JP3982720B2

JP3982720B2 - フォトマスク

Info

Publication number: JP3982720B2
Application number: JP23978897A
Authority: JP
Inventors: 三郎原田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-09-04
Filing date: 1997-09-04
Publication date: 2007-09-26
Anticipated expiration: 2017-09-04
Also published as: JPH1184629A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー液晶ディスプレイに用いるカラーフィルタの技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタの製造工程は、ガラス基板上に真空成膜法を用いてクロムを成膜する工程と、フォトレジストを塗布しフォトマスクを配置して露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離を行いストライプ状パターン等からなるブラックマトリックスを形成する工程と、ブラックマトリックスの上から着色用感材を塗布した後、フォトマスクを配置し露光し現像を行い着色パターンを形成し、この着色パターンをＲ、Ｇ、Ｂ３色について繰り返して着色層を形成する工程と、この着色層の上にオーバーコート層を形成する工程と、酸化インジウム錫を成膜し透明導電層（ＩＴＯ）を形成する工程とからなる。
【０００３】
前記オーバーコート層は、膜面保護のため或は不純物溶出防止のためのもので、オーバーコート材としては、熱硬化タイプと紫外線硬化タイプの２種類が主に使用されている。紫外線硬化タイプはフォトリソができる材料で一般的には短波長域に感度をもつ材料が多く、そのため、通常、そのパターニングには石英ガラスマスクが使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、石英ガラスマスクは高価であり、また、マスク上のゴミ、パーティクルがそのまま転写されてしまうという問題を有し、この対策として一般には微細なパターニングを必要としないため、メタルマスクを用いたプロセスが採用されている。しかし、メタルマスクにはアライメントマークがないため、パターニングの位置精度の管理が困難であるという欠点を有し、また、メタルマスクは切削加工で作成するため、微細加工ができないという欠点を有している。
【０００５】
特に、一枚の基板に複数のカラーフィルタを成膜した後、個々のカラーフィルタを切断する量産方式においては、切断線部にオーバーコート層が存在すると切断がしにくいので、切断線部にオーバーコート層を成膜させないために、０．５ｍｍ程度の線幅のパターニングの要求があり、通常は石英ガラスマスクにより対応している。
【０００６】
この要求は、オーバーコート層を除去する線幅が０．５ｍｍを越えると、オーバーコート層形成工程の後で行われる工程、例えば配向膜のラビング工程において、ブラックマトリックス形成工程または着色層形成工程で生じた汚染物質（例えば、着色感材による地汚れ、残査等）を巻き込んで、カラーフィルタを汚染してしまう恐れがあるためである。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、オーバーコート層パターニング用のメタルマスクにおいて、パターニングの位置精度を向上させるとともに、切断線部に微細なパターニングを可能にしたフォトマスクを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の請求項１記載のフォトマスクは、複数面の着色層の上に成膜されたオーバーコート層７を有するカラーフィルタ基板６のオーバーコート層７をパターニングするためのフォトマスク１であって、前記フォトマスク１は、開口部２ｃを有するメタル製の枠部材２と、前記開口部２ｃを格子状に区画するように取り付けられたメタル製の梁部材３、４とを備え、前記梁部材３、４の底面を枠部材２の底面より若干浮かせて配置し、前記メタル製の梁部材３、４の幅がオーバーコート層７の切断線の部分となる除去部６ａの幅に相当するようにし、前記メタル製の枠部材２に形成した開口２ｂにアライメントマーク５ｂを取り付けることを特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定されるものではない。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明のフォトマスクの１実施形態を示す模式図であり、図１（Ａ）はフォトマスクの平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図、図１（Ｄ）は図１（Ａ）のＤ−Ｄ線に沿う拡大断面図である。
【００１０】
本発明のフォトマスク１は、開口部２ｃを有する枠部材２と、開口部２ｃを格子状に区画するように取り付けられた梁部材３、４とから構成され、枠部材２の２辺にアライメントマーク５が設けられている。なお、本実施形態は、１枚の基板に４面のカラーフィルタを成膜する例で２本の梁部材３、４を取り付けているが、２面付け、６面付け等、カラーフィルタの面付数に応じて梁部材の本数が決定される。
【００１１】
枠部材２は、厚さが５ｍｍ程度のアルミ製で切削加工により製造され、枠部材２の内側には梁取付用溝２ａが形成されている。梁部材３、４は厚さが１ｍｍ程度のステンレス製で、前記梁取付用溝２ａに挿入され接着剤又はネジで固定される。また、梁部材３、４の交叉部は切欠により相互に結合されている。梁部材３、４の底面は、枠部材２と面一になるようにしてもよいし、図１（Ｂ）に示すように、枠部材２の底面より距離ｈだけ若干浮かすようにしてもよい。距離ｈとしては、０．３〜１．０ｍｍが好ましい。
【００１２】
アライメントマーク５は、図１（Ｄ）及び図１（Ｅ）に示すように、ガラス５ａの表面にクロム膜からなるマーク５ｂを成膜したものを、枠部材２の開口２ｂ内に挿入し固定するようにしている。
【００１３】
図２は、カラーフィルタの製造方法の実施例を説明するための図である。図２（Ａ）において、カラーフィルタ基板６には複数面の着色層が形成されており、図２（Ｂ）に示すように、この基板６上に紫外線硬化型オーバーコート層７を３μｍの厚さで塗布した。次いで、図２（Ｃ）に示すように、露光機９に対してフォトマスク１を、露光機側ターゲット９ａとフォトマスク側アライメントマーク５を利用して固定した。フォトマスク１の梁部材３、４の幅は１ｍｍとした。次いで、露光機９に対して図２（Ｂ）で作成した基板６をアライメントし露光した後、基板６を現像、リンス、乾燥し、図２（Ｄ）に示すように除去部６ａの幅Ｌが０．５ｍｍのカラーフィルタを得た。
【００１４】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、梁部材としてプレート状のものを用いているがワイヤーを用いてもよい。
【００１５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように請求項１記載の発明によれば、オーバーコート層パターニング用のメタルマスクにおいて、メタルマスクにアライメントマークを設けることによりパターニングの位置精度を向上させるとともに、枠部材の開口部に梁部材を設けることにより、オーバーコート層の除去部を梁部材の幅に相当するように形成する微細なパターニングを行うことができ、オーバーコート層の除去部を梁部材の幅に相当するように形成する微細なパターニングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスクの１実施形態を示す模式図であり、図１（Ａ）はフォトマスクの平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図、図１（Ｄ）は図１（Ａ）のＤ−Ｄ線に沿う拡大断面図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの製造方法の実施例を説明するための図である。
【符号の説明】
１…フォトマスク
２…枠部材、２ｂ…開口、２ｃ…開口部
３、４…梁部材
５…アライメントマーク
６…カラーフィルタ基板、６ａ…除去部
７…オーバーコート層

Claims

複数面の着色層の上に成膜されたオーバーコート層（７）を有するカラーフィルタ基板（６）のオーバーコート層（７）をパターニングするためのフォトマスク（１）であって、前記フォトマスク（１）は、開口部（２ｃ）を有するメタル製の枠部材（２）と、前記開口部（２ｃ）を格子状に区画するように取り付けられたメタル製の梁部材（３、４）とを備え、前記梁部材（３、４）の底面を枠部材（２）の底面より若干浮かせて配置し、前記メタル製の梁部材（３、４）の幅がオーバーコート層（７）の切断線の部分となる除去部（６ａ）の幅に相当するようにし、前記メタル製の枠部材（２）に形成した開口（２ｂ）にアライメントマーク（５ｂ）を取り付けることを特徴とするフォトマスク。