JPH0495666A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は真空チャンバ等へ物品を出し入れする九めのゲ
ートバルブに関する。

［従来の技術］ 従来のゲートバルブにおいて、バルブ板金バルブ容器内
に保持し、開閉動作ｔさせるための機構は、摺動ガイド
、送り機構、リンク機構などから構成されている。（真
空技術用構成材料、浅尾他著、日刊工業新聞社Ｐ１４７
） ［発明が解決しようとする課題］ このため、バルブ板の開閉動作の際に、機構の摺動部分
あるいは屈伸部分から塵埃を発生するという問題があっ
た。

本発明の目的は、開閉動作の＠、塵埃全発生しないゲー
トバルブ會提供することにある。

［課題を解決する几めの手段］ このため本発明では、バルブ板のバルブ容器内保持及び
移動ガイドを磁気浮上により行ない、バルブ板の開閉動
作をを磁力により行なうこととした。

［作用コ これＫより、バルブ板はバルブ容器の内壁に接触するこ
となく開閉駆動され、開閉動作の際の塵埃の発生を無く
することができる。

「実施例」 以下、本発明の一実施例を第１図ないし第７５Ａにより
説明する。

１１１図において容器１は、底板３、側板４，５゜６．
７．天板８を溶接等にエタ固着しｔものであり、その内
部にバルブ板２會包含している。纂２図において、バル
ブ板２の上端面及び下端１１には棒磁石９及び１０が側
板７の方向にＳ極となるように固着されている。ま比、
バルブ板２には、馬てい磁石１１及びオーリング１２が
埋め込まれて固着されている。側板４に板磁石１３及び
板磁石１４、底板３に板磁石１９及び板磁石２０が埋め
込まれ固着されている。磁極の向きは容器１の内側方向
に、板磁石１５及び１９がＮ極、板磁石１４及び２０が
Ｓ極となりている。ａＩ３図で、ｌｌ板６に板磁石１５
及び板磁石１６が埋め込まれ固着されている。側板Ｓに
に板磁石１７１側板７には板磁石１８が固着されている
。磁極の向きは容器１の内側方向に、板磁石１５及び１
７がＮ極、板磁石１６及び１８がＳ極となっている。側
板６には固定子２１及び電磁石２２が埋め込まれ固着さ
れている。また、底板３には近接セ／す２３が埋め込ま
れ１濯されている。第４図において、固定子２１はくし
歯鉄芯２４にコイル２５〜３６を巻きつけたものであシ
、通電制御により＜Ｌ歯先端５７〜４８の極性を独立に
変化させることができる。ｇ５＠において、電磁石２２
は鉄芯４９にコイル５０を巻きつけたものであり、通電
制御により端部５１及び５２の極性上変化させることが
できる。

次に作用管説明する。電磁石２２（２）端ｇｓｔがＳ極
、端ｗ５２がＮ極になるようにコイル５０に通電するモ
ードを電磁石反発モードと呼ぶことにする。このモード
のとき、バルブ板２の棒磁石９及び１０の１ａｉｉと容
器１の板磁石Ｉ　Ｓ、　　１４．１５゜１６．１７，１
８，１９，２Ｇ及び電磁石２２の端部５１，５２０ａｇ
は全て反発し合５同士が対向することになシ、いわゆる
、磁気浮上伏態となる。すなわち、バルブ板２は容器１
内に非接触で支持され、かつ、上下方向に移動可能な状
態となる。固定子２１と馬てい磁石１１は対向して配置
されており、永久磁石形リニアパルスモータ駆動回路し
ている。すなわち、固定子２１のコイル２５〜５６　ヘ
０ＡｔＫ”）ニアパルスモーメ躯動回路で制御すること
によシ、バルブ板２を上下方向に移動させ、かつ、その
位置で保持することができる。

コイル２５〜Ｓ６への通電を行なっていないときは、バ
ルブ板２は自重で下降するが、板磁石１９及び２０から
の反発力によって底板３の内壁面には当接しない。バル
ブ板２が下降位置にあるときは、近接セン−ｙ″２３が
駆動し、その伏ａを検出することができる。バルブ板２
が下降位置で、電磁石２２のコイル５０への通電ｔｍ″
ｓ５１がＮ極、端部５２がｓＷｌとなる（これｔ電磁石
吸引モードと呼ぶ）工うにすると、バルブ板２は側板６
の内壁面に吸引される。このとき、オーリング１２が側
板６の内壁面に当接して変形させられ、ゲートバルブと
しての閉状態となる。バルブ板２が第２図のような上昇
位置にあるときが、ゲートバルブとしての開状態である
。

第６図は制御装置のブロック図である。制御装置５Ｓは
、演算処理部５４、指令入力ｓ５５、近接センナ入力部
５６、リニアパルスモータ駆動部５７、電磁石駆動Ｎ５
５Ｂから成る。指令入力部５５框指令部５９かうの指令
がゲートバルブを開く指令か閉じる指令か七判別して演
算処理部５４に知らせる。近接センナ入力部５６はバル
ブ板２が下降位置に６るか否か音検出する。リニアパル
スモー！駆動ｓ５７はリニアパルスモータ駆動回路を内
蔵しており、演算処理部５４から指示されるパルス数に
応じて、バルブ板２は上刃もしくは下方へ移動させる。

電磁石駆動部５８は電磁石の通電モードをｔａ石反発モ
ードもしくは電磁石吸引モードとなるように制御する。

第７図により、開閉動作の手ｍＫを説明する。

指令が閉動作の場合、バルブ板２が下降位置になるまで
１パルスずつ下降させる。バルブ板２を移動させるとき
は電磁石は反発モードとしておく。

バルブ板２が下降位置になり友ら、電磁石を吸引モード
とし、閉動作終了。一方、指令が開動作の場合、先ずバ
ルブ板２ｔ１−旦、下降位置まで持ってゆく。その後、
Ｎパルスを上昇させ、バルブ板２を上昇位置へ持ってゆ
き、閉動作終了となる。

本実施例によれば、バルブ板２が上、下移動をするタイ
プで、開閉動作に際し塵埃の発生の無いゲートバルブを
得ることができる。

［発明の効果］ 本発明によれば、バルブ板をバルブ容器の内壁ＫＩｆ＝
触することなく開閉駆動し、開閉動作の際に塵埃の発生
の無いゲートバルブが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の一実施例の斜視図、第６
図は制御装置のブロック図、第７図は動作子ａを示すフ
ローチャートである。 符号の説明 １−容器、２・−バルブ板、９　、１０−・棒磁石、１
１・・・馬てい磁石、１２・・・０リング、１５〜２０
−・板磁石、２１・−固定子、２２・・・電磁石、２３
・・・近接センサ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、開口を設けた容器と、前記容器内にあって前記開口
   を開閉するためのバルブ板より成るゲートバルブにおい
   て、 前記バルブ板を前記容器内に非接触に浮遊保持し、前記
   バルブ板の開閉動作をさせるための磁気回路を前記容器
   及び前記バルブ板に設けたことを特徴とするゲートバル
   ブ。