JPH048113A - 電源供給装置 - Google Patents
電源供給装置Info
- Publication number
- JPH048113A JPH048113A JP2109719A JP10971990A JPH048113A JP H048113 A JPH048113 A JP H048113A JP 2109719 A JP2109719 A JP 2109719A JP 10971990 A JP10971990 A JP 10971990A JP H048113 A JPH048113 A JP H048113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- breakers
- breaker
- reset
- emergency stop
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Emergency Protection Circuit Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、負荷装置に電源電圧を供給する電源供給装
置に関する。
置に関する。
外部電源電圧、例えば商用電源電圧と、使用しようとす
る装置、例えば半導体製造装置の電源電圧とが異なる場
合、半導体製造装置と商用電源との間にトランスボック
スと呼ばれる電源供給装置を設ける。これは、例えば日
本国内用の電源電圧１００Ｖ仕様の半導体製造装置を米
国で使用するとき、米国内の商用電源電圧は２０８Ｖで
あるので、トランスを用いて１００■に降圧して、前記
半導体製造装置用の電源電圧を得るためのものである。 このトランスボックスには、ブレーカ（回路遮断器）が
復帰レバーを外部に露出させた状態で操作パネルに取り
付けられており、前記レバーを操作することにより半導
体製造装置への電源供給停止動作がマニュアルでできる
。 一方、半導体製造装置には、装置に異常が生じたとき、
動作停止させるようにする非常停止スイッチが設けられ
ており、この非常停止スイッチを操作したときにも、前
記トランスボックスのブレーカをリレーを介してブレイ
クさせて、半導体製造装置への電源供給を遮断するよう
に構成している。 そして、前記ブレーカの復帰レバーを操作することによ
り電源供給を復帰させることができるか、非常停止スイ
ッチを操作して、非常停止したときに、前記ブレーカの
復帰レバーにより不用意に電源供給が復帰されてしまう
のを防止するため、従来は、非常停止スイッチが操作さ
れたときは、ブレーカを動作させるど同時に、復帰レバ
ーを操作できないように、操作パネル部分を機械的に板
状体などで塞いでしまう機構を設けている。復帰動作を
行う場合には、この機械的機構を解除した後、ブレーカ
の復帰レバーを操作する。
る装置、例えば半導体製造装置の電源電圧とが異なる場
合、半導体製造装置と商用電源との間にトランスボック
スと呼ばれる電源供給装置を設ける。これは、例えば日
本国内用の電源電圧１００Ｖ仕様の半導体製造装置を米
国で使用するとき、米国内の商用電源電圧は２０８Ｖで
あるので、トランスを用いて１００■に降圧して、前記
半導体製造装置用の電源電圧を得るためのものである。 このトランスボックスには、ブレーカ（回路遮断器）が
復帰レバーを外部に露出させた状態で操作パネルに取り
付けられており、前記レバーを操作することにより半導
体製造装置への電源供給停止動作がマニュアルでできる
。 一方、半導体製造装置には、装置に異常が生じたとき、
動作停止させるようにする非常停止スイッチが設けられ
ており、この非常停止スイッチを操作したときにも、前
記トランスボックスのブレーカをリレーを介してブレイ
クさせて、半導体製造装置への電源供給を遮断するよう
に構成している。 そして、前記ブレーカの復帰レバーを操作することによ
り電源供給を復帰させることができるか、非常停止スイ
ッチを操作して、非常停止したときに、前記ブレーカの
復帰レバーにより不用意に電源供給が復帰されてしまう
のを防止するため、従来は、非常停止スイッチが操作さ
れたときは、ブレーカを動作させるど同時に、復帰レバ
ーを操作できないように、操作パネル部分を機械的に板
状体などで塞いでしまう機構を設けている。復帰動作を
行う場合には、この機械的機構を解除した後、ブレーカ
の復帰レバーを操作する。
しかしながら、前記のように非常停止スイッチ操作時に
機械的に操作パネル部分を塞ぐ機構を設ける方式は、機
械的構成が複雑になり、製作も難しい欠点かある。 また、操作者が、例えばマニュアル動作させようとして
、トランスボックスのレバーを操作しようとしたときに
、他の者が非常停止スイッチか操作すると、前記操作パ
ネルを塞ぐ機構が動作してしまい、危険であるという問
題もある。 この発明は、以上の点にかんがみ、前記のような機械的
機構を設けずに、非常停止スイッチか操作されたときに
、不用意にブレーカか復帰されてしまわないように工夫
した電源供給装置を提供することを目的とする。
機械的に操作パネル部分を塞ぐ機構を設ける方式は、機
械的構成が複雑になり、製作も難しい欠点かある。 また、操作者が、例えばマニュアル動作させようとして
、トランスボックスのレバーを操作しようとしたときに
、他の者が非常停止スイッチか操作すると、前記操作パ
ネルを塞ぐ機構が動作してしまい、危険であるという問
題もある。 この発明は、以上の点にかんがみ、前記のような機械的
機構を設けずに、非常停止スイッチか操作されたときに
、不用意にブレーカか復帰されてしまわないように工夫
した電源供給装置を提供することを目的とする。
この発明は、外部電源から負荷装置の電源電圧を作成す
るためのトランスを備えると共に、前記負荷装置に置け
る非常停止操作によって前記負荷装置への電源供給を遮
断する電源遮断手段を備える電源供給装置において、 前記電源遮断手段として、直列に接続した複数のブレー
カを設け、電源供給の復帰は各ブレーカをそれぞれ復帰
させることにより行うようにしたことを特徴とする。 また、前記複数のブレーカの内の１つのブレ力の復帰レ
バーは、特定の操作後でなければ操作できないようにさ
れていることを特徴とする
るためのトランスを備えると共に、前記負荷装置に置け
る非常停止操作によって前記負荷装置への電源供給を遮
断する電源遮断手段を備える電源供給装置において、 前記電源遮断手段として、直列に接続した複数のブレー
カを設け、電源供給の復帰は各ブレーカをそれぞれ復帰
させることにより行うようにしたことを特徴とする。 また、前記複数のブレーカの内の１つのブレ力の復帰レ
バーは、特定の操作後でなければ操作できないようにさ
れていることを特徴とする
電源遮断手段として直列に接続した複数のブレーカが設
けられたので、１個のブレーカの復帰レバーを操作した
たけては電源供給は復帰せず、負荷装置の不用意な動作
復帰を防止することができる。 複数のブレーカの１つの復帰レバーが特定の操作、例え
ばその復帰レバーが鍵附のボックス内に収納されており
、鍵を開けなければ操作できないようにされているとき
は、不用意な動作復帰を、さらに確実に防止することが
できる。即ち、復帰時の安全対策を行うことができる。
けられたので、１個のブレーカの復帰レバーを操作した
たけては電源供給は復帰せず、負荷装置の不用意な動作
復帰を防止することができる。 複数のブレーカの１つの復帰レバーが特定の操作、例え
ばその復帰レバーが鍵附のボックス内に収納されており
、鍵を開けなければ操作できないようにされているとき
は、不用意な動作復帰を、さらに確実に防止することが
できる。即ち、復帰時の安全対策を行うことができる。
以下、この発明による電源供給装置の一実施例を図を参
照しながら説明する。 第１図に示すように、この発明による電源供給装置とし
てのトランスボックス２０は、工場の外部電源１０例え
ば商用電源と、負荷装置の例としての半導体製造装置３
０、例えばレジスト塗布現像装置の電源回路との間に設
けられる。半導体製造装置３０の電源回路は、この電源
供給を受けて、例えばウェーハ搬送用のモータや位置合
わせ用モタ等の電源電圧その他各部の電源電圧を作成す
る。 この例は、外部電源１０は例えばＡＣ２２０Ｖて、半導
体製造装置３０は前記電源電圧を得るためにＡＣ１００
Ｖの入力端子３１Ａ、３１Ｂと、ＡＣ２００Ｖの入力端
子３１Ｃ，３１Ｄを備える。 したかって、トランスボックス２０は、トランス回路２
３により、ＡＣ２２０Ｖの電源１０からＡＣｌｏｏＶ及
びＡＣ２００Ｖを得、それぞれをＡＣ１００Ｖ端子２４
Ａ、２４Ｂ及びＡＣ２００Ｖ端子２４Ｃ，２４Ｄに導出
する。 そして、トランスボックス２０内においては、外部電源
１０とトランス回路２３内のトランス２３Ｔの１次巻線
との間に、直列に２個のプレー力２１及び２２が設けら
れる。これらブレーカ２１及び２２は、テストリードＴ
Ｌ付のものが用いられている。 この例の場合、ブレーカ２２は、第２図に示すようにト
ランスボックス２０の操作パネル４１に取り付けられて
、その復帰レバー２２ＮＣが外部に露呈するようにされ
ている。したがって、このブレーカ２２の復帰レバー２
２ＮＣは、操作者が直接的に操作することが可能で、こ
のレバー２２ＮＣを操作することによって、電源供給と
電源遮断動作をマニュアルで行うことができる。 一方、ブレーカ２１は、第２図に示すようにトランスボ
ックス２０の内部に収納され、その復帰レバー２１ＮＣ
は、外部から直接的には操作不能とされている。そして
、トランスボックス２０は、鍵４２により通常は扉が施
錠されて、その内部が開けられないようにされている。 したがって、ブレーカ２１の復帰レバーを操作する場合
には、鍵４２により扉のロックを解鍵して、扉を開ける
必要がある。しかし、このブレーカ２１の復帰レバー２
１ＮＣの状態をトランスボックス２０の外から見ること
ができるように、トランスボックス２０には、第２図に
示すように、覗き窓４３が設けられている。 また、外部電源１０とブレーカ２１との間の２線Ｓ、Ｔ
は、ヒユーズ２５を介して直流電源２６に接続され、こ
の直流電源２６の一端及び他端間に、ヒユーズ２７−リ
レー２８−非常停止スイッチ２９の直列回路が接続され
ている。非常停止スイッチ２９は、半導体製造装置３０
に設けられている。そして、リレー２８に連動してブレ
ーカ２１及び２２が働くようにされている。 以上のような構成において、非常停止スイッチ２つが押
されると、リレー２８の電源が切れる。 すると、ブレーカ２１及び２２のテストリードＴＬがシ
ョートして、ブレーカ２１及び２２は共にブレイクし、
外部電源１０からトランス回路２３への電源供給路が遮
断され、半導体製造装置３０への電源の供給か停止され
て、半導体製造装置は動作を停止する。 この場合、ブレーカ２１及び２２は、直列に接続されて
いるから、半導体製造装置３０への電源供給を復帰させ
るには、ブレーカ２１及び２２の復帰レバー２１ＮＣ及
び２２ＮＣを、共に操作しなければならない。したがっ
て、１個のブレーカを操作したたけては電源復帰動作が
できないので、不用意な復帰を防止することかできる。 しかも、この例の場合には、一方のブレーカを特定の操
作をしなければ操作できないように構成している。すな
わち、この例においては、ブレーカ２１はトランスボッ
クス２０内にあり、復帰レバー２１ＮＣはトランスボッ
クス外部から直接操作できず、トランスボックスの扉を
開けて内部のブレーカ２１の復帰レバー２１ＮＣを操作
するようにしなければならない。 そして、復帰操作に当たっては、操作者は、ブレーカ２
２の復帰レバーを操作してブレーカをメイク状態に戻す
と共に、鍵４２によりトランスボックス２０の扉を開け
、ブレーカ２１の復帰レバーを操作して、ブレーカ２１
をメイク状態に復帰させる。 したかって、外部に露呈するブレーカ２２の復帰レバー
２２ＮＣを操作しただけでは電源の復帰はできす、この
復帰レバー２２による不用意な復帰を防ぐことができる
。 なお、以上の例では、トランス回路２３の１次側に２個
のブレーカを共に設けた場合であるか、ブレーカ２２は
トランス回路２３の２次側に設けても良い。 また、以上の例ではブレーカ２１は鍵付のトランスホッ
クス内に設けたが、鍵は掛けなくとも良い。また、ブレ
ーカ２１は、ボックス内に設けず、他の特別の操作をし
なければ復帰レバーの操作をできないようにしても良い
。 また、この発明は上記の例に限らず、トランスボックス
を介して負荷装置の電源回路に電源を供給する場合のす
べてに適用可能である。
照しながら説明する。 第１図に示すように、この発明による電源供給装置とし
てのトランスボックス２０は、工場の外部電源１０例え
ば商用電源と、負荷装置の例としての半導体製造装置３
０、例えばレジスト塗布現像装置の電源回路との間に設
けられる。半導体製造装置３０の電源回路は、この電源
供給を受けて、例えばウェーハ搬送用のモータや位置合
わせ用モタ等の電源電圧その他各部の電源電圧を作成す
る。 この例は、外部電源１０は例えばＡＣ２２０Ｖて、半導
体製造装置３０は前記電源電圧を得るためにＡＣ１００
Ｖの入力端子３１Ａ、３１Ｂと、ＡＣ２００Ｖの入力端
子３１Ｃ，３１Ｄを備える。 したかって、トランスボックス２０は、トランス回路２
３により、ＡＣ２２０Ｖの電源１０からＡＣｌｏｏＶ及
びＡＣ２００Ｖを得、それぞれをＡＣ１００Ｖ端子２４
Ａ、２４Ｂ及びＡＣ２００Ｖ端子２４Ｃ，２４Ｄに導出
する。 そして、トランスボックス２０内においては、外部電源
１０とトランス回路２３内のトランス２３Ｔの１次巻線
との間に、直列に２個のプレー力２１及び２２が設けら
れる。これらブレーカ２１及び２２は、テストリードＴ
Ｌ付のものが用いられている。 この例の場合、ブレーカ２２は、第２図に示すようにト
ランスボックス２０の操作パネル４１に取り付けられて
、その復帰レバー２２ＮＣが外部に露呈するようにされ
ている。したがって、このブレーカ２２の復帰レバー２
２ＮＣは、操作者が直接的に操作することが可能で、こ
のレバー２２ＮＣを操作することによって、電源供給と
電源遮断動作をマニュアルで行うことができる。 一方、ブレーカ２１は、第２図に示すようにトランスボ
ックス２０の内部に収納され、その復帰レバー２１ＮＣ
は、外部から直接的には操作不能とされている。そして
、トランスボックス２０は、鍵４２により通常は扉が施
錠されて、その内部が開けられないようにされている。 したがって、ブレーカ２１の復帰レバーを操作する場合
には、鍵４２により扉のロックを解鍵して、扉を開ける
必要がある。しかし、このブレーカ２１の復帰レバー２
１ＮＣの状態をトランスボックス２０の外から見ること
ができるように、トランスボックス２０には、第２図に
示すように、覗き窓４３が設けられている。 また、外部電源１０とブレーカ２１との間の２線Ｓ、Ｔ
は、ヒユーズ２５を介して直流電源２６に接続され、こ
の直流電源２６の一端及び他端間に、ヒユーズ２７−リ
レー２８−非常停止スイッチ２９の直列回路が接続され
