JPH05106022A - 耐摩耗性硬質被膜の製造方法 - Google Patents
耐摩耗性硬質被膜の製造方法Info
- Publication number
- JPH05106022A JPH05106022A JP29500791A JP29500791A JPH05106022A JP H05106022 A JPH05106022 A JP H05106022A JP 29500791 A JP29500791 A JP 29500791A JP 29500791 A JP29500791 A JP 29500791A JP H05106022 A JPH05106022 A JP H05106022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- alloy
- film
- resistant hard
- metallic material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐摩耗性硬質被膜の製造方法を得る。
【構成】 蒸着する際、合金Ｔｉa Ａｌb で原子濃度が
０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満たすターゲットを使用
する。
０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満たすターゲットを使用
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐摩耗性を向上させた
耐摩耗性硬質被膜の製造方法に関する。
耐摩耗性硬質被膜の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】工具や金型などの金属材料の表面に耐摩
耗性を向上させるためにイオンプレーティング法などに
よりＴｉＮを被覆することは知られている。また、Ｔｉ
ＡｌＮ膜はＴｉＮよりも耐酸化性に優れていることから
摺動摩耗時に発生する熱による劣化に対して優れてお
り、その結果、耐摩耗性に優れていることが見出されて
いる。
耗性を向上させるためにイオンプレーティング法などに
よりＴｉＮを被覆することは知られている。また、Ｔｉ
ＡｌＮ膜はＴｉＮよりも耐酸化性に優れていることから
摺動摩耗時に発生する熱による劣化に対して優れてお
り、その結果、耐摩耗性に優れていることが見出されて
いる。
【０００３】ＴｉＡｌＮ膜の製膜には物理蒸着法が用い
られる。物理蒸着法でＴｉＡｌＮを製膜するときに用い
られるＴｉ及びＡｌの蒸着の方法には次の３つがある。
第１には、ＴｉとＡｌを別々に蒸発させる。第２には、
目的組成の合金粉を作製し、これを焼結することによっ
て蒸発材として使用する。第３には、Ｔｉ粉とＡｌ粉を
ＴｉとＡｌが反応する温度以下で加熱しながら鍛造して
蒸発材として使用する。抵抗加熱、電子銃加熱などによ
り蒸発源を溶融して蒸発させる方法には、前述した第１
の方法が用いられ、ターゲットを用いてアーク放電やス
パッタにより蒸発させるものは前述の第２、第３の方法
が用いられる。
られる。物理蒸着法でＴｉＡｌＮを製膜するときに用い
られるＴｉ及びＡｌの蒸着の方法には次の３つがある。
第１には、ＴｉとＡｌを別々に蒸発させる。第２には、
目的組成の合金粉を作製し、これを焼結することによっ
て蒸発材として使用する。第３には、Ｔｉ粉とＡｌ粉を
ＴｉとＡｌが反応する温度以下で加熱しながら鍛造して
蒸発材として使用する。抵抗加熱、電子銃加熱などによ
り蒸発源を溶融して蒸発させる方法には、前述した第１
の方法が用いられ、ターゲットを用いてアーク放電やス
パッタにより蒸発させるものは前述の第２、第３の方法
が用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｔｉと
Ａｌを別々に蒸発させる方法では、広い領域でＴｉとＡ
ｌを目的の組成にし難く、組成のずれが生じ易い。ま
た、Ｔｉ粉とＡｌ粉を鍛造して加工したターゲットはＴ
ｉ相とＡｌ相が別々に存在する組織になっているため、
このターゲットを用いてＴｉＡｌＮを製膜すると融点の
低いＡｌが選択的に蒸発し、被膜中に未反応Ａｌが含有
されてしまうと同時に、表面が荒れて、，摩擦係数が大
きくなり耐摩耗性が低下してしまう。ＴｉとＡｌの合金
粉を焼結することにより作製したターゲットはＴｉとＡ
ｌの合金組織となっているため、Ａｌが選択的に蒸発す
ることはないが、Ｔｉ、Ａｌとも酸化され易いため、合
金粉の表面はかなり酸化されており、この粉を用いて焼
結したＴｉＡｌターゲットも多くの酸素を含んでいる。
したがって、このターゲットを用いて製膜すると被膜中
にも酸素が取り込まれてしまい、被膜の機械的特性は低
下してしまう。このように、これら従来のＴｉとＡｌの
