JPH0482005A - 垂直磁気ヘッドスライダとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 垂直磁化記録方式の磁気ディスク装置等に用いられる記
録・再生用の垂直磁気ヘッドスライダとその製造方法に
関し、 磁気シールドとして機能するスライダ本体と磁東リター
ン層との境界構造により該磁束リターン層にスライダ本
体の背面側からの外部漏洩磁界の流入を阻止して、垂直
薄膜磁気ヘッドに対する外部漏洩磁界の影響を抑止する
ヘッドスライダの構造及びその製造方法を提供すること
を目的とし、磁性体からなるスライダ本体の空気流出側
端面に垂直薄膜磁気ヘッド素子を支持した垂直磁気ヘッ
ドスライダにおいて、前記磁気ヘッド素子を支持したス
ライダ本体の空気流出側端面の頂部より媒体対向面へ斜
め方向に該スライダ本体を縦断する形で非磁性層を介在
させ、該非磁性層と磁気ヘッド素子間の磁性体部分を磁
束リターン部とした構成とする。

また、その製造方法として複数枚の軟磁性板を非磁性層
を介して積層状に接着して積層プロ・ツクを形成する工
程と、該積層ブロックを前記非磁性層に対して所定角度
で、かつスライダ長に相当する厚さに斜めに順次切断し
て複数枚の磁性基板を形成する工程と、該磁性基板上の
非磁性層が露出する基板面に、該非磁性層に沿って複数
の垂直薄膜磁気ヘッド素子を形成する工程と、該複数の
磁気へノド素子が形成された磁性基板を、前記露出する
非磁性層に沿う位置で横方向に、また前記垂直磁気ヘッ
ド素子の主磁極先端面が露出する位置で縦方向にそれぞ
れ切断してヘッド素子単位のスライダに分割した後、該
スライダに浮上用の所定加工を施す工程とを含み構成す
る。

〔産業上の利用分野〕

本発明は垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置等に用い
られる記録・再生用の垂直薄膜磁気ヘッドとその製造方
法に係り、特に外部からの漏洩磁界の影響を排除したヘ
ッドスライダ構造とその製造方法に関するものである。

近年、磁気ディスク装置においては、大容量化に伴って
従来の水平磁気記録方式よりも更に高密度記録が可能な
垂直磁気記録方式が開発され、有望視されている。

このような垂直磁気記録方式は、高透磁率な軟磁性層上
に垂直異方性を有する磁気記録層が形成された二層構造
の垂直磁気記録媒体と単磁極型の垂直薄膜磁気ヘッドと
を組合わせ、該媒体面に対して垂直方向に磁化すること
により高密度な磁気記録を実現している。

ところで上記した単磁極型の垂直薄膜磁気ヘッドは原理
的に外部からの漏洩磁界を受は易く、その漏洩磁界によ
り磁極が異常励磁されて、対応する前記媒体に対する情
報の記録・再生が困難になったり、また該媒体の既に記
録されている磁化情報を部分的に減磁、或いは消去され
るといった問題がある。このため、そのような外部漏洩
磁界の影響を受は難い垂直磁気ヘッドスライダが必要と
されている。

〔従来の技術〕

従来の垂直磁気ヘッドスライダは第４図の斜視図及び第
５図の断面図で示すように、Ｍｎ−Ｚｎ＋　ＮｊＺｎな
どの磁性フェライトからなるスライダ本体】の空気流出
側端面に低融点ガラス等からなる非磁性層２を介してＭ
ｎ−Ｚｎ、　Ｎｉ−Ｚｎなどの磁性フェライトからなる
磁束リターン層３が配設され、その磁束リターン層３上
の所定領域に層間絶縁層５で挟まれた薄膜コイル６と、
その上面に絶縁平坦化層７及び先端が媒体対向面１０に
露出し、かつ後端部が前記磁束リターン層３と接続する
ようにＮｉ−Ｆｅからなる主磁極８が順次積層され、更
にコイル端子６ａが設けられ、そのコイル端子６ａ以外
の表面には口）０□、　ＳｉＯ□からなる保護膜９が被
覆された構成の垂直薄膜磁気ヘッド素子４が配置されて
いる。

しかして、かかる垂直磁気ヘッドスライダは対向する垂
直磁気記録媒体ＩＪを構成するディスク基板１２とＣｏ
−Ｃｒからなる垂直記録層１４との間に介在されたＮｉ
−Ｆｅからなる水平軟磁性層１３を、前記主磁極８と磁
束リターン層３間の磁路に利用して練土磁極８先端から
の磁束の帰還磁気回路（鎖線矢印で示す）の一部を構成
することにより、前記記録媒体１１の垂直記録層】４に
対して高密度な垂直磁気記録・再生を可能にしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで上記したような従来の垂直磁気ヘントスライダ
においては、スライダ本体１の空気流出側端面と垂直薄
膜磁気ヘッド素子４との間に非磁性層２を介して所定厚
さの磁束リターン層３を配設することによって、該磁気
ヘッド素子４とスライダ本体１とを磁気的に分離し、該
スライダ本体】を磁気シールドとして外部からの漏洩磁
界が前記磁気ヘッド素子４へ流入することを抑止するよ
うにしている。

ところが第６図の部分拡大断面図に示すように前記磁束
リターン層３は、その両側の接合部以外の周囲が露出し
た構成となっているため、例えば背面側からの漏洩磁界
の一部が鎖線矢印で示すように該磁束リターン層３を通
って主磁極８の先端部に集束し、対向する前記記録媒体
１１側へ流れて磁気的な作用が付加される現象があり、
磁気的に分離した前記スライダ本体１の磁気シールドと
しての効果が十分に発揮されない構造上の欠点があった
・ このため、前記記録媒体１１に対する記録・再生が困難
となったり、また最悪な場合には記録情報が消失してし
まうといった問題があった。

本発明は上記した従来の問題点を解消するため、磁気シ
ールドとして機能するスライダ本体と磁束リターン層と
の境界構造により該磁束リターン層にスライダ本体の背
面側からの外部漏洩磁界の流入を阻止して、垂直薄膜磁
気−・ラド素子に対する外部漏洩磁界の影響を抑止する
ようにした新規な垂直磁気ヘントスライダとその製造方
法を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記した目的を達成するため、磁性体からなる
スライダ本体の空気流出側端面に垂直薄膜磁気ヘッド素
子を支持した垂直磁気ヘッドスライダにおいて、前記磁
気へ・７ド素子を支持したスライダ本体の空気流出側端
面の頂部より媒体対向面側へ斜め方向に該スライダ本体
を縦断する形で非磁性層を介在させ、該非磁性層と垂直
薄膜磁気ヘッド素子間の磁性体部分を磁束リターン部と
した構成とする。

また、その製造方法として複数枚の軟磁性板を非磁性層
を介して積層状に接着して積層ブロックを形成する工程
と、該積層ブロックを前記非磁性層に対して所定角度で
、かつスライダ長に相当する厚さに斜めに順次切断して
複数枚の磁性基板を形成する工程と、該磁性基板上の非
磁性層が露出する基板面に、該非磁性層に沿って複数の
垂直薄膜磁気ヘッド素子を形成する工程と、該複数の磁
気ヘッド素子が形成された磁性基板を、前記露出する非
磁性層に沿う位置で横方向に、また前記垂直磁気ヘッド
素子の主磁極先端面が露出する位置で縮方向にそれぞれ
切断してヘッド素子単位のスライダに分割した後、該ス
ライダに浮上用の所定加工を施す工程とを含み構成する
。

〔作　用〕

本発明では、磁気シールドとして機能するスライダ本体
の空気流出側端面と垂直薄膜磁気ヘッド素子との間に非
磁性層を介して設けた磁束リターン層の媒体対向面と反
対側の背面が、前記スライダ本体により覆われて露出し
ない構成とされているため、背面側からの外部漏洩磁界
が磁束リターン層を通って垂直薄膜磁気ヘッド素子へ流
入することがなくなる。この結果、記録媒体に対して安
定した記録・再生が可能となると共に、記録情報の保存
に対する信頼性が著しく向上する。

