JP2024063948A - 顕微鏡装置用反射鏡及び顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査物に発生した欠陥を確実に検出することで、被検査物に対する検査効率を向上させる。【解決手段】本発明の顕微鏡装置用反射鏡は、顕微鏡装置の試料台に取り付けられるとともに、前記試料台に載置される被検査物の背面側を観察可能なものである。また、前記顕微鏡装置の前記試料台は、当該試料台に載置される被検査物を試料台との間で挟持して保持する保持ホルダを取り付ける取付孔を有し、前記保持ホルダの代わりに前記試料台の前記取付孔に取り付けられるものである。【選択図】図２

Description

本発明は、顕微鏡装置用反射鏡及び顕微鏡装置に関する。

製品の外観検査を行う検査装置（以下、外観検査装置とも称する）として、例えば１枚のミラーにより反射した被検査物の上面及び側面の像を一度に撮像するもの（特許文献１参照）や、例えば製品の側方の複数の位置に配置した反射鏡にて反射した製品の側面の像を一度に撮像するもの（特許文献２参照）が提案されている。これら外観検査装置によれば、複数の撮像装置（カメラ）を用いなくとも、被検査物の複数方向から欠陥（キズ）の有無を検出することができるという利点がある。

外観検査装置の一つとして、例えば実体顕微鏡などの顕微鏡装置が使用されている。実体顕微鏡は、左右の独立した２つの光学系を備えており、これら２つの光学系は、例えば対物レンズにより取り込まれた被検査物の像光を接眼レンズに導光し、接眼レンズを覗いたユーザの左右の眼のそれぞれに結像させる。接眼レンズを覗くことで左右の眼の各々に結像される像は互いに視差の異なる像となることから、ユーザは、被検査物の立体視を観察することができる。実体顕微鏡は、生物顕微鏡の観察倍率（例えば４００から８００倍）とは異なり、観察倍率は数倍から数十倍程度と低いことから、例えば工業分野における製品の外観検査などで利用されることが多い。

特開２０２２－９６５５７号公報 特許第４３６５１５６号公報

ところで、例えば半導体素子が実装されている基板の実体顕微鏡を用いた外観検査では、半導体が実装されている側の面（以下、顕微鏡検査面と称する）を実体顕微鏡で検査し、基板の側面（以下、裸眼検査面と称する）を裸眼で検査する場合がある。その場合、顕微鏡検査面を上に向けてステージに載置して接眼レンズを介して検査した後、基板をステージから取り外して裸眼検査面を裸眼で検査することになる。すなわち、先に裸眼検査面を検査する場合も同様であるが、被検査物をステージに載置したまま、顕微鏡検査面、裸眼検査面を検査することができない。

本発明は、係る問題に鑑みてなされたものであり、被検査物の複数面を効率よく検査することで、被検査物に対する検査効率を向上させることができるようにした顕微鏡装置用反射鏡及び顕微鏡装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明の顕微鏡装置用反射鏡は、顕微鏡装置の試料台に取り付けられるとともに、前記試料台に載置される被検査物の背面側を観察可能なものである。

また、前記顕微鏡装置の前記試料台は、当該試料台に載置される被検査物を前記試料台との間で挟持して保持する保持ホルダを取り付ける取付孔を有し、前記保持ホルダの代わりに前記試料台の前記取付孔に取り付けられるものである。

また、前記顕微鏡装置の前記試料台の上面に直交する方向を回転軸方向として回転可能に取り付けられるものである。

また、前記顕微鏡装置の前記試料台に取り付けられた状態で前傾又は後傾可能である。

また、複数並置した状態で前記顕微鏡装置の前記試料台に取り付けられるものである。

また、複数並置した状態で、個別に前傾又は後傾させることが可能であることが好ましい。

また、反射する前記被検査物の像を拡大する拡大鏡を裏面に有するものである。

また、前記被検査物の像を拡大する拡大鏡であることが好ましい。

また、裏面にコーディング層が形成されたガラス板と、当該ガラス板が取り付けられるとともに、前記試料台に取り付ける取付部を備える枠体と、を有するものである。

また、本発明の顕微鏡装置は、上記に記載の顕微鏡装置用反射鏡と、前記試料台及び当該試料台から突出する支柱とから構成されるスタンドと、前記支柱に取り付けられるとともに、接眼レンズを有する鏡筒と、を有し、前記試料台に載置される被検査物の上面の像は、前記鏡筒に設けた前記接眼レンズを介して観察することが可能であり、前記試料台に載置される前記被検査物の背面の像は、前記顕微鏡装置用反射鏡を介して観察することが可能である。

