JPH0484243U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0484243U JPH0484243U JP12550590U JP12550590U JPH0484243U JP H0484243 U JPH0484243 U JP H0484243U JP 12550590 U JP12550590 U JP 12550590U JP 12550590 U JP12550590 U JP 12550590U JP H0484243 U JPH0484243 U JP H0484243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- support
- exposure apparatus
- conveyance device
- suction pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
第１図ないし第４図は本考案の実施例を示し、
第１図は考案の要部を示す平面図（第２図におけ
る−方向からの矢視図）、第２図は第１図に
おける−方向からの矢視図、第３図は吸着パ
ツドと切換弁の接続状態を示す配管系統図、第４
図は第２図に示す吸着パツドの拡大切断図、第５
図は第４図の吸着パツドの変形を示す切断図、第
６図及び第７図は従来の装置を示し、第６図は吸
着パツドの配置を示す平面図（第７図における
−方向からの矢視図）、第７図は第６図におけ
る−方向からの矢視図、第８図は一般的な露
光装置の概略を示す側面図である。 １ａ〜１ｆ……画像形成用ワーク、３……下部
透明板、４……露光部、６……搬送装置、９ａ〜
９ｑ，９ｒ……吸着パツド、２２ａ〜２２ｉ……
減圧空気切換弁、３３……位置決め用孔、３４…
…位置決め用ピン。
第１図は考案の要部を示す平面図（第２図におけ
る−方向からの矢視図）、第２図は第１図に
おける−方向からの矢視図、第３図は吸着パ
ツドと切換弁の接続状態を示す配管系統図、第４
図は第２図に示す吸着パツドの拡大切断図、第５
図は第４図の吸着パツドの変形を示す切断図、第
６図及び第７図は従来の装置を示し、第６図は吸
着パツドの配置を示す平面図（第７図における
−方向からの矢視図）、第７図は第６図におけ
る−方向からの矢視図、第８図は一般的な露
光装置の概略を示す側面図である。 １ａ〜１ｆ……画像形成用ワーク、３……下部
透明板、４……露光部、６……搬送装置、９ａ〜
９ｑ，９ｒ……吸着パツド、２２ａ〜２２ｉ……
減圧空気切換弁、３３……位置決め用孔、３４…
…位置決め用ピン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 吸着パツドの内部を減圧状態にして画像形
成用ワークを吸着し、前記ワークを露光部に搬送
して下部透明板上に載置する露光装置用吸着式搬
送装置において サイズの異なる複数種類のワークを、その四隅
に近い部分で吸着するように支持体に配設した多
数の吸着パツドと、所望のワークの吸着操作に必
要な吸着パツドを選択的に作動させる複数の減圧
空気切換装置とを備え、前記切換装置を吸着パツ
ドの吸引側に配設したことを特徴とする露光装置
用吸着式搬送装置。 (2) 支持体周辺部の少くとも２個所以上の部分
に位置決め用の孔を設け、下部透明板上の前記位
置決め用孔に対応する部分に前記孔に嵌入する位
置決め用ピンを立設してある請求項(1)に記載の
露光装置用吸着式搬送装置。 (3) 吸着パツド群の一隅、又は一側に位置する
吸着パツドが支持体の下方に向つて伸縮自在に構
成してある請求項(1)又は(2)に記載の露光装置用
吸着式搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990125505U JP2506825Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 露光装置用吸着式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990125505U JP2506825Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 露光装置用吸着式搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0484243U true JPH0484243U (ja) | 1992-07-22 |
| JP2506825Y2 JP2506825Y2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=31873100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990125505U Expired - Fee Related JP2506825Y2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 露光装置用吸着式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506825Y2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |
| JPS6195890A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-14 | ダイキン工業株式会社 | マニプレ−タの吸着把持装置 |
| JPS62102990A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-13 | メドマン株式会社 | 自動調心嵌合ツ−ル |
| JPS6386447A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Nippon Seiko Kk | 露光装置用被露光部材位置決め装置 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP1990125505U patent/JP2506825Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |
| JPS6195890A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-14 | ダイキン工業株式会社 | マニプレ−タの吸着把持装置 |
| JPS62102990A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-13 | メドマン株式会社 | 自動調心嵌合ツ−ル |
| JPS6386447A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Nippon Seiko Kk | 露光装置用被露光部材位置決め装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2506825Y2 (ja) | 1996-08-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |