JPH0497314A - レーザ光学系装置 - Google Patents

レーザ光学系装置

Info

Publication number
JPH0497314A
JPH0497314A JP21527490A JP21527490A JPH0497314A JP H0497314 A JPH0497314 A JP H0497314A JP 21527490 A JP21527490 A JP 21527490A JP 21527490 A JP21527490 A JP 21527490A JP H0497314 A JPH0497314 A JP H0497314A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
light intensity
laser beams
rod lens
linear beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21527490A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2619977B2 (ja
Inventor
Koji Yamamoto
宏司 山本
Masakazu Sakurai
桜井 正和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YAMADA KOGAKU KOGYO KK
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
YAMADA KOGAKU KOGYO KK
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YAMADA KOGAKU KOGYO KK, Matsushita Electric Works Ltd filed Critical YAMADA KOGAKU KOGYO KK
Priority to JP2215274A priority Critical patent/JP2619977B2/ja
Publication of JPH0497314A publication Critical patent/JPH0497314A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2619977B2 publication Critical patent/JP2619977B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、シート材の表面検査や線状欠陥の検出等、外
観検査に用いるレーザ光学系装置に関するものである。
[従来の技術] 第5図に示すように、レーザ光源1からのレーザビーム
をロッドレンズ2の中心部に照射させると、左右対祢に
ビームが広がり線状となり、その光強度は第6図に示す
ように、中心部が高い山型となる。
し発明が解決しようとする課題] ところが、一般の計測用の光源として用いられる線状ビ
ームは、光強度の平滑化が要求される。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、光
強度の平滑化を図ることを目的としたレーザ光学系装置
を提供するものである。
[課題を解決するための手段] 本発明は、2つのレーザ光源からのレーザビームを合成
すると共に、両レーザビームをロッドレンズの中心に対
して略対称となる位置に照射して線状ビームの光強度を
平滑化する合成手段を設けたものである。
[作 用] 而して、合成手段により、2つのレーザ光源からのレー
ザビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレ
ンズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビ
ームの光強度を平滑化するようにしている6 [実施例コ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。本発
明は、レーザ光源から発するビームをロッドレンズに照
射し、一方向に広げる際、ロッドレンズの中心から外し
た2本のビームを合成することで、光強度が平滑な線状
ビームを得るようにしたものである。
第3図に示すように、レーザ光源1からのレーザビーム
をロッドレンズ2に照射する際、ロッドレンズ2の中心
部から端部にレーザビームの中心をずらせば、第4図に
示すように片寄ったビームの光強度分布が得られる。尚
、第3図のdはレーザビームとロッドレンズ2の軸ずら
し分を示している。
そこで、この線状ビームに第3図とは逆側にビーム中心
をずらした線状ビームを合成すれば、第2図に示すよう
に、光強度の平滑部分の大きな線状ビームが得られるこ
とになる。尚、第2図の破線は個々の線状ビームの光強
度分布を示し、実線が合成ビームの光強度分布を示して
いる。
本発明では、第1図に示すように、ロッドレンズ2にお
けるレーザビームの合成手段として、偏光ビームスプリ
ッタ3を使用し、羊−波面の2本のレーザビームを合成
する方式を採っている。
偏光ビームスプリッタ3においてA方向、B方向に微調
整することで、線状ビームの平滑化を図ることができる
。このように、偏光ビームスプリッタ3を使用すること
で、合成における2本のレーザビームの光強度の調整(
ビーム回転により偏光ビームスプリッタ3出力の光強度
を可変することが可能)、及び光強度分布と平滑化調整
(A方向、B方向の移動により光強度分布を可変するこ
とが可能)が容易に行うことができるものである。
[発明の効果] 本発明は上述のように、2つのレーザ光源からのレーザ
ビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレン
ズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビー
ムの光強度を平滑化する合成手段を設けたものであるか
ら、合成手段により、2つのレーザ光源からのレーザビ
ームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレンズ
の中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビーム
の光強度を平滑化することができ、そのため、平滑部分
の大きい線状ビームを得られる効果を奏するものである
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の構成図、第2図は同上の特性
図、第3図は同上の説明図5第4図は同上の特性図、第
5図は従来例の説明図、第6図は同上の特性図である。 ■はレーザ光源、2はロッドレンズ、3は偏光ビームス
プリッタである。 1・・レーザ光源 代理人 弁理士 石 1)長 七 第4図 第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビームを
    線状ビームにするロッドレンズとを備え、2つのレーザ
    光源からのレーザビームを合成すると共に、両レーザビ
    ームをロッドレンズの中心に対して略対称となる位置に
    照射して線状ビームの光強度を平滑化する合成手段を設
    けたことを特徴とするレーザ光学系装置。
JP2215274A 1990-08-14 1990-08-14 レーザ光学系装置 Expired - Fee Related JP2619977B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2215274A JP2619977B2 (ja) 1990-08-14 1990-08-14 レーザ光学系装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2215274A JP2619977B2 (ja) 1990-08-14 1990-08-14 レーザ光学系装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0497314A true JPH0497314A (ja) 1992-03-30
JP2619977B2 JP2619977B2 (ja) 1997-06-11

Family

ID=16669601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2215274A Expired - Fee Related JP2619977B2 (ja) 1990-08-14 1990-08-14 レーザ光学系装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2619977B2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS572015A (en) * 1980-06-06 1982-01-07 Hitachi Ltd Lighting equipment
JPS61196224A (ja) * 1985-02-26 1986-08-30 Canon Inc 扇状光発生装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS572015A (en) * 1980-06-06 1982-01-07 Hitachi Ltd Lighting equipment
JPS61196224A (ja) * 1985-02-26 1986-08-30 Canon Inc 扇状光発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2619977B2 (ja) 1997-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2151344A1 (en) Lens inspection system and method
JPS6237350A (ja) 表面熱処理装置
JPS5891423A (ja) 光ビ−ム集中装置
AU644631B2 (en) Process and apparatus for the continuous welding of strips guided in abutment by a laser beam
JPS6118937A (ja) 工業用テレビカメラの照明装置
AUPO810997A0 (en) Method and apparatus for calibration of ablation lasers
JPS6477123A (en) Reduction stepper and exposure process
JPH0497314A (ja) レーザ光学系装置
JPH0436794B2 (ja)
JPH02248900A (ja) X線露光装置
JPH06234092A (ja) レーザー加工装置
JPS60158449A (ja) 露光装置
JP2770984B2 (ja) 照明装置,投影露光装置及び素子製造方法
JPS62231924A (ja) 投影露光方法及びその装置
JP3013341B2 (ja) X線照射用光学系及びそれを用いたx線投影露光装置
JPH0262940B2 (ja)
JPH0629177A (ja) 半導体露光装置
JPH07113736B2 (ja) 照明装置
JP2611169B2 (ja) レーザー光集光照射装置
JPH01165187A (ja) 照明装置
JPH0311218U (ja)
JPH03210461A (ja) レーザ光学系装置
JPS59155920A (ja) X線露光方法
JP2798042B2 (ja) 光加工装置
JP2001100146A (ja) 光照射装置およびこれを用いた転写加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311

Year of fee payment: 12

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311

Year of fee payment: 12

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees