JPH0265342U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案のウエハ処理装置の実施例と
してのウエハ周辺露光装置の概略説明図、第２図
は、第１図のウエハ処理ステージを上から見た図
、第３図は、第１図のウエハ処理ステージの側断
面図、第４図及び第５図は従来のウエハ処理ステ
ージ及びウエハ搬送アームとを有するウエハ処理
装置の概略図である。 図中、Ｗ……ウエハ、１，１′……ウエハ搬送
アーム、２，２′……ウエハ処理ステージ、２′
ａ……ウエハ載置面、１８……凹部、Ｗｃ……ウ
エハ重心部分を示す。

補正 平１．２．３ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第８頁第１３行乃至１６行中、「第２図
は、第１図のウエハ処理ステージを上から見た図
、第３図は、第１図のウエハ処理ステージの断面
図、第４図及び第５図は」とあるのを、「第２図
は、第１図のウエハ搬送アームがウエハをウエハ
処理ステージに載置する状態を示した図で、同図
イは上から見た図、同図ロは同図イ中のＸ―Ｘ′
における側断面図、第３図及び第４図は」と訂正
する。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空吸着孔を備えたウエハ処理ステージと、真
   空吸着孔を備えウエハの裏面において支持しウエ
   ハを該ステージに搬送するウエハ搬送アームとを
   有するウエハ処理装置において、 ウエハ搬送アームによるウエハの支持部分は少
   なくともウエハの重心部分を含み、かつ前記ウエ
   ハ処理ステージのウエハ載置面は、ウエハが前記
   ウエハ処理ステージ上に載置された際にウエハ搬
   送アームの退避スペースとなる凹部を有すること
   を特徴とするウエハ処理装置。