JPH05104727A - インクジエツトプリンター用ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
インクジエツトプリンター用ノズルプレートの製造方法Info
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- JPH05104727A JPH05104727A JP26966791A JP26966791A JPH05104727A JP H05104727 A JPH05104727 A JP H05104727A JP 26966791 A JP26966791 A JP 26966791A JP 26966791 A JP26966791 A JP 26966791A JP H05104727 A JPH05104727 A JP H05104727A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、インクジェットプリンター用ノズ
ルプレートのノズル穴が印刷用紙と接触してノズル穴の
損傷、汚れの発生を防止する段差形状の直径寸法自由に
制御する製造方法を実現する。 【構成】 本発明は、不導体基板上へ金属薄膜をノズル
プレートの形状に形成し、ノズル穴中心部の不導体基板
上へ段差形状部分を形成するためのレジストパターニン
グを行い、メッキ処理してインクジェットプリンター用
ノズルプレートを形成することにより、メッキ厚みに影
響されることなく段差形状部分の直径寸法を自由に得る
ことを可能にしたことを特徴とする。
ルプレートのノズル穴が印刷用紙と接触してノズル穴の
損傷、汚れの発生を防止する段差形状の直径寸法自由に
制御する製造方法を実現する。 【構成】 本発明は、不導体基板上へ金属薄膜をノズル
プレートの形状に形成し、ノズル穴中心部の不導体基板
上へ段差形状部分を形成するためのレジストパターニン
グを行い、メッキ処理してインクジェットプリンター用
ノズルプレートを形成することにより、メッキ厚みに影
響されることなく段差形状部分の直径寸法を自由に得る
ことを可能にしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピューターやファ
ックス等の外部記録装置に利用される、インクジェット
プリンターのノズルプレートに関する。
ックス等の外部記録装置に利用される、インクジェット
プリンターのノズルプレートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットプリンター用ノズ
ルプレートの製造方法は、図２０に示すように、真鍮や
銅、ステンレス等の金属材料から成る基板３１上へ数ミ
クロンから数十ミクロン厚みにフォトレジストを塗布
し、露光、現像によりパターニングしてノズル穴の段差
形状を形成するためのレジスト３２を設け、電解メッキ
により厚付メッキを行いノズルプレート３３を形成し、
ノズルプレート３３を基板３１、及びレジスト３２より
離型して、図２１に示したような、ノズルプレート３３
を得る方法が知られていた。
ルプレートの製造方法は、図２０に示すように、真鍮や
銅、ステンレス等の金属材料から成る基板３１上へ数ミ
クロンから数十ミクロン厚みにフォトレジストを塗布
し、露光、現像によりパターニングしてノズル穴の段差
形状を形成するためのレジスト３２を設け、電解メッキ
により厚付メッキを行いノズルプレート３３を形成し、
ノズルプレート３３を基板３１、及びレジスト３２より
離型して、図２１に示したような、ノズルプレート３３
を得る方法が知られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインク
ジェットプリンター用ノズルプレートの製造方法は、メ
ッキ皮膜の成長が縦、横、両方向へ同時に成長してノズ
ル穴を形成しているため、ノズル穴直径寸法Ｂ、ノズル
プレート厚み寸法Ｄ、段差形状厚みの寸法Ｅ、の３カ所
の寸法が決定されると段差形状の直径寸法Ａは自然と決
定してしまい、変更することが出来なかった。例えば、
ノズル穴直径寸法Ｂを５０ミクロン、ノズルプレート厚
み寸法Ｄを１００ミクロン、段差形状厚みの寸法Ｅを５
ミクロンと設定すると段差形状の直径寸法Ａは２４０ミ
クロン必要となる。段差形状は印刷用紙がノズル穴と直
接、接触しないために設けられているくぼみであるが、
ノズルプレートの厚みを大きくして剛性をもたせようと
すると段差形状の直径寸法Ａも大きくなり印刷用紙がノ
ズル穴と接触しやすくなるという問題点を有していた。
ジェットプリンター用ノズルプレートの製造方法は、メ
ッキ皮膜の成長が縦、横、両方向へ同時に成長してノズ
ル穴を形成しているため、ノズル穴直径寸法Ｂ、ノズル
プレート厚み寸法Ｄ、段差形状厚みの寸法Ｅ、の３カ所
の寸法が決定されると段差形状の直径寸法Ａは自然と決
定してしまい、変更することが出来なかった。例えば、
ノズル穴直径寸法Ｂを５０ミクロン、ノズルプレート厚
み寸法Ｄを１００ミクロン、段差形状厚みの寸法Ｅを５
ミクロンと設定すると段差形状の直径寸法Ａは２４０ミ
クロン必要となる。段差形状は印刷用紙がノズル穴と直
接、接触しないために設けられているくぼみであるが、
ノズルプレートの厚みを大きくして剛性をもたせようと
すると段差形状の直径寸法Ａも大きくなり印刷用紙がノ
ズル穴と接触しやすくなるという問題点を有していた。
【０００４】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するため、ノズルプレートの厚み寸法を大きくしても段
差形状の直径寸法は大きくならずに自由に設計できるイ
ンクジェットプリンター用ノズルプレートを得ることを
目的としている。
するため、ノズルプレートの厚み寸法を大きくしても段
差形状の直径寸法は大きくならずに自由に設計できるイ
ンクジェットプリンター用ノズルプレートを得ることを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のインクジェットプリンター用ノズルプレー
トの製造方法は、コンピューターの出力装置として利用
されているインクジェットプリンターの、インクを吐出
するノズル穴周囲がノズルプレート表面よりくぼんだ、
段差形状を持ったノズルプレートにおいて、不導体基板
上へ金属薄膜をノズルプレートの形状に形成し、ノズル
穴中心部の不導体基板上へ段差形状部分を形成するため
のレジストパターニングを行い、メッキ処理することに
よりメッキ厚みに影響されることなく段差形状部分の直
径寸法を自由に得ることを可能にしたことを特徴とす
る。
め、本発明のインクジェットプリンター用ノズルプレー
トの製造方法は、コンピューターの出力装置として利用
されているインクジェットプリンターの、インクを吐出
するノズル穴周囲がノズルプレート表面よりくぼんだ、
段差形状を持ったノズルプレートにおいて、不導体基板
上へ金属薄膜をノズルプレートの形状に形成し、ノズル
穴中心部の不導体基板上へ段差形状部分を形成するため
のレジストパターニングを行い、メッキ処理することに
よりメッキ厚みに影響されることなく段差形状部分の直
径寸法を自由に得ることを可能にしたことを特徴とす
る。
【０００６】
（実施例１）以下に本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１から図９は、本発明のインクジェットプリ
ンター用ノズルプレートの製造方法の製造工程を示す縦
断面図であり、図２において、セラミックスやガラス等
の不導体材料から成る基板１の表面へ蒸着により１００
オングストローム厚みのクロム２と１０００オングスト
ローム厚みの銅３を連続して形成し、続いて図３に示す
ように、銅３の表面へフォトレジスト４を１ミクロン厚
みに、スピンコーターを用いて塗布する。その後、フォ
トリソ法により、図４のように、ノズル穴径が２４０ミ
クロンになるようなノズルプレートのノズル穴形状に露
光、現像してパターニングを行う。次いで、図５に示し
たように、例えば塩化第二鉄溶液等から成る銅のエッチ
ング液により銅３をエッチングし、続いて例えば赤血塩
溶液等から成るクロムのエッチング液を用いてクロム２
をエッチングしてノズルプレート形状にパターニングす
る。次に、図６のごとく、フォトレジスト４を剥離除去
する。その後、図７のように、フォトレジスト５を５ミ
クロン厚みに、スピンコーターを用いて塗布する。続い
て、フォトリソ法により、図８のように、クロム２と銅
３によりパターニングされたノズル穴形状の中心へ直径
１５０ミクロンの段差形状にフォトレジスト５を形成す
る。その後、電解ニッケルメッキにより、図９に示した
ように、１００ミクロン厚みにメッキ処理を行うと直径
が５０ミクロンのノズル穴を持ち、段差形状の直径が１
５０ミクロンの寸法を持ったノズルプレート６が得られ
る。次に、ノズルプレート６より基板１、クロム２、銅
３、フォトレジスト５を離型すると、図１に示したよう
な、ノズルプレート６が得られる。この時、例えば、ノ
ズル穴径直径寸法Ｂを５０ミクロン、ノズルプレート厚
み寸法Ｄを１００ミクロン、段差形状厚み寸法Ｅを５ミ
クロンと設定しても、段差形状の直径寸法Ａは１５０ミ
クロンにすることが可能となる。
明する。図１から図９は、本発明のインクジェットプリ
ンター用ノズルプレートの製造方法の製造工程を示す縦
断面図であり、図２において、セラミックスやガラス等
の不導体材料から成る基板１の表面へ蒸着により１００
オングストローム厚みのクロム２と１０００オングスト
ローム厚みの銅３を連続して形成し、続いて図３に示す
ように、銅３の表面へフォトレジスト４を１ミクロン厚
みに、スピンコーターを用いて塗布する。その後、フォ
トリソ法により、図４のように、ノズル穴径が２４０ミ
クロンになるようなノズルプレートのノズル穴形状に露
光、現像してパターニングを行う。次いで、図５に示し
たように、例えば塩化第二鉄溶液等から成る銅のエッチ
ング液により銅３をエッチングし、続いて例えば赤血塩
溶液等から成るクロムのエッチング液を用いてクロム２
をエッチングしてノズルプレート形状にパターニングす
る。次に、図６のごとく、フォトレジスト４を剥離除去
する。その後、図７のように、フォトレジスト５を５ミ
クロン厚みに、スピンコーターを用いて塗布する。続い
て、フォトリソ法により、図８のように、クロム２と銅
３によりパターニングされたノズル穴形状の中心へ直径
１５０ミクロンの段差形状にフォトレジスト５を形成す
る。その後、電解ニッケルメッキにより、図９に示した
ように、１００ミクロン厚みにメッキ処理を行うと直径
が５０ミクロンのノズル穴を持ち、段差形状の直径が１
５０ミクロンの寸法を持ったノズルプレート６が得られ
る。次に、ノズルプレート６より基板１、クロム２、銅
３、フォトレジスト５を離型すると、図１に示したよう
な、ノズルプレート６が得られる。この時、例えば、ノ
ズル穴径直径寸法Ｂを５０ミクロン、ノズルプレート厚
み寸法Ｄを１００ミクロン、段差形状厚み寸法Ｅを５ミ
クロンと設定しても、段差形状の直径寸法Ａは１５０ミ
クロンにすることが可能となる。
【０００７】以上説明したように、不導体基板上に電解
メッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形状用レジス
ト形成を行い、ノズルプレート形状寸法Ｆと段差形状寸
法Ａを制御しながらノズルプレートを形成することによ
り、段差形状の直径寸法を自由に制御することが可能と
なる。
メッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形状用レジス
ト形成を行い、ノズルプレート形状寸法Ｆと段差形状寸
法Ａを制御しながらノズルプレートを形成することによ
り、段差形状の直径寸法を自由に制御することが可能と
なる。
【０００８】（実施例２）以下に本発明の一実施例を図
面に基づいて説明する。図１０から図１９は、本発明の
一実施例を示す、インクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法の製造工程を示す縦断面図であり、図
１０において、セラミックスやガラス等の不導体材料か
ら成る基板２１の表面へスパッタにより１００オングス
トローム厚みのクロム２２と１０００オングストローム
厚みの銅２３を連続して形成し、続いて図１１に示すよ
うに、銅２３の表面へフォトレジスト２４を１ミクロン
厚みに、ローラーコーターを用いて塗布する。その後、
フォトリソ法により、図１２のように、ノズル穴径が２
４０ミクロンになるようなノズルプレートのノズル穴形
状に露光、現像してパターニングを行う。次いで、図１
３に示したように、例えば塩化第二鉄溶液等から成る銅
のエッチング液により銅２３をエッチングし、続いて例
えば赤血塩溶液等から成るクロムのエッチング液を用い
てクロム２２をエッチングしてノズルプレート形状にパ
ターニングする。次に、図１４のごとく、フォトレジス
ト２４を剥離除去する。その後、図１５のように、フォ
トレジスト５を５ミクロン厚みに、ローラーコーターを
用いて塗布する。続いて、フォトリソ法により、図１６
のように、クロム２２と銅２３によりパターニングされ
たノズル穴形状の中心へ直径１５０ミクロンの段差形状
にフォトレジスト２５を形成する。次に、図１７に示し
たように、電解ニッケルメッキによりニッケル皮膜２７
を１ミクロン厚みに形成する。その後、無電解ニッケル
メッキにより、図１８に示したように、１００ミクロン
厚みにメッキ処理を行うと直径が５０ミクロンのノズル
穴を持ち、段差形状の直径が１５０ミクロンの寸法を持
ったノズルプレート２６が得られる。次に、ノズルプレ
ート２６より基板２１、クロム２２、銅２３、フォトレ
ジスト２５を離型すると、図１９に示したような、ノズ
ルプレート２６が得られる。以上説明したように、無電
解メッキを用いた場合においても、不導体基板上に無電
解メッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形状用レジ
スト形成を行い、ノズルプレートを形成することによ
り、段差形状の直径寸法を自由に制御することが可能と
なる。また、無電解メッキを利用してノズルプレートの
形成を行うと、ノズルプレートの厚みをより均一に得る
ことが可能となる。
面に基づいて説明する。図１０から図１９は、本発明の
一実施例を示す、インクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法の製造工程を示す縦断面図であり、図
１０において、セラミックスやガラス等の不導体材料か
ら成る基板２１の表面へスパッタにより１００オングス
トローム厚みのクロム２２と１０００オングストローム
厚みの銅２３を連続して形成し、続いて図１１に示すよ
うに、銅２３の表面へフォトレジスト２４を１ミクロン
厚みに、ローラーコーターを用いて塗布する。その後、
フォトリソ法により、図１２のように、ノズル穴径が２
４０ミクロンになるようなノズルプレートのノズル穴形
状に露光、現像してパターニングを行う。次いで、図１
３に示したように、例えば塩化第二鉄溶液等から成る銅
のエッチング液により銅２３をエッチングし、続いて例
えば赤血塩溶液等から成るクロムのエッチング液を用い
てクロム２２をエッチングしてノズルプレート形状にパ
ターニングする。次に、図１４のごとく、フォトレジス
ト２４を剥離除去する。その後、図１５のように、フォ
トレジスト５を５ミクロン厚みに、ローラーコーターを
用いて塗布する。続いて、フォトリソ法により、図１６
のように、クロム２２と銅２３によりパターニングされ
たノズル穴形状の中心へ直径１５０ミクロンの段差形状
にフォトレジスト２５を形成する。次に、図１７に示し
たように、電解ニッケルメッキによりニッケル皮膜２７
を１ミクロン厚みに形成する。その後、無電解ニッケル
メッキにより、図１８に示したように、１００ミクロン
厚みにメッキ処理を行うと直径が５０ミクロンのノズル
穴を持ち、段差形状の直径が１５０ミクロンの寸法を持
ったノズルプレート２６が得られる。次に、ノズルプレ
ート２６より基板２１、クロム２２、銅２３、フォトレ
ジスト２５を離型すると、図１９に示したような、ノズ
ルプレート２６が得られる。以上説明したように、無電
解メッキを用いた場合においても、不導体基板上に無電
解メッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形状用レジ
スト形成を行い、ノズルプレートを形成することによ
り、段差形状の直径寸法を自由に制御することが可能と
なる。また、無電解メッキを利用してノズルプレートの
形成を行うと、ノズルプレートの厚みをより均一に得る
ことが可能となる。
【０００９】
【発明の効果】本発明のインクジェットプリンター用ノ
ズルプレートの製造方法は、以上説明したように、不導
体基板上にメッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形
状用レジスト形成を行い、ノズルプレートを形成するこ
とにより、段差形状の直径寸法を自由に制御することが
可能となり、ノズルプレートの厚みとノズル穴径に左右
されずに段差形状寸法を設計できるため、ノズルプレー
トの厚みを厚くしても印刷用紙がノズル穴へ接触しない
インクジェットプリンター用ノズルプレートを形成でき
るという効果がある。
ズルプレートの製造方法は、以上説明したように、不導
体基板上にメッキ用銅パターニング皮膜の内側へ段差形
状用レジスト形成を行い、ノズルプレートを形成するこ
とにより、段差形状の直径寸法を自由に制御することが
可能となり、ノズルプレートの厚みとノズル穴径に左右
されずに段差形状寸法を設計できるため、ノズルプレー
トの厚みを厚くしても印刷用紙がノズル穴へ接触しない
インクジェットプリンター用ノズルプレートを形成でき
るという効果がある。
【図１】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図２】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図３】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図４】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図５】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図６】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図７】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図８】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図９】本発明のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１０】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１１】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１２】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１３】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１４】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１５】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１６】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１７】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１８】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図１９】本発明のインクジェットプリンター用ノズル
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
プレートの製造方法を示す縦断面図である。
【図２０】従来のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
【図２１】従来のインクジェットプリンター用ノズルプ
レートの製造方法を示す縦断面図である。
レートの製造方法を示す縦断面図である。
１ 基板 ２ クロム ３ 銅 ４ フォトレジスト ５ フォトレジスト ６ ノズルプレート ２１ 基板 ２２ クロム ２３ 銅 ２４ フォトレジスト ２５ フォトレジスト ２６ ノズルプレート ２７ ニッケル皮膜 Ａ 段差形状の直径寸法 Ｂ ノズル穴直径寸法 Ｄ ノズルプレート厚み寸法 Ｅ 段差形状厚みの寸法 Ｆ ノズルプレート形状寸法
Claims (1)
- 【請求項１】 コンピューターの出力装置として利用さ
れているインクジェットプリンターの、インクを吐出す
るノズル穴周囲がノズルプレート表面よりくぼんだ、段
差形状を持ったノズルプレートにおいて、不導体基板上
へ金属薄膜をノズルプレートの形状に形成し、ノズル穴
中心部の不導体基板上へ段差形状部分を形成するための
レジストパターニングを行い、メッキ処理することによ
りメッキ厚みに影響されることなく段差形状部分の直径
寸法を自由に得ることを可能にしたことを特徴とするイ
ンクジェットプリンター用ノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966791A JPH05104727A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | インクジエツトプリンター用ノズルプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966791A JPH05104727A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | インクジエツトプリンター用ノズルプレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05104727A true JPH05104727A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17475534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26966791A Pending JPH05104727A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | インクジエツトプリンター用ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05104727A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000021754A1 (fr) * | 1998-10-14 | 2000-04-20 | Nec Corporation | Tete d'imprimante a jet d'encre et imprimante a jet d'encre |
| CN110526204A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-12-03 | 大连理工大学 | 采用多步腐蚀减小压电喷墨打印头铜微电极侧蚀量的方法 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26966791A patent/JPH05104727A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000021754A1 (fr) * | 1998-10-14 | 2000-04-20 | Nec Corporation | Tete d'imprimante a jet d'encre et imprimante a jet d'encre |
| CN110526204A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-12-03 | 大连理工大学 | 采用多步腐蚀减小压电喷墨打印头铜微电极侧蚀量的方法 |
| CN110526204B (zh) * | 2019-08-02 | 2023-01-24 | 大连理工大学 | 采用多步腐蚀减小压电喷墨打印头铜微电极侧蚀量的方法 |
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