JPS63157928U - - Google Patents

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JPS63157928U
JPS63157928U JP5129087U JP5129087U JPS63157928U JP S63157928 U JPS63157928 U JP S63157928U JP 5129087 U JP5129087 U JP 5129087U JP 5129087 U JP5129087 U JP 5129087U JP S63157928 U JPS63157928 U JP S63157928U
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JP
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air
substrate
liquid
chamber
chamber casing
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る液切り装置を含んで成る
水平搬送式エツチングマシンの要部縦断側面図、
第２図は本考案の別実施例を示す要部縦断側面図
、第３図は第２図の―線矢視縦断面図、第４
図は従来例を示す第１図相当図である。 Ｂ……洗浄工程、Ｃ……液切り工程、Ｄ……乾
燥工程、Ｗ……基板、２１……チヤンバーケーシ
ング、２２……チヤンバー、２３……基板搬入口
、２４……基板排出口、２５……コンベア、３０
……吸気口、３１……エアフイルタ、３２……排
気口、３４……強制排気手段、５０，５１，５２
，５３，５４……エアナイフ、５５，５６，５７
，５８……整流板、７１，７２……案内板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 水平搬送式基板処理装置の液切り工程に配設
    されたチヤンバーケーシングと、チヤンバー内に
    設けられチヤンバーケーシングの基板搬入口より
    搬出口へ向けて基板を水平搬送するコンベアと、
    コンベアの上方に設けられ、搬送されてくる基板
    へ向けてエアを噴出するエアナイフと、チヤンバ
    ーケーシングに連通連結されチヤンバー内のエア
    を排出する強制排気手段とを具備して成り、洗浄
    処理を終えた基板の液切りを行なうように構成し
    た基板の液切り装置において、 チヤンバーケーシングの上部にエアフイルタを
    付設した吸気口を設けるとともに、チヤンバーケ
    ーシングの下部に排気口を設け、強制排気手段に
    より吸気口から排気口へ向けて流下する気流を発
    生させ、液切りに使用されたエアを当該流下気流
    に乗せて排出するように構成したことを特徴とす
    る基板の液切り装置。 ２ エアナイフを基板の搬送方向と交差する方向
    に架設配置し、このエアナイフに前記気流を流下
    案内する整流板を連設してチヤンバー内を基板進
    行の前方側と後方側に仕切り、エアナイフから噴
    出して用尽されたエアが基板の進行方向前方側へ
    廻り込むのを阻止するように構成した実用新案登
    録請求の範囲第１項に記載した基板の液切り装置
    。 ３ チヤンバーケーシングの基板搬入口にエアナ
    イフからの噴出エアを案内する案内板を略水平に
    連設し、液切りに使用されたエアの一部及び、液
    切り洗浄液の一部を基板搬入口を介して前工程へ
    排出するように構成した実用新案登録請求の範囲
    第１項又は第２項に記載した基板の液切り装置。
JP1987051290U 1987-04-03 1987-04-03 基板の液切り装置 Expired - Lifetime JPH0744015Y2 (ja)

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