JP2003533731A - 顕微鏡検査システム - Google Patents

顕微鏡検査システム

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JP2003533731A
JP2003533731A JP2001584927A JP2001584927A JP2003533731A JP 2003533731 A JP2003533731 A JP 2003533731A JP 2001584927 A JP2001584927 A JP 2001584927A JP 2001584927 A JP2001584927 A JP 2001584927A JP 2003533731 A JP2003533731 A JP 2003533731A
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JP
Japan
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electrical circuit
inspection system
lens
interest
circuit inspection
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JP2001584927A
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Inventor
カッツィール・イガル
ゴーリック・デミトリー
Original Assignee
オルボテック リミテッド
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Publication date
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016—Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
    • G02B21/361—Optical details, e.g. image relay to the camera or image sensor

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Abstract

(57)【要約】 電気回路検査システムであって、電気回路の関心の部分から受けた光を平行光にするアイピースと、前記レンズから平行光を受けるズームおよび／または自動焦点調節ビデオカメラ組立品と、ズームビデオカメラからビデオ出力を受信し関心の部分の拡大画像を表示するよう機能するディスプレイと、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 ［発明の技術分野］ 本発明は、概略的には電気回路検査システムに関し、より詳細には自動焦点お
よびズーム機能を有する電気回路検査システムに関する。
【０００２】 ［発明の背景］ 様々なタイプの電気回路検査システムが当技術分野で知られている。一般的に
は、それらのシステムは自動焦点およびズームの機能を備えてはいない。自動焦
点およびズーム機能を有する拡大ビデオカメラシステムが当技術分野で知られて
いる。従来、このタイプのシステムは、そのような機能をアイピースの上流部に
持つ顕微鏡を採用している。このような顕微鏡は複雑で高価である。
【０００３】 製造技術の進歩に伴い電気回路におけるライン幅が減少するにつれ、それに応
じて検査システムにおける精密な合焦の重要性が増す。
【０００４】 ［発明の概要］ 本発明は、ズームおよび／または自動焦点機能を提供し、標準的な光学部品を
採用し、および、従来のシステムよりも実質的に安価な電気回路検査システムを
提供しようとするものである。
【０００５】 したがって、本発明の好ましい実施形態によって提供されるのは、電気回路検
査システムであって、好ましくは電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的
に無限遠に結像するよう機能するレンズと、前記レンズから実質的に無限遠に結
像された光を受けるズームビデオカメラ組立品と、好ましくは前記ズームビデオ
カメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関心の部分の拡大画像を表示するよう
機能するディスプレイと、を備える。
【０００６】 本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ましくは前
記関心の部分を見てそこからの光を前記レンズの焦点面に合焦させるように機能
する第１ステージレンズをさらに備える。
【０００７】 追加として、本発明の好ましい実施形態によれば、前記第１ステージレンズは
、好ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大されていない画像を提供するよ
うに機能するリレーレンズである。代替として、前記第１ステージレンズは、好
ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大された画像を提供するように機能す
る対物レンズである。
【０００８】 さらに、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ま
しくは前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記電気回路を配置
する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考
えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力
によって作動するのが好ましい。
【０００９】 代替として、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、
好ましくは前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られるように前
記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそら
く欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システム
から受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００１０】 さらにそれに替わるものとして、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回
路検査システムは、好ましくは前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見ら
れるように前記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装
置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学
検査システムから受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００１１】 したがって本発明の好ましい実施形態によって提供されるのは、電気回路検査
システムであって、好ましくは電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的に
無限遠に結像するよう機能するレンズと、前記レンズから実質的に無限遠に結像
された光を受ける自動焦点ビデオカメラ組立品と、好ましくは前記自動焦点ビデ
オカメラ組立品からビデオ出力を受信し電気回路内の前記関心の部分の自動焦点
調節された画像を表示するよう機能するディスプレイと、を備える。
【００１２】 本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ましくは電
気回路内の前記関心の部分を見てそこからの光を前記レンズの焦点面に合焦させ
るように機能する第１ステージレンズをさらに備える。
【００１３】 追加として、本発明の好ましい実施形態によれば、前記第１ステージレンズは
、好ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大されていない画像を提供するよ
うに機能するリレーレンズである。代替として、前記第１ステージレンズは、好
ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大された画像を提供するように機能す
る対物レンズである。
【００１４】 さらに、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ま
しくは前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記電気回路を配置
する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考
えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力
によって作動するのが好ましい。
【００１５】 代替として、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、
好ましくは前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られるように前
記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそら
く欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システム
から受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００１６】 さらにそれに替わるものとして、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回
路検査システムは、好ましくは前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見ら
れるように前記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装
置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学
検査システムから受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００１７】 したがって本発明の好ましい実施形態によって提供されるのは、電気回路検査
システムであって、好ましくは電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的に
無限遠に結像するよう機能するレンズと、前記レンズから実質的に無限遠に結像
された光を受けるズームおよび自動焦点ビデオカメラ組立品と、好ましくは前記
ズームおよび自動焦点ビデオカメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関心の部
分の拡大され自動焦点調節された画像を表示するよう機能するディスプレイと、
を備える。
【００１８】 本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ましくは前
記関心の部分を見てそこからの光を前記レンズの焦点面に合焦させるように機能
する第１ステージレンズをさらに備える。
【００１９】 追加として、本発明の好ましい実施形態によれば、前記第１ステージレンズは
、好ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大されていない画像を提供するよ
うに機能するリレーレンズである。代替として、前記第１ステージレンズは、好
ましくは電気回路内の前記関心の部分の拡大された画像を提供するように機能す
る対物レンズである。
【００２０】 さらに、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、好ま
しくは前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記電気回路を配置
する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考
えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力
によって作動することが好ましい。
【００２１】 代替として、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回路検査システムは、
好ましくは前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られるように前
記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装置は、おそら
く欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学検査システム
から受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００２２】 さらにそれに替わるものとして、本発明の好ましい実施形態によれば、電気回
路検査システムは、好ましくは前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見ら
れるように前記電気回路を配置する位置決め装置を備え、また、前記位置決め装
置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前記電気回路の領域を識別する自動光学
検査システムから受信した出力によって作動するのが好ましい。
【００２３】 したがって本発明の好ましい実施形態によって提供されるのは、好ましくは関
心の領域から受けた光を実質的に無限遠に結像するよう機能するレンズと、前記
レンズから実質的に無限遠に結像された光を受けるズームおよび／または自動焦
点ビデオカメラ組立品と、好ましくは前記ズームおよび／または自動焦点ビデオ
カメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関心の領域の拡大画像を表示するよう
