JPH0489641A - 光磁気ディスク - Google Patents
光磁気ディスクInfo
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- JPH0489641A JPH0489641A JP19627990A JP19627990A JPH0489641A JP H0489641 A JPH0489641 A JP H0489641A JP 19627990 A JP19627990 A JP 19627990A JP 19627990 A JP19627990 A JP 19627990A JP H0489641 A JPH0489641 A JP H0489641A
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- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光磁気ディスク、特に書き込みレーザーパワ
ーを抑えたまま高い記録再生特性を有する光磁気ディス
クに関するものである。
ーを抑えたまま高い記録再生特性を有する光磁気ディス
クに関するものである。
光磁気記録媒体層にレーザービームを照射して情報の記
録、再生及び消去を行う光磁気ディスクは、書換え可能
な情報を高密度に記録することができるので、各方面へ
の広い用途が見込まれている。
録、再生及び消去を行う光磁気ディスクは、書換え可能
な情報を高密度に記録することができるので、各方面へ
の広い用途が見込まれている。
この種の光磁気ディスクの構造として、従来、ガラスや
ポリカーボネート、アクリル、エポキシ、ポリメチルペ
ンテンなどの透明高分子材で形成される透明基板上に、
第１層として、後記光磁気記録媒体を保護する誘電体膜
、第２層としてＧｄ、ＴｂＤｙ＋Ｈｏなどの希土類金属
とＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどの遷移金属との合金からなるア
モルファス薄膜などで、膜厚を５００Å以下とした光磁
気記録媒体膜、第３層として前記光磁気記録媒体を保護
すると共にこの膜を透過した情報の読み出し光をこの膜
と後記金属膜との間で多重反射（干渉）させ読み出し用
反射光の見かけのファラデー回転角を増加させ再生Ｃ／
Ｎ比を向上させる（エンハンスメント効果）誘電体膜、
および第４層として金属膜が形成されてなるもの（特開
昭６０−１２９９５１号、同６０−２０９９４７号など
）が知られている。
ポリカーボネート、アクリル、エポキシ、ポリメチルペ
ンテンなどの透明高分子材で形成される透明基板上に、
第１層として、後記光磁気記録媒体を保護する誘電体膜
、第２層としてＧｄ、ＴｂＤｙ＋Ｈｏなどの希土類金属
とＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどの遷移金属との合金からなるア
モルファス薄膜などで、膜厚を５００Å以下とした光磁
気記録媒体膜、第３層として前記光磁気記録媒体を保護
すると共にこの膜を透過した情報の読み出し光をこの膜
と後記金属膜との間で多重反射（干渉）させ読み出し用
反射光の見かけのファラデー回転角を増加させ再生Ｃ／
Ｎ比を向上させる（エンハンスメント効果）誘電体膜、
および第４層として金属膜が形成されてなるもの（特開
昭６０−１２９９５１号、同６０−２０９９４７号など
）が知られている。
しかしながら、この構造の光磁気ディスクでは、検出系
で消光比が落ち検出信号強度が低下し易いため、前記光
磁気記録媒体膜の膜厚の許容範囲が狭いのが現状である
。
で消光比が落ち検出信号強度が低下し易いため、前記光
磁気記録媒体膜の膜厚の許容範囲が狭いのが現状である
。
本発明の目的は、この問題点を解消し、光磁気記録媒体
膜の膜厚の許容範囲が可及的に広い光磁気ディスクを提
供することにある。
膜の膜厚の許容範囲が可及的に広い光磁気ディスクを提
供することにある。
本発明は、上記目的を達成するものとして、透明基板上
に、第１層として誘電体膜、第２層として酸素を６〜１
２原子％含有させた膜厚５００Å以下の光磁気記録媒体
膜、第３層として誘電体膜および第４層として金属膜が
形成されてなる光磁気ディスクである。
に、第１層として誘電体膜、第２層として酸素を６〜１
２原子％含有させた膜厚５００Å以下の光磁気記録媒体
膜、第３層として誘電体膜および第４層として金属膜が
形成されてなる光磁気ディスクである。
本発明において、第２層としての光磁気記録媒体膜は、
酸素を６〜１２原子％含有している必要がある。この酸
