JP2002243574A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
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- JP2002243574A JP2002243574A JP2001044892A JP2001044892A JP2002243574A JP 2002243574 A JP2002243574 A JP 2002243574A JP 2001044892 A JP2001044892 A JP 2001044892A JP 2001044892 A JP2001044892 A JP 2001044892A JP 2002243574 A JP2002243574 A JP 2002243574A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ヘリウムリークディテクタの外部のヘリウム濃
度が高まっても安価な合成樹脂製Ｏリング等の接続部を
透過してバックグランドを上昇させることのないヘリウ
ムリークディテクタを提供する。 【解決手段】ヘリウムリークディテクタの本体１を密閉
性のあるカバー３で覆い、該カバーに、該カバーの外部
周辺の空気と異なる成分の気体を該本体と該カバーの間
の空間４へ導入する導入管５を設け、該空間の圧力を該
外部周辺の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手
段６を設けた。空間にはヘリウムガスの成分が自然濃度
の気体を導入し、該空間からカバーの外部へ連通させて
設けた排気管１８と導入管へ気体導入量を該排気管から
の排気量よりも多くして昇圧手段とした。
度が高まっても安価な合成樹脂製Ｏリング等の接続部を
透過してバックグランドを上昇させることのないヘリウ
ムリークディテクタを提供する。 【解決手段】ヘリウムリークディテクタの本体１を密閉
性のあるカバー３で覆い、該カバーに、該カバーの外部
周辺の空気と異なる成分の気体を該本体と該カバーの間
の空間４へ導入する導入管５を設け、該空間の圧力を該
外部周辺の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手
段６を設けた。空間にはヘリウムガスの成分が自然濃度
の気体を導入し、該空間からカバーの外部へ連通させて
設けた排気管１８と導入管へ気体導入量を該排気管から
の排気量よりも多くして昇圧手段とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部の雰囲気によ
る汚染を防止したヘリウムリークディテクタに関する。
る汚染を防止したヘリウムリークディテクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヘリウムリークディテクタの本体
は、真空計、バルブ、分析管などの機器や配管などによ
り構成されており、図１に示すように、質量分析管ａに
配管ｂを介して分子ポンプｃを接続し、該分子ポンプｃ
に、フォアバルブｅを備えた配管ｂを介してフォアポン
プｄに接続すると共にテストバルブｇを備えた配管ｂを
介してテストポートｆに接続し、更に、該テストポート
ｆをラフィングバルブｈを介してフォアポンプｄとフォ
アバルブｇの間の配管ｂへ接続した構成のものが知られ
ている。同図の符号ｉは各機器や配管の接続部に設けら
れるＯリングなどの取付部品の箇所を示し、ｊはベント
バルブ、ｋは真空計を示す。
は、真空計、バルブ、分析管などの機器や配管などによ
り構成されており、図１に示すように、質量分析管ａに
配管ｂを介して分子ポンプｃを接続し、該分子ポンプｃ
に、フォアバルブｅを備えた配管ｂを介してフォアポン
プｄに接続すると共にテストバルブｇを備えた配管ｂを
介してテストポートｆに接続し、更に、該テストポート
ｆをラフィングバルブｈを介してフォアポンプｄとフォ
アバルブｇの間の配管ｂへ接続した構成のものが知られ
ている。同図の符号ｉは各機器や配管の接続部に設けら
れるＯリングなどの取付部品の箇所を示し、ｊはベント
バルブ、ｋは真空計を示す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ヘリウムリークディテ
クタを気体循環式のクリーンルーム内に設置し、真空吹
付け法などにより多量のヘリウムをテスト品に吹付けて
リークテストを行うと、クリーンルーム内のヘリウム濃
度が上昇してしまい、各機器や配管の接続部に使用され
ているＯリングなどのシール部をヘリウムが透過して機
器内や配管内へと入り込み、バックグランドが上昇して
高感度のリークテストを行えなくなる不都合が生じるこ
とがあった。こうした不都合は、Ｏリングやパッキンを
合成樹脂製でなく金属製のものを使用することで抑制で
きるが、本体の価格が上昇したり、メンテナンス時のＯ
リング等の交換のコストが高くなってしまう欠点があっ
た。
クタを気体循環式のクリーンルーム内に設置し、真空吹
付け法などにより多量のヘリウムをテスト品に吹付けて
リークテストを行うと、クリーンルーム内のヘリウム濃
度が上昇してしまい、各機器や配管の接続部に使用され
ているＯリングなどのシール部をヘリウムが透過して機
器内や配管内へと入り込み、バックグランドが上昇して
高感度のリークテストを行えなくなる不都合が生じるこ
とがあった。こうした不都合は、Ｏリングやパッキンを
合成樹脂製でなく金属製のものを使用することで抑制で
きるが、本体の価格が上昇したり、メンテナンス時のＯ
リング等の交換のコストが高くなってしまう欠点があっ
た。
【０００４】これを更に説明すると、図１の構成のもの
では、構成部品の接続部は１０箇所であるが、実際には
校正リークなどのために構成部品の点数が増えるので、
２０〜２５箇所程度の接続部が設けられることになる。
Ｏリングを透過してくるヘリウムを測定するため、図２
に示すようなフランジｌ、ｌでＯリングｍを挟み込み、
外部を１００％ヘリウムｏを充填したフードｎで囲んで
フランジｌの一端をヘリウムリークディテクタに接続し
たところ、Ｏリングｍの太さや合成樹脂の種類によって
も異なるが、リークレートに換算すると、数分で１×１
０-9〜-8Ｐａ・ｍ3／ｓ程度まで上昇してしまう。図１
の場合は、透過量が１×１０-9Ｐａ・ｍ3／ｓとして
も、Ｏリングが１０箇所あるため、トータルのバックグ
ランドは各Ｏリングの総和となり、１×１０-8Ｐａ・ｍ
3／ｓになってしまう。
では、構成部品の接続部は１０箇所であるが、実際には
校正リークなどのために構成部品の点数が増えるので、
２０〜２５箇所程度の接続部が設けられることになる。
Ｏリングを透過してくるヘリウムを測定するため、図２
に示すようなフランジｌ、ｌでＯリングｍを挟み込み、
外部を１００％ヘリウムｏを充填したフードｎで囲んで
フランジｌの一端をヘリウムリークディテクタに接続し
たところ、Ｏリングｍの太さや合成樹脂の種類によって
も異なるが、リークレートに換算すると、数分で１×１
０-9〜-8Ｐａ・ｍ3／ｓ程度まで上昇してしまう。図１
の場合は、透過量が１×１０-9Ｐａ・ｍ3／ｓとして
も、Ｏリングが１０箇所あるため、トータルのバックグ
ランドは各Ｏリングの総和となり、１×１０-8Ｐａ・ｍ
3／ｓになってしまう。
【０００５】実際は、ヘリウムリークディテクタの周辺
雰囲気が１００％ヘリウムの雰囲気になることはない
が、気体循環式のクリーンルームなどでヘリウムを吹付
けるようなリークテストを実施した場合には、吹付けに
使用したヘリウムが循環することでクリーンルーム内の
ヘリウム濃度が高まって１０％程度になってしまう可能
性がある。この状況においても機器のバックグランドは
１×１０-9Ｐａ・ｍ3／ｓとなり、１×１０-11Ｐａ・ｍ
3／ｓといった微小なリークを測定したい場合には問題
になってしまう。
雰囲気が１００％ヘリウムの雰囲気になることはない
が、気体循環式のクリーンルームなどでヘリウムを吹付
けるようなリークテストを実施した場合には、吹付けに
使用したヘリウムが循環することでクリーンルーム内の
ヘリウム濃度が高まって１０％程度になってしまう可能
性がある。この状況においても機器のバックグランドは
１×１０-9Ｐａ・ｍ3／ｓとなり、１×１０-11Ｐａ・ｍ
3／ｓといった微小なリークを測定したい場合には問題
になってしまう。
【０００６】本発明は、ヘリウムリークディテクタの外
部のヘリウム濃度が高まっても安価な合成樹脂製Ｏリン
グ等の接続部を透過してバックグランドを上昇させるこ
とのないヘリウムリークディテクタを提供することを目
的とするものである。
部のヘリウム濃度が高まっても安価な合成樹脂製Ｏリン
グ等の接続部を透過してバックグランドを上昇させるこ
