JP2000241123A - 微小寸法測定装置 - Google Patents
微小寸法測定装置Info
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- JP2000241123A JP2000241123A JP4476899A JP4476899A JP2000241123A JP 2000241123 A JP2000241123 A JP 2000241123A JP 4476899 A JP4476899 A JP 4476899A JP 4476899 A JP4476899 A JP 4476899A JP 2000241123 A JP2000241123 A JP 2000241123A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】１００ｎｍ〜数十μｍ程度の解像度が得られる
と同時に被測定物との間に距離を設けられかつ安価であ
る撮像光学系を具備する微小寸法測定装置を提供するこ
とを課題とする。 【解決手段】被測定物を照明する照明手段と、被測定物
の像を結ぶ撮像光学系と、前記像を撮像し画像データに
変換する撮像手段と、画像データを用いて測定処理を行
う処理手段と、測定処理の結果を出力する出力手段とを
具備する微小寸法測定装置において、前記撮像光学系
が、被測定物の像を結像させる結像手段と、前記像を拡
大し撮像手段が備える撮像素子上に結像させる拡大結像
手段とを備えた光学系であることを特徴とする微小寸法
測定装置。
と同時に被測定物との間に距離を設けられかつ安価であ
る撮像光学系を具備する微小寸法測定装置を提供するこ
とを課題とする。 【解決手段】被測定物を照明する照明手段と、被測定物
の像を結ぶ撮像光学系と、前記像を撮像し画像データに
変換する撮像手段と、画像データを用いて測定処理を行
う処理手段と、測定処理の結果を出力する出力手段とを
具備する微小寸法測定装置において、前記撮像光学系
が、被測定物の像を結像させる結像手段と、前記像を拡
大し撮像手段が備える撮像素子上に結像させる拡大結像
手段とを備えた光学系であることを特徴とする微小寸法
測定装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は微小パターンなどの
微小物を測定する微小寸法測定装置に関し、特に、被測
定物から離れて行う微小寸法測定に好適に利用できるも
のである。
微小物を測定する微小寸法測定装置に関し、特に、被測
定物から離れて行う微小寸法測定に好適に利用できるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より測定装置において微小物を画像
データとして得るために撮像する際には、拡大光学系か
らなる撮像光学系を用いて被測定物の像を撮像素子上に
結ばせている。
データとして得るために撮像する際には、拡大光学系か
らなる撮像光学系を用いて被測定物の像を撮像素子上に
結ばせている。
【０００３】１００ｎｍから数十μｍ程度の解像度を得
るための高倍率の拡大光学系には、対物レンズを使う手
法が一般的に用いられており、対物レンズ単体で構成さ
れているものや、対物レンズと結像レンズで構成されて
いるものがある。また、拡大光学系を構成するレンズ群
を特別に設計し、用いている場合もある。
るための高倍率の拡大光学系には、対物レンズを使う手
法が一般的に用いられており、対物レンズ単体で構成さ
れているものや、対物レンズと結像レンズで構成されて
いるものがある。また、拡大光学系を構成するレンズ群
を特別に設計し、用いている場合もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、拡大光
学系は焦点距離が短く、被測定物と光学系の距離が取れ
ない。そのため、ライン上を流れる製品などでは、物理
的な干渉が生じ、測定が困難であった。また、焦点深度
が浅いことから、光軸方向に凹凸のある物体の測定が不
可能であり、光軸方向の移動を伴う物体を連続的に測定
することも困難であった。
学系は焦点距離が短く、被測定物と光学系の距離が取れ
ない。そのため、ライン上を流れる製品などでは、物理
的な干渉が生じ、測定が困難であった。また、焦点深度
が浅いことから、光軸方向に凹凸のある物体の測定が不
可能であり、光軸方向の移動を伴う物体を連続的に測定
することも困難であった。
【０００５】超長焦点対物レンズなど、拡大光学系でも
特別設計により焦点距離を長くし、前記問題点を解決す
る試みがなされているが、そのようなレンズでも高倍率
ではワーキングデイスタンスは十数ｍｍにとどまり、使
用できない場面がある。また、このような特別設計のレ
ンズを使用した場合、価格が問題となる。
特別設計により焦点距離を長くし、前記問題点を解決す
る試みがなされているが、そのようなレンズでも高倍率
ではワーキングデイスタンスは十数ｍｍにとどまり、使
用できない場面がある。また、このような特別設計のレ
ンズを使用した場合、価格が問題となる。
【０００６】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、１００ｎｍ〜数十μｍ程度の解像度が得ら
れると同時に被測定物との間に距離を設けられかつ安価
である撮像光学系を具備する微小寸法測定装置を提供す
ることを課題とする。
れたもので、１００ｎｍ〜数十μｍ程度の解像度が得ら
れると同時に被測定物との間に距離を設けられかつ安価
である撮像光学系を具備する微小寸法測定装置を提供す
ることを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明において上記の課
題を達成するために、まず請求項１の発明では、被測定
物を照明する照明手段と、被測定物の像を結ぶ撮像光学
系と、前記像を撮像し画像データに変換する撮像手段
と、画像データを用いて測定処理を行う処理手段と、測
定処理の結果を出力する出力手段とを具備する微小寸法
測定装置において、前記撮像光学系が、被測定物の像を
結像させる結像手段と、前記像を拡大し撮像手段が備え
る撮像素子上に結像させる拡大結像手段とを備えた光学
系であることを特徴とする微小寸法測定装置としたもの
である。
題を達成するために、まず請求項１の発明では、被測定
物を照明する照明手段と、被測定物の像を結ぶ撮像光学
系と、前記像を撮像し画像データに変換する撮像手段
と、画像データを用いて測定処理を行う処理手段と、測
定処理の結果を出力する出力手段とを具備する微小寸法
測定装置において、前記撮像光学系が、被測定物の像を
結像させる結像手段と、前記像を拡大し撮像手段が備え
る撮像素子上に結像させる拡大結像手段とを備えた光学
系であることを特徴とする微小寸法測定装置としたもの
である。
【０００８】また請求項２の発明では、上記撮像光学系
は、光路中に全反射鏡や回折素子をなどの光学偏向素子
を設置し光軸を偏向させる機構を備えたことにより、測
定箇所の移動が可能となることを特徴とする請求項１記
載の微小寸法測定装置としたものである。
は、光路中に全反射鏡や回折素子をなどの光学偏向素子
を設置し光軸を偏向させる機構を備えたことにより、測
定箇所の移動が可能となることを特徴とする請求項１記
載の微小寸法測定装置としたものである。
【０００９】また請求項３の発明では、上記撮像光学系
が備える結像手段は、２枚以上のレンズの組み合わせを
用いたアフォーカル系であって、前記アフォーカル系内
に光学フィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿
入することで、撮像光学系の特性変更が可能となること
を特徴とする請求項１記載の微小寸法測定装置としたも
のである。
が備える結像手段は、２枚以上のレンズの組み合わせを
用いたアフォーカル系であって、前記アフォーカル系内
に光学フィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿
入することで、撮像光学系の特性変更が可能となること
を特徴とする請求項１記載の微小寸法測定装置としたも
のである。
【００１０】
【作用】請求項１の発明は、被測定物を照明する照明手
段と、被測定物の像を結ぶ撮像光学系と、前記像を撮像
し画像データに変換する撮像手段と、画像データを用い
て測定処理を行う処理手段と、測定処理の結果を出力す
る出力手段とを具備する微小寸法測定装置において、前
記撮像光学系が、被測定物の像を結像させる結像手段
と、前記像を拡大し撮像手段が備える撮像素子上に結像
させる拡大結像手段とを備えた光学系であることを特徴
とする微小寸法測定装置としたものであるから、結像手
段として長焦点距離の結像光学系を用いることにより、
被測定物と撮像光学系との間に距離を設けることが可能
となる。
段と、被測定物の像を結ぶ撮像光学系と、前記像を撮像
し画像データに変換する撮像手段と、画像データを用い
て測定処理を行う処理手段と、測定処理の結果を出力す
る出力手段とを具備する微小寸法測定装置において、前
記撮像光学系が、被測定物の像を結像させる結像手段
と、前記像を拡大し撮像手段が備える撮像素子上に結像
させる拡大結像手段とを備えた光学系であることを特徴
とする微小寸法測定装置としたものであるから、結像手
段として長焦点距離の結像光学系を用いることにより、
被測定物と撮像光学系との間に距離を設けることが可能
となる。
【００１１】請求項２の発明は、上記撮像光学系は、光
路中に全反射鏡や回折素子をなどの光学偏向素子を設置
し光軸を偏向させる機構を備えたことにより、測定箇所
の移動が可能となることを特徴とする請求項１記載の微
小寸法測定装置としたものであるから、光学偏向素子に
より光が反射又は屈折されることで、撮像光学系全体の
