JPS6176234U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6176234U JPS6176234U JP15986584U JP15986584U JPS6176234U JP S6176234 U JPS6176234 U JP S6176234U JP 15986584 U JP15986584 U JP 15986584U JP 15986584 U JP15986584 U JP 15986584U JP S6176234 U JPS6176234 U JP S6176234U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air intake
- clean room
- door
- filter
- door unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図は、この考案の第一実施例の一部切断正
面図、第２図は、第１図の一点鎖線で示す区画
の拡大図、第３図は、第二実施例の斜視図、第４
図は、従来のクリーンルーム用ドアユニツトの正
面図、第５図は、第４図の−線断面図、第６
図は、同じく−線断面図、第７図は、同じく
−線断面図である。 Ｂ……ドアユニツト、Ｃ……ドアユニツト、Ｒ
……クリーンルーム、１……ドアケース、１２…
…フアン、１４……HEPAフイルタ、２１……フイ
ルタ、２３……排気管。
面図、第２図は、第１図の一点鎖線で示す区画
の拡大図、第３図は、第二実施例の斜視図、第４
図は、従来のクリーンルーム用ドアユニツトの正
面図、第５図は、第４図の−線断面図、第６
図は、同じく−線断面図、第７図は、同じく
−線断面図である。 Ｂ……ドアユニツト、Ｃ……ドアユニツト、Ｒ
……クリーンルーム、１……ドアケース、１２…
…フアン、１４……HEPAフイルタ、２１……フイ
ルタ、２３……排気管。
Claims (1)
- ドアケースの内部に発生する摩耗粉塵を吸気に
より排除するフイルタ付き吸気排出手段を設けた
ことを特徴とするクリーンルーム用ドアユニツト
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15986584U JPS6176234U (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15986584U JPS6176234U (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6176234U true JPS6176234U (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=30717811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15986584U Pending JPS6176234U (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6176234U (ja) |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP15986584U patent/JPS6176234U/ja active Pending