JPH0479308B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0479308B2 JPH0479308B2 JP60112029A JP11202985A JPH0479308B2 JP H0479308 B2 JPH0479308 B2 JP H0479308B2 JP 60112029 A JP60112029 A JP 60112029A JP 11202985 A JP11202985 A JP 11202985A JP H0479308 B2 JPH0479308 B2 JP H0479308B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible film
- heating element
- wiring layer
- film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 19
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、感熱式プリンタに使用される凸形
サーマルヘツドの製造方法に関する。
サーマルヘツドの製造方法に関する。
(従来の技術)
従来、抵抗層の成膜方法に無電解めつきを用い
た凸形サーマルヘツドの製造方法として、可撓性
フイルム上にサーマルヘツドを形成し、それを凸
状保持体に貼り付けて凸形サーマルヘツドを作製
する方法がある。
た凸形サーマルヘツドの製造方法として、可撓性
フイルム上にサーマルヘツドを形成し、それを凸
状保持体に貼り付けて凸形サーマルヘツドを作製
する方法がある。
(発明が解決しようとする問題点)
しかるに、このような方法では、可撓性フイル
ム上にあらかじめ抵抗層、配線層および保護膜を
形成した後、そのフイルムを変形させるため、抵
抗層の一部からなる発熱体およびその上の保護
膜、あるいは発熱体となる部分以外の抵抗層、配
線層にマイクロクラツクなどを生じやすく、信頼
性を損ねる原因となつている。
ム上にあらかじめ抵抗層、配線層および保護膜を
形成した後、そのフイルムを変形させるため、抵
抗層の一部からなる発熱体およびその上の保護
膜、あるいは発熱体となる部分以外の抵抗層、配
線層にマイクロクラツクなどを生じやすく、信頼
性を損ねる原因となつている。
(問題点を解決するための手段)
そこで、この発明では、可撓性フイルム上に
Pdを披着した後、当該可撓性フイルム上のPdを
抵抗層及び配線層を形成すべきパターン部以外レ
ジストでカバーし、その後、前記可撓性フイルム
を一端面に曲面部を有する板状の保持体に、前記
可撓性フイルム上の発熱体を形成すべき部分が前
記保持体の曲面部上に位置するようにして貼り付
け、その貼り付けられた前記可撓性フイルム上の
パターン部の露出Pd上に無電解めつきにより抵
抗層を形成し、さらにその抵抗層上に発熱体とな
る部分を除いて配線層を形成し、さらに発熱体と
なる部分には保護膜を形成する。
Pdを披着した後、当該可撓性フイルム上のPdを
抵抗層及び配線層を形成すべきパターン部以外レ
ジストでカバーし、その後、前記可撓性フイルム
を一端面に曲面部を有する板状の保持体に、前記
可撓性フイルム上の発熱体を形成すべき部分が前
記保持体の曲面部上に位置するようにして貼り付
け、その貼り付けられた前記可撓性フイルム上の
パターン部の露出Pd上に無電解めつきにより抵
抗層を形成し、さらにその抵抗層上に発熱体とな
る部分を除いて配線層を形成し、さらに発熱体と
なる部分には保護膜を形成する。
(作用)
このような方法によれば、可撓性フイルムを保
持体に貼り付けた後(変形させた後)、抵抗層、
配線層および保護膜の形成を行うので、発熱体、
保護膜、発熱体となる部分以外の抵抗層、および
配線層にマイクロクラツクが生じることはない。
また、板状の保持体の端面曲面部上に発熱体部分
が位置し、感熱紙と発熱体部の密着性が良くなる
ので、印字品質、電力効率の良いサーマルヘツド
となる。
持体に貼り付けた後(変形させた後)、抵抗層、
配線層および保護膜の形成を行うので、発熱体、
保護膜、発熱体となる部分以外の抵抗層、および
配線層にマイクロクラツクが生じることはない。
また、板状の保持体の端面曲面部上に発熱体部分
が位置し、感熱紙と発熱体部の密着性が良くなる
ので、印字品質、電力効率の良いサーマルヘツド
となる。
(実施例)
以下この発明の一実施例を第1図を参照して説
明する。
明する。
まず、第1図aに示す可撓性フイルム1上にめ
つき析出に充分な量のPdを被着する。次に、こ
の可撓性フイルム1に対してホトリソグラフイを
行い、パターン部(抵抗層および配線層を形成す
べき部分)以外のPd上をレジストでカバーする。
つき析出に充分な量のPdを被着する。次に、こ
の可撓性フイルム1に対してホトリソグラフイを
行い、パターン部(抵抗層および配線層を形成す
べき部分)以外のPd上をレジストでカバーする。
しかる後、可撓性フイルム1を弟1図bで示す
ように一端面に曲面部を有する板状の保持体2
に、可撓性フイルム1上の発熱体を形成すべき部
分が該曲面部上に位置するようにして接着剤を用
いて貼り付ける。
ように一端面に曲面部を有する板状の保持体2
に、可撓性フイルム1上の発熱体を形成すべき部
分が該曲面部上に位置するようにして接着剤を用
いて貼り付ける。
その後、無電解めつきを施す。すると、可撓性
フイルム1上のPdの露出した部分つまりパター
ン部にめつき析出が生じて、そこに第1図cに示
すように抵抗層3が形成される。
フイルム1上のPdの露出した部分つまりパター
ン部にめつき析出が生じて、そこに第1図cに示
すように抵抗層3が形成される。
しかる後、前記抵抗層3の選択形成に用いたレ
ジストを除去した後、再度、Pdのパターン部以
外および抵抗層3の発熱体となる部分を覆うよう
