JPH03210461A - レーザ光学系装置 - Google Patents
レーザ光学系装置Info
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- JPH03210461A JPH03210461A JP595690A JP595690A JPH03210461A JP H03210461 A JPH03210461 A JP H03210461A JP 595690 A JP595690 A JP 595690A JP 595690 A JP595690 A JP 595690A JP H03210461 A JPH03210461 A JP H03210461A
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- Japan
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- linear
- laser
- rod lenses
- beams
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
し産業上の利用分野］
本発明は、シート材の表面検査や線状欠陥の検出等に用
いるレーザ光学系装置に関するものである。
いるレーザ光学系装置に関するものである。
［従来の技術］
レーザ光源からのレーザビームをロッドレンズの中心部
に照射させると、線状ビームは左右対称に広がり、その
光強度分布も左右対称になる。
に照射させると、線状ビームは左右対称に広がり、その
光強度分布も左右対称になる。
［発明が解決しようとする課題］
上記レーザ光源とロッドレンズとを２組設け、ロッドレ
ンズからの線状ビームを合成した場合、使用部分のビー
ムパワーが半減し、光強度の均一部分の幅を大きく取る
ことができないという問題がある。
ンズからの線状ビームを合成した場合、使用部分のビー
ムパワーが半減し、光強度の均一部分の幅を大きく取る
ことができないという問題がある。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、合
成した線状ビームの光強度を平滑化することを目的とし
たレーザ光学系装置を提供するものである。
成した線状ビームの光強度を平滑化することを目的とし
たレーザ光学系装置を提供するものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビー
ムを線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レー
ザ光源とロッドレンズとを２組並設し、レーザ光源から
のレーザビームのロッドレンズへの照射位置を外側の端
部にずらし、両ロッドレンズからの線状ビームを合成し
たものである。
ムを線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レー
ザ光源とロッドレンズとを２組並設し、レーザ光源から
のレーザビームのロッドレンズへの照射位置を外側の端
部にずらし、両ロッドレンズからの線状ビームを合成し
たものである。
［作 用］
而して、２組のレーザ光源からのレーザビームをロッド
レンズの外側の端部に夫々照射して、１つのロッドレン
ズからの線状ビームの強度を傾斜させ、２つのロッドレ
ンズからの線状ビームを合成することで、光強度を平滑
化するようにしている。
レンズの外側の端部に夫々照射して、１つのロッドレン
ズからの線状ビームの強度を傾斜させ、２つのロッドレ
ンズからの線状ビームを合成することで、光強度を平滑
化するようにしている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第３
図はレーザ光源１とロッドレンズ２とを夫々１つ配置し
て、レーザ光源１からのレーザビームのロッドレンズ２
への照射位置を端部にずらしたものである。従って、こ
の構成による線状ビームの光強度は第４図に示すように
、片寄った光強度分布を得る。
図はレーザ光源１とロッドレンズ２とを夫々１つ配置し
て、レーザ光源１からのレーザビームのロッドレンズ２
への照射位置を端部にずらしたものである。従って、こ
の構成による線状ビームの光強度は第４図に示すように
、片寄った光強度分布を得る。
そこで、第１図に示すように、レーザ光源１とロッドレ
ンズ２とを２組配置し、レーザ光源１からのレーザビー
ムがロッドレンズ２の外側の端部に夫々照射されるよう
に配置している。そして、両ロッドレンズ２からの線状
ビームを合成することで、第２図に示すように、光強度
を平滑化したビームを得ることができる。
ンズ２とを２組配置し、レーザ光源１からのレーザビー
ムがロッドレンズ２の外側の端部に夫々照射されるよう
に配置している。そして、両ロッドレンズ２からの線状
ビームを合成することで、第２図に示すように、光強度
を平滑化したビームを得ることができる。
第５図は、金属等不透明なシート材３の表面検査を行う
際、本発明の光学系を光源として、その反射光をカメラ
式、密着式等のラインセンサー４で捕えるようにした構
成図を示すものである。
際、本発明の光学系を光源として、その反射光をカメラ
式、密着式等のラインセンサー４で捕えるようにした構
成図を示すものである。
ラインセンサー４は、正反射位置もしくは非正反射位置
に設置し、シート材３上に照射された線状ビームに対し
て、レンズの焦点を合わせている。
に設置し、シート材３上に照射された線状ビームに対し
て、レンズの焦点を合わせている。
そして、ラインセンサー４の受光量を平滑化するように
、レンズ光源１とロッドレンズ２の位置関係を決定して
いる。
、レンズ光源１とロッドレンズ２の位置関係を決定して
いる。
上記第５図の構成において、カメラ式ラインセンサーで
細長い線状欠陥を検出する場合、欠陥の長手方向がレー
ザ照射方向と平行であると、照射ラインの端部で検出し
難くなる。そこで、第６図に示すように、照射ラインを
２方向とし、照射ラインのなす角度φを与えることによ
り、線状欠陥の方向性によらず、十分な検出力を得るこ
とができる。
細長い線状欠陥を検出する場合、欠陥の長手方向がレー
ザ照射方向と平行であると、照射ラインの端部で検出し
難くなる。そこで、第６図に示すように、照射ラインを
２方向とし、照射ラインのなす角度φを与えることによ
り、線状欠陥の方向性によらず、十分な検出力を得るこ
とができる。
［発明の効果］
本発明は上述のように、レーザ光源と、レーザ光源から
のレーザビームを線状ビームにする口・ソドレンズとを
備え、上記レーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、
レーザ光源からのレーザビームのロッドレンズへの照射
位置を外側の端部にずらし、両ロッドレンズからの線状
ビームをき成したものであるから、２組のレーザ光源か
らのレーザビームをロッドレンズの外側の端部に夫々照
射して、１つのロッドレンズからの線状ビームの強度を
傾斜させ、２つのロッドレンズからの線状ビームを合成
することで、光強度を平滑化することができ、光強度を
平滑化された線状ビームを得ることができ、また、レー
ザビームを片寄らせることで、ビームパワーを有効に利
用できると共に、片側への広がり角が大きくなり、２組
の光学系を廻して幅の大きい線状ビームを得ることがで
きる効果を奏するものである。
のレーザビームを線状ビームにする口・ソドレンズとを
備え、上記レーザ光源とロッドレンズとを２組並設し、
レーザ光源からのレーザビームのロッドレンズへの照射
位置を外側の端部にずらし、両ロッドレンズからの線状
ビームをき成したものであるから、２組のレーザ光源か
らのレーザビームをロッドレンズの外側の端部に夫々照
射して、１つのロッドレンズからの線状ビームの強度を
傾斜させ、２つのロッドレンズからの線状ビームを合成
することで、光強度を平滑化することができ、光強度を
平滑化された線状ビームを得ることができ、また、レー
ザビームを片寄らせることで、ビームパワーを有効に利
用できると共に、片側への広がり角が大きくなり、２組
の光学系を廻して幅の大きい線状ビームを得ることがで
きる効果を奏するものである。
第１図は本発明の実施例の配置構成図、第２図は同上の
特性図、第３図は同上の１組の場合の配置構成図、第４
図は同上の特性図、第５図は同上めラインセンサーによ
るンート材表面を検査する堝りの構成図、第６図は同上
の線状欠陥と検出する場Ｎの説明図で１６６゜ ｌはレーザ光源、２はロッドレンズで、ｂる。
特性図、第３図は同上の１組の場合の配置構成図、第４
図は同上の特性図、第５図は同上めラインセンサーによ
るンート材表面を検査する堝りの構成図、第６図は同上
の線状欠陥と検出する場Ｎの説明図で１６６゜ ｌはレーザ光源、２はロッドレンズで、ｂる。
Claims (1)
- （１）レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビームを
線状ビームにするロッドレンズとを備え、上記レーザ光
源とロッドレンズとを２組並設し、レーザ光源からのレ
ーザビームのロッドレンズへの照射位置を外側の端部に
ずらし、両ロッドレンズからの線状ビームを合成したこ
とを特徴とするレーザ光学系装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595690A JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595690A JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210461A true JPH03210461A (ja) | 1991-09-13 |
| JP3105899B2 JP3105899B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=11625346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP595690A Expired - Fee Related JP3105899B2 (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105899B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956351B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2010-05-07 | 서창환 | 광선을 이용한 기하 도형 형성 방법 및 형성 장치 |
-
1990
- 1990-01-13 JP JP595690A patent/JP3105899B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100956351B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2010-05-07 | 서창환 | 광선을 이용한 기하 도형 형성 방법 및 형성 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3105899B2 (ja) | 2000-11-06 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |