JPH0479199A - シンクロトン放射光用電子蓄積リング - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、シンクロトロン放射光用電子蓄積リングに
関し、さらに詳しくいうと、リングラフィ等に用いられ
るシンクロトロン放射光を発生させるための電子蓄積リ
ングに関するものである。

〔従来の技術〕

第４図は、例えば特開平１−１２０７９９号公報に記載
されたものと同種の従来のシンクロトロン放射光用電子
蓄積リングを示し、図において、（１）は入射部、（２
〉は加速部、（３）は長円形の閉軌道を形成し、内部を
荷電粒子が周回する管状の真空容器、（４）は偏向電磁
石装置、（５）は荷電粒子の軌道、（６）はビームボー
ト、（７）は放射光利用装置、矢印り８）はシンクロト
ロン放射光である。

以上の構成により、入射部〈１〉において発生、初期加
速された荷電粒子は、加速部＜２）において所定のエネ
ルギーよ、で加速された後、真空容器（３）に入射され
る。この荷電粒子は、互いに対向する２個の偏向電磁石
装置（４）により図のような長円形の軌道＜５）上を周
回運動する。

軌道（５）上を運動する荷電粒子は、偏向電磁石装置（
４）により軌道を曲げられる際、接線方向にシンクロト
ロン放射光（８）を発生する。このシンクロトロン放射
光は、ビー１１、ムボートク６）を経て放射光利用装置
（４）に導かれ、リソグラフィ等に利用される。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上のような従来のシンクロトロン放射光用電子蓄積リ
ングでは、真空容器の長円軌道面が水平になっているた
め、放射光利用装置まで含めて、占有面積が大きくなる
という問題点があった。

この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、占有面積を小さくすることができるシンクロトロン
放射光用電子蓄積リングを得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るシンクロトロン放射光用電子蓄積リング
は、長円形の荷電粒子軌道を含む平面が水平面に対して
垂直になっている９ 〔作　用〕 この発明においては、占有面積は、′Ｒ電粉粒子軌道を
含む平面が水平面に対して垂直になっているので、放射
光利用装置も含めて縮小される。

〔実施例〕

却下、この発明の一実施例を第１図について説明する。

図において、真空容器（３）内に形成される荷電粒子軌
道（５）を含む平面は、水平面（Ｘｙ面）に対して垂直
（Ｚ方向）になるように、真空容器（３）が配置されて
いる。また、加速部（２）に対して複数個の真空容器（
３）が設置されている。

その他、第４図におけると同一符号は同一部分を示して
いる。

以上のＭ成により、入射部（１）、加速部（２）を経て
複数の真空容器（３）に入射された荷電粒子は、互いに
鉛直方向に対向するそれぞれ２個の偏向電磁石装置（４
）により偏向され、図のように、鉛直方向に長い長円形
の軌道り５）上を周回運動する。

荷電粒子が軌道を曲げる際に接線方向、主に上下方向に
放射されるシンクロトロン放射光（８）は、ビームボー
ト（６）を経て、真空容器（３）の上下に多数配置され
た放射光利用装置（７ンに導かれ、リソグラフィ等に利
用されれる。

なお、上記実施例では、電子蓄積リングの軌道を鉛直方
向に長い長円形としたが、第２図のように、水平方向に
長い長円形の軌道（５）としてもよい。また、第３図に
示すように、電子蓄積リングの軌道だけでなく、入射部
（１）および加速部（２）をも鉛直方向に立ててもよい
。いずれの場合においても、装置の占有面積を小さくす
ることかてきる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、長円形の軌道の面を
鉛直としたので、占有面積を著しく縮小することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図、第３図
はそれぞれ他の実施例の斜視図、第４図は従来のシンク
ロトロン放射光用電子蓄積リングの平面図である。 （２）・・加速部、（３）・・真空容器、（４）偏向電
磁石装置、（５）　　　・荷電粒子の軌道、（８）シン
クロトロン放射光。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 昂１図 ８・−シンクロ）・ロン戟射光 兜２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 長円形の閉軌道を含む平面が鉛直をなし内部を前記閉軌
   道に沿つて加速部からの荷電粒子が周回する管状の真空
   容器と、前記閉軌道の円形部分に互いに対向して配置さ
   れた２個の偏向電磁石装置とを備えてなるシンクロトロ
   ン放射光用電子蓄積リング。