KR100692049B1 - 유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법 - Google Patents

유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 화질을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은 기판 상의 소정영역을 마스킹하기 위한 마스크와; 상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크와 중첩되게 위치하며 자석(magnet)을 이용하여 상기 마스크를 기판 상에 고정시키는 자기장 공급부를 포함하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 있어서, 상기 자기장 공급부는 상기 자석과 상기 기판 사이에 위치하여 상기 기판에 열을 공급하는 열공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 선Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 하나의 EL셀을 나타내는 단면도이다.
도 3은 유기 전계발광표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어 그램이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 5f는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극
8,108 : 격벽 10,110 : 유기발광층
12,112 : 캐소드 전극 150 : 자기장공급부
170 : 마스크 152 : 제1 보호판
156 : 제2 보호판 162 : 제1 도전판
164 : 제2 도전판 168 : 히터
본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 화질을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광표시소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL표시소자"라 함) 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다.
이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL 표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다.
도 1은 종래의 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 하나의 유기전계발광셀(이하 "EL셀" 이라 함)을 나타내는 단면도이고, 도 3은 유기 EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 유기발광층(10)을 사이에 두고 서로 교차되게 형성된 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12) 등을 포함하는 유기EL어레이(15)와, 유기EL어레이(15)를 패키징하기 위한 캡(28)을 구비한다.
유기EL어레이(15)의 애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(overhang) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 도 2에 도시된 바와 같이 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 포함한다.
이러한 유기EL어레이(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 유기EL어레이(15)가 형성된 기판(2)과 캡(28)이 에폭시 수지와 같은 실런트(25)를 통해 합착되는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(15)가 산소 및 수분 등으로 부터 보호된다.
캡(28)에는 유기EL어레이(15)와의 대향되는 면상에 위치하여 수분 및 산소를 흡수하는 게터(getter)(22)와, 게터(getter)(22)를 고정시키는 반투성막(24)을 구비한다. 여기서, 게터(22)는 무기산화물 즉, 수분과 반응하여 수산기(OH)를 형성하는 산화칼슘(Cao) 및 산화바륨(BaO)등이 이용되고, 반투성막(24)은 수분 및 산소 등이 드나들도록 테프론, 폴리에스테르, 종이 등의 재료가 이용된다.
이러한, 유기EL표시소자는 도 3에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로 부터 발생된 정공은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 전공의 재결합으로 엑시톤(EXITON)이 형성되고, 이러한 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지 의 빛을 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다.
한편, 유기EL표시소자의 EL셀을 수분 및 산소 등으로부터 보호하기 위한 봉지공정이 실시되더라도 소자 내의 수분 및 산소 등이 완전히 제거되지 않게 된다. 또한, 소자 구동시 소자에서 극소량의 산소, 각 어레이 형성시 극소량 잔존하는 솔벤트 등의 불순물이 발생되기도 한다. 이때, 이러한 수분, 산소 및 불순물 가스 등은 알루미늄 등으로 형성된 캐소드 전극(12)과 유기물로 형성된 유기발광층(10)의 전자주입층(10a) 사이로 침투하게 된다. 그 결과, 화상을 구현하는 경우 상기 수분, 산소 및 불순물 가스(이하 "수분 등" 이라함)가 집중된 영역이 어두워 보이는 다크 스팟(Dark Spot) 현상이 발생되는 등 화질이 저하되는 문제가 발생된다.
이는 유기물들이 증착공정에 의해 형성됨으로써 유기물 입자들간의 응집력이 약하기 때문에 다수의 수분 등이 용이하게 침투할 수 있는 것으로 파악되고 있다. 따라서, 수분 등의 침투를 방지할 수 있는 방안이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 화질을 향상시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 기판 상의 소정영역을 마스킹하기 위한 마스크와; 상기 기판을 사이에 두 고 상기 마스크와 중첩되게 위치하며 자석(magnet)을 이용하여 상기 마스크를 기판 상에 고정시키는 자기장 공급부를 포함하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 있어서, 상기 자기장 공급부는 상기 자석과 상기 기판 사이에 위치하여 상기 기판에 열을 공급하는 열공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 자기장 공급부는 상기 자석을 사이에 두고 위치하여 상기 자석을 감싸는 제1 및 제2 보호층을 구비하고, 상기 열공급부는 상기 기판과 인접영역에 위치하는 제2 보호층 내에 포함되는 것을 특징으로 한다.
상기 열공급부는 라인형태의 히터인 것을 특징으로 한다.
