JPH0217286U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217286U JPH0217286U JP9467988U JP9467988U JPH0217286U JP H0217286 U JPH0217286 U JP H0217286U JP 9467988 U JP9467988 U JP 9467988U JP 9467988 U JP9467988 U JP 9467988U JP H0217286 U JPH0217286 U JP H0217286U
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- JP
- Japan
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- clean unit
- main body
- back wall
- unit main
- clean
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るクリーン
ユニツトの断面図、第２図は、同クリーンユニツ
トの外観斜視図、第３図は、従来のクリーンユニ
ツトの一部を破断して示す側面図である。 ２：クリーンユニツト本体、５：背壁、６：空
気リターン口、７：通気路、９：導流板、１０：
半導体製造装置。
ユニツトの断面図、第２図は、同クリーンユニツ
トの外観斜視図、第３図は、従来のクリーンユニ
ツトの一部を破断して示す側面図である。 ２：クリーンユニツト本体、５：背壁、６：空
気リターン口、７：通気路、９：導流板、１０：
半導体製造装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体製造装置上方に位置し、清浄空気を下方
に吹出すクリーンユニツト本体と、前記半導体製
造装置の背後に位置し、上部に前記クリーンユニ
ツト本体が取付けられる背壁と、この背壁下部前
面に開口する空気リターン口と、前記背壁内に設
けられ、前記クリーンユニツト本体と前記空気リ
ターン口とを連通する通気路とを備えてなるクリ
ーンユニツトにおいて、 前記半導体製造装置背面と、前記背壁との間隙
を塞ぎ、前記クリーンユニツト本体よりの清浄空
気を、前記半導体製造装置表面に導く導流手段を
備えたことを特徴とするクリーンユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988094679U JPH07225Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | クリーンユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988094679U JPH07225Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | クリーンユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217286U true JPH0217286U (ja) | 1990-02-05 |
| JPH07225Y2 JPH07225Y2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=31319246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988094679U Expired - Lifetime JPH07225Y2 (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | クリーンユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07225Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0397138U (ja) * | 1990-01-18 | 1991-10-04 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613345U (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-10 | 日本バイリーン株式会社 | 空気清浄装置 |
-
1988
- 1988-07-18 JP JP1988094679U patent/JPH07225Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS613345U (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-10 | 日本バイリーン株式会社 | 空気清浄装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0397138U (ja) * | 1990-01-18 | 1991-10-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07225Y2 (ja) | 1995-01-11 |