とのないヘリウムリークディテクタを提供することを目
的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記の目的
を達成すべく、ヘリウムリークディテクタの本体を密閉
性のあるカバーで覆い、該カバーに、該カバーの外部周
辺の空気と異なる成分の空気を該本体と該カバーの間の
空間へ導入する導入管を設け、該空間の圧力を該外部周
辺の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段を設
けた。該ヘリウムリークディテクタを構成する配管及び
機器の接続部には、合成樹脂製のＯリング又はパッキン
を使用する。また、該カバーの外部周辺の空気と異なる
成分の空気には、ヘリウムガスの成分が自然濃度の空気
を利用すればよく、該空間から該カバーの外部へ連通さ
せて設けた排気管と該導入管へ空気導入量を該排気管か
らの排気量よりも多くして該昇圧手段を構成すること
で、簡単且つ安価に製作できる。
を達成すべく、ヘリウムリークディテクタの本体を密閉
性のあるカバーで覆い、該カバーに、該カバーの外部周
辺の空気と異なる成分の空気を該本体と該カバーの間の
空間へ導入する導入管を設け、該空間の圧力を該外部周
辺の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段を設
けた。該ヘリウムリークディテクタを構成する配管及び
機器の接続部には、合成樹脂製のＯリング又はパッキン
を使用する。また、該カバーの外部周辺の空気と異なる
成分の空気には、ヘリウムガスの成分が自然濃度の空気
を利用すればよく、該空間から該カバーの外部へ連通さ
せて設けた排気管と該導入管へ空気導入量を該排気管か
らの排気量よりも多くして該昇圧手段を構成すること
で、簡単且つ安価に製作できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図面に基づき本発明の実施の形態
を説明すると、図３に於いて符号１は、気体循環式のク
リーンルーム２に設置したヘリウムリークディテクタの
本体を示し、該本体１の周囲を金属製や樹脂製などの密
閉性のあるカバー３で覆い、該カバー３に、該カバー３
の外部周辺すなわちクリーンルーム２の空気と異なる成
分の気体を該カバー３と該本体１との間の空間４へ導入
する導入管５を設け、該空間４の圧力を該外部周辺の空
気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段６を設け
た。
を説明すると、図３に於いて符号１は、気体循環式のク
リーンルーム２に設置したヘリウムリークディテクタの
本体を示し、該本体１の周囲を金属製や樹脂製などの密
閉性のあるカバー３で覆い、該カバー３に、該カバー３
の外部周辺すなわちクリーンルーム２の空気と異なる成
分の気体を該カバー３と該本体１との間の空間４へ導入
する導入管５を設け、該空間４の圧力を該外部周辺の空
気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段６を設け
た。
【０００９】気体循環式のクリーンルーム２内でテスト
品にヘリウム吹付け法によるリークテストを実施する
と、クリーンルーム２内のヘリウム濃度が、通常のオー
プンエアーに近い部屋は数ｐｐｍであるのに対し、０．
１％に近い極端に高い値に上昇してしまう。このような
ヘリウム濃度の高い環境下でヘリウムリークディテクタ
を使用すると、該本体１の機器や配管などの接続部を構
成しているＯリングやパッキンなどのゴム材をヘリウム
が透過し、ヘリウムリークディテクタのバックグランド
を上昇させ、１×１０-11Ｐａ・ｍ3／ｓといった微小な
リークのレベルの測定が困難になるが、前記のようにカ
バー３、導入管５および昇圧手段６を設けることで、こ
の困難が解消される。該本体１は、ポンプや電気系を備
えているため、空冷が必要であり、また、ロータリポン
プのオイルミストなどを外部へ排出する必要もあるの
で、クリーンルーム２の周辺の高いヘリウム濃度の雰囲
気とは異なる成分の気体、例えば自然濃度のヘリウムの
空気を導入管５から導入し、その空間４の圧力を昇圧手
段６により該外部周辺の空気の圧力すなわちクリーンル
ーム２の圧力よりも僅かに高い圧力に調整して流通さ
せ、空冷と排気の他にヘリウムが自然濃度で圧力の高い
気体によりヘリウム濃度の高い該外部周辺の空気を該本
体１の周囲から排除し、ヘリウムが本体１の接続部を透
過することを防止した。図示の例では、該昇圧手段６と
して導入管５の断面積よりも排気管１８の断面積を小さ
くし、送風機１９によりクリーンルーム２の外部のヘリ
ウムが自然濃度の気体を圧送することで該空間４の圧力
を高め、周辺雰囲気がカバー３内部へ侵入することを防
いでカバー３内が汚染されぬようにした。
品にヘリウム吹付け法によるリークテストを実施する
と、クリーンルーム２内のヘリウム濃度が、通常のオー
プンエアーに近い部屋は数ｐｐｍであるのに対し、０．
１％に近い極端に高い値に上昇してしまう。このような
ヘリウム濃度の高い環境下でヘリウムリークディテクタ
を使用すると、該本体１の機器や配管などの接続部を構
成しているＯリングやパッキンなどのゴム材をヘリウム
が透過し、ヘリウムリークディテクタのバックグランド
を上昇させ、１×１０-11Ｐａ・ｍ3／ｓといった微小な
リークのレベルの測定が困難になるが、前記のようにカ
バー３、導入管５および昇圧手段６を設けることで、こ
の困難が解消される。該本体１は、ポンプや電気系を備
えているため、空冷が必要であり、また、ロータリポン
プのオイルミストなどを外部へ排出する必要もあるの
で、クリーンルーム２の周辺の高いヘリウム濃度の雰囲
気とは異なる成分の気体、例えば自然濃度のヘリウムの
空気を導入管５から導入し、その空間４の圧力を昇圧手
段６により該外部周辺の空気の圧力すなわちクリーンル
ーム２の圧力よりも僅かに高い圧力に調整して流通さ
せ、空冷と排気の他にヘリウムが自然濃度で圧力の高い
気体によりヘリウム濃度の高い該外部周辺の空気を該本
体１の周囲から排除し、ヘリウムが本体１の接続部を透
過することを防止した。図示の例では、該昇圧手段６と
して導入管５の断面積よりも排気管１８の断面積を小さ
くし、送風機１９によりクリーンルーム２の外部のヘリ
ウムが自然濃度の気体を圧送することで該空間４の圧力
を高め、周辺雰囲気がカバー３内部へ侵入することを防
いでカバー３内が汚染されぬようにした。
【００１０】該ヘリウムリークディテクタの本体１の構
成は従来のものと特に変わりがなく、質量分析管７に配
管８を介して分子ポンプ９を接続し、該分子ポンプ９
に、フォアバルブ１０を備えた配管８を介してフォアポ
ンプ１１に接続すると共にテストバルブ１２を備えた配
管８を介してテストポート１３に接続し、更に、該テス
トポート１３をラフィングバルブ１４を介してフォアポ
ンプ１１とフォアバルブ１０の間の配管８へ接続した。
各機器や配管の接続部１５には、Ｏリングやパッキンな
どの合成樹脂製の取付シール部品が設けられ、この接続
部１５をヘリウムが透過すると前記したようにバックグ
ランドが上昇して測定の障害になるので、これを防ぐた
めに本発明の構成が提供される。１６はベントバルブ、
１７は真空計を示す。
成は従来のものと特に変わりがなく、質量分析管７に配
管８を介して分子ポンプ９を接続し、該分子ポンプ９
に、フォアバルブ１０を備えた配管８を介してフォアポ
ンプ１１に接続すると共にテストバルブ１２を備えた配
管８を介してテストポート１３に接続し、更に、該テス
トポート１３をラフィングバルブ１４を介してフォアポ
ンプ１１とフォアバルブ１０の間の配管８へ接続した。
各機器や配管の接続部１５には、Ｏリングやパッキンな
どの合成樹脂製の取付シール部品が設けられ、この接続
部１５をヘリウムが透過すると前記したようにバックグ
ランドが上昇して測定の障害になるので、これを防ぐた
めに本発明の構成が提供される。１６はベントバルブ、
１７は真空計を示す。
【００１１】該本体１の分子ポンプ９などの各機器を作
動させるためには電気系２０が必要であり、測定結果を
知るためと操作のために表示系２１が必要であるが、カ
バー３の内部に本体１と共に電気系２０を収容し、表示
系２１は該カバー３の外部に合成樹脂ゴムのＯリングか
らなる接続部１５を介して取付けした。また、リークテ
スト品に接続されるテストポート１３も接続部１５を介
して該カバー３の外部へ延長させた。更に、図には明示
してないが、ヘリウムリークディテクタへの電源ライン
のコネクタなどの外部との接点についても、合成ゴム材
などで隔離した。
動させるためには電気系２０が必要であり、測定結果を
知るためと操作のために表示系２１が必要であるが、カ
バー３の内部に本体１と共に電気系２０を収容し、表示