移動なしに測定箇所を移動することができる。
路中に全反射鏡や回折素子をなどの光学偏向素子を設置
し光軸を偏向させる機構を備えたことにより、測定箇所
の移動が可能となることを特徴とする請求項１記載の微
小寸法測定装置としたものであるから、光学偏向素子に
より光が反射又は屈折されることで、撮像光学系全体の
移動なしに測定箇所を移動することができる。
【００１２】請求項３の発明は、上記撮像光学系が備え
る結像手段は、２枚以上のレンズの組み合わせを用いた
アフォーカル系であって、前記アフォーカル系内に光学
フィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿入する
ことで、撮像光学系の特性変更が可能となることを特徴
とする請求項１記載の微小寸法測定装置としたものであ
るから、例えば同軸落射照明や撮像素子への入射調整な
どが可能になる。
る結像手段は、２枚以上のレンズの組み合わせを用いた
アフォーカル系であって、前記アフォーカル系内に光学
フィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿入する
ことで、撮像光学系の特性変更が可能となることを特徴
とする請求項１記載の微小寸法測定装置としたものであ
るから、例えば同軸落射照明や撮像素子への入射調整な
どが可能になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を説
明する。
明する。
【００１４】図１は、本発明装置の基本的な構成を示
す。但し、点線で囲まれている被測定物は、本発明装置
の構成要素ではない。また、括弧で囲まれている光学偏
向素子は、オプションである。細い矢印は光の進む方向
を表わし、太い矢印は電気信号又はデジタルな情報の流
れを表わす。従来の微小測定装置に対する主要な改良点
は、撮像光学系にある。
す。但し、点線で囲まれている被測定物は、本発明装置
の構成要素ではない。また、括弧で囲まれている光学偏
向素子は、オプションである。細い矢印は光の進む方向
を表わし、太い矢印は電気信号又はデジタルな情報の流
れを表わす。従来の微小測定装置に対する主要な改良点
は、撮像光学系にある。
【００１５】本発明装置の照明手段としては、透過照
明、同軸落射照明、射方照明など一般的に用いられる照
明手段が好適に利用できる。これら照明手段は、被測定
物の性質に合わせて、単色光や白色光などの光源や平行
光や拡散光などの性質が適宜選択可能である。
明、同軸落射照明、射方照明など一般的に用いられる照
明手段が好適に利用できる。これら照明手段は、被測定
物の性質に合わせて、単色光や白色光などの光源や平行
光や拡散光などの性質が適宜選択可能である。
【００１６】本発明装置の撮像光学系は、結像手段と拡
大結像手段とを備える。
大結像手段とを備える。
【００１７】撮像光学系の結像手段としては、収差の少
ない組み合わせレンズが好適に利用できる。中でもアク
ロマートレンズを２枚対向させて用いる方法は、安価で
収差も少なくできる。この際に、対向した２枚のレンズ
間をアフォーカル系にすると、この位置に光学フィルタ
やビームスプリッタなどを挿入することが可能である。
焦点距離は測定条件などを考慮して適宜設定が可能であ
る。倍率を１倍に設定することで収差の影響を少なくす
ることができる。
ない組み合わせレンズが好適に利用できる。中でもアク
ロマートレンズを２枚対向させて用いる方法は、安価で
収差も少なくできる。この際に、対向した２枚のレンズ
間をアフォーカル系にすると、この位置に光学フィルタ
やビームスプリッタなどを挿入することが可能である。
焦点距離は測定条件などを考慮して適宜設定が可能であ
る。倍率を１倍に設定することで収差の影響を少なくす
ることができる。
【００１８】撮像光学系の結像手段としては、顕微鏡用
対物レンズが好適に使用できる。使用する対物レンズに
よって、対物レンズ単体で用いる場合と、対物レンズと
結像レンズとを組み合わせる場合がある。対物レンズと
結像レンズとを組み合わせる場合には、収差補正のなさ
れているアクロマートレンズが適している。
対物レンズが好適に使用できる。使用する対物レンズに
よって、対物レンズ単体で用いる場合と、対物レンズと
結像レンズとを組み合わせる場合がある。対物レンズと
結像レンズとを組み合わせる場合には、収差補正のなさ
れているアクロマートレンズが適している。
【００１９】本発明の撮像手段としては、撮像素子にＣ
ＣＤを用いたモノクロカメラ又はカラーカメラが好適に
利用できる。
ＣＤを用いたモノクロカメラ又はカラーカメラが好適に
利用できる。
【００２０】本発明の処理手段としては、一般に利用さ
れている画像処理装置やコンピュータを好適に使用で
き、その処理方法は例えば２値化やエッジ検出などの画
像処理を用いることができる。
れている画像処理装置やコンピュータを好適に使用で