상기 기판에는 애노드 전극, 상기 애노드 전극 상에 유기발광층이 형성되고, 상기 열공급부에 의해 공급되는 열에 의해 상기 유기발광층이 베이킹되는 것을 특징으로 한다.
상기 열공급부에 의해 공급되는 열의 온도는 50℃~150℃ 인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 기판 상에 소정영역을 마스킹하는 마스크를 이용하여 상기 기판 상에 박막들을 형성하는 단계와; 자석을 이용하여 상기 마스크를 상기 기판에 고정시키는 자기장발생부 내에 포함된 열공급부를 이용하여 상기 기판 상에 형성된 유기발광층을 베이킹하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 박막들을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하 는 단계와; 상기 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드전극과 교차되는 캐소드전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 유기발광층을 형성하는 단계 및 상기 캐소드전극을 형성하는 단계 중 적어도 어느 하나의 단계는 상기 열공급부에 의해 공급된 열을 이용하여 상기 유기발광층을 베이킹하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기발광층을 형성하는 단계는 상기 애노드 전극 상에 정공주입층을 형성하는 단계와; 상기 정공주입층 상에 정공수송층을 형성하는 단계와; 상기 정공수송층 상에 발광층을 형성하는 단계와; 상기 발광층 상에 전자수송층을 형성하는 단계와; 상기 전자수송층 상에 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 베이킹은 상기 전자주입층을 형성한 후 실시되는 것을 특징으로 한다.
상기 베이킹은 50℃~150℃의 온도에서 실시되는 것을 특징으로 한다.
상기 절연막 상에 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 4에 도시된 유기 EL표시소자의 제조장치는 소정 박막이 형성될 기판(102) 의 일면에 위치하는 마스크(170), 상기 기판(102)을 사이에 두고 상기 마스크(170)와 반대측에 위치하는 자기장공급부(150)를 구비한다.
기판(102)에는 예를 들어, 캐소드 전극을 형성하는 경우 애노드 전극, 유기발광층 등이 형성되어 있다.
마스크(170)는 기판(102)의 일면에 정렬되게 위치하여 기판(102) 상의 원하는 영역을 노출시키는 역할을 한다.
자기장공급부(150)는 자석(154)을 사이에 두고 중첩되는 제1 및 제2 보호판(152,156)을 구비한다. 제1 및 제2 보호판(152,156)은 자석(154)을 보호하는 역할을 하고, 자석(154)은 자기장을 발생시켜 마스크(170)를 기판(102)상에 고정되게 위치할 수 있게 함으로써 기판(102)과 반대방향(도면에서는 중력방향)으로 마스크(170)가 쳐지는 것을 방지한다.
기판(102)과 자석(154) 사이에 위치하는 제2 보호판(156)내에는 라인형태의 히터(168)를 구비하는 열전도판(166)이 구비된다. 이러한, 열전도판(166)의 히터(168)가 기판(102) 상에 열을 공급함으로써 기판(102) 상에 형성된 유기발광층이 베이킹된다.
이를 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 4에 도시된 제2 보호판(156)은 라인 형태의 히터(168)가 구비된 열전도판(166), 열전도판(166)의 상부에 위치하는 제1 도전판(162) 및 열전도판(166)의 하부에 위치하는 제2 도전판(164)이 구비된다.
열전도판(166)은 전도성물질로 라인형태의 히터(168)를 지지하는 역할을 한 다. 여기서, 열전도판(166) 없이 라인 형태의 히터(168)만이 제1 도전판(162)과 제2 도전판(164) 사이에 위치할 수 도 있다.
히터(168)는 라인형태로 지그재그 또는 굴곡 형태든 다양하게 형성된다. 히터(168)의 일측은 별도의 전원부의 정극성(+) 단자와 접속되고, 히터(168)의 타측은 별도의 전원부의 부극성(-) 단자와 접속된다. 이러한, 히터(168)는 전원부로부터 발생된 전류에 의해 열이 발생된다. 이 때, 발생된 열은 제2 도전판(164)을 경유하여 기판(102)에 열을 공급하게 된다. 기판(102)에 공급되는 열은 기판(102) 상에 형성된 유기발광층을 베이킹하는 역할을 한다. 여기서, 기판(102)에 공급되는 열의 온도는 50~150℃ 이고 바람직하게는 60~100℃ 이다.
이 베이킹 공정은 유기발광층의 유기물의 입자들간의 응집력 또는 결합력을 증가시킴과 아울러 유기발광층을 경화시키는 역할을 하게 된다. 이에 따라, 유기물들의 입자들의 서로 견고히 결합되게 됨으로써 산소, 수분 등이 유기물 내부 및 표면으로의 침투를 방지할 수 있게 된다. 또한 유기물들이 견고히 경화됨으로서 이 후 형성될 캐소드전극과의 접착력이 향상되게 된다. 이에 따라, 캐소드 전극과 유기발광층의 전자주입층 사이로 산소, 수분 등의 침입이 방지됨으로써 다크 스팟 등이 일어나지 않게 된다. 그 결과, 소자의 화상구현시 화질이 향상된다. 여기서, 히터(168) 물질로는 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 인듐틴 옥사이드(ITO) 등의 도전성 금속, 또는 탄소강 등 열을 발생케 할 수 있는 금속이 이용될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 보호층(152,156), 제1 및 제2 도전층(162,164) 등은 알루미늄 등의 도전성 물질이 이용된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치는 자기장공급부(150)에 기판(102)에 열을 공급하기 위한 히터(168)를 구비함으로써 기판(102) 상에 형성된 유기발광층을 베이킹할 수 있게 된다. 이에 따라, 유기물 내의 입자들간의 응집력 또는 결합력을 증가시킴과 아울러 박막이 경화되어 캐소드 전극과 유기발광층의 전자주입층 사이로 산소, 수분 등의 침입이 방지된다. 그 결과, 다크 스팟 등의 화질저하를 방지할 수 있게 됨으로써 소자의 화상구현시 화질이 향상된다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시소자의 제조방법을 단계적으로 설명하기 의한 도면이다.
먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 기판(102) 상에 투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 5a에 도시된 바와 같이 제1 전극(또는 애노드전극)(104)이 형성된다. 여기서, 투명도전성물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다.
애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에 감광성절연물질 예를 들어, 폴리이미드 등의 물질이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 5b에 도시된 바와 같이 발광영역이 노출되도록 절연막(106)이 형성된다.
절연막(106)이 형성된 기판(102) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘 그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 5c에 도시된 바와 같이 격벽(108)이 형성된다.
격벽(108)이 형성된 기판(102) 상에 공통 마크스 및 섀도우(shadow) 마스크(미도시)를 이용하여 열증착, 진공증착 등의 방식에 의해 도 5c에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다. 여기서, 유기발광층(110)은 정공주입층(110e), 정공수송층(110d), 발광층(110c), 전자수송층(110b) 및 전자주입층(110a)을 포함한다.
이러한 유기발광층(110)내의 각각의 박막들은 다음과 같은 방식에 의해 형성된다.
즉, 격벽(108) 형성된 기판(102) 상부에 유기EL어레이를 전면 노출시키는 공통 마스크를 이용한 진공증착, 열증착 등의 방식을 이용하여 정공 주입층(110e) 및 정공 수송층(110d)이 순차적으로 증착된다.
이후, 섀도우 마크스를 이용한 진공증착, 열증착 등의 방식을 이용하여 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 발광층(110c)을 형성한다.
이어서, 정공 주입층(110e) 및 정공 수송층(110d) 형성시 이용된 공통 마스크를 다시 이용하여 전자수송층(110b) 및 전자주입층(110a)을 형성한다.
이러한, 유기발광층(110) 내의 다수의 박막들은 유기물로 형성된다.
이 후, 상기 박막들 내의 유기물 입자들간의 응집력 또는 결합력을 증가시키기 위해 도 5e에 도시된 바와 같이 베이킹(baking) 공정이 실시된다. 여기서, 베이킹 공정은 도 4에 도시된 본 발명의 제조장치를 이용한다. 즉. 유기발광층(110)이 형성된 후 전원부로부터 발생된 전류에 의해 히터(168)에 열이 발생된다. 이 때, 발생된 열은 기판(102)에 공급되고 기판(102)에 공급된 열은 기판(102) 상에 형성된 유기발광층(110)을 베이킹하게 된다. 여기서, 기판(102)에 공급되는 열의 온도는 50~150℃ 이고 바람직하게는 60~100℃ 이다.
이에 따라, 유기발광층(110) 내의 유기물 내의 입자들간의 응집력 또는 결합력이 증가되어 유기물들의 입자들의 서로 견고히 결합되게 됨으로써 산소, 수분 등이 유기물 내부 및 표면으로의 침투를 방지할 수 있게 된다. 또한 유기물들이 견고히 경화됨으로서 이 후 형성될 캐소드전극(112)과의 접착력이 향상되게 된다. 이에 따라, 캐소드 전극(112)과 유기발광층의 전자주입층(110a) 사이로 산소, 수분 등의 침입이 방지됨으로써 다크 스팟 등이 일어나지 않게 된다. 그 결과, 소자의 화상구현시 화질이 향상된다.
