JPS6322533U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6322533U JPS6322533U JP11455386U JP11455386U JPS6322533U JP S6322533 U JPS6322533 U JP S6322533U JP 11455386 U JP11455386 U JP 11455386U JP 11455386 U JP11455386 U JP 11455386U JP S6322533 U JPS6322533 U JP S6322533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- clean room
- outside air
- duct
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は、本考案の１実施例の保管庫本体の正
面図、第２図は保管庫本体の側方断面図、第３図
は部品の接続関係を示すブロツク図、第４図は他
の実施例の部品の接続関係を示すブロツク図、第
５図は、従来の保管庫の構成の説明図である。 １……保管庫本体、２……製品搬出・搬入用扉
、３……扉開閉検知器、４……フイルタ、５……
保管部、６……供給用送風機、７……外気導入用
ダクト、８……排気用送風機、９……室外排気用
ダクト、１１……圧力検知器。
面図、第２図は保管庫本体の側方断面図、第３図
は部品の接続関係を示すブロツク図、第４図は他
の実施例の部品の接続関係を示すブロツク図、第
５図は、従来の保管庫の構成の説明図である。 １……保管庫本体、２……製品搬出・搬入用扉
、３……扉開閉検知器、４……フイルタ、５……
保管部、６……供給用送風機、７……外気導入用
ダクト、８……排気用送風機、９……室外排気用
ダクト、１１……圧力検知器。
Claims (1)
- クリーンルーム室内に設置した保管庫本体の一
側及び他側にそれぞれ外気導入用ダクト及び室外
排気用ダクトを配設し、該保管庫本体内に、フイ
ルタと、該外気導入用ダクトより導入した外気を
該フイルタを介して保管部に供給する供給用送風
機と、該保管部で発生した汚染空気を室外排気用
ダクトを通してクリーンルーム室外へ排気させる
排気用送風機とを配設したことを特徴とするクリ
ーンルーム用保管庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986114553U JPH0350332Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986114553U JPH0350332Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322533U true JPS6322533U (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0350332Y2 JPH0350332Y2 (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=30997398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986114553U Expired JPH0350332Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0350332Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124933A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-03 | Toshiba Corp | 空気調和システム |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP1986114553U patent/JPH0350332Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124933A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-03 | Toshiba Corp | 空気調和システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0350332Y2 (ja) | 1991-10-28 |