ている。非常停止スイッチ２９は、半導体製造装置３０
に設けられている。そして、リレー２８に連動してブレ
ーカ２１及び２２が働くようにされている。 以上のような構成において、非常停止スイッチ２つが押
されると、リレー２８の電源が切れる。 すると、ブレーカ２１及び２２のテストリードＴＬがシ
ョートして、ブレーカ２１及び２２は共にブレイクし、
外部電源１０からトランス回路２３への電源供給路が遮
断され、半導体製造装置３０への電源の供給か停止され
て、半導体製造装置は動作を停止する。 この場合、ブレーカ２１及び２２は、直列に接続されて
いるから、半導体製造装置３０への電源供給を復帰させ
るには、ブレーカ２１及び２２の復帰レバー２１ＮＣ及
び２２ＮＣを、共に操作しなければならない。したがっ
て、１個のブレーカを操作したたけては電源復帰動作が
できないので、不用意な復帰を防止することかできる。 しかも、この例の場合には、一方のブレーカを特定の操
作をしなければ操作できないように構成している。すな
わち、この例においては、ブレーカ２１はトランスボッ
クス２０内にあり、復帰レバー２１ＮＣはトランスボッ
クス外部から直接操作できず、トランスボックスの扉を
開けて内部のブレーカ２１の復帰レバー２１ＮＣを操作
するようにしなければならない。 そして、復帰操作に当たっては、操作者は、ブレーカ２
２の復帰レバーを操作してブレーカをメイク状態に戻す
と共に、鍵４２によりトランスボックス２０の扉を開け
、ブレーカ２１の復帰レバーを操作して、ブレーカ２１
をメイク状態に復帰させる。 したかって、外部に露呈するブレーカ２２の復帰レバー
２２ＮＣを操作しただけでは電源の復帰はできす、この
復帰レバー２２による不用意な復帰を防ぐことができる
。 なお、以上の例では、トランス回路２３の１次側に２個
のブレーカを共に設けた場合であるか、ブレーカ２２は
トランス回路２３の２次側に設けても良い。 また、以上の例ではブレーカ２１は鍵付のトランスホッ
クス内に設けたが、鍵は掛けなくとも良い。また、ブレ
ーカ２１は、ボックス内に設けず、他の特別の操作をし
なければ復帰レバーの操作をできないようにしても良い
。 また、この発明は上記の例に限らず、トランスボックス
を介して負荷装置の電源回路に電源を供給する場合のす
べてに適用可能である。
以上説明したように、この発明によれば、電源遮断回路
として複数のブレーカを直列に接続したので、その内の
１個のブレーカの復帰レバーを操作しても、電源復帰動
作は行われず、不用意な復帰動作を防止することかでき
る。 しかも、複数のブレーカのうちの１つを特別の操作をし
なければ復帰レバーを操作できないようにしておくこと
により、より確実に不用意な復帰操作を防止することが
できる。 そして、この発明においては、機械的な構成を必要とし
ないので、構成か簡単になると共に、従来の装置のよう
に操作者が危険な状態になるようなこともない。
として複数のブレーカを直列に接続したので、その内の
１個のブレーカの復帰レバーを操作しても、電源復帰動
作は行われず、不用意な復帰動作を防止することかでき
る。 しかも、複数のブレーカのうちの１つを特別の操作をし
なければ復帰レバーを操作できないようにしておくこと
により、より確実に不用意な復帰操作を防止することが
できる。 そして、この発明においては、機械的な構成を必要とし
ないので、構成か簡単になると共に、従来の装置のよう
に操作者が危険な状態になるようなこともない。
第１図は、この発明による電源供給装置の一実施例の回
路図、第２図はその要部の一例を示す図である。 １０；外部電源 ２０；トランスボックス ２１．２２；ブレーカ ２１ＮＣ，２２ＮＣ，復帰レバー ２３；トランス回路 ２９；非常停止スイッチ
路図、第２図はその要部の一例を示す図である。 １０；外部電源 ２０；トランスボックス ２１．２２；ブレーカ ２１ＮＣ，２２ＮＣ，復帰レバー ２３；トランス回路 ２９；非常停止スイッチ
Claims (2)
- （１）外部電源から負荷装置の電源電圧を作成するため
のトランスを備えると共に、前記負荷装置における非常
停止操作によって前記負荷装置への電源供給を遮断する
電源遮断手段を備える電源供給装置において、 前記電源遮断手段として、直列に接続した複数のブレー
カを設け、電源供給の復帰は各ブレーカをそれぞれ復帰
させて前記全ブレーカを復帰させたとき復帰させること
により行うようにしたことを特徴とする電源供給装置。 - （２）前記複数のブレーカの内の１つのブレーカの復帰
レバーは、特定の操作後でなければ操作できないように
されていることを特徴とする請求項（１）記載の電源供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2109719A JPH048113A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 電源供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2109719A JPH048113A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 電源供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048113A true JPH048113A (ja) | 1992-01-13 |
Family
ID=14517492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2109719A Pending JPH048113A (ja) | 1990-04-25 | 1990-04-25 | 電源供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048113A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6566770B1 (en) * | 1999-06-15 | 2003-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method |
| US10607872B2 (en) | 2016-09-09 | 2020-03-31 | Daifuku Co., Ltd. | Container storage facility |
-
1990
- 1990-04-25 JP JP2109719A patent/JPH048113A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6566770B1 (en) * | 1999-06-15 | 2003-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method |
| US10607872B2 (en) | 2016-09-09 | 2020-03-31 | Daifuku Co., Ltd. | Container storage facility |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5357394A (en) | Circuit breaker with selective locking | |
| US7928330B2 (en) | Safety switch | |
| US20020145838A1 (en) | Ground fault circuit interrupter (GFCI) with a secondary test switch contact protection | |
| JP3064940B2 (ja) | ロボットの安全装置 | |
| US7340311B2 (en) | Electrical panel access and control apparatus including true emergency stop and power buss lockout | |
| US9338904B2 (en) | Motor control center units including auxiliary power interlock circuits and methods of operating same | |
| JPH0654437A (ja) | 差電流保護開閉器 | |
| JPH048113A (ja) | 電源供給装置 | |
| JP2001060429A (ja) | 回路しゃ断器 | |
| JP3028759B2 (ja) | 回路しゃ断器の外部操作ハンドル装置 | |
| JPH10134693A (ja) | 回路しゃ断器の外部操作ハンドル装置 | |
| CN107919255B (zh) | 差动电开关装置 | |
| JPS5838757B2 (ja) | 原子炉遠隔停止制御装置 | |
| JPH09205721A (ja) | 緊急電源切断用サーキットブレーカ | |
| JP2011061892A (ja) | 負荷制御装置 | |
| JP4487673B2 (ja) | 漏電遮断器 | |
| JPS6230414Y2 (ja) | ||
| JPH04189270A (ja) | エレベーターのサービス階切放し手段 | |
| JPS5934217Y2 (ja) | 選択制御回路 | |
| JPS6314799B2 (ja) | ||
| US3358250A (en) | Lockout arrangement for an electric circuit breaker | |
| JP2000139004A (ja) | 高圧受電設備 | |
| JPH0236174Y2 (ja) | ||
| US2884570A (en) | Electric control circuit | |
| JP2563101Y2 (ja) | 電動機制御装置 |