JPH0350332Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、保管部内の空気を汚染する例えば有
機溶剤等の有害物質を使用する製品を保管するク
リーンルーム用保管庫に関する。

（従来の技術） 従来のクリーンルーム用保管庫は、第５図示の
ように、保管庫本体ａに室内空気導入口ｂ及び排
気用送風機ｃが配設され、クリーンルームｄ内の
空気を排気用送風機ｃにより室内空気導入口ｂよ
り保管部ｅに導入し、保管部ｅ内の汚染された空
気と共に排気ダクトｆを通してクリーンルーム外
へ排気するように構成されている。

（考案が解決しようとする問題点） 上記した従来の保管庫によれば、その保管部ｅ
に保管する製品が有機溶剤等の有害物質を含むガ
スを発生する場合、該ガスはクリーンルームｄ外
に排出されるので、保管部ｅ内は常に清浄化され
るが、クリーンルームｄ内の空調に必要な換気量
が消費されるため、保管部の分を含めて空調しな
ければならず、その分エネルギの損失となる不都
合があつた。

（問題点を解決する手段） 本考案は、上記の不都合を解消することをその
目的とするもので、クリーンルーム内に設置した
保管庫本体の一側及び他側にそれぞれ外気導入用
ダクト及び室外排気用ダクトを配設し、該保管庫
本体内に、フイルタと、該外気導入用ダクトより
導入した外気を該フイルタを介して保管部に供給
する供給用送風機と、該保管部で発生した汚染空
気を室外排気用ダクトを通してクリーンルーム外
へ排気させる排気用送風機とを配設し、前記保管
庫本体の扉の開きを検知する扉開閉検知器と、該
扉開閉検知器の検知信号により前記供給用送風機
及び排気用送風機のうちの少なくとも供給用送風
機の回転数を、前記保管部内の圧力をクリーンル
ーム内の圧力より低い値になるように制御する制
御装置とを設けたことを特徴とする。

（実施例） 以下本考案の実施例を図面につき説明する。

第１図乃至第３図は、本考案の１実施例を示
す。

図中、１はクリーンルームＡ内に設置された保
管庫本体で、該保管庫本体１の前面には、製品搬
出・搬入用扉２が設けられ、該扉２には例えばマ
イクロスイツチから成り、扉２の開閉で作動する
扉開閉検知器３が取付けられている。該保管庫本
体１の内部には、その下部に高性能フイルタ４
と、保管部５に連通する供給用送風機６が配設さ
れ、該フイルタ４の前部とクリーンルーム外とを
連通する外気導入用ダクト７から導入した外気を
フイルタ４を介して保管部５に供給するようにな
つており、その上部に保管部５に連なる排気用送
風機８が配設され、保管部５内に発生した汚染空
気を保管庫本体内とクリーンルーム外とを連通す
る室外排気用ダクト９を通してクリーンルーム外
に排出するようになつている。

前記保管部５内は、多数の通気孔を設けた複数
の柵板１０によつて区切られており、保管部５内
に導入された空気の流通が妨げられないようにな
つており、また保管部内の圧力を検知する圧力検
知器１１が配設されている。

該圧力検知器１１は、第３図示のように、扉開
閉検知器３が扉２の開きを検知した時、図示しな
い制御装置を介して供給用送風機６及び排気用送
風機８に接続される。該制御装置は、扉開閉検知
器３の検知信号で圧力検知器１１に接続されるこ
とにより、圧力検知器１１の検知信号により供給
用送風機６及び排気用送風機８の回転数を、保管
部内の圧力がクリーンルームＡ内の圧力より若干
低くなるように制御し、クリーンルームＡ内の空
調空気が室外排気用ダクト９を通してクリーンル
ームＡ外に余り排出されないように、また保管部
５内の汚染空気がクリーンルームＡ内に排出され
ないように制御するようになつている。

かくて保管庫の扉２が閉じている時は、圧力検
知器１１の検出信号に無関係に供給用送風機６及
び排気用送風機８が所定の回転数で作動し、供給
用送風機６によつて外気導入用ダクト７からフイ
ルタ４を介して保管部５内に導入された清浄化さ
れた空気は、保管部５内で保管製品から発生した
汚染空気と共に排気用送風機８によつて室外排気
用ダクト９を通してクリーンルームＡ外に排出さ
れる。保管製品を取扱うために扉２を開けたとき
は扉開閉検知器３により圧力検知器１１は、図示
しない制御装置に接続され、制御装置は、扉開閉
検知器３の検知信号により供給用送風機６及び排
気用送風機８の回転数を制御し、保管部５内の圧
力はクリーンルームＡ内の圧力より若干低い値に
維持される。

第４図は、本考案の他の実施例の部品の接続関
係を示すブロツク図を示す。

この実施例においては、上記実施例の圧力検知
器は用いていない。排気用送風機８は、常に電源
に接続されて運転するようになつており、供給用
送風機６は、製品搬出・搬入用扉２が閉塞してい
るときは、図示しない制御装置を介して電源に接
続されて所定の回転数で運転し、供給用送風機６
によつて外気導入用ダクト７からフイルタ４を介
して保管部５内に導入された清浄化された空気
は、保管部５内で保管製品から発生した汚染空気
と共に、排気用送風機８によつて室外排気用ダク
ト９を通つてクリーンルームＡ外に排出されるよ
うになつており、前記扉２が開放したときは、図
示しない制御装置は電源から切り離されて供給用
送風機を停止し、保管部５内の圧力をクリーンル
ームＡ内の圧力より低い値になるにしている。そ
の他の構成は上記実施例と同じである。

かくて扉の開放時には供給用送風機６が停止
し、保管部５の室圧はクリーンルームＡの室圧に
比べて常に負圧となるから、保管部５内の汚染さ
れた空気がクリーンルームＡ内へ流出しない。

尚、第１図乃至第３図の実施例において、ダク
ト７とフイルタ４の間かあるいはフイルタ４と供
給用送風機６の間にヒータを配設（図示せず）
し、製品の乾燥を促進して製品に付着した有機溶
剤等の有害物を除去するようにしてもよい。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案によるときは、保
管部内の製品によつて汚染された空気を排出し製
品を清浄に保持するために、保管部内にクリーン
ルーム外の空気を清浄化して供給するようにした
ので、クリーンルーム内の空調された空気を保管
部に供給する従来のものに比べてエネルギの損失
が少なく、経費がかからない等の効果がある。ま
た、制御装置により、扉開閉検知器の検知信号に
応じて供給用送風機及び排気用送風機のうちの少
なくとも供給用送風機の回転数を、前記保管部内
の圧力をクリーンルーム内の圧力より低い値にな
るように制御するようにしたので、保管庫本体の
扉が開いても保管庫内の汚染された空気がクリー
ンルーム内へ拡散することがない等の効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の１実施例の保管庫本体の正
面図、第２図は保管庫本体の側方断面図、第３図
は部品の接続関係を示すブロツク図、第４図は他
の実施例の部品の接続関係を示すブロツク図、第
５図は、従来の保管庫の構成の説明図である。 １……保管庫本体、２……製品搬出・搬入用
扉、３……扉開閉検知器、４……フイルタ、５…
…保管部、、６……供給用送風機、７……外気導
入用ダクト、８……排気用送風機、９……室外排
気用ダクト、１１、……圧力検知器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルーム内に設置した保管庫本体の一側
   及び他側にそれぞれ外気導入用ダクト及び室外排
   気用ダクトを配設し、該保管庫本体内に、フイル
   タと、該外気導入用ダクトより導入した外気を該
   フイルタを介して保管部に供給する供給用送風機
   と、該保管部で発生した汚染空気を室外排気用ダ
   クトを通してクリーンルーム外へ排気させる排気
   用送風機とを配設し、前記保管庫本体の扉の開き
   を検知する扉開閉検知器と、該扉開閉検知器の検
   知信号により前記供給用送風機及び排気用送風機
   のうちの少なくとも供給用送風機の回転数を、前
   記保管部内の圧力をクリーンルーム内の圧力より
   低い値になるように制御する制御装置とを設けた
   ことを特徴とするクリーンルーム用保管庫。