JPH0497314A - レーザ光学系装置 - Google Patents
レーザ光学系装置Info
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- JPH0497314A JPH0497314A JP21527490A JP21527490A JPH0497314A JP H0497314 A JPH0497314 A JP H0497314A JP 21527490 A JP21527490 A JP 21527490A JP 21527490 A JP21527490 A JP 21527490A JP H0497314 A JPH0497314 A JP H0497314A
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- JP
- Japan
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- laser
- light intensity
- laser beams
- rod lens
- linear beam
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、シート材の表面検査や線状欠陥の検出等、外
観検査に用いるレーザ光学系装置に関するものである。
観検査に用いるレーザ光学系装置に関するものである。
［従来の技術］
第５図に示すように、レーザ光源１からのレーザビーム
をロッドレンズ２の中心部に照射させると、左右対祢に
ビームが広がり線状となり、その光強度は第６図に示す
ように、中心部が高い山型となる。
をロッドレンズ２の中心部に照射させると、左右対祢に
ビームが広がり線状となり、その光強度は第６図に示す
ように、中心部が高い山型となる。
し発明が解決しようとする課題］
ところが、一般の計測用の光源として用いられる線状ビ
ームは、光強度の平滑化が要求される。
ームは、光強度の平滑化が要求される。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、光
強度の平滑化を図ることを目的としたレーザ光学系装置
を提供するものである。
強度の平滑化を図ることを目的としたレーザ光学系装置
を提供するものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、２つのレーザ光源からのレーザビームを合成
すると共に、両レーザビームをロッドレンズの中心に対
して略対称となる位置に照射して線状ビームの光強度を
平滑化する合成手段を設けたものである。
すると共に、両レーザビームをロッドレンズの中心に対
して略対称となる位置に照射して線状ビームの光強度を
平滑化する合成手段を設けたものである。
［作 用］
而して、合成手段により、２つのレーザ光源からのレー
ザビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレ
ンズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビ
ームの光強度を平滑化するようにしている６ ［実施例コ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。本発
明は、レーザ光源から発するビームをロッドレンズに照
射し、一方向に広げる際、ロッドレンズの中心から外し
た２本のビームを合成することで、光強度が平滑な線状
ビームを得るようにしたものである。
ザビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレ
ンズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビ
ームの光強度を平滑化するようにしている６ ［実施例コ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。本発
明は、レーザ光源から発するビームをロッドレンズに照
射し、一方向に広げる際、ロッドレンズの中心から外し
た２本のビームを合成することで、光強度が平滑な線状
ビームを得るようにしたものである。
第３図に示すように、レーザ光源１からのレーザビーム
をロッドレンズ２に照射する際、ロッドレンズ２の中心
部から端部にレーザビームの中心をずらせば、第４図に
示すように片寄ったビームの光強度分布が得られる。尚
、第３図のｄはレーザビームとロッドレンズ２の軸ずら
し分を示している。
をロッドレンズ２に照射する際、ロッドレンズ２の中心
部から端部にレーザビームの中心をずらせば、第４図に
示すように片寄ったビームの光強度分布が得られる。尚
、第３図のｄはレーザビームとロッドレンズ２の軸ずら
し分を示している。
そこで、この線状ビームに第３図とは逆側にビーム中心
をずらした線状ビームを合成すれば、第２図に示すよう
に、光強度の平滑部分の大きな線状ビームが得られるこ
とになる。尚、第２図の破線は個々の線状ビームの光強
度分布を示し、実線が合成ビームの光強度分布を示して
いる。
をずらした線状ビームを合成すれば、第２図に示すよう
に、光強度の平滑部分の大きな線状ビームが得られるこ
とになる。尚、第２図の破線は個々の線状ビームの光強
度分布を示し、実線が合成ビームの光強度分布を示して
いる。
本発明では、第１図に示すように、ロッドレンズ２にお
けるレーザビームの合成手段として、偏光ビームスプリ
ッタ３を使用し、羊−波面の２本のレーザビームを合成
する方式を採っている。
けるレーザビームの合成手段として、偏光ビームスプリ
ッタ３を使用し、羊−波面の２本のレーザビームを合成
する方式を採っている。
偏光ビームスプリッタ３においてＡ方向、Ｂ方向に微調
整することで、線状ビームの平滑化を図ることができる
。このように、偏光ビームスプリッタ３を使用すること
で、合成における２本のレーザビームの光強度の調整（
ビーム回転により偏光ビームスプリッタ３出力の光強度
を可変することが可能）、及び光強度分布と平滑化調整
（Ａ方向、Ｂ方向の移動により光強度分布を可変するこ
とが可能）が容易に行うことができるものである。
整することで、線状ビームの平滑化を図ることができる
。このように、偏光ビームスプリッタ３を使用すること
で、合成における２本のレーザビームの光強度の調整（
ビーム回転により偏光ビームスプリッタ３出力の光強度
を可変することが可能）、及び光強度分布と平滑化調整
（Ａ方向、Ｂ方向の移動により光強度分布を可変するこ
とが可能）が容易に行うことができるものである。
［発明の効果］
本発明は上述のように、２つのレーザ光源からのレーザ
ビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレン
ズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビー
ムの光強度を平滑化する合成手段を設けたものであるか
ら、合成手段により、２つのレーザ光源からのレーザビ
ームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレンズ
の中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビーム
の光強度を平滑化することができ、そのため、平滑部分
の大きい線状ビームを得られる効果を奏するものである
。
ビームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレン
ズの中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビー
ムの光強度を平滑化する合成手段を設けたものであるか
ら、合成手段により、２つのレーザ光源からのレーザビ
ームを合成すると共に、両レーザビームをロッドレンズ
の中心に対して略対称となる位置に照射して線状ビーム
の光強度を平滑化することができ、そのため、平滑部分
の大きい線状ビームを得られる効果を奏するものである
。
第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は同上の特性
図、第３図は同上の説明図５第４図は同上の特性図、第
５図は従来例の説明図、第６図は同上の特性図である。 ■はレーザ光源、２はロッドレンズ、３は偏光ビームス
プリッタである。 １・・レーザ光源 代理人 弁理士 石 １）長 七 第４図 第６図
図、第３図は同上の説明図５第４図は同上の特性図、第
５図は従来例の説明図、第６図は同上の特性図である。 ■はレーザ光源、２はロッドレンズ、３は偏光ビームス
プリッタである。 １・・レーザ光源 代理人 弁理士 石 １）長 七 第４図 第６図
Claims (1)
- （１）レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビームを
線状ビームにするロッドレンズとを備え、２つのレーザ
光源からのレーザビームを合成すると共に、両レーザビ
ームをロッドレンズの中心に対して略対称となる位置に
照射して線状ビームの光強度を平滑化する合成手段を設
けたことを特徴とするレーザ光学系装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215274A JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215274A JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497314A true JPH0497314A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2619977B2 JP2619977B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=16669601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2215274A Expired - Fee Related JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2619977B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572015A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Hitachi Ltd | Lighting equipment |
| JPS61196224A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Canon Inc | 扇状光発生装置 |
-
1990
- 1990-08-14 JP JP2215274A patent/JP2619977B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572015A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Hitachi Ltd | Lighting equipment |
| JPS61196224A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Canon Inc | 扇状光発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2619977B2 (ja) | 1997-06-11 |
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Legal Events
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