JPH05117839A - スパツタ用治具 - Google Patents
スパツタ用治具Info
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- JPH05117839A JPH05117839A JP28106691A JP28106691A JPH05117839A JP H05117839 A JPH05117839 A JP H05117839A JP 28106691 A JP28106691 A JP 28106691A JP 28106691 A JP28106691 A JP 28106691A JP H05117839 A JPH05117839 A JP H05117839A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】カラーパターンに傷を生じさせることなく、か
つ、透明電極層のパターンの精度を向上させる。 【構成】開口部２ａが形成された主プレート２と、内部
に多数の磁石６が設けられる副プレート５と、カラーパ
ターン１０ａ、１０ｂが形成されるガラス基板９と、カ
ラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように開口部８
ａ、８ｂが形成されるマスク８とを備え、主プレート２
と副プレート５との間にガラス基板９とマスク８を固定
する治具であって、マスク８の材質は、強磁性材料でか
つガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなる。
つ、透明電極層のパターンの精度を向上させる。 【構成】開口部２ａが形成された主プレート２と、内部
に多数の磁石６が設けられる副プレート５と、カラーパ
ターン１０ａ、１０ｂが形成されるガラス基板９と、カ
ラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように開口部８
ａ、８ｂが形成されるマスク８とを備え、主プレート２
と副プレート５との間にガラス基板９とマスク８を固定
する治具であって、マスク８の材質は、強磁性材料でか
つガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置用等のカ
ラーフィルタを製造する工程に用いられ、カラーフィル
タ上に所定形状の透明電極膜を形成するためのスパッタ
用治具に関する。
ラーフィルタを製造する工程に用いられ、カラーフィル
タ上に所定形状の透明電極膜を形成するためのスパッタ
用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルタの製造工程は、ガラス等
の透明矩形基板上に真空成膜法等を用いてクロムを成膜
した後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置
して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥
離を行いパターン状のブラック遮光層を形成し、次にブ
ラック遮光層の上から、１色目の着色用感材を塗布した
後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行い１色
目のカラーパターンを形成し、同様にして２色目以降の
カラーパターンを形成し、次に、カラーパターンの上に
保護膜層を形成し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法
により酸化インジウム錫（ＩＴＯ）を成膜した後、エッ
チング法等により電極パターン加工を行い、透明電極層
を形成する工程からなる。
の透明矩形基板上に真空成膜法等を用いてクロムを成膜
した後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置
して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥
離を行いパターン状のブラック遮光層を形成し、次にブ
ラック遮光層の上から、１色目の着色用感材を塗布した
後、フォトマスクを配置し露光した後、現像を行い１色
目のカラーパターンを形成し、同様にして２色目以降の
カラーパターンを形成し、次に、カラーパターンの上に
保護膜層を形成し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法
により酸化インジウム錫（ＩＴＯ）を成膜した後、エッ
チング法等により電極パターン加工を行い、透明電極層
を形成する工程からなる。
【０００３】前記工程のうち透明電極層を形成する方法
には、蒸着、イオンプレーティング、スパッタ等の各種
の方法があるが、カラーフィルタの透明電極の基体とな
る保護膜は合成樹脂で形成されているので、保護膜の耐
熱性の面から比較的低温での成膜が可能なスパッタ法が
広く用いられている。自動化ラインにおいては、治具内
に基板とマスクを所定位置に固定し、数１０個程度の治
具をスパッタ装置内に収納しスパッタを行っている。従
来のスパッタ用治具は、上下２枚のプレート間に、ガラ
ス製基板と、この基板のカラーパターン領域以外を覆う
