JPH0488621A - 角度ずれ検出方法およびその装置と露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］　　　　　　　　−本発明は露光
装置に関し、特に、露光光とは興なる位置決め用の光に
よりマスクとウェハとの位置合わせが行なわれる露光装
置に関する。

〔従来の技術１ 露光装置においては、露光パターンが形成されたマスク
と露光がなされるウェハとをきわめて寓い精度で位置決
めする必要がある。

第１５図は露光装置の概略図である。

同図において、１５０１はマスク、１５０２はレジスト
が塗布されたウェハ、１５０３はウェハ１５０２を保持
して移動可能な移動台、１５ｏ４はマスク１５０１とウ
ェハ１５０２上に描かれたパターンの位置ずれを検出す
るアライメント光学系、１５０５はマスク１５ｏ１、ア
ライメント光学系１５０４、ウェハ移動台１５０３その
他を取り付けた架台である。１５０６はシンクロトロン
放射光等の露光に供される照明光束の主光線の１部を示
す。

第１６図は第１５図に示した装置の一部の拡大図である
。

同図において、１６０１はマスク１５０１上のマスクパ
ターンであり、例えば、照明光源がＸ線であるとすれば
、金の吸収体で構成される。

１６０２はウェハ１５０２上に既に形成されたパターン
であり、１６０３はその上に塗布されたレジストである
。マスク１５０１上のパターン１６０１とウェハ１５０
２上のパターン１６０２とが正しく重なり合うように露
光されるためには、照明光束１５０６の方向によって定
まるマスクパターンの転写位置と、ウェハに形成されて
いるパターンとのずれδ、がゼロとなるように、ウェハ
１５ｏ２とマスク１５０１の位置が調整されなければな
らない、したがって、第１５図のアライメント光学系１
５０４の計測の基準（光軸）は照明光束１５０６の方向
と一致しているのが望ましいが、もし一致していなくて
も、次のような補正をすることによって、照明光束１５
０６の方向によって定められるずれ量を計測することが
可能である。

すなわち、第１６図に示すように、アライメント光学系
の計測の基準となるべき直線１６０４と、照明光束１５
０６の方向を示す直線１６ｏ５とがなす角をθとし、ウ
ェハ１５０２とマスク１５０１との距離（プロキシミテ
イギャツブ）をＧとすると、 δ＝θ・Ｇ なるδを用いて、アライメント光学系によって計測され
たずれ量δ２を補正することにより、照明光束の方向に
よって定まるずれ量δ１に換算することができる。

δ１＋６２＝δ しかしながら、この場合、プロキシミティギャップＧの
値は既知でなくてはならず、このＧの見積り誤差Δｇが
ある場合は ε＝θ・６ｇ なるεは、補正できない誤差の１つとなる。

例えばΔｇ＝２μｍの場合、ｌ　ｔ　ｌ　＜０．００２
μｍとなるためには、 θ　≦１　ｍｒａｄ でなければならない。

第１７図は転写を行なうための位置決め用の光もしくは
露光光の光軸が露光装置の基準軸と一致しているかどう
かを検出する機構の従来例の構成を示す図である。中央
部に直径ｄのピンホールがそれぞれ設けられた２個のピ
ンホール板１７０１．１７０２を各ピンホール板１７０
１゜１７０２に設けられたピンホールと露光装置の基準
軸とが一致するように所定の距離り離して設け、各ピン
ホール板１７０１．１７０２を通った光を検出器１７０
３にて検出し、その出力強度から位置決め用の光の光軸
や露光光の光軸のずれ量を検出するものである。

第１８図は被測定光軸と露光装置の基準軸とがなす角度
θと検出器１７０３の出力強度とを示す図である。検出
器１７０３の出力強度は、被測定光軸と上記基準軸とが
一致し、角度θが０であるときに最大値となり、角度θ
が生じたときには、その出力強度は低下し、その出力強
度曲線は上記最大値を中心とした対称的なものとなる。

〔発明が解決しようとする課題１ 上述した従来の露光装置の角度決め機構においては、最
大値以外（角度θが生じた場合）の所定の出力値となる
角度が２通りある。このため、検出器の出力値からだけ
では各光軸のずれ量およびずれの向きがわからず、露光
装置の姿勢調整が困難であり、検出器出力から入射角を
得ようとする場合には、角度決め機構を全体に角度を振
って最大値をとる角度を求める必要があり、煩雑である
という問題点がある。また、検出精度を高める場合には
、ｄ／Ｌの値（ここで、Ｌは各ピンホール板の間の距離
、ｄはピンホールの直径）を小さくする必要があるが、
この値を小さくすると露光装置の基準軸に合わせること
が困難になるという問題点がある。

本発明は上記従来技術が有する問題点に鑑みてなされた
ものであって、検出器出力から露光装置の基準軸と光軸
のずれ量および向きを容易に判断することができる露光
装置の角度ずれ検出機構を実現することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の露光装置の角度ずれ検出方法は、露光装置と組
合わされて使用され、マスクとウニ八との角度合わせ用
の光や実際に露光を行なう露光光の光軸と、前記露光装
置の基準軸とのずれ量を検出するための露光装置の角度
ずれ検出方法において、 入射光の光強度を検出する検出器に入射する入射光を、
予め定められる角度ずれ検出領域においては、前記入射
光の光軸と前記露光装置の基準軸とが成す入射角度に応
じて入射光量を連続的に増加または減少させ、角度ずれ
検出領域外においては、入射光の光軸が角度ずれ検出領
域に対していずれの方向にずれているかにより入射光量
を制限する。

この場合、上記方法による角度ずれ検出装置として、入
射光の進行方向順に設けられた、ナイフェツジと、入射
光の進行方向と交差する一つの方向に関して入射光の制
限を行なうための開口が設けられたスリットとによって
入射光制限手段を構成してもよく、 また、入射光の進行方向順に設けられた、入射光の進行
方向と交差する面に沿った第１方向に関して入射光の制
限を行なうための開口が設けられたスリットと、開口部
の前記面に沿った第２方向の大きさが前記第１方向の位
置に応じて増加または減少するくさび型スリットとによ
って入射光制限手段を構成してもよい。

また、入射光制限手段を介することなく入射光強度を検
出する第２の検出器を設けてもよい。

さらに、入射光制限手段である略中央部に孔が設けられ
たピンホール板と、角度検出型の検出器とが露光装置の
基準軸と平行であり、入射光の進行方向順に設けてもよ
い。

［作用］ 検出器に入射される入射光量は、入射光制限手段によっ
て角度ずれ検出領域に入射されるときには、入射光の光
軸と基準軸とが成す入射角度に応じて連続的に増加また
は減少したものとなるので、検出器の８力強度によって
入射光の入射角度を判断することができる。角度ずれ検
出領域から外れて入射される場合には、そのずれている
方向に応じて入射光量が制限されるため、ずれている方
向を判断することができる。

また、ピンホール板と角度検出型の検出器とを用いる場
合には、ピンホール板に設けられた孔と検出器における
検出角度から入射光の入射角度を判断することができる
。

［実施例１ 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例の要部構成を示す図であ
る。

図中、１はナイフェツジ、２は略中央部に高さ方向の長
さがＷである矩形状の開口２ａを有し、ナイフェツジ１
とともに入射光制限手段を構成するスリット、３は検出
器である。

ナイフェツジ１は、そのエツジ部分が露光装置の基準軸
４上となるように設けられ、スリット２はナイフェツジ
１と間隔りを有し、その開口２ａの中心を基準軸４が通
るように設けられている。

このため、角度決め用の光や露光光である入射光５が基
準軸４と一致している場合の検出器３の出力強度は、ナ
イフェツジｌが設けられないときの出力強度Ｉｏの１７
２となる。

第２図は、基準軸４と入射光５とが成す入射角度θと、
検出器３の出力強度の関係を示す図である。

入射光５のビーム径が開口２ａの長さＷよりも十分大き
なものとし、第１図中の上方への傾きを正方向とする。

この場合、検出器３の出力強度は入射角度θが−Ｗ／Ｌ
とＷ／Ｌの間においては０から１、まで直線的に増加し
、入射角度θが−Ｗ八へ下の場合の出力強度は０、入射
角度θがＷへ以上の傾きの場合の出力強度はＩｏとなる
。このため、入射角度θが角度ずれ検出領域となる士Ｗ
／Ｌの間であれば検出器３の出力強度から入射角度θを
求めることができ、また、入射角度θが士Ｗ／Ｌの範囲
外であっても、正負いずれの方向にずれているかを判断
することができる。

このような角度検出を行なうときの検出範囲は、長さＷ
を１ｍｍ、間隔りを１００ｍｍとすると±ＩＣ）ｃ＋ｒ
ａｄとなる。また、このときの検出精度は検出器３の精
度に依存するものとなり、例えば検出器３の精度が±１
％であれば±０．１ｍｒａｄの精度にて角度検出を行な
うことが可能となる。

本実施例においては、■方向のみの角度検出を行なうも
のについて示したが、パターン転写角度ずれを２次元方
向で小さくするためには入射光の入射角度を２方向で検
出する必要がある。このような場合には、第１図に示し
たものを直交するように２組設置することにより、２方
向の角度検出を行なうことができる。

第３図乃至第５図のそれぞれは、第１図に示したような
角度ずれ検出機構３３を、シンクロトロン放射光による
露光が行なわれるＸ線露光装置に組込んだ構成例を示す
ものである。

第３図乃至第５図のいずれに示したものにおいても、不
図示のシンクロトロン放射光装置にて発生したシンクロ
トロン放射光３１によって露光が行なわれるものであり
、露光に関わる動作はいずれも同様であるため、露光動
作についての主要部には同一の番号を付して以下に説明
を行なう。

シンクロトロン放射光３１は、Ｘ線透過窓３２を介して
露光チャンバ３９に入射する。露光チャンバ３９内のシ
ンクロトロン放射光３１の入射領域には、マスクチャッ
ク３４．ウニハチャック４０にそれぞれ吸着保持される
マスク３５．ウェハ３６が角度するように構成されてい
る。上記のマスクチャック３４．ウェハチャック４０の
それぞれは、マスクステージ３７．ウェハステージ３８
上に設けられており、移動可能とされている。

第３図に示したものにおいては、角度ずれ検出機構３３
はマスクチャック３４の外周部に露光チャンバ３９の基
準軸と平行に設けられている。

露光はマスク２５の中心部を通る光によってなされるた
め、このような構成とした場合には露光動作中にも角度
決め用の光（不図示）やシンクロトロン放射光３１等の
入射光と上記基準軸との角度ずれ量や角度ずれの方向を
検出することができる。なお、第３図中のＸ線透過窓３
２は、角度ずれ検出装置３３にもシンクロトロン放射光
３１が照射されるように通常のものよりも面積の大きな
ものが用いられている。

第４図に示したものにおいては、角度ずれ検出機構３３
は取付板４１上に固設されている。露光チャンバ３９の
据えつけ調整時にマスク３５またはウェハ３６の代わり
にマスクチャック３４またはウェハチャック４ｏにチャ
ッキングされて角度ずれ検出を行なうものであり、第４
図にはマスクチャック３４にチャッキングされた状態が
示されている。角度ずれ検出が行なわれた後の実際の露
光動作時には取り外される。このような構成としり場合
には、露光チャンバ３９に特別な手段を構じる必要がな
い（例えば、Ｘ線透過窓３２として通常の大きさのもの
を用いることができる）。

第５図に示したものにおいては、角度ずれ検出機構３３
．．３３□がシンクロトロン放射光装置と露光チャンバ
とを結ぶビームライン５１に露光チャンバ３９の基準軸
と平行に設けられてしする。

角度ずれ検出機構３３．はＸ線透過窓３２とシンクロト
ロン放射光装置との間に設けられ、角度ずれ検出機構３
３２はＸ線透過窓３２と露光チャンバ３９との間に設け
られている。これらの各角度ずれ検出機構３３＋　、３
３□はいずれか一方のみを設ければよいが、いずれの場
合にお！／）でも露光装置の状態に拘らずにシンクロト
ロン放射光３１の角度ずれ検出を行なうことができる。

また、角度ずれ検出機構３３．のようにシンクロトロン
放射光装置とＸ線透過窓３２の間に設けた場合には、第
４図示のものと同様にＸ線透過窓３２として通常の大き
さのものを用いることができる。なお、角度ずれ検圧機
構は必ずしも露光装置の基準軸と平行に設ける必要はな
く、該基準軸に対して角度を有する場合には、角度に応
じて検出器出力を補正してもよい。

第６図は本発明の第２の実施例の要部構成を示す図であ
る。

本実施例は、スリット６１、スリット６１とともに入射
光制限手段を構成するくさび型スリット６２および検出
器６３により構成されて入射光６５の角度ずれ検出を行
なうもので、これらは基準軸６４に沿って順に設けられ
ている。スリット６１には入射光６５の高さ方向を制限
する細長い開口が設けられ、くさび型スリット６２には
、検出器６３の出力強度を入射光６５の入射角度θに応
じたものとするための高さがｈであり、上方が広く、下
方が狭まる逆三角形状の開口が設けられている。スリッ
ト６１およびくさび型スリット６２は、間隔りを有し、
また、基準軸６４がそれぞれの開口の中心を通るように
配置されている。

第７図は、入射光６５の入射角度θと検出器６３の出力
強度の関係を示す図である。

検出器６３の出力強度は、入射角度θが角度ずれ検出領
域となる一ｈ／Ｌとｈ／Ｌの間においてはＩｏからＯま
で直線的に減少し、入射角度θが−ｈ／Ｌ以下であれば
Ｉｏ、入射角度θがｈ／Ｌ以上であればＯとなる。この
ため、第１の実施例のものと同様に、検出器６３の出力
強度から入射角度θの大きさや、入射光６５がいずれの
方向にずれているかを判断することができる。

第６図に示した実施例においては、くさび型スリット６
２は逆三角形状の開口を有するものとして説明したが、
この開口部の形状を異ならせることにより、検８器６３
の入射角度θに対する出力強度特性を異ならせることが
できる。

第８図（ａ）には７字状の切欠きが一部設けられたくさ
び型スリット８１が示され、第８図（ｂ）には切欠き部
の辺が曲線状に加工されたくさび型スリット８２が示さ
れている。第９図（ａ）　、　（ｂ）はそれぞれ第６図
中のくさび型スリット６２の代わりに第８図（ａ）　、
　（ｂ）に示した各くさび型スリット８１．８２を用い
た場合の検出器６３の入射角度θに対する出力強度特性
を示す図である。

各くさび型スリット８１．８２の切欠き部の高さをＷｌ
とすると、くさび型スリット８１を用いた場合において
は、検出器６３の出力強度は、入射角度θが−Ｗｌ／Ｌ
とＷｌ／Ｌの間では第９図（ａ）に示すようにＩｏから
０まで直線的に減少する。くさび型スリット８２を用い
た場合においては、検出器６３の出力強度は、入射角度
θが−Ｗｌ／ＬとＷｌ／Ｌの間では工。から０まで連続
的に減少するが、その減少の度合は第９図（ｂ）に示す
ように部分的に異なるものとなる。これはくさび型スリ
ット８２の切欠き部の辺が曲線状に加工され、該切欠き
部の横方向の長さが非線形に変化することによる。この
ように構成されたくさび型スリット８２を用いて角度ず
れ検出を行なう場合には、入射光６５と基準軸６４との
角度すれが０となる付近での検出強度の変化が急激なも
のとなり、この付近での角度検出精度を向上することが
できる。