〔実施例〕

以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。

第１図は本発明に係る垂直磁気ヘッドスライダの一実施
例を示す斜視図であり、第２図はその要部断面図である
。

これら両図において、２１は磁気シールドとして機能す
るＭｎ−Ｚｎ、　Ｎｉ−Ｚｎなどの磁性フェライトから
なるスライダ本体であり、該スライダ本体２１の空気流
出側端面ば、該端面の頂部より媒体対向面３０側へ斜め
方向に該スライダ本体２１を縦断する形の傾斜端面２１
ａからなり、その傾斜端面２１ａに低融点ガラス等から
なる０、１　ｍａｒ程度の厚さの非磁性層２２を介して
同じ＜　Ｍｎ−Ｚｎ＋　Ｎｉ−Ｚｎなどの磁性フェライ
トからなる断面が三角形状の磁束リターン層２３が接合
配置されている。

そして該磁束リターン層２３上の所定領域には、従来構
成と同様に眉間絶縁層２５で挟まれた薄膜コイル２６と
、その上面にＡ　１２２０３からなる絶縁性平坦化層２
７及び先端が媒体対向面３０に露出し、かっ後端部が前
記磁束リターン層２３と接続するようにＮｉＦｅからな
る主磁極２８が順次積層され、更にコイル端子２６ａを
設け、そのコイル端子２６ａ以外の表面にＡ　ｊ２　ｚ
ｏｚ、　Ｓｉｎｇからなる保１１１ｉ２９が被覆された
構成の垂直薄膜磁気ヘッド素子２４が配置されている。

このような構成の垂直磁気ヘントスライダでは、前記磁
束リターン層２３の媒体対向面３０と反対側の背面が露
出しないように磁気シールドとして機能するスライダ本
体２１により覆われているため、背面側からの外部漏洩
磁界がその磁束リターン層２３を通って垂直薄膜磁気ヘ
ッド素子２４における主磁極２８へ流入することが排除
される。

従って、ディスク基板１２とＣｏ−Ｃｒからなる垂直記
録層１４との間にＮｉ−Ｆｅからなる水平軟磁性層１３
を介在した構成の垂直磁気記録媒体１１に対する記録・
再生が安定化し、記録情報の保存性も向上する。

次に上記構成の垂直磁気ヘッドスライダの製造方法の一
実施例を第３図（ａ）〜（Ｃ）の斜視図を用いて説明す
る。

先ず第３図（ａ）に示すように例えばＭｎ−Ｚｎ、　Ｎ
ｉ−Ｚｎなどの複数枚の磁性フェライト板３１ａ〜３１
ｆを低融点ガラス等からなる非磁性層３２ａ〜３２ｅを
介在させて熱処理工程により積層状に接着して積層ブロ
ック３３を形成する。

次に該積層ブロンク３３を前記非磁性層３２ａ〜３２ｅ
に対して一点鎖線で示すように所定角度で、かつスライ
ダ長に相当する厚さに斜めに順次切断して複数枚の第３
図（ｂ）に示す磁性基板３４を形成する。

次にその磁性基板３４の表面の露出する各非磁性層３２
ａ〜３２ｅに沿った所定領域に、前記第２図で示し、か
つ説明した垂直薄膜磁気ヘッド素子３５を既存の方法に
よりマトリンクス状に形成した後、該磁気ヘッド素子３
５が形成された磁性基板３４を、第３図（Ｃ）に示すよ
うに各非磁性１ｉ３２ａ〜３２ｅに沿った前記磁気ヘッ
ド素子３５の横配列単位に切り離す。

その後、該切り離し基板３６の媒体対向面側を、それぞ
れ前記磁気ヘッド素子３５に対応する一対の浮上レール
を有するスライダ形杖に研削加工した後、この切り離し
基板３６を更に各スライダ単位に切断分離することによ
り、−度に垂直薄膜磁気ヘッド素子３５に対して背面か
らの外部漏洩磁界の影響を排除した多数の垂直磁気ヘン
トスライダ３７を容易に得ることができる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直磁気
ヘッドスライダによれば、磁気シールドとして機能する
スライダ本体の空気流出側端面と垂直薄膜磁気ヘッド素
子との間の非磁性層を介して設けた磁束リターン層の媒
体対向面と反対側の背面が、前記スライダ本体により覆
われて露出しない構造とされているため、垂直薄膜磁気
ヘッド素子に対する当該ヘントスライダの背面側からの
外部漏洩磁界の影響が排除されるので、記録媒体に対す
る記録・再生が安定化すると共に、記録情報の保存性が
高められ、信頼性が著しく向上する等、実用１優れた効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る垂直磁気ヘッドスライダの一実施
例を示す斜視図、 第２図は本発明の垂直磁気ヘッドスライダの要部断面を
示す図、 第３図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の垂直磁気ヘッドスライ
ダの製造方法の一実施例を工程順に説 明するための斜視図、 第４図は従来の垂直磁気ヘントスライダの一例を示す斜
視図、 第５図は従来の垂直磁気ヘントスライダの要部断面を示
す図、 第６図は従来の垂直磁気ヘッドスライダの問題点を説明
するための要部断面図である。 第１図〜第３図（ａ）及び（Ｃ）において、２１はスラ
イダ本体、２１ａは傾斜端面、２２．３２ａ〜３２ｅは
非磁性層、２４．３５は垂直薄膜磁気ヘッド素子、２５
は眉間絶縁層、２６は薄膜コイル、２７は絶縁性平坦化
層、２８は主磁極、２９は保護膜、３０は媒体対向面、
３１ａ〜３１ｆは複数枚のフェライト板、３３は積層ブ
ロック、３４は磁性基板、３６は切り離し基板、３７は
垂直磁気ヘントスライダをそれぞれ示す。 ４８、ｈ−ｔｌｍへｙドスフｆダ一−４Ｐｊを才；［牽
畔子ダｍ第４１１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性体からなるスライダ本体（２１）の空気流出
   側端面に垂直薄膜磁気ヘッド素子（２４）を支持した垂
   直磁気ヘッドスライダにおいて、 前記磁気ヘッド素子（２４）を支持したスライダ本体（
   ２１）の空気流出側端面の頂部より媒体対向面（３０）
   へ斜め方向に該スライダ本体（２１）を縦断する形で非
   磁性層（２２）を介在させ、該非磁性層（２２）と磁気
   ヘッド素子（２４）間の磁性体部分を磁束リターン部（
   ２３）として構成することを特徴とする垂直磁気ヘッド
   スライダ。
2. （２）複数枚の軟磁性板（３１ａ〜３１ｆ）を非磁性層
   （３２ａ〜３２ｅ）を介して積層状に接着して積層ブロ
   ック（３３）を形成する工程と、 該積層ブロック（３３）を前記非磁性層（３２ａ〜３２
   ｅ）に対して所定角度で、かつスライダ長に相当する厚
   さに斜めに順次切断して複数枚の磁性基板（３４）を形
   成する工程と、 該磁性基板（３４）の非磁性層（３２ａ〜３２ｅ）が露
   出する基板面に、該非磁性層（３２ａ〜３２ｅ）に沿っ
   て複数の垂直薄膜磁気ヘッド素子（３５）を形成する工
   程と、該複数の磁気ヘッド素子（３５）が形成された磁
   性基板（３４）を、前記露出する非磁性層（３２ａ〜３
   ２ｅ）に沿う位置で横方向に、また前記垂直薄膜磁気ヘ
   ッド素子（３５）の主磁極先端面が露出する位置で縦方
   向にそれぞれ切断してヘッド素子単位のスライダに分割
   した後、該スライダに浮上用の所定加工を施す工程とを
   含むことを特徴とする垂直磁気ヘッドスライダの製造方
   法。