素は、光磁気記録媒体膜の吸収係数を減少させ、反射直
線偏光の楕円化が生じ難くなる。この量が６原子％未満
では、酸素の上記作用が希薄となり、一方、１２原子％
を超えると、光磁気記録媒体膜の保磁力が減少し、また
、長期耐候性が低下する。
酸素を６〜１２原子％含有している必要がある。この酸
素は、光磁気記録媒体膜の吸収係数を減少させ、反射直
線偏光の楕円化が生じ難くなる。この量が６原子％未満
では、酸素の上記作用が希薄となり、一方、１２原子％
を超えると、光磁気記録媒体膜の保磁力が減少し、また
、長期耐候性が低下する。
そして、この光磁気記録媒体膜の膜厚は、ファラデー効
果を有効に利用するため、５００Å以下であることが必
要であり、酸素、窒素に対する長期耐候性の点から１５
０Å以上が好ましい。
果を有効に利用するため、５００Å以下であることが必
要であり、酸素、窒素に対する長期耐候性の点から１５
０Å以上が好ましい。
実施例１
厚さ１．２ ｍｒｎのポリカーボネート製の溝付き透明
基板上に第１層誘電体として屈折率２．０の窒化珪素を
９００人、高周波マグネトロンスパッタ法により形成し
、その上に直流マグネトロンスパッタ法で膜厚２００〜
６００人の（Ｔｂｏ、 ＋ ６Ｆｅｏ、 ７２ＣＯＯ，
Ｉ ０Ｃｒｏ、 ０２） ＋−ｘｏ、（但し、ｘ ：
０〜０．１３なる）組成の光磁気記録媒体を成膜、そし
て第３層として第１層と同様の方法で窒化珪素を３００
人成膜し、更に反射層としてＡＩ！、を４００人成膜し
た。
基板上に第１層誘電体として屈折率２．０の窒化珪素を
９００人、高周波マグネトロンスパッタ法により形成し
、その上に直流マグネトロンスパッタ法で膜厚２００〜
６００人の（Ｔｂｏ、 ＋ ６Ｆｅｏ、 ７２ＣＯＯ，
Ｉ ０Ｃｒｏ、 ０２） ＋−ｘｏ、（但し、ｘ ：
０〜０．１３なる）組成の光磁気記録媒体を成膜、そし
て第３層として第１層と同様の方法で窒化珪素を３００
人成膜し、更に反射層としてＡＩ！、を４００人成膜し
た。
このようにして作製した光磁気ディスクの位相差、性能
指数および振動式磁束計を用いて測定した保磁力、角型
比（Ｍｒ（飽和硼化／逮（残留磁化））を第１図〜第３
図に示す。
指数および振動式磁束計を用いて測定した保磁力、角型
比（Ｍｒ（飽和硼化／逮（残留磁化））を第１図〜第３
図に示す。
実施例２
膜厚３００Ａ ＋ （Ｔｂｏ、１５Ｆｅｏ、 １ｌｌｌ
ｃＯｏ、 ｏｌｌｏｏ、 ｏｓ） Ｉ−、Ｃｒｙ（但し
、ｙ：０〜０．０７ ）なる組成の光磁気記録媒体を成
膜した以外は、実施例１と同様にして光磁気ディスクを
作製した。
ｃＯｏ、 ｏｌｌｏｏ、 ｏｓ） Ｉ−、Ｃｒｙ（但し
、ｙ：０〜０．０７ ）なる組成の光磁気記録媒体を成
膜した以外は、実施例１と同様にして光磁気ディスクを
作製した。
この光磁気ディスクの、振動式磁束計を用いて測定した
保磁力、角型比およびオージェ電子分光法による深さ方
向の組成分布を第４図および第５図に示す。
保磁力、角型比およびオージェ電子分光法による深さ方
向の組成分布を第４図および第５図に示す。
実施例３
（Ｔｂｏ、 ＋ｙＦｅｏ、 、ｚｃｏｏ、 Ｉ Ｉ）
ｌ−Ｘ０Ｘ （但し、ｘ：０．０４〜０．１３ ）なる
組成の光磁気記録媒体を成膜した以外は、実施例１と同
様にして光磁気ディスクを作製した。
ｌ−Ｘ０Ｘ （但し、ｘ：０．０４〜０．１３ ）なる
組成の光磁気記録媒体を成膜した以外は、実施例１と同
様にして光磁気ディスクを作製した。
この光磁気ディスクの位相差および性能指数を第６図お
よび第７図に示す。
よび第７図に示す。
第１図および第６図により、光磁気記録媒体膜中に酸素
を添加すると、位相差が大幅に減少し、膜厚が２００〜
６００人で３°以下になることが判る。また、第２図お
よび第７図により、光磁気記録媒体膜中に酸素を添加す
ると、性能指数が高い値を示す膜厚の範囲が大幅に広く
なることが判る。
を添加すると、位相差が大幅に減少し、膜厚が２００〜
６００人で３°以下になることが判る。また、第２図お
よび第７図により、光磁気記録媒体膜中に酸素を添加す
ると、性能指数が高い値を示す膜厚の範囲が大幅に広く
なることが判る。
また、第３図により、光磁気記録媒体膜中に添加する酸
素量力月２原子％を超えると保磁力および角型比が低下
することが判る。
素量力月２原子％を超えると保磁力および角型比が低下
することが判る。
また、第４図により、光磁気記録媒体膜の成分組成が（
Ｔｂｏ、 ＋ ５Ｆｅｏ、 １ｌｅｃＯｏ、 ｏ、Ｏｏ
、 ｏＢ） Ｉ−ｙＣｒｙの場合、ｙは６以下の値が好
ましいことが判る。
Ｔｂｏ、 ＋ ５Ｆｅｏ、 １ｌｅｃＯｏ、 ｏ、Ｏｏ