き、その処理方法は例えば２値化やエッジ検出などの画
像処理を用いることができる。
【００２１】本発明の出力手段としては、ＴＶモニタな
どによって視覚的に理解できる形での出力手段や、電気
信号として外部機器に出力する手段などが好適に使用で
きる。また、これら出力手段を併用することも可能であ
る。
どによって視覚的に理解できる形での出力手段や、電気
信号として外部機器に出力する手段などが好適に使用で
きる。また、これら出力手段を併用することも可能であ
る。
【００２２】
【実施例】以下、本発明装置の実施例を説明すること
で、本発明の実施の形態をより詳細に説明する。
で、本発明の実施の形態をより詳細に説明する。
【００２３】＜実施例１＞図２に示す実施例１は、請求
項１の発明の１実施例である。照明手段は光源１、撮像
手段はＣＣＤカメラ５、処理及び出力手段は処理及び出
力装置６に対応する。結像手段は、結像レンズ２から構
成される。拡大結像手段は、対物レンズ３と、結像レン
ズ４とから構成される。従って、撮像光学系は、結像レ
ンズ２と、対物レンズ３と、結像レンズ４とから構成さ
れる。
項１の発明の１実施例である。照明手段は光源１、撮像
手段はＣＣＤカメラ５、処理及び出力手段は処理及び出
力装置６に対応する。結像手段は、結像レンズ２から構
成される。拡大結像手段は、対物レンズ３と、結像レン
ズ４とから構成される。従って、撮像光学系は、結像レ
ンズ２と、対物レンズ３と、結像レンズ４とから構成さ
れる。
【００２４】本実施例の装置は、光源１により被測定物
７を透過照明し、結像レンズ２により面８に１対１の像
（被測定物の実像）を結んでいる。対物レンズ３の作動
距離の位置に面８が来るように対物レンズ３を配置し、
面８に出来ている像の拡大像を結像レンズ４を介して面
９に結ばせている。面９の位置には撮像面が来るように
ＣＣＤカメラ５を配置する。ＣＣＤカメラ５によって撮
像された画像はビデオ信号として処理及び出力装置に転
送され、そこで処理及び出力が行われる。
７を透過照明し、結像レンズ２により面８に１対１の像
（被測定物の実像）を結んでいる。対物レンズ３の作動
距離の位置に面８が来るように対物レンズ３を配置し、
面８に出来ている像の拡大像を結像レンズ４を介して面
９に結ばせている。面９の位置には撮像面が来るように
ＣＣＤカメラ５を配置する。ＣＣＤカメラ５によって撮
像された画像はビデオ信号として処理及び出力装置に転
送され、そこで処理及び出力が行われる。
【００２５】これにより、被測定物７と本実施例の撮像
光学系の最前面である結像レンズ２との距離が、従来の
撮像光学系と比較して、数〜数十倍となり、凹凸のある
ものや、巻き取りラインなどを流れていて光学軸方向に
ばたつくものなどとの物理的な干渉を回避できる。
光学系の最前面である結像レンズ２との距離が、従来の
撮像光学系と比較して、数〜数十倍となり、凹凸のある
ものや、巻き取りラインなどを流れていて光学軸方向に
ばたつくものなどとの物理的な干渉を回避できる。
【００２６】図３は、対物レンズと結像レンズのみを用
いた従来の撮像光学系で被測定物を撮影して得た画像で
ある。一方、図４は、本実施例の撮像光学系で被測定物
を撮影して得た画像である。図３と図４を比較すると、
本実施例の撮像光学系を用いても、ほとんど劣化のない
画像が見られる。すなわち、従来の拡大光学系からなる
撮像光学系と同様に、本実施例の撮像光学系は１００ｎ
ｍ〜数十μｍ程度の解像度を得ることができる。
いた従来の撮像光学系で被測定物を撮影して得た画像で
ある。一方、図４は、本実施例の撮像光学系で被測定物
を撮影して得た画像である。図３と図４を比較すると、
本実施例の撮像光学系を用いても、ほとんど劣化のない
画像が見られる。すなわち、従来の拡大光学系からなる
撮像光学系と同様に、本実施例の撮像光学系は１００ｎ
ｍ〜数十μｍ程度の解像度を得ることができる。
【００２７】＜実施例２＞図５に示す実施例２は、請求
項２の発明の１実施例である。照明手段は光源２１、撮
像手段はＣＣＤカメラ２６、処理及び出力手段は処理及
び出力装置２９に対応する。結像手段は、結像レンズ２
２から構成される。拡大結像手段は、対物レンズ２４
と、結像レンズ２５とから構成される。更に、光学偏向
素子として全反射鏡２３を用いている。従って、撮像光
学系は、結像レンズ２２と、全反射鏡２３と、対物レン
ズ２４と、結像レンズ２５とから構成され、結像レンズ
２２と対物レンズ２４との間に全反射鏡が入っている。
項２の発明の１実施例である。照明手段は光源２１、撮
像手段はＣＣＤカメラ２６、処理及び出力手段は処理及
び出力装置２９に対応する。結像手段は、結像レンズ２
２から構成される。拡大結像手段は、対物レンズ２４
と、結像レンズ２５とから構成される。更に、光学偏向
素子として全反射鏡２３を用いている。従って、撮像光
学系は、結像レンズ２２と、全反射鏡２３と、対物レン
ズ２４と、結像レンズ２５とから構成され、結像レンズ
２２と対物レンズ２４との間に全反射鏡が入っている。
【００２８】全反射鏡２３の角度を変えることにより、
面２８での像が動き、測定箇所を変更するのと同等の動
作となる。この際に、結像レンズ２２に使用するレンズ
は、全反射鏡２３の動作に合わせるために、ｆθレン
ズ、アークタンジェントレンズなどを用いる。
面２８での像が動き、測定箇所を変更するのと同等の動
作となる。この際に、結像レンズ２２に使用するレンズ
は、全反射鏡２３の動作に合わせるために、ｆθレン
ズ、アークタンジェントレンズなどを用いる。
【００２９】＜実施例３＞図６に示す実施例３は、請求
項３の発明の１実施例である。結像手段として、レンズ
３４、レンズ３６の２枚のレンズを用い、その間にビー
ムスプリッタ３５を設けることにより、照明を同軸落射
照明にしている。レンズ３４とレンズ３６の２枚のレン
ズによって、アフォーカル系を構成することにより、ビ
ームスプリッタ３５を用いても、屈折による波長分離な
どが起こらないため、良好な画像が得られる。
項３の発明の１実施例である。結像手段として、レンズ
３４、レンズ３６の２枚のレンズを用い、その間にビー
ムスプリッタ３５を設けることにより、照明を同軸落射
照明にしている。レンズ３４とレンズ３６の２枚のレン
ズによって、アフォーカル系を構成することにより、ビ
ームスプリッタ３５を用いても、屈折による波長分離な
どが起こらないため、良好な画像が得られる。
【００３０】尚、撮像手段はＣＣＤカメラ３９、処理及
び出力手段は処理及び出力装置４０に対応する。照明手
段は、光源３１と、コリメータレンズ３２と、ビームス
プリッタ３５と、レンズ３４とから構成される。結像手
段は、レンズ３４とレンズ３６とから構成される。拡大
結像手段は、対物レンズ３７と、結像レンズ３８とから
構成される。従って、撮像光学系は、レンズ３４と、レ
ンズ３６と、対物レンズ３７と、結像レンズ３８とから
構成される。
び出力手段は処理及び出力装置４０に対応する。照明手
段は、光源３１と、コリメータレンズ３２と、ビームス
プリッタ３５と、レンズ３４とから構成される。結像手
段は、レンズ３４とレンズ３６とから構成される。拡大
結像手段は、対物レンズ３７と、結像レンズ３８とから
構成される。従って、撮像光学系は、レンズ３４と、レ
ンズ３６と、対物レンズ３７と、結像レンズ３８とから
構成される。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から理解できるように、本発
明には、次の効果がある。
明には、次の効果がある。
【００３２】請求項１記載の微小寸法測定装置は、その
撮像光学系が結像手段と拡大結像手段とを備えているた
めに、１００ｎｍ〜数十μｍ程度の解像度が得られると
同時に、撮像光学系と被測定物との間に距離を設けられ
るので、凹凸のあるものなどの微小パターンの寸法測定
が可能となるという効果がある。また、結像手段と拡大
結合手段とは、安価なレンズを用いて構成されるので、
撮像光学系が安価になるという効果もある。
撮像光学系が結像手段と拡大結像手段とを備えているた
めに、１００ｎｍ〜数十μｍ程度の解像度が得られると
同時に、撮像光学系と被測定物との間に距離を設けられ
るので、凹凸のあるものなどの微小パターンの寸法測定
が可能となるという効果がある。また、結像手段と拡大
結合手段とは、安価なレンズを用いて構成されるので、
撮像光学系が安価になるという効果もある。
【００３３】請求項２記載の微小寸法測定装置は、上記
効果に加えて、物理的に干渉し撮像光学系の移動が困難
である場合にも、測定箇所の移動が可能である。また測
定装置を小さくすることが可能であるという効果もあ
る。
効果に加えて、物理的に干渉し撮像光学系の移動が困難
である場合にも、測定箇所の移動が可能である。また測
定装置を小さくすることが可能であるという効果もあ
る。
【００３４】請求項３記載の寸法測定装置は、欄［００
３２］記載の効果に加えて、結像手段のアフォーカル系
部分にフィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿
入しているので、撮像光学系において、同軸落射照明を
使用することや、偏光、波長などの選択性を持たせるこ
とが安価に可能となるという効果がある。
３２］記載の効果に加えて、結像手段のアフォーカル系
部分にフィルタやビームスプリッタなどの光学素子を挿
入しているので、撮像光学系において、同軸落射照明を
使用することや、偏光、波長などの選択性を持たせるこ
とが安価に可能となるという効果がある。
【図１】本発明装置の基本的な構成を説明する図。
【図２】実施例１を説明する図。
【図３】従来の撮像光学系で被測定物を撮影して得た画
像。
像。
【図４】実施例１の撮像光学系で被測定物を撮影して得
た画像。
た画像。
【図５】実施例２を説明する図。
