JPS63174443U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63174443U JPS63174443U JP1855987U JP1855987U JPS63174443U JP S63174443 U JPS63174443 U JP S63174443U JP 1855987 U JP1855987 U JP 1855987U JP 1855987 U JP1855987 U JP 1855987U JP S63174443 U JPS63174443 U JP S63174443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction table
- slider
- semiconductor
- suctioning
- tilts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案に係る半導体製造装
置の一実施例を示す動作順の各要部側面図、第４
図はスピンナを用いた半導体ウエーハの処理装置
を示す概略側面図、第５図は第４図の処理装置に
含まれるスライダの斜視図、第６図乃至第１０図
は第５図のスライダによる半導体ウエーハの搬送
及び搬出動作の動作順の各要部側面図、第１１図
はスライダ駆動部の斜視図である。 １……吸着台、３……半導体ウエーハ、６……
スライダ、７，８……載せ台、７ａ，８ａ……上
段支持体、７ｂ，８ｂ……下段支持体、９……送
りピン。
置の一実施例を示す動作順の各要部側面図、第４
図はスピンナを用いた半導体ウエーハの処理装置
を示す概略側面図、第５図は第４図の処理装置に
含まれるスライダの斜視図、第６図乃至第１０図
は第５図のスライダによる半導体ウエーハの搬送
及び搬出動作の動作順の各要部側面図、第１１図
はスライダ駆動部の斜視図である。 １……吸着台、３……半導体ウエーハ、６……
スライダ、７，８……載せ台、７ａ，８ａ……上
段支持体、７ｂ，８ｂ……下段支持体、９……送
りピン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハを吸着する吸着台と、 ２個の棒状支持体をＬ字形段違いに一体化して
なる載せ台を２台、上記吸着台よりやや幅広、か
つ、水平に平行連結して上下段支持体に半導体ウ
エーハ周縁部を支持すると共に下段側段差部付近
に送りピンを植設したスライダと、 該スライダをその載せ台を上記吸着台に平行・
保持した姿勢で吸着台に対し一定の角度だけ上下
斜め方向に傾斜駆動するスライダ駆動部とを具備
したことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1855987U JPH0631720Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1855987U JPH0631720Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174443U true JPS63174443U (ja) | 1988-11-11 |
| JPH0631720Y2 JPH0631720Y2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=30812342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1855987U Expired - Lifetime JPH0631720Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631720Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-10 JP JP1855987U patent/JPH0631720Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631720Y2 (ja) | 1994-08-22 |
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