機能するディスプレイと、を備える検査システムである。
【００２４】 ［好ましい実施形態の詳細］ ここで図１を参照する。図１は、本発明の好ましい実施形態によって構成され
機能する電気回路検査システムの略図である。図１に見られるように、自動式光
学検査ステーション１０からの出力は、顕微鏡１６の下にあるプリント基板１４
のような電気回路の位置決めを行う位置決め装置１２によって受信される。
【００２５】 自動式光学検査ステーション１０は、あらゆる自動式光学検査ステーションで
あって良く、好ましくはIsrael、Yanvneのオルボテック（Orbotech）株式会社か
ら販売されているModel PC Micro IIである。位置決め装置１２は、あらゆる好
適な位置決め装置であって良く、好ましくはIsrael、Yanvneのオルボテック（Or
botech）株式会社から販売されているModel VRS 4Mに組み込まれたものである。
【００２６】 顕微鏡１６を構成するレンズは、プリント基板１４の部分１７から光を受け、
オペレータの注目は、顕微鏡１６の視野内に部分１７を好適に配置させる自動式
光学検査ステーション１０からの出力によってその部分に振り向けられる。本発
明の好ましい実施形態によれば、顕微鏡１６の部分を構成するズームおよび／ま
たは自動焦点ビデオカメラ組立品１８は、実質的に平行光にするために実質的に
無限遠に結像された光をレンズから受け取るためにレンズの下流に配置される。
ディスプレイ２０は、カメラ組立品１８からビデオ出力を受信し、おそらく欠陥
があると思われるプリント基板１４の部分１７の拡大された画像を表示し、オペ
レータがその欠陥が本当の欠陥でるか誤った警報であるかを決定できるようにす
る。
【００２７】 本発明の好ましい実施形態によれば、カメラ組立品１８は、好ましくは、ズー
ムおよび自動フォーカス機能を提供するソニーモデルFCB-1X47Pである。ディス
プレイ２０は、Model PVM-14M4E 14”ソニーカラービデオモニターのような、あ
らゆる好適な高解像度ディスプレイであっても良い。
【００２８】 ここで、図１のシステムの２つの実施形態の簡略化した図である図２Ａと２Ｂ
を参照する。図２にみられるように、プリント基板１４上の関心の部分１７は、
好ましくはリレー対物レンズ２２のような第１ステージレンズであるレンズ、そ
してその次にアイピース２４を経由して見られる。アイピース２４からの光は、
通常はそれ自身の光学部品を備え出力をディスプレイ２０に対して出力するカメ
ラ組立品１８で受け取られる。
【００２９】 好ましいリレー対物レンズ２２は、カールツァイス（Carl Zeiss）S-Planar 7
4mm f/4 レンズであり、また好ましいアイピースは、Leinz Wetzlar Periplan G
W 6.3x39.7 mmレンズである。
【００３０】 図２Ｂは、リレー対物レンズ２２を不要とし無限遠補正対物レンズ３４が採用
された、本発明の代替の実施形態を図示している。プリント基板１４は、実質的
に無限遠に結像するために無限遠補正対物レンズ３４のほぼ焦点面に配置される
。無限遠補正対物レンズ３４によって形成された像は、観察光学部品１９が採用
されているカメラ組立品１８によって直接みることができる。図２Ｂの実施形態
において、リレー対物レンズが無いために、顕微鏡１６は、図２Ａの実施形態と
比較すると、プリント基板１４にずっと近くに配置しなければならない。
【００３１】 ここで、それぞれ図２Ａと図２Ｂの実施形態の簡略化した光学の図である図３
Ａと３Ｂを参照する。図３Ａに注目すると、その焦点がＦ１で示されたリレー対
物レンズ２２が、プリント基板１４から好適に約１４８ｍｍ離されていることが
分かる。アイピース２４は、リレー対物レンズ２２から好適に１８７．７ｍｍ離
されており、その焦点がＦ２で示されている。なお、リレー対物レンズ２２は、
プリント基板１４から見て表面から２ｘＦ１の距離に配置されることが好ましく
、リレー対物レンズ２２に近接するアイピース２４の焦点Ｆ２は、リレー対物レ
ンズ２２から２ｘＦ１の距離に配置される。リレー対物レンズ２２は、アイピー
ス２４の焦点面ｆ２の近傍に中間像を形成するよう機能するあらゆる好適な対物
レンズで置き換ても良く、またこのよような中間像は拡大されたものでも拡大さ
れていないものでも良いことが理解される。
【００３２】 図３Ａは、カメラ組立品１８（図２Ａ）の観察光学部品１９とＣＣＤ焦点面２
８をも図示している。観察光学部品１９の焦点距離はＦ３で示されている。観察
光学部品１９とアイピース２４間の焦点距離比率は、焦点面２８で２〜３倍の拡
大が行われるようになるのが好ましい。
【００３３】 図３Ｂに注目すると、焦点がＦ４で示された無限遠補正対物レンズ３４は、好
ましくも焦点距離ｆ４だけプリント基板１４から離されている。
【００３４】 図３Ｂは、カメラ組立品１８の観察光学部品３６とＣＣＤ焦点面３８も図示し
ている。観察光学部品３６と対物レンズ３４間の焦点距離比率は、焦点面３８で
２〜３倍の拡大が行われるようになるのが好ましい。
【００３５】 本発明は、特に電気回路検査装置の状況の範囲内で記載されてきたけれども、
本発明はあらゆる他の好適なタイプのビデオ顕微鏡検査法応用、システムおよび
方法に十分に適用可能であろうことが理解される。
【００３６】 当業者であれば本発明が上記に詳細に図示され記載されたものに限定されない
ことを理解するであろう。むしろ本発明の範囲は、当業者が本明細書を読むやい
なや想起するであろう従来技術にはない変形および修正だけでなく、以上に記載
された様々な特徴のコンビネーションおよびサブコンビネーションの両方を含ん
でいる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明の好ましい実施形態によって構成され機能する電気回路検査シ
ステムの略図である。
【図２】 図２Ａおよび２Ｂは、図１のシステムの２つの実施形態の簡略化した図である
。
【図３】 図３Ａおよび３Ｂは、それぞれ図２Ａと図２Ｂの実施形態の簡略化した光学の
図である。
【符号の説明】
１２ 位置決め装置 １４ プリント基板 １６ 顕微鏡 １８ カメラ組立品 ２０ ディスプレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＣ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ， ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，Ｉ Ｓ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ， ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，Ｐ Ｔ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ， ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 AC22 CA04 CB01 CC09 DA07 ED15 2H052 AB05 AD09 AD31 AF02 AF14 AF21

