JPS6439632U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6439632U JPS6439632U JP13226487U JP13226487U JPS6439632U JP S6439632 U JPS6439632 U JP S6439632U JP 13226487 U JP13226487 U JP 13226487U JP 13226487 U JP13226487 U JP 13226487U JP S6439632 U JPS6439632 U JP S6439632U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hoist
- slit
- cleaning
- cleaning area
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案の半導体ウエハ自動
洗浄装置に係る一実施例を示すもので、第１図は
装置の側部説明図、第２図は隔壁の要部正面図、
第３図は第２図のＡ―Ａ断面図、第４図は第２図
のＢ―Ｂ断面図、第５図及び第６図は従来例を示
すもので、第５図は装置の正面説明図、第６図は
装置の側部説明図である。 １０……クリーンユニツト、２０……隔壁、２
１……スリツト、３０……洗浄エリア部、３３…
…薬液処理槽、３６……キヤリア、４０……ホイ
スト走行部、４１……ホイスト、４２……ホイス
トアーム、４３……排気ダクト、５０……吸込み
ダクト、６０……排気パイプ。
洗浄装置に係る一実施例を示すもので、第１図は
装置の側部説明図、第２図は隔壁の要部正面図、
第３図は第２図のＡ―Ａ断面図、第４図は第２図
のＢ―Ｂ断面図、第５図及び第６図は従来例を示
すもので、第５図は装置の正面説明図、第６図は
装置の側部説明図である。 １０……クリーンユニツト、２０……隔壁、２
１……スリツト、３０……洗浄エリア部、３３…
…薬液処理槽、３６……キヤリア、４０……ホイ
スト走行部、４１……ホイスト、４２……ホイス
トアーム、４３……排気ダクト、５０……吸込み
ダクト、６０……排気パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ホイストが走行自在に内設されたホイスト走行
部と、所要薬液を収納した薬液処理槽及びウエハ
を収納するキヤリアを内設した洗浄エリア部との
間にスリツトを形成した融壁を介装し、前記ホイ
ストと前記キヤリアとを、前記スリツトに挿通し
たホイストアームを介して連結し、前記洗浄エリ
ア部に洗浄エアーを送風するクリーンユニツトと
、前記洗浄エリア部に連結し、前記薬液の雰囲気
を排出する排気ダクトとを配備した半導体ウエハ
自動洗浄装置において、 前記隔壁のスリツト外周縁部に、前記スリツト
側を開放し、排気パイプを連結した吸込みダクト
を周設したことを特徴とする半導体ウエハ自動洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226487U JPS6439632U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226487U JPS6439632U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439632U true JPS6439632U (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=31389065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13226487U Pending JPS6439632U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6439632U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002359226A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | バッチ式ウェット処理装置 |
| US7403461B2 (en) | 2001-10-09 | 2008-07-22 | Sony Corporation | Disc recording medium, disc drive apparatus, reproduction method, and disc manufacturing method |
-
1987
- 1987-09-01 JP JP13226487U patent/JPS6439632U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002359226A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | バッチ式ウェット処理装置 |
| US7403461B2 (en) | 2001-10-09 | 2008-07-22 | Sony Corporation | Disc recording medium, disc drive apparatus, reproduction method, and disc manufacturing method |
| US7616543B2 (en) | 2001-10-09 | 2009-11-10 | Sony Corporation | Disk recording medium, disk drive apparatus, reproducing method, and disk manufacturing method |