第１０図は本発明の第３の実施例の要部構成を示す図で
ある。

第１図および第６図に示したものにおいては、検出強度
から角度ずれ検出を行なうものであるため、入射光強度
が変動した場合には角度ずれ検出にも誤差が生じてしま
う、この入射光強度の変動は、第３図乃至第５図にそれ
ぞれ示したような、露光光としてシンクロトロン放射光
を用いるＸ線露光装置で生じやすいものであるため、特
に問題となる。

本実施例は、入射光強度をモニタし、これに対する検出
強度の割合いから角度ずれ検出を行なうものである。

第１０図中のナイフェツジ１０１．スリット１０２＋、
検出器１０３．および基準軸１０４１のそれぞれは、第
１図中のナイフェツジｌ　スリット２．検出器３および
基準軸４のそれぞれと同様に構成され、配置されている
。本実施例においてはこれらのもののほかに、第２の検
出器としてスリット１０２１および検出器１０３１のそ
れぞれと同様のものであり、基準軸１０４１と平行な基
準軸１０４□に対して設けられたスリット１０２□およ
び検出器１０３２が設けられている。

検出器１０３＋においては第１図に示した第１の実施例
で行なわれる角度ずれ検出と同様の光検出が行なわれ、
検出器１０３．においては、入射光（不図示）の強度検
出が、その入射角度θに依存することなく行なわれる。

本実施例のものにおいては、検出器１０３１の出力を検
出器１０３ｍの出力にて割った結果の値（以下、角度ず
れ値と称す）により角度ずれ検出が行なわれる。

第１１図は、上記の角度ずれ値と入射角度θとの関係を
示す図である。

本実施例のものにおいては、入射光強度が変動しても、
角度ずれ検出精度を変わらないものとすることができ、
常に高精度な角度ずれ検出を行なうことができる。

なお、入射光強度は実際に検出器により検出するものと
して説明したが、間接的に入射光強度を検出する（例え
ば、管球Ｘ線ならば加速電圧、電流等をモニタする等）
ものとしてもよい。

第１２図は本発明の第４の実施例の要部構成を示す図で
ある。

本実施例は、第３の実施例における入射光強度をモニタ
する代わりに、検出強度の入射角依存性が相補的に異な
る検出器を２つ組合わせて使用することにより、入射光
強度の変動による角度ずれ検出誤差をなくするものであ
る。

本実施例は、基準軸１２４１に対して順に設けられたス
リット１２１＋　、＜さび型スリット１２２＋および検
出器１２３．と、基準軸１２４、と平行な基準軸１２４
２に対して順に設けられたスリット１２１ｚ、＜さび型
ス１ノット１２２２および検８器１２３２から構成され
ている。各スリット１２１＋　、１２１２と各くさび型
スリット１２２．，１２２□とは第６図に示した第２の
実施例と同様に間隔りを離して設置される。各くさび型
スリット１２２＋　、１２２ｇには高さがｈである開口
が設けられているが、くさび型スリット１２２．に設け
られる開口は、上方が広く、下方に狭まる逆三角形状の
ものであり、くさび型スリット１２２２に設けられる開
口は、下方が広く、上方に狭まる三角形状のものである
。

各くさび型スリット１２２１．１２：Ｌに設けられる各
開口は、その横幅の和が各寓さにおいて一定となるよう
に形成されているため、各検出器１２３＋　、１２３＊
にて検８される入射光（不図示）の検８強度の和も入射
角度θに関わずに一定となる。

本実施例は、検出器１２３ａ（検出器１２３１でもよい
）の検出強度を、各検出器１２３゜１２３□の検出強度
の和によって割った結果の角度ずれ値により角度ずれ検
出を行なうものであり、第１３図は該角度ずれ値と入射
角度θとの関係を示す図である。

本実施例のものにおいても第１０図に示した第３の実施
例と同様、入射光強度の変動に関わずに高精度な角度ず
れ検出を行なうことができる。

以上述べた各実施例中の検出器には、可視光あるいは紫
外光を検出するものとしてはフォトダイオード、光電子
増倍管等を用いることができ、Ｘ線を検出するものとし
ては比例計数管、半導体検出器、光電子増倍管、マイク
ロチャンネルプレート等を用いることができるため、各
種露光装置の角度法めを行なうことができる。

第１４図は本発明の第５の実施例の要部構成を示す図で
ある。

本実施例は、入射光１４３の進行方向に順に設置された
中央部に小孔が設けられたピンホール板１４１と２次元
的にアレイ化された角度検出型の検出器１４２を用いて
角度ずれ検出を行なうものである。

ピンホール板１４１と検出器１４２とは露光装置の基準
軸（不図示）と平行に間隔りを離して設置されている。

この場合、ピンホール板１４１に設けられる小孔の径お
よび検出器１４２の角度分解能を１０μｍとし、間隔り
を１００ｍｍとすると、入射光１４３の２方向に関する
入射角度を０、１ｍｒａｄの精度で検出することができ
る。

本実施例のものにおいては、２個の構成部品で２次元の
角度ずれ検出を行なうことができるため、角度ずれ検出
機構を小型化かつ簡略化することができる。また、上記
のような角度検出器としては、ＣＯＤ、ＰＳＤ　（角度
検出型フォトダイオード）、マルチアノード比例計数管
等があり、いずれを用いてもよい。

〔発明の効果１ 本発明は以上説明したように構成されているので、以下
に記載するような効果を奏する。

請求項１に記載の方法および請求項２、請求項３にそれ
ぞれ記載のものにおいては、検出器と、該検出器への入
射光量を入射角度および向きに応じて制限する入射光制
限手段を設けたことにより、検出器の出力強度から入射
光の角度ずれ量およびずれている方向を検出することが
できる効果がある。

請求項４に記載のものにおいては、第２の検出器の出力
強度から入射光の強度変動をモニタすることができるた
め、正確な角度ずれ量を検出することができる効果があ
る。

請求項５に記載のものにおいては、小型化かつ簡略化さ
れた角度ずれ検出機構を実現することができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の要部構成を示す図、第
２図は第１の実施例における入射角度θと検出器３の出
力強度の関係を示す図、第３図乃至第５図のそれぞれは
、第１の実施例を露光装置に組込んだ構成例を示す図、
第６図は本発明の第２の実施例の要部構成を示す図、第
７図は第２の実施例における入射角度θと検出器６３の
出力強度との関係を示す図、第８図（ａ）　、　（ｂ）
はそれぞれ第６図中のくさび型スリット６２の変形例で
あるくさび型スリット８１．８２の形状を示す図、第９
図（ａ）　、　（ｂ）はそれぞれ第８図（ａ）　、　（
ｂ）に示した各くさび型スリット８１．８２を使用した
場合の入射角度θと検出器６３の出力強度の関係を示す
図、第１０図は本発明の第３の実施例の要部構成を示す
図、第１１図は第３の実施例における入射角度θと角度
ずれ値との関係を示す図、第１２図は本発明の第４の実
施例の要部構成を示す図、第１３図は第４の実施例にお
ける入射角度θと角度ずれ値との関係を示す図、第１４
図は本発明の第５の実施例の要部構成を示す図、第１５
図は従来の露光装置の概略構成を示す図、第１６スは従
来の角度ずれ検出の検出原理を説明するための図、第１
７図は角度ずれ検出機構の従来例の構成を示す図、第１
８図は従来例における入射角度θと検出器１７ｏ３の出
力強度の関係を示す図である。 ６４、１０４＋、　ＩＣ１４２，１２４＋、　１２４ｚ
・・・基準軸、６５．１４３・・・入射光、 ８１．８２．　１２２．、　１２２□・・・くさび型ス
リット、・・・ピンホール板。 特許出願人　　キャノン株式会社 代　理　人　　弁理士　苦杯　忠 第１図 第３図 第２図 第４図 第 図 （ａ） （ｂ） 第９図 第１０図 第１１図 第 図 （ａ） （ｂ） 第１４図 第１５図 第１６図 第１７図 第１８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、露光装置と組合わされて使用され、マスクとウェハ
   との位置合わせ用の光や実際に露光を行なう露光光の光
   軸と、前記露光装置の基準軸とのずれ量を検出するため
   の露光装置の角度ずれ検出方法において、 入射光の光強度を検出する検出器に入射する、入射光を
   、予め定められる角度ずれ検出領域においては、前記入
   射光の光軸と前記露光装置の基準軸とが成す入射角度に
   応じて入射光量を連続的に増加または減少させ、角度ず
   れ検出領域外においては、入射光の光軸が角度ずれ検出
   領域に対していずれの方向にずれているかにより入射光
   量を制限することを特徴とする露光装置の角度ずれ検出
   方法。 ２、露光装置と組み合わされて使用され、マスクとウェ
   ハとの位置合わせ用の光や実際に露光を行なう露光光の
   光軸と、前記露光装置の基準軸とのずれ量を検出するた
   めの露光装置の角度ずれ検出装置であって、 入射光の光強度を検出する検出器と、該検出器への入射
   光を制限するための入射光制御手段とが設けられており
   、 入射光の進行方向順に設けられた、ナイフエッジと、入
   射光の進行方向と交差する一つの方向に関して入射光の
   制限を行なうための開口が設けられたスリットとによっ
   て入射光制御手段が構成されている露光装置の角度ずれ
   検出装置。 ３、露光装置と組み合わされて使用され、マスクとウェ
   ハとの位置合わせ用の光や実際に露光を行なう露光光の
   光軸と、前記露光装置の基準軸とのずれ量を検出するた
   めの露光装置の角度ずれ検出装置であつて、 入射光の光強度を検出する検出器と、該検出器への入射
   光を制限するための入射光制御手段とが設けられており
   、 入射光の進行方向順に設けられた、入射光の進行方向と
   交差する面に沿った第１方向に関して入射光の制限を行
   なうための開口が設けられたスリットと、開口部の前記
   面に沿った第２方向の大きさが前記第１方向の位置に応
   じて増加または減少するくさび型スリットとによって入
   射光制御手段が構成されている露光装置の角度ずれ検出
   装置。 ４、露光装置と組み合わされて使用され、マスクとウェ
   ハとの位置合わせ用の光や実際に露光を行なう露光光の
   光軸と、前記露光装置の基準軸とのずれ量を検出するた
   めの露光装置の角度ずれ検出装置であつて、 入射光の光強度を検出する検出器と、該検出器への入射
   光を制限するための入射光制御手段とが設けられており
   、 前記入射光制御手段を介することなく入射光強度を検出
   する第２の検出器が設けられている露光装置の角度ずれ
   検出装置。 ５、露光装置と組合わされて使用され、マスクとウェハ
   との位置合わせ用の光や実際に露光を行なう露光光の光
   軸と、前記露光装置の基準軸とのずれ量を検出するため
   の露光装置の角度ずれ検出装置であって、 入射光の光強度を検出する検出器と、該検出器への入射
   光を制限するための入射光制御手段とが設けられており
   、 入射光量制限手段である略中央部に孔が設けられたピン
   ホール板と、位置検出型の検出器とが前記露光装置の基
   準軸と平行であり、入射光の進行方向順に設けられてい
   る露光装置の角度ずれ検出装置。