JP3415177B2 - スパッタ用治具 - Google Patents
スパッタ用治具Info
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- JP3415177B2 JP3415177B2 JP23921692A JP23921692A JP3415177B2 JP 3415177 B2 JP3415177 B2 JP 3415177B2 JP 23921692 A JP23921692 A JP 23921692A JP 23921692 A JP23921692 A JP 23921692A JP 3415177 B2 JP3415177 B2 JP 3415177B2
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- Japan
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- substrate
- main plate
- positioning device
- sputtering
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置用等のカ
ラーフィルタを製造する工程に用いられ、製造ラインに
おいてカラーフィルタの基板をスパッタ用のマスクに対
して位置決めするためのスパッタ用治具に関する。 【０００２】 【従来の技術】カラーフィルタの製造工程は、ガラス等
の透明矩形基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜し
た後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置し
て露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離
を行いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等
からなるブラック遮光層を形成し、次にブラック遮光層
の上から、１色目の着色用感材を塗布した後、フォトマ
スクを配置し露光した後、現像を行い１色目の着色パタ
ーンを形成し、同様にして２色目以降の着色パターンを
形成し、次に、カラーパターンの上に保護膜層を形成
し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法により酸化イン
ジウム錫（ＩＴＯ）を成膜し、透明電極層を形成する工
程からなる。 【０００３】前記工程のうち透明電極層を形成する工程
では、スパッタ法が量産化の点で有利であり、自動化ラ
インにおいては、治具内に基板とマスクを所定位置に固
定し、、数１０個程度の治具をスパッタ装置内に収納し
スパッタを行っている。従来のスパッタ用治具は、開口
部を有する主プレート上に、成膜しようとするガラス製
基板のカラーパターン領域以外を覆う金属製マスクが配
置されており、主プレートの周辺部に形成してあるガイ
ドピンに沿わせるようにしてガラス製基板を位置決め
し、さらに別のプレートを載置して、すなわち、このプ
レートと主プレートとの間に金属マスクおよびガラス基
板を挟持した状態で、両プレートをネジ等で締結する手
段により機械的に固定している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスパッタ用治具においては、人間の手で治具内の所
定位置にマスクと基板を位置決めしなければならず、作
業時間およびコストの増大を招くいう問題を有してい
る。 【０００５】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、カラーフィルタの製造工程において、治具内の所定
位置にマスクと基板を自動的に位置決め可能にし、作業
時間およびコストを低減させることができるスパッタ用
治具を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そのために本発明のスパ
ッタ用治具は、開口部２ａが形成された主プレート２
と、主プレート２上に載置され位置決めされたマスク８
とを含むスパッタ用治具において、前記主プレート２の
周囲に形成された複数のガイドピン８ｃと、ガイドピン
に対向して主プレート２に形成された基板位置決め装置
装着用穴６と、該基板位置決め装置装着用穴６に装着さ
れる基板位置決め装置１１とを有し、基板位置決め装置
１１は、主プレートに固定される筒部材１３と、該筒部
材に回転自在に支持される回転軸１４と、回転軸１４の
一端に固定され、前記基板位置決め装置装着用穴６から
主プレート２の基板９載置面側に突出する位置決めヘッ
ド１６と、前記回転軸の他端に作動アーム１８を介して
固定され、主プレート２の基板載置面とは反対側の方向
に延長される作動ピン１９と、位置決めヘッド１６を基
板９へ押し当てる方向に付勢し、かつ作動ピン１９を前
記基板位置決め装置装着用穴６から主プレート２の基板
載置面とは反対側に突出させる方向に付勢するスプリン
グ２０とを備えることを特徴とする。なお、上記構成に
付加した番号は、理解を容易にするために図面と対比さ
せるためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定
されるものではない。 【０００７】 【作用】本発明においては、製造ラインの搬送装置上の
所定位置において、基板位置決め装置装着用穴６から主
プレート２の基板載置面とは反対の方向（図示した主プ
レート２の底面）に、スプリング２０により付勢されて
突出している基板位置決め装置１１の作動ピン１９を、
図示しない外部装置により作動する押しピン２２に押し
当てることにより、図３Ａに示すように、作動ピン１９
は基板位置決め装置装着用穴６内に収納されるととも
に、回転軸１４が回転して位置決めヘッド１６が基板９
が搭載される予定位置から離れ、保持される。この状態
で、基板９が主プレート２上に位置決めされているマス
ク８上に載置される。このとき、マスク８は穴８ｃに主
プレート２に設けられたガイドピン７を通すことにより
主プレート２に対して位置決めされている。この後、押
しピン２２を作動ピン１９から離れるように移動させる
ことにより、図３Ｂに示すように、スプリング２０の付
勢力により、作動ピン１９が基板位置決め装置装着用穴
６から突出するとともに、位置決めヘッド１６は基板９
をガイドピンに当接するように押圧して、マスク８に対
して所定位置に位置決めされる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は、本発明におけるスパッタ用治具の１実
施例を示す斜視図である。 【０００９】本発明のスパッタ用治具１は、開口部２ａ
が形成された主プレート２と、前記主プレート２上に載
置され、位置決めされたマスク８と、主プレート２に蝶
番３により回転自在に設けられる副プレート５と、主プ
レート２の一側２箇所に形成された基板位置決め装置装
着用穴６と、この基板位置決め装置装着用穴６に装着さ
れる基板位置決め装置１１（図２）と、主プレート２の
開口部２ａの周囲に設けられた複数のガイドピン７とか
らなり、基板位置決め装置１１を外部装置の押しピン２
２により作動させることにより、基板９をガイドピン７
に突き当てるようにして、マスク８に対して位置決めす
る構造となっている。基板９には、例えば、２つのカラ
ーパターン１０ａ、１０ｂが形成されていて、マスク８
にはカラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように開
口部８ａ、８ｂが形成されている。 【００１０】図２は、前記基板位置決め装置装着用穴６
に装着される基板位置決め装置１１を示し、図Ａは平面
図、図Ｂは側面図である。 【００１１】位置決め装置１１は、固定板１２を有する
筒部材１３と、筒部材１３に回転自在に支持される回動
軸１４と、回動軸１４の一端に固定される位置決めアー
ム１５と、この位置決めアーム１５に固定される位置決
めヘッド１６と、回動軸１４の他端に連結ピン１７によ
り固定される作動アーム１８と、作動アーム１８の先端
部に固定される作動ピン１９と、回動軸１４の周囲に巻
かれるとともに一端が固定板１２に係止され他端が作動
アーム１８に係止されるスプリング２０とを有し、位置
決め装置１１を主プレート２の裏側から基板位置決め装
置装着用穴６に挿入し、固定板１２をボルト２１にて主
プレート２に固定している。これにより、回転軸１４と
位置決めヘッド１６および作動ピン１９は、図示Ｘ方向
に回転するように付勢される。 【００１２】上記構成からなる本発明の作用を図１、図
２および図３により説明する。図３は本発明の作用を説
明するための概略図を示し、図３Ａは基板９が主プレー
ト２上に設置されたマスク８の上に載置された状態を示
し、図３Ｂは基板９がマスク８に対して位置決めされた
状態を示す。 【００１３】製造ラインの搬送装置上の所定位置にはス
パッタ用治具１が配置され、スパッタ用治具１の主プレ
ート２上には、マスク８が主プレート２に設けられたガ
イドピン７をマスク８に設けられた穴８ｃに通すことに
よって位置決めされてセットされている。副プレート５
は、主プレート２との間にマスク８と基板９を挟持する
ための部材であり、開かれた状態で待機している。この
とき、基板位置決め装置１１の作動ピン１９は、図示し
ない外部装置の押しピン２２によりスプリング２０に抗
して押されており、図３Ａに示すように、作動ピン１９
は基板位置決め装置装着用穴穴６内に収納されるととも
に、位置決めヘッド１６が基板９の搭載予定位置から離
れて傾斜状態に保持される。この状態で、図示しないロ
ボットの把持装置により、基板９がマスク８上に載置さ
れる。 【００１４】次に、図３Ｂに示すように、押しピン２２
を作動ピン１９より解除すると、スプリング２０の付勢
力により、作動ピン１９は主プレート２の底面から突出
し、位置決めヘッド１６は基板９をガイドピンに当接す
るように押して、基板９は所定位置に位置決めされる。 【００１５】副プレート５を閉じて、基板９がマスク８
に密着するように保持したスパッタ用治具１は、スパッ
タ装置内に搬送され、基板９のカラーパターン１０ａ、
１０ｂの表面に透明電極層が形成される。スパッタが終
了するとスパッタ装置から搬出され所定の位置に置かれ
る。次いで、副プレート５を開き、外部装置の押しピン
２２を押し当てると、再び図３Ａに示すように、位置決
めヘッド１６が基板９から離れる方向に移動し、この状
態で、ロボットの把持装置により基板９を取り出し、次
の工程に搬送させる。 【００１６】 【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、開口部が形成された主プレートと、前記主プレ
ート上に載置され位置決めされたマスクとを含むスパッ
タ用治具において、前記主プレートに形成された基板位
置決め装置装着用穴と、該基板位置決め装置装着用穴に
装着される基板位置決め装置とを有し、前記基板位置決
め装置は、回転軸の一端に固定され、前記基板位置決め
装置装着用穴から主プレートの基板載置面側に突出する
位置決めヘッドと、前記回転軸の他端に作動アームを介
して固定され、主プレートの基板載置面とは反対側の方
向に延長される作動ピンと、前記位置決めヘッドを基板
へ押し当てる方向に付勢し、かつ前記作動ピンを前記基
板位置決め装置装着用穴から主プレートの基板載置面と
は反対側に突出させる方向に付勢するスプリングとを備
えるように構成したため、カラーフィルタの製造工程に
おいて、治具内の所定位置に基板を自動的に位置決め可
能にし、作業時間およびコストを低減させることができ
る。
ラーフィルタを製造する工程に用いられ、製造ラインに
おいてカラーフィルタの基板をスパッタ用のマスクに対
して位置決めするためのスパッタ用治具に関する。 【０００２】 【従来の技術】カラーフィルタの製造工程は、ガラス等
の透明矩形基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜し
た後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置し
て露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離
を行いストライプ状パターンあるいは格子状パターン等
からなるブラック遮光層を形成し、次にブラック遮光層
の上から、１色目の着色用感材を塗布した後、フォトマ
スクを配置し露光した後、現像を行い１色目の着色パタ
ーンを形成し、同様にして２色目以降の着色パターンを
形成し、次に、カラーパターンの上に保護膜層を形成
し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法により酸化イン
ジウム錫（ＩＴＯ）を成膜し、透明電極層を形成する工
程からなる。 【０００３】前記工程のうち透明電極層を形成する工程
では、スパッタ法が量産化の点で有利であり、自動化ラ
インにおいては、治具内に基板とマスクを所定位置に固
定し、、数１０個程度の治具をスパッタ装置内に収納し
スパッタを行っている。従来のスパッタ用治具は、開口
部を有する主プレート上に、成膜しようとするガラス製
基板のカラーパターン領域以外を覆う金属製マスクが配
置されており、主プレートの周辺部に形成してあるガイ
ドピンに沿わせるようにしてガラス製基板を位置決め
し、さらに別のプレートを載置して、すなわち、このプ
レートと主プレートとの間に金属マスクおよびガラス基
板を挟持した状態で、両プレートをネジ等で締結する手
段により機械的に固定している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスパッタ用治具においては、人間の手で治具内の所
定位置にマスクと基板を位置決めしなければならず、作
業時間およびコストの増大を招くいう問題を有してい
る。 【０００５】本発明は、上記問題を解決するものであっ
て、カラーフィルタの製造工程において、治具内の所定
位置にマスクと基板を自動的に位置決め可能にし、作業
時間およびコストを低減させることができるスパッタ用
治具を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】そのために本発明のスパ
ッタ用治具は、開口部２ａが形成された主プレート２
と、主プレート２上に載置され位置決めされたマスク８
とを含むスパッタ用治具において、前記主プレート２の
周囲に形成された複数のガイドピン８ｃと、ガイドピン
に対向して主プレート２に形成された基板位置決め装置
装着用穴６と、該基板位置決め装置装着用穴６に装着さ
れる基板位置決め装置１１とを有し、基板位置決め装置
１１は、主プレートに固定される筒部材１３と、該筒部
材に回転自在に支持される回転軸１４と、回転軸１４の
一端に固定され、前記基板位置決め装置装着用穴６から
主プレート２の基板９載置面側に突出する位置決めヘッ
ド１６と、前記回転軸の他端に作動アーム１８を介して
固定され、主プレート２の基板載置面とは反対側の方向
に延長される作動ピン１９と、位置決めヘッド１６を基
板９へ押し当てる方向に付勢し、かつ作動ピン１９を前
記基板位置決め装置装着用穴６から主プレート２の基板
載置面とは反対側に突出させる方向に付勢するスプリン
グ２０とを備えることを特徴とする。なお、上記構成に
付加した番号は、理解を容易にするために図面と対比さ
せるためのもので、これにより本発明の構成が何ら限定
されるものではない。 【０００７】 【作用】本発明においては、製造ラインの搬送装置上の
所定位置において、基板位置決め装置装着用穴６から主
プレート２の基板載置面とは反対の方向（図示した主プ
レート２の底面）に、スプリング２０により付勢されて
突出している基板位置決め装置１１の作動ピン１９を、
図示しない外部装置により作動する押しピン２２に押し
当てることにより、図３Ａに示すように、作動ピン１９
は基板位置決め装置装着用穴６内に収納されるととも
に、回転軸１４が回転して位置決めヘッド１６が基板９
が搭載される予定位置から離れ、保持される。この状態
で、基板９が主プレート２上に位置決めされているマス
ク８上に載置される。このとき、マスク８は穴８ｃに主
プレート２に設けられたガイドピン７を通すことにより
主プレート２に対して位置決めされている。この後、押
しピン２２を作動ピン１９から離れるように移動させる
ことにより、図３Ｂに示すように、スプリング２０の付
勢力により、作動ピン１９が基板位置決め装置装着用穴
６から突出するとともに、位置決めヘッド１６は基板９
をガイドピンに当接するように押圧して、マスク８に対
