JPS6357447U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6357447U JPS6357447U JP15053786U JP15053786U JPS6357447U JP S6357447 U JPS6357447 U JP S6357447U JP 15053786 U JP15053786 U JP 15053786U JP 15053786 U JP15053786 U JP 15053786U JP S6357447 U JPS6357447 U JP S6357447U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- clean
- hole
- view
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図ないし第５図は本考案の一実施例を示す
図であつて、第１図はその正面図、第２図はその
第１図中―線に沿う矢視断面図、第３図は第
１図からウエーハー搬出入口およびエアカーテン
用ダクトを削除した状態を示す正面図、第４図は
第３図中―線に沿う矢視断面図、第５図は第
１図ないし第４図に示す実施例の概略図である。 １１……クリーンボツクス、１５……気密箱（
箱体）、５７……グローブポート（孔部）。
図であつて、第１図はその正面図、第２図はその
第１図中―線に沿う矢視断面図、第３図は第
１図からウエーハー搬出入口およびエアカーテン
用ダクトを削除した状態を示す正面図、第４図は
第３図中―線に沿う矢視断面図、第５図は第
１図ないし第４図に示す実施例の概略図である。 １１……クリーンボツクス、１５……気密箱（
箱体）、５７……グローブポート（孔部）。
Claims (1)
- 箱体内部の空気が清浄に維持されたクリーンボ
ツクスにおいて、前記箱体の壁部に手を挿入する
孔部を設けたことを特徴とするクリーンボツクス
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15053786U JPS6357447U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15053786U JPS6357447U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6357447U true JPS6357447U (ja) | 1988-04-16 |
Family
ID=31066770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15053786U Pending JPS6357447U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6357447U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009293817A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Taikisha Ltd | 開放式プッシュプル型換気装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213438A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-03 | Hitachi Ltd | 清浄作業台 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP15053786U patent/JPS6357447U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213438A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-03 | Hitachi Ltd | 清浄作業台 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009293817A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Taikisha Ltd | 開放式プッシュプル型換気装置 |