이후, 유기발광층(110)이 형성된 기판(102) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 5f에 도시된 바와 같이 캐소드전극(112)이 형성된다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6에 도시된 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 베이킹 공정이 캐소드 전극(112) 형성시 실시되는 것을 제외하고는 도 5a 내지 도 5f에 도시된 제조방법과 동일하다.
도 5a 내지 도 5d와 동일한 방식에 의해 유기 발광층(110)이 형성된다. 이후, 도 6에 도시된 바와 같이 캐소드 전극(112)을 형성함과 동시에 도 4에 도시된 제조장치(히터를 포함하는 자기장공급부)를 이용하여 베이킹공정을 실시한다. 이에 따라, 유기발광층(110)의 다수의 유기 박막들 내의 유기물 입자들간의 응집력 또는 결합력을 증가되게됨과 아울러 다수의 유기 박막들이 경화되게 된다. 이에 따라, 캐소드 전극(112)과 유기발광층(110)의 전자주입층(110a) 사이로 산소, 수분등의 침입이 방지됨으로써 다크 스팟 등이 일어나지 않게 된다. 여기서, 베이킹온도는 50~150℃ 이고 바람직하게는 60~100℃ 이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치 및 방법은 마스크를 기판에 고정시키기 위한 자기장공급부에 히터가 구비된다. 이 히터를 이용하여 유기발광층을 형성한 후 또는 캐소드 전극을 형성함과 동시에 유기발광층의 베이킹 공정이 실시된다. 이에 따라, 유기물들의 입자들의 서로 견고히 결합되게 됨으로써 산소, 수분 등이 유기물 내부 및 표면으로의 침투를 방지할 수 있게 된다. 또한 유기물들이 견고히 경화됨으로서 이 후 형성될 캐소드전극과의 접착력이 향상되게 된다. 이에 따라, 캐소드 전극과 유기발광층의 전자주입층 사이로 산소, 수분등의 침입이 방지됨으로써 다크 스팟 등이 일어나지 않게 된다. 그 결과, 소자의 화상구현시 화질이 향상된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (10)

  1. 기판 상의 소정영역을 마스킹하기 위한 마스크와;
    상기 기판을 사이에 두고 상기 마스크와 중첩되게 위치하며 자석(magnet)을 이용하여 상기 마스크를 기판 상에 고정시키는 자기장 공급부를 포함하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 있어서,
    상기 자기장 공급부는
    상기 자석과 상기 기판 사이에 위치하여 상기 기판에 열을 공급하는 열공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기장 공급부는
    상기 자석을 사이에 두고 위치하여 상기 자석을 감싸는 제1 및 제2 보호판을 구비하고,
    상기 열공급부는 상기 기판과 인접영역에 위치하는 제2 보호판 내에 포함되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 열공급부는 라인형태의 히터인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에는 애노드 전극, 상기 애노드 전극 상에 유기발광층이 형성되고,
    상기 열공급부에 의해 공급되는 열에 의해 상기 유기발광층이 베이킹되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 열공급부에 의해 공급되는 열의 온도는 50℃~150℃ 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치.
  6. 기판 상에 소정영역을 마스킹하는 마스크를 이용하여 상기 기판 상에 박막들을 형성하는 단계와;
    자석을 이용하여 상기 마스크를 상기 기판에 고정시키는 자기장발생부 내에 포함된 열공급부를 이용하여 상기 기판 상에 형성된 유기발광층을 베이킹하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 박막들을 형성하는 단계는
    상기 기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와;
    상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와;
    상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드전극과 교차되는 캐소드전극을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 유기발광층을 형성하는 단계 및 상기 캐소드전극을 형성하는 단계 중 적어도 어느 하나의 단계는
    상기 열공급부에 의해 공급된 열을 이용하여 상기 유기발광층을 베이킹하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 유기발광층을 형성하는 단계는
    상기 애노드 전극 상에 정공주입층을 형성하는 단계와;
    상기 정공주입층 상에 정공수송층을 형성하는 단계와;
    상기 정공수송층 상에 발광층을 형성하는 단계와;
    상기 발광층 상에 전자수송층을 형성하는 단계와;
    상기 전자수송층 상에 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 베이킹은 상기 전자주입층을 형성한 후 실시되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 베이킹은 50℃~150℃의 온도에서 실시되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연막 상에 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.
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