本発明によると、被検査物の複数面を効率よく検査することができる。

図１は、第１の実施の形態に示す実体顕微鏡の一例を示す外観図である。 図２は、実体顕微鏡の試料台に取り付けられる反射鏡を取り外した状態を示す図である。 図３は、反射鏡及び鏡ホルダの構成の一例を示す図である。 図４は、試料台に試料ホルダを設けた実体顕微鏡の一例を示斜視図である。 図５は、試料台に被検査物を載置した状態を示す図である。 図６は、上下に配置した２枚の反射鏡を有する反射鏡ユニットの一例を示す図である。 図７は、第２の実施の形態に示す実体顕微鏡の一例を示す外観図である。 図８は、反射鏡の六面図である。 図９は、被検査物を観察する場合の位置関係を示す斜視図である。 図１０は、双眼鏡筒を介して観察される像の一例を示す図である。 図１１は、その他の実施の形態を示す実体顕微鏡の一例を示す外観図である。

以下、本実施の形態に係る実体顕微鏡について、図面を用いて説明する。なお、本発明を説明するにあたり、顕微鏡装置の一例として実体顕微鏡を例に挙げて説明する。なお、顕微鏡装置としては、実体顕微鏡の他に、生物顕微鏡であってもよい。以下、実体顕微鏡の左右方向をＸ軸方向、実体顕微鏡の前後方向をＹ軸方向、実体顕微鏡の上下方向をＺ軸方向と称する。

＜第１の実施の形態＞
図１に示すように、実体顕微鏡１０は、試料台２１と、支柱２２と、調節装置２３と、レンズ鏡筒２４と、双眼鏡筒２５とを有している。なお、試料台２１と支柱２２とがスタンドとして機能する。

試料台２１には、実体顕微鏡１０で観察する物体（以下、被検査物と称する）が載置される。試料台２１には、絞り６１（図７参照）が形成されている。試料台２１には、絞り６１の上方に、当該絞り６１に連なるように凹部６２（図７参照）が形成されている。凹部６２には、ステージ板２６が取り付けられている。なお、ステージ板２６は、ガラス板やプラスチックなどの合成樹脂などの透明な部材であってもよいし、半透明又は不透明の合成樹脂材であってもよい。なお、図示は省略するが、絞り６１の外周縁に、被検査物を下方から照明する照明装置を配置し、照明装置及び絞り６１の上部にステージ板２６を配置した試料台としてもよい。

試料台２１の上面２１ａには、ステージ板２６から後端側（Ｙ軸方向において、ステージ板２６と支柱２２との間）となる位置に、反射鏡（ミラー）４１，４２が設けられている。反射鏡４１，４２は、試料台２１に載置された被検査物の背面側の像を実体顕微鏡１０の前方に向けて反射する。反射鏡４１，４２の構成は同一であることから、以下では、反射鏡４１について説明し、反射鏡４２の説明については省略する。

図２及び図３に示すように、反射鏡４１は、例えば裏面側に、銀、銅及び特殊膜（保護塗装部）の各層から構成されたコーディング層（不図示）が設けられたガラス板４５と、ガラス板４５が取り付けられる枠体４６とから構成され、枠体４６の表面にガラス板４５が貼着されている。反射鏡４１は、例えば鏡ホルダ５１を介して試料台２１に取り付けられている。なお、本実施の形態では、反射鏡４１と鏡ホルダ５１とを別体としているが、反射鏡４１の枠体４６と鏡ホルダ５１とを１つの部材としてもよい。なお、鏡ホルダ５１は、請求項に記載の取付部として機能する。

鏡ホルダ５１は、試料台２１に取り付けられるホルダ本体５２と、ホルダ本体５２に回動可能に保持される保持部５３とを有する。ホルダ本体５２は、下端部から下方に延出される取付ピン５５を有している。取付ピン５５は、円柱形状をしており、例えば試料台２１に設けられた取付孔６３に挿入される。なお、取付ピン５５が試料台２１に設けられた取付孔６３に挿入されると、ホルダ本体５２は、取付ピン５５を回転中心として（図３中Ｚ１方向を回転中心として）回転可能となる。すなわち、反射鏡４１を保持した鏡ホルダ５１を試料台２１に取り付けると、鏡ホルダ５１及び鏡ホルダ５１に保持された反射鏡４１は、図３中Ａ１方向又はＡ２方向に回転可能となる。

なお、取付ピン５５が試料台２１から抜けやすくすることを防止するために、図３に示すように、例えば取付ピン５５の先端部に切れ込み５５ａを設け、切れ込み５５ａにより生成される２つの弾性片を、試料台２１に設けられた取付孔６３の内周面に圧接させるようにしてもよい。

また、この他に、取付ピン５５を試料台２１の取付孔６３に挿入したときに、試料台２１の下面側から、取付ピン５５の先端部を保持する部材を設けることで、ホルダ本体５２が試料台２１から取り外せないようにしてもよい。

また、取付ピン５５を鉄などの金属材料から生成し、取付ピン５５を試料台２１に設けられた取付孔６３に挿入したときに、試料台２１の底面側に設けた永久磁石により吸着させてもよい。この場合、取付ピン５５全体を金属材料とするのではなく、取付ピン５５の先端又は内部に鉄などの金属片や永久磁石を内蔵することも可能である。さらに、取付ピン５５の先端に鉄などの金属片や永久磁石を取り付け、取付ピン５５を試料台２１に設けられた取付孔６３に挿入したときに、試料台２１の底面側に設けた永久磁石により吸着させてもよい。

保持部５３は、反射鏡４１，４２の下端部、詳細には、反射鏡４１，４２の枠体４６の下端部を保持する。反射鏡４１，４２の下端部を保持する構造としては、例えば、保持部５３に２つの挟持片５３ａ，５３ｂを設け、これら挟持片５３ａ，５３ｂの間に挿入された反射鏡４１の枠体４６の下端部を保持する構造が挙げられる。

保持部５３は、例えばホルダ本体５２の上部に例えばピン５６を介して取り付けられる。したがって、保持部５３は、ホルダ本体５２に対して、ピン５６を回動中心として（例えば図３ではＹ１方向を回動中心として）回動可能となる。したがって、鏡ホルダ５１に保持された反射鏡４１は、保持部５３とともに、例えば反射鏡４１をガラス板４５側に（図３中Ｂ１方向に）回動させる、又は反射鏡４１を枠体４６側に（図３中Ｂ２方向に）回動する。なお、反射鏡４１を図３中Ｂ１方向に回動させると、反射鏡４１は前傾姿勢となる。また、反射鏡４１を図３中Ｂ２方向に回動させると、反射鏡４１は後傾姿勢となる。すなわち、鏡ホルダ５１は、保持した反射鏡４１，４２を前傾又は後傾可能で、前傾又は後傾した姿勢で保持することが可能である。

図１に戻って説明すると、支柱２２は、試料台２１の上面２１ａにおいて、試料台２１の前後方向（図１中Ｙ軸方向）における後端側に設けられている。なお、支柱２２を試料台２１に固定した状態では、例えば、支柱２２は、当該支柱２２の中心軸線方向（図１中Ｚ軸方向）は、試料台２１の上面２１ａに対して直交した状態で保持されている。支柱２２には、調節装置２３が取り付けられている。

調節装置２３は、支柱２２の中心軸線方向に対して移動可能に取り付けられる。調節装置２３は、支柱２２に取り付けられる装置本体２３ａと、レンズ鏡筒２４を保持する鏡筒保持部２３ｂとを有している。

装置本体２３ａは、装置本体２３ａの後面に設けた粗動ねじ２７の締め付けにより支柱２２に固定される。また、調節装置２３は、粗動ねじ２７を緩めることで、支柱２２の中心軸線方向（図１中Ｚ軸方向）に移動可能となる。

装置本体２３ａは、例えばラックアンドピニオンなどの移動機構（図示省略）を内蔵している。移動機構は、装置本体２３ａの左右側面に設けた微動ねじ２８の回転に伴なって、鏡筒保持部２３ｂを装置本体２３ａに対して上方又は下方に移動させる。なお、図１においては、微動ねじ２８が装置本体２３ａの左側面のみに設けられているが、実際には、装置本体２３ａの左側面の他、右側面にも設けられている。

レンズ鏡筒２４には、対物レンズ３１が下部に設けられている。なお、レンズ鏡筒２４の下部に設けられる対物レンズ３１は、１つの対物レンズであってもよいし、複数の対物レンズから１つの対物レンズを選択して切り替えるものであってもよい。また、図示は省略するが、レンズ鏡筒２４の下端部には、試料台２１の上面に向けて照明光を照射する光源装置が設けられていてもよい。

また、図示は省略するが、レンズ鏡筒２４には、対物レンズ３１から接眼レンズ３３Ｌへと観察光（以下、検査光とも称する）を導光する左眼用の変倍光学系と、対物レンズ３１から接眼レンズ３３Ｒへと検査光を導光する右眼用の変倍光学系との２つの光学系が内蔵されている。

なお、レンズ鏡筒２４の左側面及び右側面には、各々の変倍光学系における観察倍率を個別に変更する変倍ノブ３２Ｌ、３２Ｒが設けられている。なお、レンズ鏡筒２４に内蔵される左眼用及び右眼用の変倍光学系は、例えばガリレオ式平行光学系またはグリノー式光学系のいずれかの光学系を用いることができる。なお、ガリレオ式平行光学系は、１つの対物レンズにより作られた互いに平行な２つの光軸上に左右二対の光学系を配置した平行光路型の光学系である。一方、グリノー式光学系は、例えば１２°程度の一定の内向角をもった２つの光軸上に左右二対の光学系を配置した内斜型の光学系である。

レンズ鏡筒２４の上部には、双眼鏡筒２５が設けられている。双眼鏡筒２５の左眼用鏡筒２５Ｌの内部には接眼レンズ３３Ｌが、右眼用鏡筒２５Ｒの内部には接眼レンズ３３Ｒが、各々、内蔵されている。

上述した実体顕微鏡１０において、調節装置２３に固定されたレンズ鏡筒２４の対物レンズ３１の光軸Ｌ１は、試料台２１に取り付けられたステージ板２６（不図示の絞り）の中心を通り、且つ試料台２１の上面２１ａに直交した状態となる。また、上述した反射鏡４１の光軸Ｌ２や、反射鏡４２の光軸Ｌ３は、各々光軸Ｌ１に交差した状態で保持されている。

上述したように、反射鏡４１，４２は、各々が有する枠体４６の下端部を鏡ホルダ５１に保持された状態で、試料台２１に各々取り付けられる。すなわち、鏡ホルダ５１の取付ピン５５を試料台２１の取付孔６３に挿入する。鏡ホルダ５１の取付ピン５５を、試料台２１の取付孔６３に挿入すると、反射鏡４１又は反射鏡４２は、試料台２１に対して回転自在となる。

ところで、上述した試料台２１の取付孔６３は、図４に示すように、実体顕微鏡１０の試料台２１に、例えば試料ホルダ（クリップ、クレンメルなどとも呼ばれる）６５を取り付ける際に用いる取付孔６３である。ここで、試料ホルダ６５は、試料台２１に載置されるプレパラート（標本）などを試料台２１との間で保持するものである。したがって、鏡ホルダ５１用の取付孔を新たに設けなくとも、試料ホルダ６５を取り付けるための取付孔６３に反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取り付ければ済む。また、使用頻度の低い試料ホルダ６５ではなく、反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取付孔６３に取り付けることで、試料台２１の取付孔６３を有効活用することができる。

なお、試料台２１の取付孔６３には、使用用途に応じて、反射鏡４１，４２と、試料ホルダ６５といずれか一方を選択的に取り付けるようにしてもよい。なお、取付孔６３に、反射鏡４１，４２と、試料ホルダ６５とのいずれか一方を選択的に取り付ける場合、ユーザが反射鏡４１，４２から試料ホルダ６５に付け替える（又はその逆）ことができるようにしてもよい。なお、図４においては、実体顕微鏡１０の主要構成については、図１と同一の符号を付してある。

また、例えば試料ホルダ６５を取り付ける取付孔６３に、反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取り付けるのではなく、反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取り付けるための取付孔を、取付孔６３とは異なる位置に、試料台２１に新たに設けてもよい。

（検査手順）
次に、被検査物を検査する手順について説明する。以下、被検査物に対して、符号１５０を付して説明する。まず、ユーザは、被検査物７１を目視にて確認した後、図５に示すように、被検査物７１を実体顕微鏡１０の試料台２１に載置する。被検査物７１を試料台２１に載置した後、ユーザは、反射鏡４１，４２を介して、試料台２１に載置した被検査物７１の背面側を観察しながら検査する。このとき、ユーザは、試料台２１に載置した被検査物７１の背面側が、反射鏡４１，４２を用いて観察できるように、反射鏡４１，４２の姿勢を調整する。反射鏡４１，４２の姿勢の調整としては、上述したように、鏡ホルダ５１の取付ピン５５を回転中心として反射鏡４１，４２を回転させる、又は、鏡ホルダ５１のピン５６を回動中心として反射鏡４１，４２を回動させることが挙げられる。

反射鏡４１，４２の姿勢の調整において、反射鏡４１の光軸Ｌ２、反射鏡４２の光軸Ｌ３の各々が、対物レンズ３１の光軸Ｌ１に交差する姿勢で保持される。例えば、図１に示すように、反射鏡４１の光軸Ｌ２や反射鏡４２の光軸Ｌ３が対物レンズ３１の光軸Ｌ１に交差する姿勢とした場合には、ユーザは、双眼鏡筒２５により観察される部位の背面右側の像を、反射鏡４１を介して観察することができる。また、ユーザは、双眼鏡筒２５により観察される部位の背面左側の像を、反射鏡４２を介して観察することができる。すなわち、被検査物７１を試料台２１に載置したまま実体顕微鏡１０での観察とともに、その観察で死角となる部分を確認することができる。

なお、反射鏡４１の光軸Ｌ２、反射鏡４２の光軸Ｌ３の各々が、対物レンズ３１の光軸Ｌ１に交差する姿勢で保持する必要はなく、適宜の姿勢としてもよい。例えば、反射鏡４１の光軸Ｌ２や反射鏡４２の光軸Ｌ３が対物レンズ３１の光軸Ｌ１に交差しない姿勢とした場合には、双眼鏡筒２５により観察される部位の背面側をそれぞれ観察することができる。

例えば、ユーザが反射鏡４１，４２を用いて、試料台２１に載置した被検査物７１の背面側を観察した後、ユーザは双眼鏡筒２５を覗いて、実体顕微鏡１０による被検査物７１の観察を行う。なお、実体顕微鏡１０のレンズ鏡筒２４に内蔵されている光学系の観察倍率は、数倍から４０倍となる。したがって、ユーザによる目視による被検査物７１の観察をマクロ観察とした場合、実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の観察は、ミクロ観察となる。実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の観察では、実体顕微鏡１０の試料台２１に載置した被検査物７１の位置をずらしながら被検査物７１の表面全体を検査する。

これによれば、実体顕微鏡１０を用いて被検査物７１を検査する前に、試料台２１に載置された被検査物７１の背面側の像を、反射鏡４１，４２を介して確認することができるので、目視による検査時間を短縮することができる。また、ユーザは、反射鏡４１，４２により被検査物７１の背面側を確認できるので、被検査物７１の検査において死角になる部位が減り、被検査物７１の表面の欠陥（キズや不良個所）を検出しやすくなる。

また、反射鏡４１，４２を回転させる、又は反射鏡４１，４２を前傾又は後傾させるなど、反射鏡４１，４２の姿勢を変えて被検査物７１の背面側を観察することで、実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の検査部位とは異なる部位の背面側の像を予め目視にて検査することができる。したがって、実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の検査では、被検査物７１の表面を全体的に検査する必要があるが、予め目視にて検出した被検査物７１の欠陥部位、又はその近傍をさらに注目して検査することができる。

本実施の形態では、試料台２１の上面２１ａの２か所に、反射鏡４１，４２を取り付けた場合を説明しているが、試料台２１の上面２１ａに１枚の反射鏡４１を取り付けた場合であってもよい。

本実施の形態では、鏡ホルダ５１を介して、反射鏡４１，４２を試料台２１に取り付けることで、反射鏡４１，４２を図３中Ａ１方向又はＡ２方向に回転させるとともに、図３中Ｂ１方向又はＢ２方向に回動させることが可能となっている。しかしながら、反射鏡４１，４２を、図３中Ａ１方向又はＡ２方向に回転させるだけの鏡ホルダや、反射鏡４１，４２を図３中Ｂ１方向又はＢ２方向に回動させるだけの鏡ホルダを用いて反射鏡４１，４２を試料台２１に取り付けることも可能である。

本実施の形態では、鏡ホルダ５１を介して試料台２１に取り付けられる反射鏡４１，４２の位置（高さ）については特に限定していないが、試料台２１に取り付けられる反射鏡４１，４２の下端部の位置は、試料台２１の上面２１ａと一致させることが最適である。しかしながら、反射鏡４１，４２を保持する鏡ホルダ５１の構成によっては、反射鏡４１，４２の下端部の位置を試料台２１の上面２１ａに一致させることが難しい場合もある。したがって、反射鏡４１，４２の下端部の位置は、試料台２１の上面２１ａに近ければ近いほど好ましい。これによれば、反射鏡４１，４２を試料台２１に取り付けたとき、試料台２１に載置される被検査物７１が高さのない製品の場合であっても、被検査物７１の背面側を確実に観察することが可能となる。

なお、反射鏡４１，４２の下端部の位置を、試料台２１の上面２１ａに近ければ近いほど好ましいとしたが、反射鏡４１，４２の下端部の位置を、試料台２１の上面２１ａに近づけて設けた場合には、高さがある被検査物を検査する場合には、反射鏡４１，４２では、被検査物の一部しか観察できない場合もある。したがって、鏡ホルダとして、反射鏡４１，４２の高さを調節する調節機構を備えた鏡ホルダを用いることも可能である。

本実施の形態では、反射鏡４１，４２を用いて試料台２１に載置される被検査物の背面側を観察する場合を説明している。しかしながら、反射鏡４１，４２の代わりに拡大鏡（ルーペ）を試料台２１に取り付けることも可能である。

また、図示は省略するが、反射鏡４１，４２の枠体４６の裏面側に拡大鏡を貼り付けて、ユーザの用途に応じて反射鏡又は拡大鏡を選択的に使用できるようにしてもよい。これによれば、鏡ホルダ５１から反射鏡４１，４２を取り外して拡大鏡を取り付けるのではなく、反射鏡４１，４２を回転させて、拡大鏡を被検査物の背面側に対面させるだけで済むので、反射鏡から拡大鏡への交換（又はその逆）の手間を省くことができる。

また、反射鏡４１，４２の代わりに拡大鏡を用いてもよい。これによれば、例えば回路基板など、目視では確認しづらい被検査物の目視検査を確実に行うことができる。なお、反射鏡４１，４２の代わりに拡大鏡を用いる場合には、拡大鏡の枠体の表面及び裏面の各々に、異なる拡大倍率の拡大鏡を貼り付けて、選択的に使用できるようにしてもよい。

本実施の形態では、ホルダ本体５２と保持部５３とを有する鏡ホルダ５１を例に挙げているが、例えば反射鏡を保持する保持部をフレキシブルアームを介してホルダ本体に接続した鏡ホルダ（図示省略）を用いることも可能である。このような鏡ホルダを用いることで、鏡ホルダに保持される反射鏡を試料台の上面に直交する方向を回転軸方向として回転できるほか、フレキシブルアームの屈曲により鏡ホルダに保持した反射鏡の姿勢や位置をユーザの意図する状態に調整することができる。

第１の実施の形態では、試料台２１の２か所に反射鏡４１，４２を取り付けた場合を説明している。なお、反射鏡４１，４２の代わりに、図６に示すように、２枚の反射鏡８２，８３を上下に配置した反射鏡ユニット８１を試料台２１に取り付けることも可能である。この場合、反射鏡８２は、軸Ｙ２を回動中心として、Ｃ１方向又はＣ２方向に回動する。また、反射鏡８３は、軸Ｙ２を回動中心として、Ｄ１方向又はＤ２方向に回動する。これによれば、２枚の反射鏡８２，８３の姿勢（前傾又は後傾したときの傾斜角度）を異なる角度にできるので、同一部位を異なる角度で検査することができる。なお、反射鏡８２、反射鏡８３の各々を回動させるようにしているが、反射鏡８２、反射鏡８３のいずれか一方の反射鏡を、所定の姿勢で保持してもよい。

また、反射鏡８２、反射鏡８３の２枚の反射鏡は回動せずに、所定の姿勢で固定であってもよい。反射鏡８２、反射鏡８３の２枚の反射鏡を所定の姿勢で固定とする場合、各反射鏡の光軸方向と、試料台２１の上面を含む平面とがなす角度を異なる角度となるように、各々の反射鏡を配置する必要がある。

さらに、図６においては、反射鏡８２及び反射鏡８３は、同一の軸Ｙ２を回動中心として回動させているが、反射鏡８２及び反射鏡８３の回動中心は、同一でなくてもよい。また、上下に配置した２枚の反射鏡８２，８３を有する反射鏡ユニット８１を実体顕微鏡１０の試料台２１に取り付ける構成は、２枚の反射鏡８２，８３の少なくとも一方を回動させることができれば、適宜の構成を用いることができる。

また、図示は省略するが、２枚の反射鏡８２，８３を上下に配置する他、２枚の反射鏡８２，８３を左右に配置した反射鏡ユニットや、上下に配置した２枚の反射鏡８２，８３と、これら反射鏡８２，８３の左右に配置した反射鏡からなる反射鏡ユニットとしてもよい。なお、反射鏡を左右に配置する場合の反射鏡の枚数は、２枚に限定されるものではなく、３枚以上であってもよい。

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、試料台２１に反射鏡４１，４２を取り付けた実体顕微鏡１０について説明している。第２の実施の形態では、試料台２１に取り付けられるステージ板２６の代わりに、反射鏡（以下、背面鏡と称する）を取り付けた実体顕微鏡１００について説明する。以下では、第１の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明する。

図７に示すように、実体顕微鏡１００は、試料台２１の凹部６２に取り付けられたステージ板２６を取り外し、背面鏡１０１を試料台２１の凹部６２に取り付けられる。なお、背面鏡１０１を試料台２１の凹部６２に取り付ける方法は省略するが、背面鏡１０１を試料台２１の凹部６２に載置するだけでもよいし、背面鏡１０１の外周面に雄ねじ部を、凹部６２の内周面に雌ねじ部を設けて、背面鏡１０１を凹部６２に締め付け固定するようにしてもよい。

図８に示すように、背面鏡１０１は、略円板状で、上面１０１ａが底面１０１ｂに対して所定の角度θ傾斜している。ここで、所定の角度θは、実体顕微鏡１０の双眼鏡筒２５を覗いたときに、被検査物の上面の像だけでなく、背面鏡１０１を反射した被検査物の底面の像を観察できる角度であれば、適宜設定することが可能である。

図９に示すように、実体顕微鏡１００を用いた被検査物の検査では、ユーザが手で被検査物を把持しながら、被検査物１１１を実体顕微鏡１００の試料台２１に取り付けられた背面鏡１０１と対物レンズ３１との間に挿入する。そして、ユーザは、その状態（被検査物が上面１０１ａから離れた状態）で、双眼鏡筒２５を覗いて、被検査物の表面の検査を行う。

上述したように、背面鏡１０１は上面１０１ａが底面１０１ｂに対して所定の角度傾斜している。したがって、背面鏡１０１を試料台２１の凹部６２に取り付けた状態では、背面鏡１０１の上面１０１ａは、試料台２１の上面２１ａに対して所定の角度傾斜した状態である。また、背面鏡１０１の上面１０１ａは、対物レンズ３１の光軸Ｌ１に対して所定の角度傾斜している。

その結果、図１０に示すように、ユーザが双眼鏡筒２５を覗くと、被検査物１１１の上面１１１ａの像だけでなく、背面鏡１０１により反射した被検査物１１１の背面１１１ｂの像が同時に観察できる。なお、図１０は、回路基板を被検査物１１１とした場合である。この場合、回路基板が、例えば組み立て途中で裏返しができない、すなわち、半田付けを行う前の回路基板を被検査物とした場合には、回路基板を裏返すことなく、回路基板の上面及び下面を観察することが可能となる。また、例えば液体が入った容器を被検査物とした場合には、液体が入った容器を下から観察できる。

＜その他の実施の形態＞
なお、第２の実施の形態において、試料台２１に背面鏡１０１を配置した場合を説明したが、図１１に示すように、第１の実施の形態に示した実体顕微鏡１０、すなわち、反射鏡を試料台２１に設けた実体顕微鏡１０に対しても、試料台２１のステージ板２６を取り外して、第２の実施の形態に示す背面鏡１０１を取り付けることも可能である。

＜効果のまとめ＞

本発明の顕微鏡装置用反射鏡は、実体顕微鏡１０の試料台２１に取り付けられ、試料台２１に載置される被検査物７１の背面側を観察可能なものである。

これによれば、被検査物７１を試料台２１に載置したまま実体顕微鏡１０での観察とともに、顕微鏡装置用反射鏡に写る被検査物７１の背面側を観察することができ、背面側を検査するために、被検査物をステージから取り外すことが不要となり、例えば作業時間を短縮することができる。また作業が簡素化できるため、検査漏れなどの検査ミス抑制も期待できる。

また、実体顕微鏡１０の試料台２１は、試料台２１に載置される被検査物を試料台２１との間で挟持して保持する試料ホルダ６５を取り付ける取付孔６０を有し、試料ホルダ６５の代わりに試料台２１の取付孔６０に取り付けられるものである。

これによれば、鏡ホルダ５１用の取付孔を新たに設けなくとも、試料ホルダ６５を取り付けるための取付孔６３に反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取り付けることができる。また、反射鏡４１，４２を保持した鏡ホルダ５１を取付孔６３に取り付けることで、試料台２１の取付孔６３を有効活用することができる。

また、実体顕微鏡１０の試料台２１の上面２１ａに直交する方向を回転軸方向として回転可能に取り付けられるものである。

また、実体顕微鏡１０の試料台２１に取り付けられた状態で前傾又は後傾可能である。

これらによれば、反射鏡４１，４２を回転させる、又は反射鏡４１，４２を前傾又は後傾させるなど、反射鏡４１，４２の姿勢を変えて被検査物７１の背面側を観察することで、実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の検査部位とは異なる部位の背面側を予め目視にて検査することができる。したがって、実体顕微鏡１０を用いた被検査物７１の検査では、被検査物７１の表面を全体的に検査する必要があるが、予め目視にて検出した被検査物７１の欠陥部位、又はその近傍をさらに注目して検査することができる。

また、複数並置した状態で実体顕微鏡１０の試料台２１に取り付けられるものである。

これによれば、反射鏡８２，８３によって、試料台２１に載置される被検査物７１の同一部位を異なる角度で検査することができる。

また、複数並置した状態で実体顕微鏡１０の試料台２１に取り付けられるとともに、個別に前傾又は後傾させることが可能である。

これによれば、反射鏡８２，８３によって、試料台２１に載置される被検査物７１の同一部位を異なる角度で検査する他、それぞれの反射鏡により、異なる部位を検査することができる。

また、反射する被検査物の像を拡大する拡大鏡を裏面に有するものである。

これによれば、例えば回路基板など、目視では確認しづらい被検査物の場合には、拡大鏡を用いた目視検査を行うなど、被検査物によって、反射鏡と拡大鏡とを切り替えることができるので、鏡ホルダから反射鏡を取り外して拡大鏡を取り付ける手間が省かれるので、被検査物に対する目視検査に係る検査時間を短縮することができる。

また、被検査物の像を拡大する拡大鏡である。

これによれば、例えば回路基板など、目視では確認しづらい被検査物の目視検査を確実に行うことができる。

また、裏面にコーディング層が形成されたガラス板４５と、当該ガラス板４５が取り付けられるとともに、試料台２１に取り付ける鏡ホルダ５１を備える枠体４６と、を有するものである。

これによれば、反射鏡４１又は反射鏡４２を保持した鏡ホルダ５１を試料台２１に容易に取り付けることができる。

また、本発明の顕微鏡装置は、反射鏡４１，４２と、試料台２１及び試料台２１から突出する支柱２２とから構成されるスタンドと、支柱２２に取り付けられるとともに、接眼レンズ３３Ｌ，３３Ｒを有するレンズ鏡筒２４と、を有し、試料台２１に載置される被検査物の上面の像は、レンズ鏡筒２４に設けた接眼レンズ３３Ｌ，３３Ｒを介して観察することが可能であり、試料台２１に載置される被検査物の背面の像は、反射鏡４１，４２を介して観察することが可能である。

これによれば、実体顕微鏡１０を用いて被検査物７１を検査する前に、試料台２１に載置された被検査物７１の背面側を反射鏡４１，４２を介して確認することができるので、目視による検査時間を短縮することができる。また、ユーザは、反射鏡４１，４２により被検査物７１の背面側を確認できるので、被検査物７１の検査において死角になる部位が減り、被検査物７１の表面の欠陥（キズや不良個所）を検出しやすくなる。

１０・・・実体顕微鏡
２１・・・試料台
４１，４２・・・反射鏡
５１・・・鏡ホルダ
５２・・・ホルダ本体
５３・・・保持部
５５・・・取付ピン
６３・・・取付孔
７１・・・被検査物

Claims (10)

1. 顕微鏡装置の試料台に取り付けられるとともに、前記試料台に載置される被検査物の背面側を観察可能な顕微鏡装置用反射鏡。
2. 前記顕微鏡装置の前記試料台は、当該試料台に載置される被検査物を前記試料台との間で挟持して保持する保持ホルダを取り付ける取付孔を有し、
   前記保持ホルダの代わりに前記試料台の前記取付孔に取り付けられる、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
3. 前記顕微鏡装置の前記試料台の上面に直交する方向を回転軸方向として回転可能に取り付けられる、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
4. 前記顕微鏡装置の前記試料台に取り付けられた状態で前傾又は後傾可能である、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
5. 複数並置した状態で前記顕微鏡装置の前記試料台に取り付けられる、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
6. 複数並置した状態で、個別に前傾又は後傾させることが可能である、請求項５に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
7. 反射する前記被検査物の像を拡大する拡大鏡を裏面に有する、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
8. 前記被検査物の像を拡大する拡大鏡である、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
9. 裏面にコーディング層が形成されたガラス板と、
   当該ガラス板が取り付けられるとともに、前記試料台に取り付ける取付部を備える枠体と、
   を有する、請求項１に記載の顕微鏡装置用反射鏡。
10. 請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の顕微鏡装置用反射鏡と、
    前記試料台及び当該試料台から突出する支柱とから構成されるスタンドと、
    前記支柱に取り付けられるとともに、接眼レンズを有する鏡筒と、
    を有し、
    前記試料台に載置される被検査物の上面の像は、前記鏡筒に設けた接眼レンズを介して観察することが可能であり、
    前記試料台に載置される前記被検査物の背面の像は、前記顕微鏡装置用反射鏡を介して観察することが可能である顕微鏡装置。
    
    

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