ステンレス製マスクとを挟んでスプリング等の手段によ
り機械的に固定している。
には、蒸着、イオンプレーティング、スパッタ等の各種
の方法があるが、カラーフィルタの透明電極の基体とな
る保護膜は合成樹脂で形成されているので、保護膜の耐
熱性の面から比較的低温での成膜が可能なスパッタ法が
広く用いられている。自動化ラインにおいては、治具内
に基板とマスクを所定位置に固定し、数１０個程度の治
具をスパッタ装置内に収納しスパッタを行っている。従
来のスパッタ用治具は、上下２枚のプレート間に、ガラ
ス製基板と、この基板のカラーパターン領域以外を覆う
ステンレス製マスクとを挟んでスプリング等の手段によ
り機械的に固定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスパッタ用治具は、基板とマスクとをスプリング等
の手段により機械的に固定しているために、押し付け過
ぎると基板に傷が生じ、押し付け力が弱すぎると基板と
マスクとの間にうきが生じ、透明電極層が基板のカラー
パターンのエッジに回り込んでしまうという問題を有し
ている。とくに、一つの基板に複数のカラーパターンを
形成して量産化を図る方式を採用する場合には、カラー
パターンの間とマスクとを押し付けるための専用の治具
が必要になる。また、スパッタ装置内は２００℃程度の
高温になり、ガラス製基板とステンレス製マスクとの熱
膨張率が相違するため、スパッタ中に両者の間に熱歪が
生じカラーパターンに傷を付けてしまうという問題を有
している。
来のスパッタ用治具は、基板とマスクとをスプリング等
の手段により機械的に固定しているために、押し付け過
ぎると基板に傷が生じ、押し付け力が弱すぎると基板と
マスクとの間にうきが生じ、透明電極層が基板のカラー
パターンのエッジに回り込んでしまうという問題を有し
ている。とくに、一つの基板に複数のカラーパターンを
形成して量産化を図る方式を採用する場合には、カラー
パターンの間とマスクとを押し付けるための専用の治具
が必要になる。また、スパッタ装置内は２００℃程度の
高温になり、ガラス製基板とステンレス製マスクとの熱
膨張率が相違するため、スパッタ中に両者の間に熱歪が
生じカラーパターンに傷を付けてしまうという問題を有
している。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、
透明電極層のパターンの精度を向上させることができる
スパッタ用治具を提供することを目的とする。
て、カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、
透明電極層のパターンの精度を向上させることができる
スパッタ用治具を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのために本発明のスパ
ッタ用治具は、開口部２ａが形成された主プレート２
と、内部に多数の磁石６が設けられる副プレート５と、
カラーパターン１０ａ、１０ｂが形成されるガラス基板
９と、カラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように
開口部８ａ、８ｂが形成されるマスク８とを備え、主プ
レート２と副プレート５との間にガラス基板９とマスク
８を固定する治具であって、マスク８の材質は強磁性材
料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなるこ
とを特徴とする。このような合金としては、４２合金
（ニッケル４２％、鉄５８％）が挙げられる。また、副
プレートに設けられる磁石６としては、サマリウムコバ
ルト系磁石を使用することが２００℃程度の高温におい
て使用しても可逆あるいは不可逆減磁が小さく、マスク
を吸着、固定する磁力が維持できるため好ましい。
ッタ用治具は、開口部２ａが形成された主プレート２
と、内部に多数の磁石６が設けられる副プレート５と、
カラーパターン１０ａ、１０ｂが形成されるガラス基板
９と、カラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように
開口部８ａ、８ｂが形成されるマスク８とを備え、主プ
レート２と副プレート５との間にガラス基板９とマスク
８を固定する治具であって、マスク８の材質は強磁性材
料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなるこ
とを特徴とする。このような合金としては、４２合金
（ニッケル４２％、鉄５８％）が挙げられる。また、副
プレートに設けられる磁石６としては、サマリウムコバ
ルト系磁石を使用することが２００℃程度の高温におい
て使用しても可逆あるいは不可逆減磁が小さく、マスク
を吸着、固定する磁力が維持できるため好ましい。
【０００７】また、本発明をカラーパターンが複数形成
されるガラス基板９と、カラーパターンに対向するよう
に複数の開口部が形成されるマスク８に適用すればさら
に効果が大となる。さらに、ガラス基板９とマスク８と
の間にポリイミドからなるスペーサを挟着するようにす
れば、ガラス基板の傷の発生を防止できる。なお、上記
構成に付加した番号は、理解を容易にするために図面と