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電気回路検査システムであって、 電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的に無限遠に結像するよう機能す
    るレンズと、 前記レンズから実質的に無限遠に結像された光を受けるズームビデオカメラ組
    立品と、 前記ズームビデオカメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関心の部分の拡大
    画像を表示するよう機能するディスプレイと、を備える電気回路検査システム。
  2. 【請求項２】 前記関心の部分を見てそこからの光を前記レンズの焦点面に
    合焦させるように機能する第１ステージレンズをさらに備える、請求項１に記載
    の電気回路検査システム。
  3. 【請求項３】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分の
    拡大されていない画像を提供するように機能するリレーレンズである、請求項２
    に記載の電気回路検査システム。
  4. 【請求項４】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分の
    拡大された画像を提供するように機能する対物レンズである、請求項２に記載の
    電気回路検査システム。
  5. 【請求項５】 前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記電
    気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項１に記載の電気回路検査
    システム。
  6. 【請求項６】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前記
    電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作動
    する、請求項５に記載の電気回路検査システム。
  7. 【請求項７】 前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られる
    ように前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項２に記載の
    電気回路検査システム。
  8. 【請求項８】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前記
    電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作動
    する、請求項７に記載の電気回路検査システム。
  9. 【請求項９】 前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見られるように
    前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項３に記載の電気回
    路検査システム。
  10. 【請求項１０】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項９に記載の電気回路検査システム。
  11. 【請求項１１】 電気回路検査システムであって、 電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的に無限遠に結像するよう機能す
    るレンズと、 前記レンズから実質的に無限遠に結像された光を受ける自動焦点ビデオカメラ
    組立品と、 前記自動焦点ビデオカメラ組立品からビデオ出力を受信し電気回路内の前記関
    心の部分の自動焦点調節された画像を表示するよう機能するディスプレイと、を
    備える電気回路検査システム。
  12. 【請求項１２】 電気回路内の前記関心の部分を見てそこからの光を前記レ
    ンズの焦点面に合焦させるように機能する第１ステージレンズをさらに備える、
    請求項１１に記載の電気回路検査システム。
  13. 【請求項１３】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分
    の拡大されていない画像を提供するように機能するリレーレンズである、請求項
    １２に記載の電気回路検査システム。
  14. 【請求項１４】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分
    の拡大された画像を提供するように機能する対物レンズである、請求項１２に記
    載の電気回路検査システム。
  15. 【請求項１５】 前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記
    電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項１１に記載の電気回路
    検査システム。
  16. 【請求項１６】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項１５に記載の電気回路検査システム。
  17. 【請求項１７】 前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られ
    るように前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項１２に記
    載の電気回路検査システム。
  18. 【請求項１８】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項１７に記載の電気回路検査システム。
  19. 【請求項１９】 前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見られるよう
    に前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項１３に記載の電
    気回路検査システム。
  20. 【請求項２０】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項１９に記載の電気回路検査システム。
  21. 【請求項２１】 電気回路検査システムであって、 電気回路内の関心の部分から受けた光を実質的に無限遠に結像するよう機能す
    るレンズと、 前記レンズから実質的に無限遠に結像された光を受けるズームおよび自動焦点
    ビデオカメラ組立品と、 前記ズームおよび自動焦点ビデオカメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関
    心の部分の拡大され自動焦点調節された画像を表示するよう機能するディスプレ
    イと、を備える電気回路検査システム。
  22. 【請求項２２】 前記関心の部分を見てそこからの光を前記レンズの焦点面
    に合焦させるように機能する第１ステージレンズをさらに備える、請求項２１に
    記載の電気回路検査システム。
  23. 【請求項２３】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分
    の拡大されていない画像を提供するように機能するリレーレンズである、請求項
    ２２に記載の電気回路検査システム。
  24. 【請求項２４】 前記第１ステージレンズは、電気回路内の前記関心の部分
    の拡大された画像を提供するように機能する対物レンズである、請求項２２に記
    載の電気回路検査システム。
  25. 【請求項２５】 前記関心の部分が前記レンズを通して見られるように前記
    電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項２１に記載の電気回路
    検査システム。
  26. 【請求項２６】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項２５に記載の電気回路検査システム。
  27. 【請求項２７】 前記関心の部分が前記第１ステージレンズを通して見られ
    るように前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項２２に記
    載の電気回路検査システム。
  28. 【請求項２８】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項２７に記載の電気回路検査システム。
  29. 【請求項２９】 前記関心の部分が前記リレーレンズを通して見られるよう
    に前記電気回路を配置する位置決め装置をさらに備える、請求項２３に記載の電
    気回路検査システム。
  30. 【請求項３０】 前記位置決め装置は、おそらく欠陥を含むと考えられる前
    記電気回路の領域を識別する自動光学検査システムから受信した出力によって作
    動する、請求項２９に記載の電気回路検査システム。
  31. 【請求項３１】 関心の領域から受けた光を実質的に無限遠に結像するよう
    機能するレンズと、前記レンズから実質的に無限遠に結像された光を受けるズー
    ムおよび／または自動焦点ビデオカメラ組立品と、前記ズームおよび／または自
    動焦点ビデオカメラ組立品からビデオ出力を受信し前記関心の領域の拡大画像を
    表示するよう機能するディスプレイと、を備える検査システム。
JP2001584927A 2000-05-15 2001-05-10 顕微鏡検査システム Pending JP2003533731A (ja)

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US09/570,972 2000-05-15
PCT/IL2001/000410 WO2001088592A2 (en) 2000-05-15 2001-05-10 Microscope inspection system

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