JPH0511987Y2 - - Google Patents
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- JPH0511987Y2 JPH0511987Y2 JP1987172058U JP17205887U JPH0511987Y2 JP H0511987 Y2 JPH0511987 Y2 JP H0511987Y2 JP 1987172058 U JP1987172058 U JP 1987172058U JP 17205887 U JP17205887 U JP 17205887U JP H0511987 Y2 JPH0511987 Y2 JP H0511987Y2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
- F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
- F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この考案は、高速で流れる気体によつて負圧を
発生させるようにした真空発生装置に関する。
発生させるようにした真空発生装置に関する。
[従来の技術]
従来のこの種の真空発生装置としては、実開昭
62−88582号公報に記載のものがある。この真空
発生装置は、第4図に示すように、圧縮空気供給
源Aから供給される圧縮空気を負圧発生手段Bの
流路Cに流すことにより、流路Cに開口する分岐
孔D内に負圧を発生させるようにしたものであ
り、分岐孔Dと吸着パツドEとを接続する配管F
の中途部には、吸着パツドEから吸引される空気
中に含まれる塵を取り除くためのフイルタGが設
けられるとともに、何等かの事故によつて負圧が
発生しない場合、およびフイルタGの目詰まりに
よつてフイルタG以降に負圧が発生しない場合を
検知するための検知手段Hが設けられている。
62−88582号公報に記載のものがある。この真空
発生装置は、第4図に示すように、圧縮空気供給
源Aから供給される圧縮空気を負圧発生手段Bの
流路Cに流すことにより、流路Cに開口する分岐
孔D内に負圧を発生させるようにしたものであ
り、分岐孔Dと吸着パツドEとを接続する配管F
の中途部には、吸着パツドEから吸引される空気
中に含まれる塵を取り除くためのフイルタGが設
けられるとともに、何等かの事故によつて負圧が
発生しない場合、およびフイルタGの目詰まりに
よつてフイルタG以降に負圧が発生しない場合を
検知するための検知手段Hが設けられている。
[考案が解決しようとする問題点]
上記の真空発生装置においては、負圧発生手段
B、フイルタGおよび検知手段Hを互いに別個に
設置しているため、それらを接続する配管の接続
作業に多大の手間がかかるという問題があつた。
また、別個に設置しているため、それぞれにハウ
ジングが必要になるとともに、互いを接続する配
管が必要になる。このため、装置全体が大型化
し、設置箇所が制約されるという問題があつた。
B、フイルタGおよび検知手段Hを互いに別個に
設置しているため、それらを接続する配管の接続
作業に多大の手間がかかるという問題があつた。
また、別個に設置しているため、それぞれにハウ
ジングが必要になるとともに、互いを接続する配
管が必要になる。このため、装置全体が大型化
し、設置箇所が制約されるという問題があつた。
[考案の目的]
この考案は、上記問題を解決するためになされ
たもので、配管の手間を大幅に軽減することがで
き、しかも小型化をなし得る真空発生装置を提供
することを目的とする。
たもので、配管の手間を大幅に軽減することがで
き、しかも小型化をなし得る真空発生装置を提供
することを目的とする。
[考案の構成]
この考案は、上記目的を達成するために、装置
本体に、気体が流れる流路、細長いフイルタ
収納室、およびシリンダ室を、流路とフイルタ
収納室とを隣接させ、かつフイルタ収納室とシリ
ンダ室とを隣接させた状態で互いに並べて形成す
るとともに、流路とフイルタ収納室の一端部と
を連通する吸引孔、フイルタ収納室の他端部と
外部とを連通する流入孔、およびフイルタ収納
室の他端部とシリンダ室の他端部とを連通する導
通孔、をそれぞれ形成し、フイルタ収納室にフイ
ルタを装入し、シリンダ室にその一端側から他端
側へ向かつて弾性部材によつて付勢されたピスト
ンを摺動自在に設け、さらに装置本体にピストン
が弾性部材の付勢力に抗して所定位置まで移動し
たことを検知する検知手段を付設したものであ
る。
本体に、気体が流れる流路、細長いフイルタ
収納室、およびシリンダ室を、流路とフイルタ
収納室とを隣接させ、かつフイルタ収納室とシリ
ンダ室とを隣接させた状態で互いに並べて形成す
るとともに、流路とフイルタ収納室の一端部と
を連通する吸引孔、フイルタ収納室の他端部と
外部とを連通する流入孔、およびフイルタ収納
室の他端部とシリンダ室の他端部とを連通する導
通孔、をそれぞれ形成し、フイルタ収納室にフイ
ルタを装入し、シリンダ室にその一端側から他端
側へ向かつて弾性部材によつて付勢されたピスト
ンを摺動自在に設け、さらに装置本体にピストン
が弾性部材の付勢力に抗して所定位置まで移動し
たことを検知する検知手段を付設したものであ
る。
[実施例]
以下、この考案の一実施例について第1図ない
し第3図を参照して説明する。なお、第1図は第
3図の−線矢視断面図、第2図は平面図、第
3図は側面図である。
し第3図を参照して説明する。なお、第1図は第
3図の−線矢視断面図、第2図は平面図、第
3図は側面図である。
図中符号1は装置本体である。のこ装置本体1
は、上面1aおよび下面1bが正方形で、左右の
側面1c,1dおよび前後の側面1e,1fが長
方形である偏平な直方体状をなすもので、その内
部には、それぞれ左側面1c側から右側面1d側
へ向かつて延びる互いに平行な、流路2、フイル
タ収納室3およびシリンダ室4が、前側面1e側
から後側面1f側へ向かつて順次形成されてい
る。
は、上面1aおよび下面1bが正方形で、左右の
側面1c,1dおよび前後の側面1e,1fが長
方形である偏平な直方体状をなすもので、その内
部には、それぞれ左側面1c側から右側面1d側
へ向かつて延びる互いに平行な、流路2、フイル
タ収納室3およびシリンダ室4が、前側面1e側
から後側面1f側へ向かつて順次形成されてい
る。
流路2は、左側面1cから右側面1dまで貫通
しており、互いの中心線を一致させて左側面1c
から右側面1dに向かつて連設された、ノズル装
着孔部2a、このノズル装着孔部2aより小径
で、左側から右側へ向かうにしたがつて漸次小径
となるテーパ孔状の縮径孔部2b、この縮径孔部
2bの右端部と同径で、一定の直径を有する等径
孔部2c、左端部が等径孔部2cと同径で、左側
から右側へ向かうに従つて漸次拡径するテーパ孔
状の拡径孔部2d、およびこの拡径孔部2dより
大径のマフラ装着孔部2eから構成されている。
しており、互いの中心線を一致させて左側面1c
から右側面1dに向かつて連設された、ノズル装
着孔部2a、このノズル装着孔部2aより小径
で、左側から右側へ向かうにしたがつて漸次小径
となるテーパ孔状の縮径孔部2b、この縮径孔部
2bの右端部と同径で、一定の直径を有する等径
孔部2c、左端部が等径孔部2cと同径で、左側
から右側へ向かうに従つて漸次拡径するテーパ孔
状の拡径孔部2d、およびこの拡径孔部2dより
大径のマフラ装着孔部2eから構成されている。
ノズル装着孔部2aには、ノズル5が螺合固定
されている。このノズル5の先端面は、縮径孔部
2bの直前まで延びており、圧縮空気供給源(図
示せず)から供給された圧縮空気が、ノズル5か
ら噴出した後、直ちに縮径孔部2b内へ流入する
ようになつている。なお、ノズル5の先端部はノ
ズル装着孔部2aより小径になつており、ノズル
5の先端部とノズル装着孔部2aの内周面との間
には環状の隙間6が形成されている。
されている。このノズル5の先端面は、縮径孔部
2bの直前まで延びており、圧縮空気供給源(図
示せず)から供給された圧縮空気が、ノズル5か
ら噴出した後、直ちに縮径孔部2b内へ流入する
ようになつている。なお、ノズル5の先端部はノ
ズル装着孔部2aより小径になつており、ノズル
5の先端部とノズル装着孔部2aの内周面との間
には環状の隙間6が形成されている。
マフラ装着孔部2eには、マフラ7が螺合固定
されている。のこマフラ7は、底を有する筒状に
形成されたもので、多孔質の焼結金属から構成さ
れている。したがつて、流路2を通過した圧縮空
気は、マフラ7の内部を通つて外部へ流出するこ
とになり、これによつて圧縮空気が流路2から外
部へ流出する際に発する騒音を軽減するようにな
つている。なお、マフラ7の左端側の外周面に
は、マフラ7を装置本体1に螺合する際に用いら
れるセレーシヨン状の突条7aが形成されてい
る。
されている。のこマフラ7は、底を有する筒状に
形成されたもので、多孔質の焼結金属から構成さ
れている。したがつて、流路2を通過した圧縮空
気は、マフラ7の内部を通つて外部へ流出するこ
とになり、これによつて圧縮空気が流路2から外
部へ流出する際に発する騒音を軽減するようにな
つている。なお、マフラ7の左端側の外周面に
は、マフラ7を装置本体1に螺合する際に用いら
れるセレーシヨン状の突条7aが形成されてい
る。
また、上記フイルタ収納室3の左端部には、ゴ
ム製の栓8が着脱可能に挿入され、同右端部には
プラグ9が螺合固定されている。このプラグ9
は、吸着パツド等の負圧を利用する機器に接続さ
れた配管(いずれも図示せず)を接続するための
もので、その中央部には、フイルタ収納室3と外
部とを連通する貫通孔(流入孔)9aが形成され
ている。また、フイルタ収納室3の内部には、フ
イルタ10が挿入されている。このフイルタ10
は、多孔質の焼結金属あるいは繊維等からなるも
ので、栓8とプラグ10との間のフイルタ収納室
3内部全体に亙つて充填されている。
ム製の栓8が着脱可能に挿入され、同右端部には
プラグ9が螺合固定されている。このプラグ9
は、吸着パツド等の負圧を利用する機器に接続さ
れた配管(いずれも図示せず)を接続するための
もので、その中央部には、フイルタ収納室3と外
部とを連通する貫通孔(流入孔)9aが形成され
ている。また、フイルタ収納室3の内部には、フ
イルタ10が挿入されている。このフイルタ10
は、多孔質の焼結金属あるいは繊維等からなるも
ので、栓8とプラグ10との間のフイルタ収納室
3内部全体に亙つて充填されている。
さらに、シリンダ室4内の左端部には、ピスト
ン11が気密的にかつ摺動自在に設けられてい
る。このピストン11の右端面には、永久磁石1
2が埋設されるとともに、柱状をなすばね受け部
材13が突き当てられている。そして、このばね
受け部材13を介してピストン11がばね(弾性
部材)14によつて右側から左側へ向かつて付勢
されており、これによつてピストン11が装置本
体1の左端部に固定されたストツパ15に突き当
てられている。ピストン11がストツパ15に突
き当たつた状態において、永久磁石12より所定
距離右方へ離間した装置本体1の上面には、近接
スイツチ(検知手段)16が設けられている。こ
の近接スイツチ16は、ピストン11がばね14
に抗して所定距離右方へ移動したか否かを検知す
るためもので、ピストン11に追随して永久磁石
12が所定距離右方へ移動すると、永久磁石12
によつて作動せしめられる。そして、近接スイツ
チ16の作動によつてパイロツトランプ等の確認
手段(図示せず)が作動するようになつている。
ここで、所定距離とは、シリンダ室4内が所望の
負圧になつた際にピストン11がばね14に抗し
て移動する距離である。
ン11が気密的にかつ摺動自在に設けられてい
る。このピストン11の右端面には、永久磁石1
2が埋設されるとともに、柱状をなすばね受け部
材13が突き当てられている。そして、このばね
受け部材13を介してピストン11がばね(弾性
部材)14によつて右側から左側へ向かつて付勢
されており、これによつてピストン11が装置本
体1の左端部に固定されたストツパ15に突き当
てられている。ピストン11がストツパ15に突
き当たつた状態において、永久磁石12より所定
距離右方へ離間した装置本体1の上面には、近接
スイツチ(検知手段)16が設けられている。こ
の近接スイツチ16は、ピストン11がばね14
に抗して所定距離右方へ移動したか否かを検知す
るためもので、ピストン11に追随して永久磁石
12が所定距離右方へ移動すると、永久磁石12
によつて作動せしめられる。そして、近接スイツ
チ16の作動によつてパイロツトランプ等の確認
手段(図示せず)が作動するようになつている。
ここで、所定距離とは、シリンダ室4内が所望の
負圧になつた際にピストン11がばね14に抗し
て移動する距離である。
また、上記装置本体1の内部には、一端が隙間
6に臨むノズル装着孔部2aの内周面に開口し、
他端がフイルタ収納室3の左端部内周面に開口す
る吸引孔17が形成されており、この吸引孔17
によつて流路2とフイルタ収納室3とが連通せし
められている。さらに、フイルタ収納室3の右端
部とシリンダ室4の右端部との間には、それらを
連通する導通孔18が形成されている。
6に臨むノズル装着孔部2aの内周面に開口し、
他端がフイルタ収納室3の左端部内周面に開口す
る吸引孔17が形成されており、この吸引孔17
によつて流路2とフイルタ収納室3とが連通せし
められている。さらに、フイルタ収納室3の右端
部とシリンダ室4の右端部との間には、それらを
連通する導通孔18が形成されている。
なお、図中符号19は取付ボルト(図示せず)
を挿通するためのボルト挿通孔である。
を挿通するためのボルト挿通孔である。
次に、上記構成の真空発生装置の作用について
説明する。
説明する。
ノズル5に圧縮空気を供給すると、その圧縮空
気は縮径孔部2bに高速で流入する。このとき、
圧縮空気は隙間6内の空気を伴つて縮径孔部2b
内に流入する。この結果、隙間6内が負圧にな
り、隙間6に吸引孔17を介して連通したフイル
タ収納室3内が負圧になる。これにより、フイル
タ収納室3にプラグ9を介して接続された吸着パ
ツド等の機器内の空気が真空吸引される。この吸
引された空気は、フイルタ10を通過する際に除
塵され、吸引孔17を通つて隙間6内に流入し、
圧縮空気と共に等径孔部2cおよび拡径孔部2d
を通つてマフラ7から外部へ流出する。また、フ
イルタ収納室3内が負圧になるのに伴い、フイル
タ室収納3に導通孔18を介して連通されたシリ
ンダ室4内が負圧になる。すると、ピストン11
がばね14に抗して右方へ移動する。このピスト
ン11の移動に追随して永久磁石12が左右へ移
動し、近接スイツチ16が作動する。これによつ
て、パイロツトランプが点灯し、所望の負圧にな
つていることが確認される。
気は縮径孔部2bに高速で流入する。このとき、
圧縮空気は隙間6内の空気を伴つて縮径孔部2b
内に流入する。この結果、隙間6内が負圧にな
り、隙間6に吸引孔17を介して連通したフイル
タ収納室3内が負圧になる。これにより、フイル
タ収納室3にプラグ9を介して接続された吸着パ
ツド等の機器内の空気が真空吸引される。この吸
引された空気は、フイルタ10を通過する際に除
塵され、吸引孔17を通つて隙間6内に流入し、
圧縮空気と共に等径孔部2cおよび拡径孔部2d
を通つてマフラ7から外部へ流出する。また、フ
イルタ収納室3内が負圧になるのに伴い、フイル
タ室収納3に導通孔18を介して連通されたシリ
ンダ室4内が負圧になる。すると、ピストン11
がばね14に抗して右方へ移動する。このピスト
ン11の移動に追随して永久磁石12が左右へ移
動し、近接スイツチ16が作動する。これによつ
て、パイロツトランプが点灯し、所望の負圧にな
つていることが確認される。
なお、圧縮空気の流量が不足していたり、ある
いはフイルタ10が過度に目詰まりしていると、
フイルタ収納室3の右端部内が所望の負圧に達し
ない。この結果、フイルタ収納室3の右端部に連
通されたシリンダ室4内も所望の負圧に達しな
い。したがつて、ピストン11が所定の位置まで
右方へ移動せず、近接スイツチ16が作動しな
い。これによつて所望の負圧が得られていないこ
とが確認される。
いはフイルタ10が過度に目詰まりしていると、
フイルタ収納室3の右端部内が所望の負圧に達し
ない。この結果、フイルタ収納室3の右端部に連
通されたシリンダ室4内も所望の負圧に達しな
い。したがつて、ピストン11が所定の位置まで
右方へ移動せず、近接スイツチ16が作動しな
い。これによつて所望の負圧が得られていないこ
とが確認される。
ここで、上記の真空発生装置においては、負圧
発生部たる流路2と、除塵部たるフイルタ10
と、検知部たるシリンダ室4およびピストン11
を装置本体1に内蔵させるとともに、それらの各
部をそれぞれ装置本体1内部に形成した吸引孔1
7および導通孔18によつて連通させているか
ら、従来の真空発生装置のように配管を介して各
部を接続する必要がない。したがつて、配管の接
続作業に要する手間を大幅に軽減することができ
る。また、各部を装置本体1内に形成しているか
ら、それぞれに対応したハウジングを必要とせ
ず、装置本体1のみで事足りる。しかも、流路
2、フイルタ10を収納するフイルタ収納室3お
よびシリンダ室4を互いに平行に配置しているか
ら、それらの間の装置本体1内部に無用の部分が
生じるのを極力抑えることができ、それによつて
装置本体1自体の小型化を図ることができる。さ
らに、流路2とフイルタ収納室3とを隣接させ、
フイルタ収納室3とシリンダ室4とを隣接させて
いるので、吸引孔17および導通孔18の長さを
必要最小限に抑えることかでき、これによつて装
置本体1をより一層小型化することができる。し
たがつて、装置全体の小型化をなし得、設置箇所
の自由度を高めることができる。
発生部たる流路2と、除塵部たるフイルタ10
と、検知部たるシリンダ室4およびピストン11
を装置本体1に内蔵させるとともに、それらの各
部をそれぞれ装置本体1内部に形成した吸引孔1
7および導通孔18によつて連通させているか
ら、従来の真空発生装置のように配管を介して各
部を接続する必要がない。したがつて、配管の接
続作業に要する手間を大幅に軽減することができ
る。また、各部を装置本体1内に形成しているか
ら、それぞれに対応したハウジングを必要とせ
ず、装置本体1のみで事足りる。しかも、流路
2、フイルタ10を収納するフイルタ収納室3お
よびシリンダ室4を互いに平行に配置しているか
ら、それらの間の装置本体1内部に無用の部分が
生じるのを極力抑えることができ、それによつて
装置本体1自体の小型化を図ることができる。さ
らに、流路2とフイルタ収納室3とを隣接させ、
フイルタ収納室3とシリンダ室4とを隣接させて
いるので、吸引孔17および導通孔18の長さを
必要最小限に抑えることかでき、これによつて装
置本体1をより一層小型化することができる。し
たがつて、装置全体の小型化をなし得、設置箇所
の自由度を高めることができる。
さらに、フイルタ収納室3を流路2に沿つて形
成しているから、フイルタ10を長く形成するこ
とができる。そして、吸引した空気をフイルタ1
0の長手方向に流すようにしているから、装置全
体を小型化した割に除塵効果を高めることができ
る。同様に、シリンダ室4を細長く形成すること
ができ、その内部に配置するばね13の長さを長
くすることができる。したがつて、所定の負圧の
下でピストン11が移動する移動距離を長くする
ことができ、これによつて検知感度を向上させる
ことができる。
成しているから、フイルタ10を長く形成するこ
とができる。そして、吸引した空気をフイルタ1
0の長手方向に流すようにしているから、装置全
体を小型化した割に除塵効果を高めることができ
る。同様に、シリンダ室4を細長く形成すること
ができ、その内部に配置するばね13の長さを長
くすることができる。したがつて、所定の負圧の
下でピストン11が移動する移動距離を長くする
ことができ、これによつて検知感度を向上させる
ことができる。
また、この実施例においては、柱8をフイルタ
収納室3に着脱自在に装着しているから、柱8を
取り外してフイルタ10をフイルタ収納室3から
取り出すことにより、フイルタ10の洗浄または
交換を行うことができる。
収納室3に着脱自在に装着しているから、柱8を
取り外してフイルタ10をフイルタ収納室3から
取り出すことにより、フイルタ10の洗浄または
交換を行うことができる。
なお、上記の実施例においては、流路2、フイ
ルタ収納室3およびシリンダ室4を各中心線が一
平面上に位置するように配置しているが、長手方
向視において各中心線が三角形の頂点に位置する
ようにそれらを配置してもよい。また、検知手段
として、永久磁石12によつて作動する近接スイ
ツチ16を用いているが、他の検知手段、例えば
ピストン11の移動によつて作動するリミツトス
イツチ等を用いてもよい。その場合、永久磁石1
2が不用になるのは勿論である。
ルタ収納室3およびシリンダ室4を各中心線が一
平面上に位置するように配置しているが、長手方
向視において各中心線が三角形の頂点に位置する
ようにそれらを配置してもよい。また、検知手段
として、永久磁石12によつて作動する近接スイ
ツチ16を用いているが、他の検知手段、例えば
ピストン11の移動によつて作動するリミツトス
イツチ等を用いてもよい。その場合、永久磁石1
2が不用になるのは勿論である。
[考案の効果]
以上説明したように、この考案の真空発生装置
によれば、装置本体に、気体が流れる流路、
細長いフイルタ収納室、およびシリンダ室を、
流路とフイルタ収納室とを隣接させ、かつフイル
タ収納室とシリンダ室とを隣接させた状態で互い
に並べて形成するとともに、流路とフイルタ収
納室の一端部とを連通する吸引孔、フイルタ収
納室の他端部と外部とを連通する流入孔、および
フイルタ収納室の他端部とシリンダ室の他端部
とを連通する導通孔、をそれぞれ形成し、フイル
タ収納室にフイルタを装入し、シリンダ室にその
一端側から他端側へ向かつて弾性部材によつて付
勢されたピストンを摺動自在に設け、さらに装置
本体にピストンが弾性部材の付勢力に抗して所定
位置まで移動したことを検知する検知手段を付設
したものであるから、配管の手間を大幅に軽減す
ることができ、しかも装置全体の小型化を図つ
て、設置箇所の自由度を高めることができ、さら
に小型の割に除塵効果を高めることができるとと
もに、検知感度を高めることができる等の効果が
得られる。
によれば、装置本体に、気体が流れる流路、
細長いフイルタ収納室、およびシリンダ室を、
流路とフイルタ収納室とを隣接させ、かつフイル
タ収納室とシリンダ室とを隣接させた状態で互い
に並べて形成するとともに、流路とフイルタ収
納室の一端部とを連通する吸引孔、フイルタ収
納室の他端部と外部とを連通する流入孔、および
フイルタ収納室の他端部とシリンダ室の他端部
とを連通する導通孔、をそれぞれ形成し、フイル
タ収納室にフイルタを装入し、シリンダ室にその
一端側から他端側へ向かつて弾性部材によつて付
勢されたピストンを摺動自在に設け、さらに装置
本体にピストンが弾性部材の付勢力に抗して所定
位置まで移動したことを検知する検知手段を付設
したものであるから、配管の手間を大幅に軽減す
ることができ、しかも装置全体の小型化を図つ
て、設置箇所の自由度を高めることができ、さら
に小型の割に除塵効果を高めることができるとと
もに、検知感度を高めることができる等の効果が
得られる。
第1図ないし第3図はこの考案の一実施例を示
すもので、第1図は第3図の−線矢視断面
図、第2図は平面図、第3図は側面図、第4図は
従来の真空発生装置の一例の概略構成図である。 1……装置本体、2……流路、3……フイルタ
収納室、4……シリンダ室、9a……貫通孔(流
入孔)、10……フイルタ、11……ピストン、
14……ばね(弾性部材)、16……近接スイツ
チ(検知手段)、17……吸引孔、18……導通
孔。
すもので、第1図は第3図の−線矢視断面
図、第2図は平面図、第3図は側面図、第4図は
従来の真空発生装置の一例の概略構成図である。 1……装置本体、2……流路、3……フイルタ
収納室、4……シリンダ室、9a……貫通孔(流
入孔)、10……フイルタ、11……ピストン、
14……ばね(弾性部材)、16……近接スイツ
チ(検知手段)、17……吸引孔、18……導通
孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 装置本体の内部に、 気体が流れる真つ直ぐな流路、 流路に隣接し、流路と平行に延びるフイルタ
収納室、 フイルタ収納室に隣接し、流路と平行に延び
るシリンダ室、 一端が流路に連通され、他端がフイルタ収納
室の一端部に連通された吸引孔、 一端がフイルタ収納室の他端部に連通され、
他端が装置本体の外面に開口した流入孔、およ
び 一端がフイルタ収納室の他端部に連通され、
他端がシリンダ室の一端部に連通された導通孔 をそれぞれ形成し、 前記フイルタ収納室にフイルタを装入し、前記
シリンダ室の他端部に弾性部材によつてシリンダ
室の一端側から他端側へ向かつて付勢されたピス
トンを摺動自在に設け、さらにこのピストンが弾
性部材の付勢力に抗して所定位置に移動したこと
を検知する検知手段を前記装置本体に付設してな
ることを特徴とする真空発生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987172058U JPH0511987Y2 (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 | |
KR2019880018388U KR930004774Y1 (ko) | 1987-11-12 | 1988-11-10 | 진공발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987172058U JPH0511987Y2 (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0179586U JPH0179586U (ja) | 1989-05-29 |
JPH0511987Y2 true JPH0511987Y2 (ja) | 1993-03-25 |
Family
ID=15934754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987172058U Expired - Lifetime JPH0511987Y2 (ja) | 1987-11-12 | 1987-11-12 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0511987Y2 (ja) |
KR (1) | KR930004774Y1 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213734U (ja) * | 1975-07-18 | 1977-01-31 | ||
JPS5240303U (ja) * | 1975-09-16 | 1977-03-22 | ||
JPS62107991A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-19 | 松下電器産業株式会社 | 部品装着装置の装着ヘツド |
-
1987
- 1987-11-12 JP JP1987172058U patent/JPH0511987Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-11-10 KR KR2019880018388U patent/KR930004774Y1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213734U (ja) * | 1975-07-18 | 1977-01-31 | ||
JPS5240303U (ja) * | 1975-09-16 | 1977-03-22 | ||
JPS62107991A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-19 | 松下電器産業株式会社 | 部品装着装置の装着ヘツド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR890010379U (ko) | 1989-07-08 |
JPH0179586U (ja) | 1989-05-29 |
KR930004774Y1 (ko) | 1993-07-23 |
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