して所定位置に位置決めされる。 【０００８】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は、本発明におけるスパッタ用治具の１実
施例を示す斜視図である。 【０００９】本発明のスパッタ用治具１は、開口部２ａ
が形成された主プレート２と、前記主プレート２上に載
置され、位置決めされたマスク８と、主プレート２に蝶
番３により回転自在に設けられる副プレート５と、主プ
レート２の一側２箇所に形成された基板位置決め装置装
着用穴６と、この基板位置決め装置装着用穴６に装着さ
れる基板位置決め装置１１（図２）と、主プレート２の
開口部２ａの周囲に設けられた複数のガイドピン７とか
らなり、基板位置決め装置１１を外部装置の押しピン２
２により作動させることにより、基板９をガイドピン７
に突き当てるようにして、マスク８に対して位置決めす
る構造となっている。基板９には、例えば、２つのカラ
ーパターン１０ａ、１０ｂが形成されていて、マスク８
にはカラーパターン１０ａ、１０ｂに対向するように開
口部８ａ、８ｂが形成されている。 【００１０】図２は、前記基板位置決め装置装着用穴６
に装着される基板位置決め装置１１を示し、図Ａは平面
図、図Ｂは側面図である。 【００１１】位置決め装置１１は、固定板１２を有する
筒部材１３と、筒部材１３に回転自在に支持される回動
軸１４と、回動軸１４の一端に固定される位置決めアー
ム１５と、この位置決めアーム１５に固定される位置決
めヘッド１６と、回動軸１４の他端に連結ピン１７によ
り固定される作動アーム１８と、作動アーム１８の先端
部に固定される作動ピン１９と、回動軸１４の周囲に巻
かれるとともに一端が固定板１２に係止され他端が作動
アーム１８に係止されるスプリング２０とを有し、位置
決め装置１１を主プレート２の裏側から基板位置決め装
置装着用穴６に挿入し、固定板１２をボルト２１にて主
プレート２に固定している。これにより、回転軸１４と
位置決めヘッド１６および作動ピン１９は、図示Ｘ方向
に回転するように付勢される。 【００１２】上記構成からなる本発明の作用を図１、図
２および図３により説明する。図３は本発明の作用を説
明するための概略図を示し、図３Ａは基板９が主プレー
ト２上に設置されたマスク８の上に載置された状態を示
し、図３Ｂは基板９がマスク８に対して位置決めされた
状態を示す。 【００１３】製造ラインの搬送装置上の所定位置にはス
パッタ用治具１が配置され、スパッタ用治具１の主プレ
ート２上には、マスク８が主プレート２に設けられたガ
イドピン７をマスク８に設けられた穴８ｃに通すことに
よって位置決めされてセットされている。副プレート５
は、主プレート２との間にマスク８と基板９を挟持する
ための部材であり、開かれた状態で待機している。この
とき、基板位置決め装置１１の作動ピン１９は、図示し
ない外部装置の押しピン２２によりスプリング２０に抗
して押されており、図３Ａに示すように、作動ピン１９
は基板位置決め装置装着用穴穴６内に収納されるととも
に、位置決めヘッド１６が基板９の搭載予定位置から離
れて傾斜状態に保持される。この状態で、図示しないロ
ボットの把持装置により、基板９がマスク８上に載置さ
れる。 【００１４】次に、図３Ｂに示すように、押しピン２２
を作動ピン１９より解除すると、スプリング２０の付勢
力により、作動ピン１９は主プレート２の底面から突出
し、位置決めヘッド１６は基板９をガイドピンに当接す
るように押して、基板９は所定位置に位置決めされる。 【００１５】副プレート５を閉じて、基板９がマスク８
に密着するように保持したスパッタ用治具１は、スパッ
タ装置内に搬送され、基板９のカラーパターン１０ａ、
１０ｂの表面に透明電極層が形成される。スパッタが終
了するとスパッタ装置から搬出され所定の位置に置かれ
る。次いで、副プレート５を開き、外部装置の押しピン
２２を押し当てると、再び図３Ａに示すように、位置決
めヘッド１６が基板９から離れる方向に移動し、この状
態で、ロボットの把持装置により基板９を取り出し、次
の工程に搬送させる。 【００１６】 【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、開口部が形成された主プレートと、前記主プレ
ート上に載置され位置決めされたマスクとを含むスパッ
タ用治具において、前記主プレートに形成された基板位
置決め装置装着用穴と、該基板位置決め装置装着用穴に
装着される基板位置決め装置とを有し、前記基板位置決
め装置は、回転軸の一端に固定され、前記基板位置決め
装置装着用穴から主プレートの基板載置面側に突出する
位置決めヘッドと、前記回転軸の他端に作動アームを介
して固定され、主プレートの基板載置面とは反対側の方
向に延長される作動ピンと、前記位置決めヘッドを基板
へ押し当てる方向に付勢し、かつ前記作動ピンを前記基
板位置決め装置装着用穴から主プレートの基板載置面と
は反対側に突出させる方向に付勢するスプリングとを備
えるように構成したため、カラーフィルタの製造工程に
おいて、治具内の所定位置に基板を自動的に位置決め可
能にし、作業時間およびコストを低減させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明におけるスパッタ用治具の１実施例を示
す斜視図である。 【図２】本発明に係わる位置決め装置を示し、図Ａは平
面図、図Ｂは側面図である。 【図３】図３は本発明の作用を説明するための概略図を
示し、図Ａは基板が主プレート上に載置された状態を示
す図、図Ｂは基板が主プレート上に位置決めされた状態
を示す図である。 【符号の説明】 １…スパッタ用治具、２…主プレート、２ａ…開口部、