蒸発のさせ方では満足のいく性能は得られないでいた。
Ａｌを別々に蒸発させる方法では、広い領域でＴｉとＡ
ｌを目的の組成にし難く、組成のずれが生じ易い。ま
た、Ｔｉ粉とＡｌ粉を鍛造して加工したターゲットはＴ
ｉ相とＡｌ相が別々に存在する組織になっているため、
このターゲットを用いてＴｉＡｌＮを製膜すると融点の
低いＡｌが選択的に蒸発し、被膜中に未反応Ａｌが含有
されてしまうと同時に、表面が荒れて、，摩擦係数が大
きくなり耐摩耗性が低下してしまう。ＴｉとＡｌの合金
粉を焼結することにより作製したターゲットはＴｉとＡ
ｌの合金組織となっているため、Ａｌが選択的に蒸発す
ることはないが、Ｔｉ、Ａｌとも酸化され易いため、合
金粉の表面はかなり酸化されており、この粉を用いて焼
結したＴｉＡｌターゲットも多くの酸素を含んでいる。
したがって、このターゲットを用いて製膜すると被膜中
にも酸素が取り込まれてしまい、被膜の機械的特性は低
下してしまう。このように、これら従来のＴｉとＡｌの
蒸発のさせ方では満足のいく性能は得られないでいた。
【０００５】したがって、本発明の目的は、上記問題を
解決するために被膜の密着強度などの機械的強度を向上
させた耐摩耗性硬質被膜の製造方法を提供することにあ
る。
解決するために被膜の密着強度などの機械的強度を向上
させた耐摩耗性硬質被膜の製造方法を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ＡｌがＴｉＮ中に固溶している化合物
で、Ｔｉの原子濃度をｘとし、Ａｌの原子濃度をｙとす
ると、ｙが０．６以下でかつｘ＋ｙ＝１を満たす耐摩耗
性硬質被膜ＴｉX ＡｌY Ｎを金属材料上に被覆すること
によって、金属材料上に耐摩耗性硬質被膜を製造する方
法において、Ａｌの原子濃度をｂとし、Ｔｉの原子濃度
をａとすると、ｂが０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満た
す合金Ｔｉa Ａｌb をＴｉ及びＡｌまたはこれらの合金
を溶解して作製し、該合金Ｔｉa Ａｌb を蒸着する際の
ターゲットとして使用することを特徴とする耐摩耗性硬
質被膜の製造方法を採用するものである。
に、本発明は、ＡｌがＴｉＮ中に固溶している化合物
で、Ｔｉの原子濃度をｘとし、Ａｌの原子濃度をｙとす
ると、ｙが０．６以下でかつｘ＋ｙ＝１を満たす耐摩耗
性硬質被膜ＴｉX ＡｌY Ｎを金属材料上に被覆すること
によって、金属材料上に耐摩耗性硬質被膜を製造する方
法において、Ａｌの原子濃度をｂとし、Ｔｉの原子濃度
をａとすると、ｂが０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満た
す合金Ｔｉa Ａｌb をＴｉ及びＡｌまたはこれらの合金
を溶解して作製し、該合金Ｔｉa Ａｌb を蒸着する際の
ターゲットとして使用することを特徴とする耐摩耗性硬
質被膜の製造方法を採用するものである。
【０００７】
【作用】ＴｉとＡｌの合金は金属間化合物を作るため極
めて硬く、難加工性の合金である。そのため、ＴｉＡｌ
Ｎ製膜用のターゲット材料として用いられていなかっ
た。これに対して、本発明者は、ＴｉとＡｌを溶解して
作製した合金をターゲットとして使用すると、得られる
ＴｉＡｌＮ被膜は機械的特性が極めて優れていること見
出した。その理由は、ＴｉとＡｌを溶解して作製したタ
ーゲットを用いると、Ａｌ相は存在せず、Ａｌが選択的
に蒸発しないために、被膜中に未反応Ａｌが混入するこ
ともなく、被膜表面が荒れることもなく、また、Ｔｉと
Ａｌの合金粉の焼結ターゲットに比べて、含有酸素量も
低く、被膜中に取り込まれる酸素量も低減することがで
きるなどにより、結果として、このターゲットを用いる
ことにより、ＴｉＡｌＮ膜の機械的特性が著しく向上す
るものと思われる。
めて硬く、難加工性の合金である。そのため、ＴｉＡｌ
Ｎ製膜用のターゲット材料として用いられていなかっ
た。これに対して、本発明者は、ＴｉとＡｌを溶解して
作製した合金をターゲットとして使用すると、得られる
ＴｉＡｌＮ被膜は機械的特性が極めて優れていること見
出した。その理由は、ＴｉとＡｌを溶解して作製したタ
ーゲットを用いると、Ａｌ相は存在せず、Ａｌが選択的
に蒸発しないために、被膜中に未反応Ａｌが混入するこ
ともなく、被膜表面が荒れることもなく、また、Ｔｉと
Ａｌの合金粉の焼結ターゲットに比べて、含有酸素量も
低く、被膜中に取り込まれる酸素量も低減することがで
きるなどにより、結果として、このターゲットを用いる
ことにより、ＴｉＡｌＮ膜の機械的特性が著しく向上す
るものと思われる。
【０００８】ＴｉＡｌＮ膜に耐摩耗性を持たせるには、
特願平２−２４６３４号に記載のように、Ａｌ濃度ｙが
０．６以下でかつｘ＋ｙ＝１を満たす化合物Ｔｉx Ａｌ
y Ｎでなければならない。Ａｌ原子濃度０．６までの被
膜は、Ｘ線回折測定によるとＴｉＮと同じＢ１型結晶構
造であり、ＡｌがＴｉＮ中に完全に固溶している。ま
た、固溶されるＡｌの濃度ｙの最大値は、要求される耐
酸化、耐摩耗の程度により、０＜ｙ≦０．６の範囲で自
由に選択することができ、かつＡｌ固溶層の厚みも自由
に選択することができる。
特願平２−２４６３４号に記載のように、Ａｌ濃度ｙが
０．６以下でかつｘ＋ｙ＝１を満たす化合物Ｔｉx Ａｌ
y Ｎでなければならない。Ａｌ原子濃度０．６までの被
膜は、Ｘ線回折測定によるとＴｉＮと同じＢ１型結晶構
造であり、ＡｌがＴｉＮ中に完全に固溶している。ま
た、固溶されるＡｌの濃度ｙの最大値は、要求される耐
酸化、耐摩耗の程度により、０＜ｙ≦０．６の範囲で自
由に選択することができ、かつＡｌ固溶層の厚みも自由
に選択することができる。
【０００９】ＴｉＡｌＮ膜中のＴｉ及びＡｌの濃度はタ
ーゲット組成に依存する。耐摩耗性に優れた上記のＴｉ
x Ａｌy Ｎを製膜するには、Ｔｉ及びＡｌまたはこれら
の合金を溶解して作製するには、Ｔｉ及びＡｌまたはこ
れらの合金を溶解して作製した合金Ｔｉa Ａｌb でＡｌ
の原子濃度ｂが０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満たすタ
ーゲットを使用することが必要である。Ａｌの原子濃度
ｂが０．６を越えると被膜中のＡｌ濃度ｙも０．６を越
え、ＴｉＡｌＮ膜の機械的特性が劣化してしまう。
ーゲット組成に依存する。耐摩耗性に優れた上記のＴｉ
x Ａｌy Ｎを製膜するには、Ｔｉ及びＡｌまたはこれら
の合金を溶解して作製するには、Ｔｉ及びＡｌまたはこ
れらの合金を溶解して作製した合金Ｔｉa Ａｌb でＡｌ
の原子濃度ｂが０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満たすタ
ーゲットを使用することが必要である。Ａｌの原子濃度
ｂが０．６を越えると被膜中のＡｌ濃度ｙも０．６を越
え、ＴｉＡｌＮ膜の機械的特性が劣化してしまう。
【００１０】本発明の方法の対象となる金属材料として
は、例えば、Ｓ１５Ｃ等の肌焼鋼、Ｓ４５Ｃ等の構造用
鋼、ＳＵＰ１０等のバネ鋼、ＳＵＪ２等の軸受鋼、ＳＫ
Ｄ６等の熱間加工用工具鋼、ＳＫＤ１１等の冷間加工用
工具鋼、ＳＫＨ５１等の高速度工具鋼等の鋼材や、超硬
合金、Ａｌ合金、Ｃｕ合金がある。
は、例えば、Ｓ１５Ｃ等の肌焼鋼、Ｓ４５Ｃ等の構造用
鋼、ＳＵＰ１０等のバネ鋼、ＳＵＪ２等の軸受鋼、ＳＫ
Ｄ６等の熱間加工用工具鋼、ＳＫＤ１１等の冷間加工用
工具鋼、ＳＫＨ５１等の高速度工具鋼等の鋼材や、超硬
合金、Ａｌ合金、Ｃｕ合金がある。
【００１１】本発明の被膜はイオンプレーティング法、
スパッタリング法等の公知の方法を用いて製膜すること
ができるが、２種類以上の金属イオンを供給し、かつ耐
摩耗性などの強固な付着力を要求される被膜に対して
は、特に強固な付着力が得られるイオンプレーティング
法が好ましい。
スパッタリング法等の公知の方法を用いて製膜すること
ができるが、２種類以上の金属イオンを供給し、かつ耐
摩耗性などの強固な付着力を要求される被膜に対して
は、特に強固な付着力が得られるイオンプレーティング
法が好ましい。
【００１２】反応性ガスとしては、窒化物を生成するた
めの反応性ガスであり、Ｎ2 あるいはアンモニアまたは
これらの混合ガスを用いるのが好ましい。
めの反応性ガスであり、Ｎ2 あるいはアンモニアまたは
これらの混合ガスを用いるのが好ましい。
【００１３】
【実施例】実施例１ 最初に、本発明を実施する装置として真空ア
ーク放電型イオンプレーティング装置を使用した。被膜
を形成させるための金属蒸発源として、溶解法で作製し
たＡｌの原子濃度が５０％のＴｉＡｌ合金を用いた。被
覆する金属材料として、ＳＫＨ５１より成る６ｍｍφの
ドリルを用いた。この鋼材を有機溶剤により洗浄後、真
空反応槽内にセットし、この真空槽内の圧力を１×１０
-5Ｔｏｒｒまでの真空にした後、Ｔｉイオン衝撃による
洗浄、加熱を行って、ＴｉＡｌＮの製膜を開始する。製
膜条件は反応ガスとしてＮ2 を２３ｃｃ／分の速度で反
応槽内に導入し、圧力を３０×１０-3Ｔｏｒｒとした。
上記金属蒸発源に９０Ａの電流を流すことによりＴｉＡ
ｌターゲットから真空アーク放電によりＴｉ及びＡｌイ
オンを放出させ、一方、上記鋼材には−５００Ｖのバイ
アス電圧を印加した。この様な条件下で鋼材上にＴｉＡ
ｌＮを生成させた。約１時間の製膜反応によりＴｉ0.53
Ａｌ0.47Ｎである３．７μｍの被膜が得られた。
ーク放電型イオンプレーティング装置を使用した。被膜
を形成させるための金属蒸発源として、溶解法で作製し
たＡｌの原子濃度が５０％のＴｉＡｌ合金を用いた。被
覆する金属材料として、ＳＫＨ５１より成る６ｍｍφの
ドリルを用いた。この鋼材を有機溶剤により洗浄後、真
空反応槽内にセットし、この真空槽内の圧力を１×１０
-5Ｔｏｒｒまでの真空にした後、Ｔｉイオン衝撃による
洗浄、加熱を行って、ＴｉＡｌＮの製膜を開始する。製
膜条件は反応ガスとしてＮ2 を２３ｃｃ／分の速度で反
応槽内に導入し、圧力を３０×１０-3Ｔｏｒｒとした。
上記金属蒸発源に９０Ａの電流を流すことによりＴｉＡ
ｌターゲットから真空アーク放電によりＴｉ及びＡｌイ
オンを放出させ、一方、上記鋼材には−５００Ｖのバイ
アス電圧を印加した。この様な条件下で鋼材上にＴｉＡ
ｌＮを生成させた。約１時間の製膜反応によりＴｉ0.53
Ａｌ0.47Ｎである３．７μｍの被膜が得られた。
【００１４】この被膜の機械的特性の評価方法として次
のような方法を採用した。即ち、この様にした得られた
表面被覆ドリルの性能をドリル切削加工により形成でき
た穴の数により評価した。切削条件は被削材がＳＣＭ４
４０、ドリル回転数１５００ｒｐｍ、送り速度０．１５
ｍｍ／ｒｅｖ．切り込み深さ２０ｍｍである。その結果
切削可能回数は３６０回であった。
のような方法を採用した。即ち、この様にした得られた
表面被覆ドリルの性能をドリル切削加工により形成でき
た穴の数により評価した。切削条件は被削材がＳＣＭ４
４０、ドリル回転数１５００ｒｐｍ、送り速度０．１５
ｍｍ／ｒｅｖ．切り込み深さ２０ｍｍである。その結果
切削可能回数は３６０回であった。
【００１５】実施例２ Ａｌの原子濃度が２５％である
溶解法で作製したＴｉＡｌ合金をターゲットとして使用
した以外は実施例１と同様な条件で製膜したところ１時
間の製膜でＴｉ0.78Ａｌ0.22Ｎである３．５μｍの被膜
が得られた。この時の表面被覆ドリルの切削可能回数は
実施例１と同じ切削条件で３８０回であった。
溶解法で作製したＴｉＡｌ合金をターゲットとして使用
した以外は実施例１と同様な条件で製膜したところ１時
間の製膜でＴｉ0.78Ａｌ0.22Ｎである３．５μｍの被膜
が得られた。この時の表面被覆ドリルの切削可能回数は
実施例１と同じ切削条件で３８０回であった。
【００１６】比較例１ ＴｉとＡｌの合金粉より焼結法
で作製したＡｌの原子濃度が５０％であるＴｉＡｌター
ゲットを用いた以外は実施例と同じ条件で製膜したとこ
ろ、１時間の製膜時間でＴｉ0.54Ａｌ0.46Ｎの３．５μ
ｍの被膜が得られた。このときの表面被膜ドリルの切削
可能回数は実施例１と同じ切削条件で３１回に過ぎなか
った。
で作製したＡｌの原子濃度が５０％であるＴｉＡｌター
ゲットを用いた以外は実施例と同じ条件で製膜したとこ
ろ、１時間の製膜時間でＴｉ0.54Ａｌ0.46Ｎの３．５μ
ｍの被膜が得られた。このときの表面被膜ドリルの切削
可能回数は実施例１と同じ切削条件で３１回に過ぎなか
った。
【００１７】比較例２ Ｔｉ粉とＡｌ粉を鍛造して加工
したＡｌの原子濃度が５０％であるＴｉＡｌターゲット
を用いた以外は実施例１と同じ条件で製膜したところ、
１時間の製膜時間でＴｉ0.42Ａｌ0.58Ｎの３．５μｍの
被膜が得られた。このときの表面被覆ドリルの切削被覆
ドリルの切削可能回数は実施例１と同じ切削条件で１４
回であった。
したＡｌの原子濃度が５０％であるＴｉＡｌターゲット
を用いた以外は実施例１と同じ条件で製膜したところ、
１時間の製膜時間でＴｉ0.42Ａｌ0.58Ｎの３．５μｍの
被膜が得られた。このときの表面被覆ドリルの切削被覆
ドリルの切削可能回数は実施例１と同じ切削条件で１４
回であった。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、被覆金属材料の耐摩耗性を大幅に改善することが
でき、さらにこの様な被覆金属材料を工具などの材料と
して用いる場合には、その性能、寿命を著しく向上させ
るなどの利点がある。
れば、被覆金属材料の耐摩耗性を大幅に改善することが
でき、さらにこの様な被覆金属材料を工具などの材料と
して用いる場合には、その性能、寿命を著しく向上させ
るなどの利点がある。
Claims (4)
- 【請求項１】 ＡｌがＴｉＮ中に固溶している化合物
で、Ｔｉの原子濃度をｘとし、Ａｌの原子濃度をｙとす
ると、ｙが０．６以下でかつｘ＋ｙ＝１を満たす耐摩耗
性硬質被膜ＴｉX ＡｌY Ｎを金属材料上に被覆すること
によって、金属材料上に耐摩耗性硬質被膜を製造する方
法において、Ａｌの原子濃度をｂとし、Ｔｉの原子濃度
をａとすると、ｂが０．６以下でかつａ＋ｂ＝１を満た
す合金Ｔｉa Ａｌb をＴｉ及びＡｌまたはこれらの合金
を溶解して作製し、該合金Ｔｉa Ａｌb を、蒸着する際
のターゲットとして使用することを特徴とする耐摩耗性
硬質被膜の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の製造方法において、蒸着
をイオンプレーティング法で行うことを特徴とする製造
方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の製造方法において、イオ
ンプレーティング法が真空アーク放電型であることを特
徴とする製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の製造方法において、反応
性ガスとして、Ｎ2あるいはアンモニアまたはこれらの
混合ガスを用いることを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29500791A JPH05106022A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 耐摩耗性硬質被膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29500791A JPH05106022A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 耐摩耗性硬質被膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05106022A true JPH05106022A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17815132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29500791A Pending JPH05106022A (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 耐摩耗性硬質被膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05106022A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH688863A5 (de) * | 1994-06-24 | 1998-04-30 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zum Beschichten mindestens eines Werkstueckes und Anlage hierfuer. |
| US6143142A (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-07 | Nanyang Technological University | Composite coatings |
| CN102899613A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-01-30 | 西安浩元涂层技术有限公司 | AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63255358A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-21 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 少くとも２種類の金属窒化物混合層とその形成方法 |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP29500791A patent/JPH05106022A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63255358A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-10-21 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 少くとも２種類の金属窒化物混合層とその形成方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH688863A5 (de) * | 1994-06-24 | 1998-04-30 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zum Beschichten mindestens eines Werkstueckes und Anlage hierfuer. |
| US6602390B1 (en) * | 1994-06-24 | 2003-08-05 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Coating a workpiece and operating a cathodic arc discharge |
| US6143142A (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-07 | Nanyang Technological University | Composite coatings |
| US6387443B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-05-14 | Nanyang Technological University | Composite coatings |
| US6899828B2 (en) | 1999-05-10 | 2005-05-31 | Nanyang Technological University | Composite coatings |
| CN102899613A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-01-30 | 西安浩元涂层技术有限公司 | AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法 |
| CN102899613B (zh) * | 2012-10-29 | 2014-06-18 | 西安浩元涂层技术有限公司 | AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Roos et al. | Interrelationship between processing, coatingproperties and functional properties of steered arc physically vapour deposited (Ti, AI) N and (Ti, Nb) N coatings | |
| JP4482160B2 (ja) | イットリウムを使用する硬質材料コーティングおよびその蒸着方法 | |
| US4402994A (en) | Highly hard material coated articles | |
| US6287711B1 (en) | Wear-resistant coating and component | |
| US20080299366A1 (en) | Cemented carbide insert | |
| JPH02138459A (ja) | 複合硬質材料及びその製造方法 | |
| CN105908131B (zh) | 一种可热生长氧化铝膜的TiAl涂层及其制备方法 | |
| CA1324928C (en) | Corrosion-resistant and heat-resistant aluminum-based alloy thin film and process for producing the same | |
| JP2893498B2 (ja) | 非化学量論的窒化チタンコーティング | |
| JP3980053B2 (ja) | 硬質物質層の製造方法 | |
| JP2018510070A (ja) | ＴｉＡｌＮ−ＺｒＮコーティングを有する固体炭化物エンドミリングカッター | |
| US8293386B2 (en) | Al-Ti-Ru-N-C hard material coating | |
| JPH04297568A (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆部材及び皮膜形成方法 | |
| JPH05106022A (ja) | 耐摩耗性硬質被膜の製造方法 | |
| JP2009034811A (ja) | 突切り、溝切りおよびねじ切りのための超硬合金インサート | |
| JP3712242B2 (ja) | 被覆切削工具・被覆耐摩耗工具 | |
| JP3638332B2 (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JP3712241B2 (ja) | 被覆切削工具・被覆耐摩耗工具 | |
| GB2385062A (en) | Method of Applying Hard Coatings | |
| JPH06316756A (ja) | 耐食・耐摩耗性被膜 | |
| JP2633622B2 (ja) | 工作工具用耐摩耗性複合部材 | |
| JPH02138458A (ja) | 複合硬質材料及びその製造方法 | |
| JP2927098B2 (ja) | 物理蒸着硬質層被覆ドリルおよびその製造法 | |
| JP3351054B2 (ja) | 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜 | |
| JPH0250948A (ja) | 複合超硬材料 |