系２１は該カバー３の外部に合成樹脂ゴムのＯリングか
らなる接続部１５を介して取付けした。また、リークテ
スト品に接続されるテストポート１３も接続部１５を介
して該カバー３の外部へ延長させた。更に、図には明示
してないが、ヘリウムリークディテクタへの電源ライン
のコネクタなどの外部との接点についても、合成ゴム材
などで隔離した。
【００１２】該テストポート１３にリークテスト品を接
続し、該本体１を作動させ、該テスト品にヘリウムを吹
付けてリークテストが行われ、該テスト品にリークがあ
ると質量分析管７にヘリウムガスが捕捉されてリークを
判定できる。しかし、該テスト品の数多くリークテスト
すると、クリーンルーム２内のヘリウム濃度が高まり、
前記のように接続部１５からヘリウムが本体１内へ透過
するためバックグランドが高まり微小なリークの検出を
行えなくなる不都合をもたらすが、該本体１が気密なカ
バー３で覆われ、導入管５から該クリーンルーム２のヘ
リウム濃度の高い空気でなくヘリウムが自然濃度の気体
を該本体１とカバー３との間の空間４へ導入し、昇圧手
段６で該空間４の空気圧を少し高めることで、該空間４
が排熱やオイルミストの排出だけでなく本体１内へのヘ
リウム侵入を阻止する防御層として機能し、多数回のリ
ークテストを行ってもバックグランドが高まらず、微小
なリークを検出することができる。また、接続部１５に
高価な金属製のＯリングを使用する必要がないので、保
守管理が安価になる。
続し、該本体１を作動させ、該テスト品にヘリウムを吹
付けてリークテストが行われ、該テスト品にリークがあ
ると質量分析管７にヘリウムガスが捕捉されてリークを
判定できる。しかし、該テスト品の数多くリークテスト
すると、クリーンルーム２内のヘリウム濃度が高まり、
前記のように接続部１５からヘリウムが本体１内へ透過
するためバックグランドが高まり微小なリークの検出を
行えなくなる不都合をもたらすが、該本体１が気密なカ
バー３で覆われ、導入管５から該クリーンルーム２のヘ
リウム濃度の高い空気でなくヘリウムが自然濃度の気体
を該本体１とカバー３との間の空間４へ導入し、昇圧手
段６で該空間４の空気圧を少し高めることで、該空間４
が排熱やオイルミストの排出だけでなく本体１内へのヘ
リウム侵入を阻止する防御層として機能し、多数回のリ
ークテストを行ってもバックグランドが高まらず、微小
なリークを検出することができる。また、接続部１５に
高価な金属製のＯリングを使用する必要がないので、保
守管理が安価になる。
【００１３】尚、気密なカバー３に、図４に示したよう
に、スリット２２を形成して排気管１８の代用とし、ス
リット２２の開口面積を、導入管５から供給される該カ
バーの外部周辺の空気と異なる成分の気体の供給量より
も少ない排出量になるように形成しておくことで、該カ
バー３内を外部よりも高い圧力とし、バックグランドが
高まらず高感度のリークテストを行える。
に、スリット２２を形成して排気管１８の代用とし、ス
リット２２の開口面積を、導入管５から供給される該カ
バーの外部周辺の空気と異なる成分の気体の供給量より
も少ない排出量になるように形成しておくことで、該カ
バー３内を外部よりも高い圧力とし、バックグランドが
高まらず高感度のリークテストを行える。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ヘリウム
リークディテクタの本体を密閉のカバーで覆い、該カバ
ーに導入管を設けて該カバーの外部周辺の空気と異なる
成分の気体を該本体と該カバーの間の空間へ導入し、該
空間の圧力を該外部周辺の空気の圧力よりも高くする昇
圧手段を設けたので、該本体を構成する機器や配管の接
続部を合成樹脂製のＯリングなどの安価な部材を使用し
てヘリウムが該本体内に透過することを防止でき、微量
のヘリウムを検出して高感度のリーク測定を行える等の
効果があり、請求項３の構成とすることで保守と製作コ
ストをより一層安価にできる。
リークディテクタの本体を密閉のカバーで覆い、該カバ
ーに導入管を設けて該カバーの外部周辺の空気と異なる
成分の気体を該本体と該カバーの間の空間へ導入し、該
空間の圧力を該外部周辺の空気の圧力よりも高くする昇
圧手段を設けたので、該本体を構成する機器や配管の接
続部を合成樹脂製のＯリングなどの安価な部材を使用し
てヘリウムが該本体内に透過することを防止でき、微量
のヘリウムを検出して高感度のリーク測定を行える等の
効果があり、請求項３の構成とすることで保守と製作コ
ストをより一層安価にできる。
【図１】従来のヘリウムリークディテクタの構成線図
【図２】接続部のリークテスト状態の説明図
【図３】本発明の実施の形態を示す構成図
【図４】本発明の他の実施の形態を示す斜視図
１ 本体、２ クリーンルーム、３ カバー、４ 空
間、５ 導入管、６ 昇圧手段、１５ 接続部、１８
排気管、
間、５ 導入管、６ 昇圧手段、１５ 接続部、１８
排気管、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 善和 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 瀬戸 規正 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 日本真空 技術株式会社内 Ｆターム(参考） 2G067 AA21 BB11 CC13 DD17
Claims (3)
- 【請求項１】ヘリウムリークディテクタの本体を密閉性
のあるカバーで覆い、該カバーに、該カバーの外部周辺
の空気と異なる成分の気体を該本体と該カバーの間の空
間へ導入する導入管を設け、該空間の圧力を該外部周辺
の空気の圧力よりも高い圧力に調整する昇圧手段を設け
たことを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 【請求項２】上記ヘリウムリークディテクタを構成する
配管及び機器の接続部に、合成樹脂製のＯリング又はパ
ッキンを使用したことを特徴とする請求項１に記載のヘ
リウムリークディテクタ。 - 【請求項３】上記カバーの外部周辺の空気と異なる成分
の気体は、ヘリウムガスの成分が自然濃度の気体であ
り、上記空間から該カバーの外部へ連通させて設けた排
気管と該導入管へ空気導入量を該排気管からの排気量よ
りも多くして該昇圧手段を構成したことを特徴とする請
求項１に記載のヘリウムリークディテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001044892A JP4369628B2 (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001044892A JP4369628B2 (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002243574A true JP2002243574A (ja) | 2002-08-28 |
| JP4369628B2 JP4369628B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=18906802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001044892A Expired - Fee Related JP4369628B2 (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4369628B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
| CN103528768A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 无锡四方友信股份有限公司 | 桶体在线充气检测及气体回收系统 |
| JP2015534088A (ja) * | 2012-11-09 | 2015-11-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 漏れ検出器 |
| CN113551851A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-10-26 | 深圳华尔升智控技术有限公司 | 一种便于调节的检测氦质谱检漏仪 |
-
2001
- 2001-02-21 JP JP2001044892A patent/JP4369628B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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