JPH0494790A - 廃ガス洗浄塔の閉塞防止法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造工場、化学プラント、研究室トラ
フ）・等から排出されるＡ　ｓ　Ｈ３、ＰＨ，、等の有
害ガス、Ｈ，ＳｏいＩ−ＩＣＱＳＨＮＯ３などの酸系廃
ガスや有機溶剤廃ガスを処理するための廃ガス洗浄塔の
生物系障害による閉塞を防止する方法に関する。

（従来の技術） 廃ガス洗浄塔は、底部に洗浄水タンクを設け、中央部に
フィラーやバッキング等を充填した充填層あるいは多孔
板等を設けて濡れ壁を構成し、濡れ壁の上からポンプに
よって循環された洗浄水をスプレーノズルから流下させ
、廃ガスと気液接触させることにより、廃ガス中の有害
物質を除去する構造を有するものである。通常、上部に
は除害されたガスに同伴するミストを分離するため、ミ
ストキャッヂャー、デミスタ−等が設けられている。

しかし、洗浄液中においては、廃ガス中に含まれている
微生物が増殖しやすく、また藻類の生成もあり、これら
の増殖や生成による生物系障害のために洗浄塔上部およ
び中央部で閉塞が生じ、その結果、洗浄塔内の差圧が上
部し、圧力損失が大きくなるという事態を招いていた。

この防止策としては、従来、殺菌剤、殺藻剤などの薬剤
投与、あるいはオゾンを直接、洗浄液タンクに吹き込む
方法等が用いられてきた。

（発明が解決しようとする課題） 洗浄塔内は常時濡れ壁を形成した状況にあるので前記の
ように上部、中央部、洗浄液タンクとも微生物や藻類が
繁殖しやすい状態にある。しかしながら、従来の方法で
は、洗浄塔上部の殺菌、投原ができず、また、中央部に
おいても十分な殺菌、投原効果が得られず、定期的な洗
浄塔の分解掃除によって、塔内差圧の上昇を招かないよ
うにしている。

このような事情に鑑み、本発明者らは廃ガス洗浄塔の生
物系障害による閉塞を殺菌、投原により有効に行なえる
方法について鋭意検討した。その結果、先に本発明者ら
によって発明されたオゾンによるクーリングタワー循環
水の浄化方法（特開平２−１／１４１９１号）が応用で
きることを知り、本発明を完成するに至った。

（課題を解決するための手段） オゾンは強力な殺菌、投原力を有することが知られてお
り、また、近年、種々のオゾン発生器が開発されている
。通常、オゾンは空気を原料として、空気中に数百〜数
千ｐｐｍ含有された状態で得られる。本発明者らは、発
生したオゾンをできるだｌ−１有効に利用し、洗浄水の
殺菌、投原を行ない、ミストキャッヂャー、デミスタ−
等の殺菌、投原を行なうことができ、効果的に洗浄塔の
閉塞を防止することができる。

本発明の方法は、特に限定するものではないが、例えば
、前記のごとく、半導体製造工場、化学プラント、研究
室ドラフト等からの有害ガス、酸系廃ガス、有機溶剤廃
ガス等の処理用の廃ガス洗浄塔に適用できる。

前記のごとく、循環水は洗浄水の一部を循環させるもの
で、その里は全洗浄水のｌ７１００〜］１５が好ましく
、気液混合器を出た後、オゾンの７０〜９０％が溶解す
るように調節する。オゾンの溶解量が９０％より多いと
気相オゾンが不足して塔上部の殺菌、投原効果が得られ
ず、また７０％より少ないと洗浄液中でのオゾンが不足
して塔中央部での殺菌、投原が不十分となるばかりでな
く塔外へ余剰のオゾンが排気されるので好ましくない。

前記の範囲にオゾン溶解度を調節することにより、塔内
金体の殺菌、投原を効果的に行なうことができる。

さらに洗浄塔中央部の多孔板、充填物等の殺菌、投原を
行ない、併せて上部のミストギヤッヂャーデミスターの
殺菌、投原を実施可能な方法について、検討を加えた。

その結果、循環ポンプ出口側に気液混合器を設（１、気
液混合器中でオゾン含有空気と洗浄水の一部を循環さｌ
゛ている循環水とを混合し、気液流量比を調整すること
によりオゾン溶解量を調整して常に未溶解オゾンを残存
せしめれば、洗浄塔内の殺菌、投原が有効に行なえ、生
物系障害による閉塞を防止することができることを見出
した。

すなわち、本発明（Ｊ、廃カス洗浄塔の循環水とオゾン
含有空気を気液接触させ、オゾンの７０〜９０％を循環
水に溶解させた後、該循環水を未溶解オゾンとともに洗
浄塔上部から下部へ流下させ、洗浄塔内の生物系障害に
よる閉塞を防止する廃ガス洗浄塔の閉塞防止法を提供す
るものである。本発明の方法によれば、オゾンが溶解し
た洗浄液によって塔中央部の充填層、多孔板等の殺菌、
投原を、また、未溶解の気相オゾンによって塔上部、本
発明で使用する気液混合器は、特に限定されず気液接触
によって」二足範囲にオゾンを溶解せしめる機器であれ
ば何れも使用することができる。

具体的にはエノエクター、スタティックミキザーなどが
挙げられる。

つぎに、添付の第１図を用いて本発明を具体的に説明す
る。

第１図は本発明の方法の１つの実施例を示す廃ガス洗浄
塔の模式的系統図である。

オゾン発生器７へ供給された空気または酸素９から製造
されたオゾン含有気体は、循環水のラインに設けられた
気液混合器６に吹き込まれ、気液混合される。この時洗
浄液タンク４から循環ポンプ５で吸引された循環水の液
量は流量計１１で測定される。また廃ガスは廃ガス人口
８から洗浄塔内部に導入される。

かくすることによって、循環水に溶解したオゾンは、ス
プレーノズル３から洗浄塔下部へ流下され、洗浄塔中央
部２において滞留した洗浄液中の殺菌、投原に供せられ
、未溶解のオゾンは、廃ガス８を吸引する洗浄塔ファン
ＩＯによって吸引され、洗浄塔上部１に滞留している微
生物、藻類の殺菌、投原に供される。

また、循環水に溶解したオゾンは、洗浄液タンク４内で
繁殖している雑菌、藻類をも死滅させることができ、塔
全体の閉塞を防止することができる。

（実施例） 本発明を第１図に基づいてさらに詳細に説明する。

実施例１ 廃カス洗浄塔は処理風量６５０ｇ’／分、洗浄液量５，
０００ｇ、循環水量１，０００＆／分、塔内差圧水柱１
００ｍｍで運転される構造のものである。

オゾン発生器は３０ρ／分の空気を通して約３、ＯＯＯ
ｐｐｍのオゾンを発生ずる能力を持つ。このオゾン含有
空気をエジェクターによって気液混合し、循環水に溶解
させた。この時用いたエジェクターは気液比Ｇ／Ｌ＝０
．０３で約８５％のオゾン溶解特性を持つものであった
。このため気相中のオゾンは約４５０ｐｐｍであった。

ことができ、廃ガス洗浄塔の閉塞を有効に防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の１つの実施例を示す廃ガス洗浄
塔の模式的系統図である。 図面中の符号はつぎのらのを意味する。 １：洗浄塔上部（ミストキャッチャ−またはデーミスタ
−） ２、洗浄塔中央部（多孔板または充填物）３　スプレー
ノズル ４　洗浄タンク ５　循環ポンプ ６、気液混合器 ７：オゾン発生器 ８：廃ガス入口 ９・空気（または酸素） １０　　洗浄塔ファン １１、流重計

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）廃ガス洗浄塔の循環水とオゾン含有空気を気液接
   触させ、オゾンの７０〜９０％を循環水に溶解させた後
   、該循環水を未溶解オゾンとともに洗浄塔上部から下部
   へ流下させ、洗浄塔内の生物系障害による閉塞を防止す
   ることを特徴とする廃ガス洗浄塔の閉塞防止法。