に印刷あるいはめつきテープのはりつけ等により
めつきレジストパターンを形成する。そして、そ
の上で、電気めつきを施すことにより、前記第1
図cに示すように、抵抗層3上に発熱体となる部
分を除いて配線層4を形成する。
ジストを除去した後、再度、Pdのパターン部以
外および抵抗層3の発熱体となる部分を覆うよう
に印刷あるいはめつきテープのはりつけ等により
めつきレジストパターンを形成する。そして、そ
の上で、電気めつきを施すことにより、前記第1
図cに示すように、抵抗層3上に発熱体となる部
分を除いて配線層4を形成する。
しかる後、レジストを除去する。その後、前記
レジスト除去により露出した抵抗層3の発熱体と
なる部分上に、弟1図dに示すように保護膜5を
スパツタなどにより形成する。この時、例えばマ
スク治具を用いることにより、保護膜5が抵抗層
3の発熱体となる部分のみに選択的に形成される
ようにする。以上で凸形サーマルヘツドが完成す
る。
レジスト除去により露出した抵抗層3の発熱体と
なる部分上に、弟1図dに示すように保護膜5を
スパツタなどにより形成する。この時、例えばマ
スク治具を用いることにより、保護膜5が抵抗層
3の発熱体となる部分のみに選択的に形成される
ようにする。以上で凸形サーマルヘツドが完成す
る。
このような一実施例における各材料の具体例を
以下に記す。
以下に記す。
可撓性フイルム:東レ製カプトンフイルム(商
品名)厚さ75μm 接着剤:エポキシ系接着剤 抵抗層:無電解Ni−P皮膜0.3μm 配線層:電気めつき皮膜(Ni:2μm、Cu:5μ
m、Au:0.3μm) 保護膜:SiC10μm これより明らかなように、上記一実施例では、
可撓性フイルム1としてカプトンフイルムを用
い、これにPdを被着するが、予めPdを被着した
可撓性フイルム(例えば東レアデイテイブ用カプ
トンフイルム)を用いることもできる。また、可
撓性フイルム1の材質もポリイミドの他、ポリプ
ロピレン、ポリエチレン、ポリエステルなどを使
用可能であり、Pd付与方法も、スパツタや蒸着
による方法の他、シエーリング社製アクチベータ
ネオガントプロセスなどの湿式のPd付与による
ことも可能である。また、抵抗層3の材料に関し
てもNi−Pの他、Ni−B、Ni−W−Pなどの他
の無電解めつき被膜に置き換えることができる。
さらに、接着剤、配線層4、保護膜5に関しても
材料は限定されず、保持体2も金属の他、ガラ
ス、セラミクス、樹脂製などを用いることができ
る。また、配線層4および保護膜5の形成方法も
他の方法とすることができる。
品名)厚さ75μm 接着剤:エポキシ系接着剤 抵抗層:無電解Ni−P皮膜0.3μm 配線層:電気めつき皮膜(Ni:2μm、Cu:5μ
m、Au:0.3μm) 保護膜:SiC10μm これより明らかなように、上記一実施例では、
可撓性フイルム1としてカプトンフイルムを用
い、これにPdを被着するが、予めPdを被着した
可撓性フイルム(例えば東レアデイテイブ用カプ
トンフイルム)を用いることもできる。また、可
撓性フイルム1の材質もポリイミドの他、ポリプ
ロピレン、ポリエチレン、ポリエステルなどを使
用可能であり、Pd付与方法も、スパツタや蒸着
による方法の他、シエーリング社製アクチベータ
ネオガントプロセスなどの湿式のPd付与による
ことも可能である。また、抵抗層3の材料に関し
てもNi−Pの他、Ni−B、Ni−W−Pなどの他
の無電解めつき被膜に置き換えることができる。
さらに、接着剤、配線層4、保護膜5に関しても
材料は限定されず、保持体2も金属の他、ガラ
ス、セラミクス、樹脂製などを用いることができ
る。また、配線層4および保護膜5の形成方法も
他の方法とすることができる。
(発明の効果)
以上のように、この発明の方法では、可撓性フ
イルムを保持体に貼り付けた後(変形させた後)、
抵抗層、配線層および保護膜の形成を行つたの
で、発熱体、保護膜、発熱体となる部分以外の抵
抗層、および配線層に変形によるマイクロクラツ
クが生じることはない。したがつて、感熱紙との
密着性に優れた凸形サーマルヘツドを信頼性高く
作ることができる。しかも、そのように信頼性の
高い凸形サーマルヘツドを生産性良く製造するこ
とができる。
イルムを保持体に貼り付けた後(変形させた後)、
抵抗層、配線層および保護膜の形成を行つたの
で、発熱体、保護膜、発熱体となる部分以外の抵
抗層、および配線層に変形によるマイクロクラツ
クが生じることはない。したがつて、感熱紙との
密着性に優れた凸形サーマルヘツドを信頼性高く
作ることができる。しかも、そのように信頼性の
高い凸形サーマルヘツドを生産性良く製造するこ
とができる。
(図面)、第1図はこの発明の凸形サーマルヘ
ツドの製造方法の一実施例を工程順に示す断面図
である。 1……可撓性フイルム、2……保持体、3……
抵抗層、4……配線層、5……保護膜。
ツドの製造方法の一実施例を工程順に示す断面図
である。 1……可撓性フイルム、2……保持体、3……
抵抗層、4……配線層、5……保護膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (a) 可撓性フイルム上にPdを披着した後、
当該可撓性フイルム上のPdを抵抗層及び配線層
を形成すべきパターン部以外レジストでカバーす
る工程と、 (b) その後、前記可撓性フイルムを一端面に曲面
部を有する板状の保持体に、前記可撓性フイルム
上の発熱体を形成すべき部分が前記保持体の曲面
部上に位置するようにして貼り付ける工程と、 (c) その貼り付けられた前記可撓性フイルム上の
パターン部の露出Pd上に無電解めつきにより抵
抗層を形成する工程と、 (d) 前記抵抗層上に発熱体となる部分を除いて配
線層を形成し、さらに発熱体となる部分には保護
膜を形成する工程とを具備してなる凸形サーマル
ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60112029A JPS61270166A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 凸形サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60112029A JPS61270166A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 凸形サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61270166A JPS61270166A (ja) | 1986-11-29 |
JPH0479308B2 true JPH0479308B2 (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=14576214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60112029A Granted JPS61270166A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 凸形サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61270166A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268769A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 曲面型サ−マルヘツドおよびその製造方法 |
JPH0611796Y2 (ja) * | 1988-02-08 | 1994-03-30 | カシオ計算機株式会社 | 転写ヘッド |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5772874A (en) * | 1980-10-24 | 1982-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Thermal head and preparation thereof |
JPS57185173A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | Thermal head |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP60112029A patent/JPS61270166A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5772874A (en) * | 1980-10-24 | 1982-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Thermal head and preparation thereof |
JPS57185173A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | Thermal head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61270166A (ja) | 1986-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4847630A (en) | Integrated thermal ink jet printhead and method of manufacture | |
JPH02258166A (ja) | はんだシートおよびその製造方法 | |
JP2004225126A (ja) | 成膜用マスクとその製造方法 | |
JP2642663B2 (ja) | めっき型熱電対 | |
JPH0479308B2 (ja) | ||
JPH0479309B2 (ja) | ||
JPS5816592A (ja) | 印刷回路板、金属張り積層板中間製品及びそれらの製造方法 | |
JPS633963A (ja) | インクジエツトノズルの製造方法 | |
JPH0512043Y2 (ja) | ||
JPH0264543A (ja) | 曲面へのパターン形成方法 | |
JPH11112129A (ja) | 回路パターン形成方法、回路パターン形成シートおよび中間積層体 | |
JPS6258667A (ja) | リ−ドキヤリアフイルム | |
JPS61295057A (ja) | サ−マルヘツドおよびその製造方法 | |
JPS6242858A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPH04189549A (ja) | 圧電素子の貼着方法 | |
JPS61248753A (ja) | 板状部材 | |
JP2987390B2 (ja) | スクリーンマスクの製造方法 | |
JPH0263750A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
JPH08293662A (ja) | 導体パターン形成方法 | |
JPS58137290A (ja) | プリント回路の製造方法 | |
JPH0331596B2 (ja) | ||
JPH0464866B2 (ja) | ||
JPS6374660A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPS62270347A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
JPS61121963A (ja) | サ−マルヘツド |