JP2619977B2 - レーザ光学系装置 - Google Patents
レーザ光学系装置Info
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- JP2619977B2 JP2619977B2 JP2215274A JP21527490A JP2619977B2 JP 2619977 B2 JP2619977 B2 JP 2619977B2 JP 2215274 A JP2215274 A JP 2215274A JP 21527490 A JP21527490 A JP 21527490A JP 2619977 B2 JP2619977 B2 JP 2619977B2
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- JP
- Japan
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- laser
- rod lens
- linear
- light intensity
- beams
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、シート材の表面検査や線状欠陥の検出等、
外観検査に用いるレーザ光学系装置に関するものであ
る。
外観検査に用いるレーザ光学系装置に関するものであ
る。
［従来の技術］ 第５図に示すように、レーザ光源１からのレーザビー
ムをロッドレンズ２の中心部に照射させると、左右対称
にビームが広がり線状となり、その光強度は第６図に示
すように、中心部が高い山型となる。
ムをロッドレンズ２の中心部に照射させると、左右対称
にビームが広がり線状となり、その光強度は第６図に示
すように、中心部が高い山型となる。
［発明が解決しようとする課題］ ところが、一般の計測用の光源として用いられる線状
ビームは、光強度の平滑化が要求される。
ビームは、光強度の平滑化が要求される。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、
光強度の平滑化を図ることを目的としたレーザ光学系装
置を提供するものである。
光強度の平滑化を図ることを目的としたレーザ光学系装
置を提供するものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、互いに異なる方向へレーザビームを照射す
る２つのレーザ光源と、入射したレーザビームを線状ビ
ームにするロッドレンズと、各レーザ光源からの２本の
レーザビームの方向を略同一方向に変更するとともに各
レーザビームをロッドレンズの光軸に対して略対称にず
らせて入射する手段とを備えたものである。
る２つのレーザ光源と、入射したレーザビームを線状ビ
ームにするロッドレンズと、各レーザ光源からの２本の
レーザビームの方向を略同一方向に変更するとともに各
レーザビームをロッドレンズの光軸に対して略対称にず
らせて入射する手段とを備えたものである。
［作 用］ 而して、上記手段により、互いに異なる方向に照射さ
れた２つのレーザ光源からの２本のレーザビームの方向
を略同一方向に変更させるとともに各レーザビームをロ
ッドレンズの光軸に対して略対称にずらせて入射するよ
うにして、ロッドレンズから出射される各線状ビームが
合成された部分の光強度を平滑化するようにしている。
れた２つのレーザ光源からの２本のレーザビームの方向
を略同一方向に変更させるとともに各レーザビームをロ
ッドレンズの光軸に対して略対称にずらせて入射するよ
うにして、ロッドレンズから出射される各線状ビームが
合成された部分の光強度を平滑化するようにしている。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。本
発明は、互いに異なる方向に照射された２つのレーザ光
源からの２本のレーザビームの方向を略同一方向に変更
するとともに各レーザビームをロッドレンズの光軸に対
して略対称にずらせて入射するようにして、ロッドレン
ズから出射される各線状ビームが合成された部分の光強
度を平滑化するようにしたものである。
発明は、互いに異なる方向に照射された２つのレーザ光
源からの２本のレーザビームの方向を略同一方向に変更
するとともに各レーザビームをロッドレンズの光軸に対
して略対称にずらせて入射するようにして、ロッドレン
ズから出射される各線状ビームが合成された部分の光強
度を平滑化するようにしたものである。
第３図に示すように、レーザ光源１からのレーザビー
ムLBをロッドレンズ２に照射する際、ロッドレンズ２の
光軸から端部の方にレーザビームLBの中心をずらせば、
ロッドレンズ２から出射された線状ビームLB′の光強度
分布は第４図に示すように片寄ったものとなる。尚、第
３図のｄはレーザビームLBとロッドレンズ２の軸ずらし
分を示している。
ムLBをロッドレンズ２に照射する際、ロッドレンズ２の
光軸から端部の方にレーザビームLBの中心をずらせば、
ロッドレンズ２から出射された線状ビームLB′の光強度
分布は第４図に示すように片寄ったものとなる。尚、第
３図のｄはレーザビームLBとロッドレンズ２の軸ずらし
分を示している。
そこで、本実施例では、第１図に示すように、図示し
ない２つのレーザ光源から互いに異なる方向へ照射され
る２本のレーザビームLB1,LB2の方向を、偏向ビームス
プリッタ３により略同一方向（略平行）に変更させると
ともにロッドレンズ２の光軸に対して略対称にずらして
入射している。これにより、ロッドレンズ２から出射さ
れる２本の線状ビームLB1′,LB2′には、第２図の点線
で示すような互いに逆側に片寄った光強度分布が得られ
るので、同図に示すように２本の線状ビームLB1′,L
B2′が合成された光強度の平滑部分を大きくすることが
できる。
ない２つのレーザ光源から互いに異なる方向へ照射され
る２本のレーザビームLB1,LB2の方向を、偏向ビームス
プリッタ３により略同一方向（略平行）に変更させると
ともにロッドレンズ２の光軸に対して略対称にずらして
入射している。これにより、ロッドレンズ２から出射さ
れる２本の線状ビームLB1′,LB2′には、第２図の点線
で示すような互いに逆側に片寄った光強度分布が得られ
るので、同図に示すように２本の線状ビームLB1′,L
B2′が合成された光強度の平滑部分を大きくすることが
できる。
本発明では、２本のレーザビームLB1,LB2の方向を変
更させてロッドレンズ２に入射する上記手段として、変
更ビームスブリッタ３を使用し、単一波面の２本のレー
ザビームLB1,LB2をロッドレンズ２に入射するようにし
ている。
更させてロッドレンズ２に入射する上記手段として、変
更ビームスブリッタ３を使用し、単一波面の２本のレー
ザビームLB1,LB2をロッドレンズ２に入射するようにし
ている。
なお、偏光ビームスブリッタ３を第１図におけるＡ方
向、Ｂ方向に微調整することで、合成された線状ビーム
をさらに平滑化することができる。このように、上記手
段として偏光ビームスブリッタ３を使用すれば、２本の
レーザビームLB1,LB2の光強度の調整（ビーム回転によ
り偏光ビームスプリッタ３出力の光強度を可変すること
が可能）、及び光強度分布と平滑化調整（Ａ方向、Ｂ方
向の移動により光強度分布を可変することが可能）が容
易に行うことができるという利点がある。
向、Ｂ方向に微調整することで、合成された線状ビーム
をさらに平滑化することができる。このように、上記手
段として偏光ビームスブリッタ３を使用すれば、２本の
レーザビームLB1,LB2の光強度の調整（ビーム回転によ
り偏光ビームスプリッタ３出力の光強度を可変すること
が可能）、及び光強度分布と平滑化調整（Ａ方向、Ｂ方
向の移動により光強度分布を可変することが可能）が容
易に行うことができるという利点がある。
［発明の効果］ 本発明は上述のように、互いに異なる方向へレーザビ
ームを照射する２つのレーザ光源と、入射したレーザビ
ームを線状ビームにするロッドレンズと、各レーザ光源
からの２本のレーザビームの方向を略同一方向に変更さ
せるとともに各レーザビームをロッドレンスの光軸に対
して略対称にずらせて入射する手段とを備えたので、ロ
ッドレンズから出射される２つの線状ビームの光強度分
布が互いに逆側に片寄ることになり、その結果、両者が
合成された線状ビームの光強度を平滑化することがで
き、そのため、平滑部分の大きい線状ビームが簡単な構
成により得られるという効果を奏するものである。
ームを照射する２つのレーザ光源と、入射したレーザビ
ームを線状ビームにするロッドレンズと、各レーザ光源
からの２本のレーザビームの方向を略同一方向に変更さ
せるとともに各レーザビームをロッドレンスの光軸に対
して略対称にずらせて入射する手段とを備えたので、ロ
ッドレンズから出射される２つの線状ビームの光強度分
布が互いに逆側に片寄ることになり、その結果、両者が
合成された線状ビームの光強度を平滑化することがで
き、そのため、平滑部分の大きい線状ビームが簡単な構
成により得られるという効果を奏するものである。
第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は同上の特性
図、第３図は同上の説明図、第４図は同上の特性図、第
５図は従来例の説明図、第６図は同上の特性図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズ、３は偏光ビームス
プリッタである。
図、第３図は同上の説明図、第４図は同上の特性図、第
５図は従来例の説明図、第６図は同上の特性図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズ、３は偏光ビームス
プリッタである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 正和 埼玉県川越市大字今福2773番地 山田光 学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−196224（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−2015（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】互いに異なる方向へレーザビームを照射す
る２つのレーザ光源と、入射したレーザビームを線状ビ
ームにするロッドレンズと、各レーザ光源からの２本の
レーザビームの方向を略同一方向に変更させるとともに
各レーザビームをロッドレンズの光軸に対して略対称に
ずらせて入射する手段とを備えたことを特徴とするレー
ザ光学系装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215274A JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215274A JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497314A JPH0497314A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2619977B2 true JP2619977B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=16669601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2215274A Expired - Fee Related JP2619977B2 (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | レーザ光学系装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2619977B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572015A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Hitachi Ltd | Lighting equipment |
| JPS61196224A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Canon Inc | 扇状光発生装置 |
-
1990
- 1990-08-14 JP JP2215274A patent/JP2619977B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0497314A (ja) | 1992-03-30 |
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Legal Events
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