JP2001006167A5 - - Google Patents

Description

例えば、多眼レンズ２２の代わりに、図８に示されるような、ＡＯＭ（音響光学変調器）３２および結像レンズ３４を利用する方法が例示される。なお、図８においては、テープＴは、紙面に垂直方向に搬送される。また、この例では、成形器２０は用いなくてもよく、レーザビームが十分なビーム径を有するものであれば、ビームエクスパンダ１８も用いなくてもよい。
この例においては、ＡＯＭ３２をレーザビームの分割手段とするものであり、ドライバ３６によって、ＡＯＭ３２に複数の周波数信号（あるいは、周波数信号を連続的に振る）を入力する。これにより、多数のブラック回折が発生し、多数のブラック角でレーザビームが射出する。
この複数のレーザビームを、結像レンズ３４によって互いに平行な光線とし、かつ加工位置に結像させることにより、前述の例と同様、長手方向に延在する複数の加工線を形成することができる。

図１２に、さらに別の例を示す。この例は、レーザビームの干渉を利用して多数の加工線を形成するものであって、図３に示される加工装置１０の多眼レンズ２２の代わりに、ビームウエスト位置調整手段７０、ビームスプリッタ８１、収束レンズ７４を配置したものである。
なお、この図においても、テープＴは加工位置において、紙面と垂直方向に搬送される。また、この例でも、成形器２０およびビームエクスパンダ１８は配置しなくてもよい。

図１２に示される例においては、レーザビームは、成形器２０によってビームプロファイルを成形され、ビームウエスト位置調整手段７０によってビームウエスト位置Ｗを調整された後に、ビームスプリッタ８１によってテープＴの幅方向に２本のレーザビームに分割される。
２本のレーザビームは、収束レンズ７４によって収束される。ここで、本例においては、各レーザビームのビームウエスト位置Ｗと収束位置とが一致するように、ビームウエスト位置調整手段７０によってビームウエスト位置Ｗを調整し、ここを加工位置とする。

ここで、この態様においては、テープＴのバック層を加工するレーザビームは、点ではなく、長手方向に延在する干渉縞である。従って、パルス変調器１４を駆動して図１（Ｂ）に示されるような加工線分ｂを形成する際には、その最小（最短）サイズは干渉縞の長さに近いサイズとなる。
また、ビームスプリッタ８１は、レーザビームを２本以上に分割できる公知のものが各種利用可能である。さらに、レーザビームの分割数（すなわち干渉させるレーザビームの数）は、図示例の２本に限定はされず、必要に応じて、３本以上のレーザビームを干渉させて、干渉縞を形成してもよい。

この構成によれば、アパーチャ８２や光通過部のサイズを大きくすることができるので、テープガイド８４の加工性等をより良好にすることができ、テープガイド８４のコストを低減することができる。

【符号の説明】
１０，５０，６０ 加工装置
１２ 光源
１４ パルス変調器
１６ ミラー
１８ ビームエクスパンダ
２０ （ビームプロファイル）成形器
２２ 多眼レンズ
２４ 搬送手段
２６，２８ ガイドローラ
３０ テープフラットナ
３２ ＡＯＭ
３４，４０ 結像レンズ
３６ ドライバ
３８ 分割手段
４２ ビーム移動手段
４４ テープ移動手段
５２ ＬＤアレイ
５４ レンズアレイ
６２ ｘ方向走査素子
６４ ｙ方向走査素子
６６ 収束レンズ
７０ ビームウエスト位置調整手段
７２，８１ ビームスプリッタ
７４ 収束レンズ
７６ ロッドレンズ
７８ シリンドリカルレンズ
８０ アパーチャ板
８２ アパーチャ
８４ テープガイド
８６ ガイド支持体
８８ ミラー
９０ シート状レーザ形成手段
９２ ガイドクリーナ

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