JPH0510480A - ガス配管およびその施工方法 - Google Patents

ガス配管およびその施工方法

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JPH0510480A
JPH0510480A JP3155031A JP15503191A JPH0510480A JP H0510480 A JPH0510480 A JP H0510480A JP 3155031 A JP3155031 A JP 3155031A JP 15503191 A JP15503191 A JP 15503191A JP H0510480 A JPH0510480 A JP H0510480A
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JP
Japan
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pipe
gas
piping
protective
supply
Prior art date
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Pending
Application number
JP3155031A
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English (en)
Inventor
Yoshitake Katou
芳健 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ガス配管を二重管構造とすることによって、安
全で、安価で、施工が容易な有毒ガス供給用ガス配管お
よびその施工方法を提供する。 【構成】有害ガスが流れる供給配管101と、供給配管
101を囲む保護配管102とからなる二重構造であ
り、供給配管101が保護配管102に接しないように
弾性を有する固定ゴム103で固定されたガス配管を形
成する。ガス配管同士の接続方法には、供給配管101
を溶接接続した後、伸縮および屈曲可能なフレキシブル
配管を使用して、保護配管102同士を接続する施工方
法を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はガス配管およびその施工
方法に関し、特に有害または有毒なガスが流れるガス配
管の構造およびその施工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体や化合物などの気相生長装置は広
く一般に使用されているが、この方法で使用される成長
ガスや不純物となるドーピングガスは、一般に危険性が
高く、有害なものが多い。これらのガスは一般に耐高圧
ボンベに充填されており、安全のため成長装置が設置さ
れた部屋とは異なる部屋、または室外に保管、設置され
ている。従って、ガスを使用する装置までのガス配管が
必要であり、その配管には長期的安全性が保障されなけ
ればならない。
【0003】一般には、ステンレス製またはニッケル製
の配管が用いられ、その施工は天上または壁に固定具を
使って固定される場合が多い。しかし、極めて有害なガ
スの場合には、図5の断面図に示したように配管周りを
塩化ビニル等の材質の箱で囲い、かつ万が一漏洩しても
直接室内に影響しないよう箱を常時吸引排気する場合も
あった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のガス配管では、
塩化ビニル等の箱でガス配管を覆うため、箱の形状を施
工された配管に合わせる必要があった。つまり、箱で覆
う作業に極めて多くの工数が必要であり、ひいては高価
であるという問題があった。
【0005】また、従来のガス配管で、特に屋外のよう
に壁や天井がないような場合には、ガス配管を箱で覆う
ことは極めて困難であった。また、箱は常に手作業で製
作されるため、箱の機密性は完全ではなく、漏洩に対す
る安全性は期待に反して低いものであった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のガス配管は、有
害ガスをそれを消費する装置に供給するためのガス配管
において、有害ガスが流れる供給配管と、前記供給配管
を囲む保護配管とからなる二重管構造であり、前記供給
配管が前記保護配管に接しないように弾性を有する固定
ゴムを介して固定された構造を備えている。
【0007】また、本発明のガス配管の施工方法は、ガ
スを供給する供給配管が固定ゴムを介して保護配管内に
固定された二重管構造のガス配管を接続する際、まず前
記供給配管同士を溶接接続した後、伸縮および屈曲可能
なフレキシブル配管を使用して、前記保護配管同士を接
続する方法である。
【0008】
【作用】本発明による二重配管は、ガスを流す供給配管
が保護配管内で固定されているため、保護配管を従来の
ように取り付け作業するだけでよく、施工時間の大幅削
減、施工価格の大幅削減が実現できる。また、同様に屋
外においても配管作業は、容易である。また、本発明に
よる配管の施工方法では、供給配管同士の接続は溶接接
続であり、かつ保護配管同士も完全に接続できるため、
機密性や安全性は非常に高い。
【0009】
【実施例】次に図面を用いて本発明について詳細に説明
する。図1は本発明の一実施例のガス配管の断面図であ
る。供給配管101には、ステンレスまたはニッケル等
の耐腐食性が高い材質のものを用いた。供給配管101
は、保護配管102内に配置されており、保護配管に接
触しないよう固定ゴム103(本実施例ではシリコンゴ
ムを用いた)により固定されている。
【0010】図2は本実施例を説明するためのガス配管
の施工方法の工程図である。ガス配管同士を接続する
際、同図(a)に示すように、供給配管201同士を溶
接接続する前に、伸縮および屈曲可能なステンレス等の
フレキシブル配管204を一方の保護配管202に接続
する。その後、同図(b)に示すように、供給配管20
1同士を溶接接続する。その後、同図(c)に示したよ
うにフレキシブル配管204を伸し、他方の保護配管に
接続する。
【0011】また、図3はガス配管同士90°で配置さ
れた場合の接続例の断面図である。フレキシブル配管3
04も90°に曲げられている。図4は保護配管がステ
ンレス製であり、保護配管接続部がシールリングを介し
て真空フランジになっている場合の接続例を示した図で
ある。この実施例では、完全密封配管が実現されてお
り、更に固定ゴムに通気穴401を設けることによっ
て、保護配管内全体を真空にできるようになっている。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように、本発明を用いれ
ば、非常に有害なガスを流す場合にも高い安全性が得ら
れるガス配管が得られる。更に、ガス配管の施工に関し
ては室内、屋外に関係なく容易に施工でき、施工費も安
価なものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のガス配管の断面図である。
【図2】一実施例のガス配管の施工方法を示す図で、同
図(a)〜(c)は工程図である。
【図3】一実施例のガス配管の接続例を示した断面図で
ある。
【図4】一実施例のガス配管の他の接続例を示した断面
図である。
【図5】従来のガス配管を示した断面図である。
【符号の説明】
101,201 供給配管 102,202 保護配管 103,203 固定ゴム 204,304 フレキシブル配管 401 通気穴

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有害ガスをそれを消費する装置に供給す
    るためのガス配管において、有害ガスが流れる供給配管
    と、前記供給配管を囲む保護配管とからなる二重管構造
    を有し、前記供給配管が前記保護配管に接しないように
    弾性を有する固定ゴムを介して固定されていることを特
    徴とするガス配管。
  2. 【請求項2】 ガスを供給する供給配管が固定ゴムを介
    して保護配管内に固定された二重管構造のガス配管の施
    工方法において、前記供給配管同士を溶接接続した後、
    伸縮および屈曲可能なフレキシブル配管を使用して、保
    護配管同士を接続することを特徴とするガス配管の施工
    方法。
JP3155031A 1991-06-27 1991-06-27 ガス配管およびその施工方法 Pending JPH0510480A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5787704A (en) * 1993-08-10 1998-08-04 Cravero; Humberto Alexander Electronic purification of exhaust gases
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Effective date: 19971007