JPS6439633U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6439633U JPS6439633U JP13226587U JP13226587U JPS6439633U JP S6439633 U JPS6439633 U JP S6439633U JP 13226587 U JP13226587 U JP 13226587U JP 13226587 U JP13226587 U JP 13226587U JP S6439633 U JPS6439633 U JP S6439633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- hoist
- cleaning
- air
- duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図乃至第４図は本考案の半導体ウエハ自動
洗浄装置に係る一実施例を示すもので、第１図は
装置の側部説明図、第２図は隔壁の要部正面図、
第３図は第２図のＡ―Ａ断面図、第４図は第２図
のＢ―Ｂ断面図、第５図は別実施例に係る装置の
側部説明図、第６図及び第７図は従来例を示すも
ので、第６図は装置の正面説明図、第７図は装置
の側部説明図である。 １０……クリーンユニツト、２０……隔壁、２
１……スリツト、３０……洗浄エリア部、３３…
…薬液処理槽、３６……キヤリア、４０……ホイ
スト走行部、４１……ホイスト、４２……ホイス
トアーム、４３……排気ダクト、５０……吹き出
しダクト、５１……吸込みダクト、６０……給気
パイプ、６１……排気パイプ。
洗浄装置に係る一実施例を示すもので、第１図は
装置の側部説明図、第２図は隔壁の要部正面図、
第３図は第２図のＡ―Ａ断面図、第４図は第２図
のＢ―Ｂ断面図、第５図は別実施例に係る装置の
側部説明図、第６図及び第７図は従来例を示すも
ので、第６図は装置の正面説明図、第７図は装置
の側部説明図である。 １０……クリーンユニツト、２０……隔壁、２
１……スリツト、３０……洗浄エリア部、３３…
…薬液処理槽、３６……キヤリア、４０……ホイ
スト走行部、４１……ホイスト、４２……ホイス
トアーム、４３……排気ダクト、５０……吹き出
しダクト、５１……吸込みダクト、６０……給気
パイプ、６１……排気パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ホイストが走行自在に内設されたホイスト走行
部と、所要薬液を収納した薬液処理槽及びウエハ
を収納するキヤリアを内設した洗浄エリア部との
間にスリツトを形成した隔壁を介装し、前記ホイ
ストと前記キヤリアとを、前記スリツトに挿通し
たホイストアームを介して連結し、前記洗浄エリ
ア部に洗浄エアーを送風するクリーンユニツトと
、前記洗浄エリア部に連結し、前記薬液の雰囲気
を排出する排気ダクトとを配備した半導体ウエハ
自動洗浄装置において、 前記スリツトの一側に、給気パイプに連結する
と共に、前記スリツト側を開放し、洗浄エアーを
吹き出す吹き出しダクトを設け、 前記スリツトの他側に、排気パイプに連結する
と共に、前記スリツト側を開放した吸込みダクト
を設け、 前記スリツトにエアーカーテンを形成したこと
を特徴とする半導体ウエハ自動洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226587U JPS6439633U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13226587U JPS6439633U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439633U true JPS6439633U (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=31389067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13226587U Pending JPS6439633U (ja) | 1987-09-01 | 1987-09-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6439633U (ja) |
-
1987
- 1987-09-01 JP JP13226587U patent/JPS6439633U/ja active Pending
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