対比させるためのもので、これにより本発明の構成が何
ら限定されるものではない。
されるガラス基板９と、カラーパターンに対向するよう
に複数の開口部が形成されるマスク８に適用すればさら
に効果が大となる。さらに、ガラス基板９とマスク８と
の間にポリイミドからなるスペーサを挟着するようにす
れば、ガラス基板の傷の発生を防止できる。なお、上記
構成に付加した番号は、理解を容易にするために図面と
対比させるためのもので、これにより本発明の構成が何
ら限定されるものではない。
【０００８】
【作用】本発明においては、例えば図２に示すように、
スパッタ用治具１内にガラス基板９とマスク８をセット
すると、マスク８は副プレート５内の多数の磁石６によ
り引きつけられ、ガラス基板９は副プレート５およびマ
スク８間に均一な力で固定されることになる。
スパッタ用治具１内にガラス基板９とマスク８をセット
すると、マスク８は副プレート５内の多数の磁石６によ
り引きつけられ、ガラス基板９は副プレート５およびマ
スク８間に均一な力で固定されることになる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１及び図２は本発明のスパッタ用治具の１実
施例を示し、図１は斜視図、図２は治具内にガラス基板
とマスクをセットした状態を示す断面図である。
明する。図１及び図２は本発明のスパッタ用治具の１実
施例を示し、図１は斜視図、図２は治具内にガラス基板
とマスクをセットした状態を示す断面図である。
【００１０】本発明のスパッタ用治具１は、開口部２ａ
が形成された主プレート２と、主プレート２に蝶番３に
より回転自在に設けられる副プレート５からなり、副プ
レート５内には多数の磁石６が埋め込まれている。磁石
６の材質は、耐熱性に優れたＳｍ−Ｃｏ（サマリウムコ
バルト）系の磁石からなる。
が形成された主プレート２と、主プレート２に蝶番３に
より回転自在に設けられる副プレート５からなり、副プ
レート５内には多数の磁石６が埋め込まれている。磁石
６の材質は、耐熱性に優れたＳｍ−Ｃｏ（サマリウムコ
バルト）系の磁石からなる。
【００１１】主プレート２の開口部２ａの周囲には、複
数のガイドピン７が設けられ、このガイドピン７に突き
当てるように、マスク８およびガラス基板９を主プレー
ト２と副プレート５の間にセットし、副プレート５を回
転させて主プレート２に固定する構造となっている。ガ
ラス基板９には、２つのカラーパターン１０ａ、１０ｂ
が形成されていて、マスク８にはカラーパターン１０
ａ、１０ｂに対向するように開口部８ａ、８ｂが形成さ
れている。
数のガイドピン７が設けられ、このガイドピン７に突き
当てるように、マスク８およびガラス基板９を主プレー
ト２と副プレート５の間にセットし、副プレート５を回
転させて主プレート２に固定する構造となっている。ガ
ラス基板９には、２つのカラーパターン１０ａ、１０ｂ
が形成されていて、マスク８にはカラーパターン１０
ａ、１０ｂに対向するように開口部８ａ、８ｂが形成さ
れている。
【００１２】図２に示すように、スパッタ用治具１内に
ガラス基板９とマスク８をセットすると、マスク８は副
プレート５内の多数の磁石６により引きつけられ、ガラ
ス基板９は副プレート５およびマスク８間に均一な力で
固定されることになる。従って、ガラス基板９とマスク
８との間に浮きが生じることがなく、ガラス基板９のカ
ラーパターン１０ａ、１０ｂのエッジに透明電極層が回
り込んでしまうということがなくなる。とくに、本実施
例のように一つのガラス基板９に複数のカラーパターン
１０ａ、１０ｂを形成する場合には、カラーパターン１
０ａ、１０ｂの間も、マスク８が副プレート５内の磁石
６により引きつけられるため、確実にガラス基板９を固
定することができ、このための専用の治具が不要とな
る。
ガラス基板９とマスク８をセットすると、マスク８は副
プレート５内の多数の磁石６により引きつけられ、ガラ
ス基板９は副プレート５およびマスク８間に均一な力で
固定されることになる。従って、ガラス基板９とマスク
８との間に浮きが生じることがなく、ガラス基板９のカ
ラーパターン１０ａ、１０ｂのエッジに透明電極層が回
り込んでしまうということがなくなる。とくに、本実施
例のように一つのガラス基板９に複数のカラーパターン
１０ａ、１０ｂを形成する場合には、カラーパターン１
０ａ、１０ｂの間も、マスク８が副プレート５内の磁石
６により引きつけられるため、確実にガラス基板９を固
定することができ、このための専用の治具が不要とな
る。
【００１３】マスク８の材質は、４２合金（ニッケル４
２％、鉄５８％）からなり、２００℃の高温に耐える耐
熱性に優れた強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ
等しいので、スパッタ中にガラス基板９とマスク８の間
に熱歪が生じることがなく、カラーパターンに１０ａ、
１０ｂに傷を付けてしまうことがない。
２％、鉄５８％）からなり、２００℃の高温に耐える耐
熱性に優れた強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ
等しいので、スパッタ中にガラス基板９とマスク８の間
に熱歪が生じることがなく、カラーパターンに１０ａ、
１０ｂに傷を付けてしまうことがない。
【００１４】次に、本発明の他の実施例について説明す
る。本実施例においては、ガラス基板９とマスク８との
間にポリイミドからなるスペーサを挟着する。ポリイミ
ドは、２００℃の高温に耐える耐熱性材料であり、か
つ、ガスを発生することがないため、カラーパターンに
悪影響を与えることがない。本実施例によれば、ガラス
基板９がマスク８に直接接触することがないため、ガラ
ス基板９に傷を付けることがなく、従来これを防止する
ために行っていたマスク８の研磨工程を省略することが
できる。
る。本実施例においては、ガラス基板９とマスク８との
間にポリイミドからなるスペーサを挟着する。ポリイミ
ドは、２００℃の高温に耐える耐熱性材料であり、か
つ、ガスを発生することがないため、カラーパターンに
悪影響を与えることがない。本実施例によれば、ガラス
基板９がマスク８に直接接触することがないため、ガラ
ス基板９に傷を付けることがなく、従来これを防止する
ために行っていたマスク８の研磨工程を省略することが
できる。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、開口部が形成された主プレートと、内部に多数
の磁石が設けられる副プレートと、カラーパターンが形
成されるガラス基板と、前記カラーパターンに対向する
ように開口部が形成されるマスクとを備え、前記主プレ
ートと副プレートとの間に前記ガラス基板およびマスク
を固定する治具であって、マスクの材質は、強磁性材料
でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなるた
め、カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、
透明電極層のパターンの精度を向上させることができ
る。
よれば、開口部が形成された主プレートと、内部に多数
の磁石が設けられる副プレートと、カラーパターンが形
成されるガラス基板と、前記カラーパターンに対向する
ように開口部が形成されるマスクとを備え、前記主プレ
ートと副プレートとの間に前記ガラス基板およびマスク
を固定する治具であって、マスクの材質は、強磁性材料
でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなるた
め、カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、
透明電極層のパターンの精度を向上させることができ
る。
【００１６】また、磁石の材質として高温時においても
減磁が小さいサマリウムコバルト系のものを使用してい
るため、加熱として透明電極を成膜する場合でも、マス
クとガラス基板の間に浮きを生じることがなく保持する
ことができる。
減磁が小さいサマリウムコバルト系のものを使用してい
るため、加熱として透明電極を成膜する場合でも、マス
クとガラス基板の間に浮きを生じることがなく保持する
ことができる。
【図１】本発明のスパッタ用治具の１実施例を示す斜視
図
図
【図２】治具内にガラス基板とマスクをセットした状態
を示す断面図
を示す断面図
２…主プレート、２ａ…開口部、５…副プレート、６…
磁石、８…マスク ８ａ、８ｂ…開口部、９…ガラス基板、１０ａ、１０ｂ
…カラーパターン
磁石、８…マスク ８ａ、８ｂ…開口部、９…ガラス基板、１０ａ、１０ｂ
…カラーパターン
Claims (5)
- 【請求項１】開口部が形成された主プレートと、内部に
多数の磁石が設けられる副プレートと、カラーパターン
が形成されるガラス基板と、前記カラーパターンに対向
するように開口部が形成されるマスクとを備え、前記主
プレートと副プレートとの間に前記ガラス基板およびマ
スクを固定する治具であって、マスクの材質は、強磁性
材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなる
ことを特徴とするスパッタ用治具。 - 【請求項２】前記マスクの材質は４２合金であることを
特徴とする請求項１に記載のスパッタ用治具。 - 【請求項３】前記副プレートに設けられた磁石がサマリ
ウムコバルト系磁石であることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載のスパッタ用治具。 - 【請求項４】前記ガラス基板にはカラーパターンが複数
形成され、前記マスクには前記カラーパターンに対向す
るように複数の開口部が形成されることを特徴とする請
求項１ないし３のいずれかにに記載のスパッタ用治具。 - 【請求項５】前記ガラス基板とマスクとの間にポリイミ
ドからなるスペーサを挟着することを特徴とする請求項