５…副プレート ６…基板位置決め装置装着用穴、７…ガイドピン、８…
マスク、９…基板 １１…基板位置決め装置、１２…固定板、１３…筒部
材、１４…回転軸 １５…位置決めアーム、１６…位置決めヘッド、１７…
連結ピン １８…作動アーム、１９…作動ピン、２０…スプリン
グ、２２…押しピン
す斜視図である。 【図２】本発明に係わる位置決め装置を示し、図Ａは平
面図、図Ｂは側面図である。 【図３】図３は本発明の作用を説明するための概略図を
示し、図Ａは基板が主プレート上に載置された状態を示
す図、図Ｂは基板が主プレート上に位置決めされた状態
を示す図である。 【符号の説明】 １…スパッタ用治具、２…主プレート、２ａ…開口部、
５…副プレート ６…基板位置決め装置装着用穴、７…ガイドピン、８…
マスク、９…基板 １１…基板位置決め装置、１２…固定板、１３…筒部
材、１４…回転軸 １５…位置決めアーム、１６…位置決めヘッド、１７…
連結ピン １８…作動アーム、１９…作動ピン、２０…スプリン
グ、２２…押しピン
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭55−133592（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−188889（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−311554（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−24317（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−14411（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−117297（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭41−21007（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 14/00 - 14/58
H05K 3/14
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】開口部が形成された主プレートと、前記主
プレート上に載置され位置決めされたマスクとを含むス
パッタ用治具において、前記主プレートの周囲に形成さ
れた複数のガイドピンと、ガイドピンに対向して前記主
プレートに形成された基板位置決め装置装着用穴と、該
基板位置決め装置装着用穴に装着される基板位置決め装
置とを有し、前記基板位置決め装置は、主プレートに固
定される筒部材と、該筒部材に回転自在に支持される回
転軸と、該回転軸の一端に固定され、前記基板位置決め
装置装着用穴から主プレートの基板載置面側に突出する
位置決めヘッドと、前記回転軸の他端に作動アームを介
して固定され、主プレートの基板載置面とは反対側の方
向に延長される作動ピンと、前記位置決めヘッドを基板
へ押し当てる方向に付勢し、かつ前記作動ピンを前記基
板位置決め装置装着用穴から主プレートの基板載置面と
は反対側に突出させる方向に付勢するスプリングとを備
えることを特徴とするスパッタ用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23921692A JP3415177B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | スパッタ用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23921692A JP3415177B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | スパッタ用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688205A JPH0688205A (ja) | 1994-03-29 |
| JP3415177B2 true JP3415177B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=17041476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23921692A Expired - Lifetime JP3415177B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | スパッタ用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3415177B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103342042B (zh) * | 2013-07-12 | 2015-02-04 | 新乡市天光科技有限公司 | 显示屏丝网印刷定位夹具 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP23921692A patent/JP3415177B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0688205A (ja) | 1994-03-29 |
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