリングデータに含まれる収納場所認識記
   号に照合させることにより、対応の前記テスト結果を抽
   出するテスト結果抽出手段と、 前記テスト結果抽出手段により抽出されたテスト結果に
   基づいて前記複数のＩＣを良品と不良品に分類する分類
   手段とを備えたハンドラー装置。