１ないし４のいずれかに記載のスパッタ用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28106691A JP3465797B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | カラーフィルタのスパッタ用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28106691A JP3465797B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | カラーフィルタのスパッタ用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05117839A true JPH05117839A (ja) | 1993-05-14 |
| JP3465797B2 JP3465797B2 (ja) | 2003-11-10 |
Family
ID=17633841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28106691A Expired - Fee Related JP3465797B2 (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | カラーフィルタのスパッタ用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3465797B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6325902B1 (en) | 1999-11-24 | 2001-12-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Mask for sputtering |
| JP2002350888A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
| KR100497088B1 (ko) * | 2001-08-31 | 2005-06-23 | 산요덴키가부시키가이샤 | 일렉트로 루미네센스 표시 패널의 제조 방법 및 증착 마스크 |
| WO2006107151A1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-10-12 | Woowon Electronics Co., Ltd. | An apparatus for evaporating electrode of liquid lens |
| KR100692049B1 (ko) * | 2004-12-01 | 2007-03-12 | 엘지전자 주식회사 | 유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법 |
| KR102147298B1 (ko) * | 2019-03-14 | 2020-08-24 | 신동기 | 알루미늄 증착 작업용 부품 고정 지그 |
-
1991
- 1991-10-28 JP JP28106691A patent/JP3465797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6325902B1 (en) | 1999-11-24 | 2001-12-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Mask for sputtering |
| US6555233B2 (en) | 1999-11-24 | 2003-04-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Mask for sputtering |
| JP2002350888A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
| KR100497088B1 (ko) * | 2001-08-31 | 2005-06-23 | 산요덴키가부시키가이샤 | 일렉트로 루미네센스 표시 패널의 제조 방법 및 증착 마스크 |
| KR100692049B1 (ko) * | 2004-12-01 | 2007-03-12 | 엘지전자 주식회사 | 유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법 |
| WO2006107151A1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-10-12 | Woowon Electronics Co., Ltd. | An apparatus for evaporating electrode of liquid lens |
| KR100644350B1 (ko) * | 2005-03-15 | 2006-11-10 | 우원전자 주식회사 | 액체렌즈 전극 증착장치 |
| KR102147298B1 (ko) * | 2019-03-14 | 2020-08-24 | 신동기 | 알루미늄 증착 작업용 부품 고정 지그 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3465797B2 (ja) | 2003-11-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |