JPH0487635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0487635U JPH0487635U JP13024890U JP13024890U JPH0487635U JP H0487635 U JPH0487635 U JP H0487635U JP 13024890 U JP13024890 U JP 13024890U JP 13024890 U JP13024890 U JP 13024890U JP H0487635 U JPH0487635 U JP H0487635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- motor
- surface treatment
- reactor
- inverter device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す側面図、第２図
〜第４図は表面処理装置のシステムの１例を示す
模式図、第５図は上記システムにおける処理ユニ
ツトを示す縦断面図、第６図は上記システムにお
けるウエハカセツトを示す図、第７図及び第８図
はそれぞれ上記システムにおけるボートの上面図
及び縦断面図である。 １０……反応炉、１２……エレベータ、１７…
…ボート、１８……移載装置、１９……移載ロボ
ツト、１９Ａ……真空吸着ペン、２０……ステー
ジ、２１……ウエハカセツト、３０……クリーン
ユニツト、３１……フイルタ、３２……フアン、
３３……モータ、４０……インバータ装置、４１
……インバータ本体、４２……制御装置、５０…
…シーケンサ。
〜第４図は表面処理装置のシステムの１例を示す
模式図、第５図は上記システムにおける処理ユニ
ツトを示す縦断面図、第６図は上記システムにお
けるウエハカセツトを示す図、第７図及び第８図
はそれぞれ上記システムにおけるボートの上面図
及び縦断面図である。 １０……反応炉、１２……エレベータ、１７…
…ボート、１８……移載装置、１９……移載ロボ
ツト、１９Ａ……真空吸着ペン、２０……ステー
ジ、２１……ウエハカセツト、３０……クリーン
ユニツト、３１……フイルタ、３２……フアン、
３３……モータ、４０……インバータ装置、４１
……インバータ本体、４２……制御装置、５０…
…シーケンサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 縦型反応炉、この縦型反応炉内で加熱処理され
る半導体ウエハを収納するボート、反応炉の炉外
でこのボートを移載装置からボート支持台上に授
受して反応炉内の所定位置へ昇降させるボートエ
レベータ、ボートの昇降路に向けて清浄空気を送
風するクリーンユニツトを備える表面処理装置に
おいて、 上記クリーンユニツト内の送風用フアンを駆動
するモータが可変周波数のインバータ装置により
駆動され、該インバータ装置は、上記ボートエレ
ベータの下降動作時、上記モータを高速運転に切
り換えることを特徴とする表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13024890U JPH0487635U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13024890U JPH0487635U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0487635U true JPH0487635U (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=31877604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13024890U Pending JPH0487635U (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0487635U (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP13024890U patent/JPH0487635U/ja active Pending
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