【図６】実施例３を説明する図。
１…光源 ２…結像レンズ ３…対物レンズ ４…結像レンズ ５…ＣＣＤカメラ ６…処理及び出力装置 ７…被測定物 ８…面 ９…面 ２１…光源 ２２…結像レンズ ２３…全反射鏡 ２４…対物レンズ ２５…結像レンズ ２６…ＣＣＤカメラ ２７…被測定物 ２８…面 ２９…処理及び出力装置 ３１…光源 ３２…コリメータレンズ ３３…被測定物 ３４…レンズ ３５…ビームスプリッタ ３６…レンズ ３７…対物レンズ ３８…結像レンズ ３９…ＣＣＤカメラ ４０…処理及び出力装置
Claims (3)
- 【請求項１】被測定物を照明する照明手段と、被測定物
の像を結ぶ撮像光学系と、前記像を撮像し画像データに
変換する撮像手段と、画像データを用いて測定処理を行
う処理手段と、測定処理の結果を出力する出力手段とを
具備する微小寸法測定装置において、 前記撮像光学系が、被測定物の像を結像させる結像手段
と、前記像を拡大し撮像手段が備える撮像素子上に結像
させる拡大結像手段とを備えた光学系であることを特徴
とする微小寸法測定装置。 - 【請求項２】上記撮像光学系は、光路中に全反射鏡や回
折素子をなどの光学偏向素子を設置し光軸を偏向させる
機構を備えたことにより、測定箇所の移動が可能となる
ことを特徴とする請求項１記載の微小寸法測定装置。 - 【請求項３】上記撮像光学系が備える結像手段は、２枚
以上のレンズの組み合わせを用いたアフォーカル系であ
って、前記アフォーカル系内に光学フィルタやビームス
プリッタなどの光学素子を挿入することで、撮像光学系
の特性変更が可能となることを特徴とする請求項１記載
の微小寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4476899A JP2000241123A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | 微小寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4476899A JP2000241123A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | 微小寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241123A true JP2000241123A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12700611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4476899A Pending JP2000241123A (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | 微小寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000241123A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140026416A (ko) | 2011-06-02 | 2014-03-05 | 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디 | 치수 측정 장치 |
| KR101639043B1 (ko) | 2015-09-23 | 2016-07-12 | 인제대학교 산학협력단 | 나사부 치수 측정 장치 |
| CN108151650A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-06-12 | 东莞市凯融塑胶五金科技有限公司 | 一种在线影像测量仪 |
-
1999
- 1999-02-23 JP JP4476899A patent/JP2000241123A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140026416A (ko) | 2011-06-02 | 2014-03-05 | 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디 | 치수 측정 장치 |
| KR101639043B1 (ko) | 2015-09-23 | 2016-07-12 | 인제대학교 산학협력단 | 나사부 치수 측정 장치 |
| CN108151650A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-06-12 | 东莞市凯融塑胶五金科技有限公司 | 一种在线影像测量仪 |
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