、 ｏＢ） Ｉ−ｙＣｒｙの場合、ｙは６以下の値が好
ましいことが判る。
更に、第５図により、光磁気記録媒体膜中に酸素が確実
に添加されていることが判る。
に添加されていることが判る。
以上説明したように、本発明によると、光磁気記録媒体
膜の膜厚の許容範囲が大幅に広い、従って、歩留りよく
生産でき、かつ、大きな性能指数を有する光磁気ディス
クを提供できる。
膜の膜厚の許容範囲が大幅に広い、従って、歩留りよく
生産でき、かつ、大きな性能指数を有する光磁気ディス
クを提供できる。
第１図および第６図は、光磁気ディスクの位相差と光磁
気記録媒体膜の膜厚との関係を、第２図および第７図は
、光磁気ディスクの性能指数と光磁気記録媒体膜の膜厚
との関係を、第３図は、光磁気ディスクの保磁力および
角型比と光磁気記録媒体膜中の酸素含有量との関係を、
第４図は、光磁気ディスクの保磁力および角型比と光磁
気記録媒体膜中のＣｒ含有量との関係を、並びに第５図
は、光磁気ディスクの、オージェ電子分光法による深さ
方向の組成分布を示す。
気記録媒体膜の膜厚との関係を、第２図および第７図は
、光磁気ディスクの性能指数と光磁気記録媒体膜の膜厚
との関係を、第３図は、光磁気ディスクの保磁力および
角型比と光磁気記録媒体膜中の酸素含有量との関係を、
第４図は、光磁気ディスクの保磁力および角型比と光磁
気記録媒体膜中のＣｒ含有量との関係を、並びに第５図
は、光磁気ディスクの、オージェ電子分光法による深さ
方向の組成分布を示す。
Claims (1)
- （１）透明基板上に、第１層として誘電体膜、第２層と
して酸素を６〜１２原子％含有させた膜厚５００Å以下
の光磁気記録媒体膜、第３層として誘電体膜および第４
層として金属膜が形成されてなる光磁気ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19627990A JP2921794B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 光磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19627990A JP2921794B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 光磁気ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489641A true JPH0489641A (ja) | 1992-03-23 |
| JP2921794B2 JP2921794B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=16355163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19627990A Expired - Fee Related JP2921794B2 (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | 光磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2921794B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1030299A2 (en) * | 1999-02-09 | 2000-08-23 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP19627990A patent/JP2921794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1030299A2 (en) * | 1999-02-09 | 2000-08-23 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
| EP1030299A3 (en) * | 1999-02-09 | 2000-11-15 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
| US6319623B1 (en) | 1999-02-09 | 2001-11-20 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2921794B2 (ja) | 1999-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |