JPH0497311A - 斜視用光学顕微鏡 - Google Patents
斜視用光学顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0497311A JPH0497311A JP21597490A JP21597490A JPH0497311A JP H0497311 A JPH0497311 A JP H0497311A JP 21597490 A JP21597490 A JP 21597490A JP 21597490 A JP21597490 A JP 21597490A JP H0497311 A JPH0497311 A JP H0497311A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- optical system
- lens
- reflecting mirrors
- objective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 4
- 208000004350 Strabismus Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子部品のハンダ付は状態や精密部品などを斜
め上方から観察するための光学顕微鏡に関する。
め上方から観察するための光学顕微鏡に関する。
従来の顕微鏡、特に−船釣な実体顕微鏡は観察対象の試
料を垂直上方から拡大観察するよう構成されている。一
方、最近電子機器の生産工場分野で、プリント基板に精
密微細部品特に、表面実装部品を実装する機会が非常に
増えている。
料を垂直上方から拡大観察するよう構成されている。一
方、最近電子機器の生産工場分野で、プリント基板に精
密微細部品特に、表面実装部品を実装する機会が非常に
増えている。
この時電子部品のハンダ付は仕上り状態の検査は製品の
品質上特に重要であるが、この検査では試料の電子部品
のリード（足）を斜め上方から見ないと良否の判別が難
しい。特にフラットバッケジ型のＩＣではリードの後方
奥まで眺きこまないと良否の確認が困難である。しかし
ながら現在の所、本分野に適した顕微鏡がないため、完
全な目視検査に多くの時間を費している。すなわち、実
体顕微鏡での検査では、プリント基板を斜めにして観察
する必要があるため、ピントが合わせにくい、プリント
基板を固定して見にくい。倍率を上げると、対物レンズ
が下がるため、作業スペースが取りにくい、斜め観察の
ため影が出やすく、像が暗い等の問題点が多く出ている
。
品質上特に重要であるが、この検査では試料の電子部品
のリード（足）を斜め上方から見ないと良否の判別が難
しい。特にフラットバッケジ型のＩＣではリードの後方
奥まで眺きこまないと良否の確認が困難である。しかし
ながら現在の所、本分野に適した顕微鏡がないため、完
全な目視検査に多くの時間を費している。すなわち、実
体顕微鏡での検査では、プリント基板を斜めにして観察
する必要があるため、ピントが合わせにくい、プリント
基板を固定して見にくい。倍率を上げると、対物レンズ
が下がるため、作業スペースが取りにくい、斜め観察の
ため影が出やすく、像が暗い等の問題点が多く出ている
。
本発明はまず第一に今の一般実体顕微鈍が、斜め上方観
察するような光学系構成ではないという問題を解決する
だめ、新しい斜視観察顕微鏡の構造を提案する。又対物
レンズと試料間の距離、いわゆる作動距離（ワークデイ
スタンス）が短かく、手作業しにくいという問題点も同
時に解決する構造を提案する。さらに斜め上方観察の時
、問題になる方向による死角をなくすだめの手段も提案
している。
察するような光学系構成ではないという問題を解決する
だめ、新しい斜視観察顕微鏡の構造を提案する。又対物
レンズと試料間の距離、いわゆる作動距離（ワークデイ
スタンス）が短かく、手作業しにくいという問題点も同
時に解決する構造を提案する。さらに斜め上方観察の時
、問題になる方向による死角をなくすだめの手段も提案
している。
前記問題点を解決するため、試料（６）に対し、斜め上
方に配置した対物レンズ（１）と前記対物レンズ（１）
からの入射光を反射し、前記試料の垂直上方に導く一連
の反射鏡ｆ２＋ 、 （３）と前記反射鏡（３）からの
光を結像する中間レンズ（４）と、この結像された像を
拡大観察するよう配置した接眼レンズ（５）と前記対物
レンズ（１）から前記一連の反射鏡（２） 、 ＋３＋
までの光学系が一体構造として前記中間レンズ（４）以
降の光学系に対し、前記試料の観察点を中心とした垂直
軸の回りを回転する機構とを具備する。本発明は以上の
構成よりなる斜視光学顕微鏡である。
方に配置した対物レンズ（１）と前記対物レンズ（１）
からの入射光を反射し、前記試料の垂直上方に導く一連
の反射鏡ｆ２＋ 、 （３）と前記反射鏡（３）からの
光を結像する中間レンズ（４）と、この結像された像を
拡大観察するよう配置した接眼レンズ（５）と前記対物
レンズ（１）から前記一連の反射鏡（２） 、 ＋３＋
までの光学系が一体構造として前記中間レンズ（４）以
降の光学系に対し、前記試料の観察点を中心とした垂直
軸の回りを回転する機構とを具備する。本発明は以上の
構成よりなる斜視光学顕微鏡である。
以下本発明を図に示す実施例を用いて具体的に説明する
。第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。−点
鎖線で囲った光学系ブロックＣＩＯ＋は対物レンズ（１
）と一連の反射鏡（２）、 （３）とからなる−体構造
をしており、−点鎖線で囲った第２の光学系ブロック０
Ｄに対してフラットパッケージ型ＩＣの試料（６）の観
察点つまり、リード（足）を中心とした垂直軸（図中の
破線で、第２の光学系ブロックＯＩ）の光軸と一致）の
回りを回転できる構造としている。次に作用を説明する
。対物レンズ（１）のほぼ焦点位置に置かれた試料（６
）からの光線は対物レンズ（１）に入射後、レンズ（１
）の光軸にほぼ平行な光線となシ、反射鏡ｆ２＋ 、
（３）により曲げられて、第２の光学ブロックａｕ）の
光軸にもほぼ平行な光線として、垂直入射する。中間レ
ンズ（４）に入射した光線は本レンズ（４）のほぼ焦点
位置に試料の拡大像（８）を結像する。この時の拡大倍
率ｍ０は、中間レンズ（４）の焦点距離をＦ、対物レン
ズ（１）の焦点距離をｆとすると、ｍｏ＝Ｆ／ｆである
。次に接眼レンズ（５）により観察者の肉眼（９）は、
拡大像（８）を明視の位置上に、さらに拡大した像（図
示せず）として観察する。
。第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。−点
鎖線で囲った光学系ブロックＣＩＯ＋は対物レンズ（１
）と一連の反射鏡（２）、 （３）とからなる−体構造
をしており、−点鎖線で囲った第２の光学系ブロック０
Ｄに対してフラットパッケージ型ＩＣの試料（６）の観
察点つまり、リード（足）を中心とした垂直軸（図中の
破線で、第２の光学系ブロックＯＩ）の光軸と一致）の
回りを回転できる構造としている。次に作用を説明する
。対物レンズ（１）のほぼ焦点位置に置かれた試料（６
）からの光線は対物レンズ（１）に入射後、レンズ（１
）の光軸にほぼ平行な光線となシ、反射鏡ｆ２＋ 、
（３）により曲げられて、第２の光学ブロックａｕ）の
光軸にもほぼ平行な光線として、垂直入射する。中間レ
ンズ（４）に入射した光線は本レンズ（４）のほぼ焦点
位置に試料の拡大像（８）を結像する。この時の拡大倍
率ｍ０は、中間レンズ（４）の焦点距離をＦ、対物レン
ズ（１）の焦点距離をｆとすると、ｍｏ＝Ｆ／ｆである
。次に接眼レンズ（５）により観察者の肉眼（９）は、
拡大像（８）を明視の位置上に、さらに拡大した像（図
示せず）として観察する。
この時の接眼レンズの倍率ｍ。は２５０／ｆｅであるの
で、総合倍率をＭとすると本発明による斜視用光学顕微
鏡の倍率はＭ ＝ ｍｏ ｍｅで与えられる。
で、総合倍率をＭとすると本発明による斜視用光学顕微
鏡の倍率はＭ ＝ ｍｏ ｍｅで与えられる。
本発明によれば、第１の光学系ブロック００）をすなわ
ち試料（６）に対し、斜め上方に対物レンズ（１）を配
置し、反射鏡（２＋ 、 ＋３）とにより光軸を折り曲
げて、第２の光学系ブロックに光線を垂直入射させる構
造を設けだので、斜視専用顕微鏡でありながら、従来と
同じ（試料に対して）垂直方向の接眼レンズ鏡筒方式を
採用できるという利点がある。これにより従来の顕微鏡
の鏡筒上下動スタンド方式がその−１ま流用できるとい
うメリットも出て来る。
ち試料（６）に対し、斜め上方に対物レンズ（１）を配
置し、反射鏡（２＋ 、 ＋３）とにより光軸を折り曲
げて、第２の光学系ブロックに光線を垂直入射させる構
造を設けだので、斜視専用顕微鏡でありながら、従来と
同じ（試料に対して）垂直方向の接眼レンズ鏡筒方式を
採用できるという利点がある。これにより従来の顕微鏡
の鏡筒上下動スタンド方式がその−１ま流用できるとい
うメリットも出て来る。
次に本発明によれば、反射鏡＋２１ 、 ＋３）の構成
が斜め傾斜をもち、試料の上方に空きスペースがとれる
ことや、第１図の実施例のように対物レンズ（１）と中
間レンズ（４）との間で像を結像させず、中間レンズ（
４）の後側焦点位置で結像させる光学方式とすることで
、作動距離（ワークデイスタンス）を大きく設計できる
という利点を生じる。このため顕微鏡観察しながらの手
作業や照明等がしやすく大変都合が良い。さらに試料を
立体的に斜め上方から観察する時に生じる影の部分（死
角）も、一体構造とした第１の光学系ブロック００）を
試料の観察点を中心とした垂直軸の回りに回転させるこ
とで、視野に入れるということが可能となる。又前記の
回転軸が試料の観察点と一致していることで、視野から
観察点がはずれた時や、ピント合せ等において調整がし
やすいというメリットもある。
が斜め傾斜をもち、試料の上方に空きスペースがとれる
ことや、第１図の実施例のように対物レンズ（１）と中
間レンズ（４）との間で像を結像させず、中間レンズ（
４）の後側焦点位置で結像させる光学方式とすることで
、作動距離（ワークデイスタンス）を大きく設計できる
という利点を生じる。このため顕微鏡観察しながらの手
作業や照明等がしやすく大変都合が良い。さらに試料を
立体的に斜め上方から観察する時に生じる影の部分（死
角）も、一体構造とした第１の光学系ブロック００）を
試料の観察点を中心とした垂直軸の回りに回転させるこ
とで、視野に入れるということが可能となる。又前記の
回転軸が試料の観察点と一致していることで、視野から
観察点がはずれた時や、ピント合せ等において調整がし
やすいというメリットもある。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
１・・・対物レンズ、２〜３・・・反射鏡、４・・・中
間レンズ、５・・・接眼レンズ、６・・・フラットパッ
ケージ型ＩＣの試料、７・・・試料６のハンダ付けされ
たプリント基板、８・・・試料６の拡大実像、９・・・
観察者の肉眼、１０・・・−点鎖線で囲った第１の光学
系ブロック、１１・・・−点鎖線で囲った第２の光学系
プロック 図面の浄書 手続補正書 （方式） ％式％ １ 事件の表示 ２ 発明の名称 ３、補正をする者 事件との関係 住所（居所）
間レンズ、５・・・接眼レンズ、６・・・フラットパッ
ケージ型ＩＣの試料、７・・・試料６のハンダ付けされ
たプリント基板、８・・・試料６の拡大実像、９・・・
観察者の肉眼、１０・・・−点鎖線で囲った第１の光学
系ブロック、１１・・・−点鎖線で囲った第２の光学系
プロック 図面の浄書 手続補正書 （方式） ％式％ １ 事件の表示 ２ 発明の名称 ３、補正をする者 事件との関係 住所（居所）
Claims (1)
- 試料に対し、斜め上方に配置した対物レンズと前記対
物レンズからの入射光を反射し、前記試料の垂直上方に
導く一連の反射鏡と、前記一連の反射鏡からの入射光を
結像する中間レンズと、前記中間レンズにより結像され
た像を拡大観察するよう配置した接眼レンズと前記対物
レンズから前記一連の反射鏡までの光学系が一体で、前
記中間レンズ以降の光学系に対し、前記試料の観察点を
中心とした垂直軸で回転する機構とを備えたことを特徴
とする斜視用光学顕微鏡
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597490A JPH0497311A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 斜視用光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597490A JPH0497311A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 斜視用光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497311A true JPH0497311A (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=16681325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21597490A Pending JPH0497311A (ja) | 1990-08-14 | 1990-08-14 | 斜視用光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0497311A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6741391B1 (en) * | 1999-05-06 | 2004-05-25 | Sony Corporation | Three-dimensional object observing microscope |
| US7760426B2 (en) * | 2006-11-27 | 2010-07-20 | Seiler Instrument & Manufacturing Company, Inc. | Optical axis reorientation device for surgical microscope |
-
1990
- 1990-08-14 JP JP21597490A patent/JPH0497311A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6741391B1 (en) * | 1999-05-06 | 2004-05-25 | Sony Corporation | Three-dimensional object observing microscope |
| US7760426B2 (en) * | 2006-11-27 | 2010-07-20 | Seiler Instrument & Manufacturing Company, Inc. | Optical axis reorientation device for surgical microscope |
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