JPH047889Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH047889Y2 JPH047889Y2 JP1985180488U JP18048885U JPH047889Y2 JP H047889 Y2 JPH047889 Y2 JP H047889Y2 JP 1985180488 U JP1985180488 U JP 1985180488U JP 18048885 U JP18048885 U JP 18048885U JP H047889 Y2 JPH047889 Y2 JP H047889Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixing
- polishing
- polished
- materials
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
〔産業上の利用分野〕
本考案はガラスや金属、特にシリコンやゲルマ
ニウム等の半導体ウエハー等を研磨するのに好適
な研磨固定用材に関する。 〔従来の技術とその問題点〕 従来の研磨固定用材は例えば第２図のようにガ
ラスクロス、ガラスマツト、フエルト等にエポキ
シ樹脂を含浸させたガラスエポキシ樹脂等からな
る固定板１２の略中央部を凹部とし、該凹部へウ
レタン繊維から成形されたマツト等からなる起毛
固定材１３を接着したものが知られており、該凹
部の起毛固定材１３の上に半導体ウエハー等の被
研磨材１１を嵌め込み、該被研磨材１１の上面Ａ
を研磨するというものであつた。 しかしながら、近年は被研磨材の大きさ、形状
が多様化し、このような固定板に凹部を設けたも
のでは研磨固定用材もそれに応じて用意しなけれ
ばならず非常に不経済であつた。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案は上記問題点を解消し種々の大きさ、形
状に対応のできる研磨固定用材を提供するもので
あり、多孔質のフツ素樹脂シートと補強材とがそ
れぞれ少なくとも一枚ずつ積層されて成る研磨固
定用材であつて、且つ固定面の摩擦係数が0.1以
上であることを特徴とするものである。 本考案におけるフツ素樹脂シートとしては、研
磨液等が浸透したり研磨液等に侵されたりしない
ように撥水性が高く、耐薬品性の良好なポリテト
ラフルオロエチレン（以下、PTFEという）、テ
トラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン
共重合体、ポリフツ化ビニリデン等から成るシー
トを用いることができるが、その中でも特に撥水
性、耐薬品性に優れたPTFE製のシートを用いる
のが最も好ましい。このフツ素樹脂シートは通
常、厚さ30〜200μm、気孔率50〜90％、通気度
0.01c.c.／cm2・sec（JIS L1096に準じて測定）以上
のものが用いられる。また、このフツ素樹脂に充
填剤を添加して成形することもできる。 さらに、フツ素樹脂シートは延伸、発泡等によ
り微細孔の形成された多孔質体で通気性を有する
ので、研磨中に被研磨材のある面の逆側から吸気
することにより被研磨材を確実に固定しておくこ
とができる、弾力性が向上する等の効果がある。 また、補強材としてはポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリエステルあるいはポリアミド等の耐
薬品性、耐久性の良好な材料よりなる編布（ニツ
ト）、織布、不織布、メツシユ、シート等が用い
られ、通常は編布、織布では140〜1200デニール、
不織布では３〜1200デニール、メツシユでは10〜
150メツシユの凸凹を有するものが用いられる。
そして、シートの場合は上記の織布、不織布等と
同程度の凸凹を有するものが好ましく、より好ま
しくは通気性を有するように加工されたものであ
る。 本考案では、上記フツ素樹脂シートと補強材と
は接着、融着等により積層される。多孔質のフツ
素樹脂シートを用いるので、部分的に接着または
融着しておけば、通気性が喪失しないのでより好
ましい。 そして、凸凹面を有する金型等へ追従させてラ
ミネートする方法、フツ素樹脂シートと収縮性を
有する補強材を点状、筋状、格子状等に部分接着
した後、補強材を収縮させる方法等によりフツ素
樹脂シートの表面を凸凹にしておけば研磨後、被
研磨材を研磨固定用材から取り外す時、固定面に
水を流せば凸凹部分に水が入り込む等して被研磨
材を容易に、しかも一度に何枚も取り外すことが
できる。さらに表面が凸凹であれば研磨固定用材
が弾力性を有するので被研磨材を容易に均一な厚
さに研磨することができる。 ここで、凸凹とは例えば第５〜７図のような形
状であり、具体的には格子状の凸凹の場合では１
cm2当たり25〜250個程度の凹部または凸部がある
状態、筋状の凸凹の場合は１cm当たり５〜15本程
度の筋がある状態をいう。 本考案では被研磨材を固定する固定面の摩擦係
数（動摩擦係数をいう）が0.1以上、好ましくは
0.2以上であればよい。それより小さければ研磨
するときに被研磨材が動きやすくなるので好まし
くない。 また、被研磨材としては、ガラス、金属、半導
体等種々のものが考えられるが、半導体ウエハー
のように両面が共に平坦なものが特に好適であ
る。 以下、図面により本考案の実例を説明する。
ニウム等の半導体ウエハー等を研磨するのに好適
な研磨固定用材に関する。 〔従来の技術とその問題点〕 従来の研磨固定用材は例えば第２図のようにガ
ラスクロス、ガラスマツト、フエルト等にエポキ
シ樹脂を含浸させたガラスエポキシ樹脂等からな
る固定板１２の略中央部を凹部とし、該凹部へウ
レタン繊維から成形されたマツト等からなる起毛
固定材１３を接着したものが知られており、該凹
部の起毛固定材１３の上に半導体ウエハー等の被
研磨材１１を嵌め込み、該被研磨材１１の上面Ａ
を研磨するというものであつた。 しかしながら、近年は被研磨材の大きさ、形状
が多様化し、このような固定板に凹部を設けたも
のでは研磨固定用材もそれに応じて用意しなけれ
ばならず非常に不経済であつた。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案は上記問題点を解消し種々の大きさ、形
状に対応のできる研磨固定用材を提供するもので
あり、多孔質のフツ素樹脂シートと補強材とがそ
れぞれ少なくとも一枚ずつ積層されて成る研磨固
定用材であつて、且つ固定面の摩擦係数が0.1以
上であることを特徴とするものである。 本考案におけるフツ素樹脂シートとしては、研
磨液等が浸透したり研磨液等に侵されたりしない
ように撥水性が高く、耐薬品性の良好なポリテト
ラフルオロエチレン（以下、PTFEという）、テ
トラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン
共重合体、ポリフツ化ビニリデン等から成るシー
トを用いることができるが、その中でも特に撥水
性、耐薬品性に優れたPTFE製のシートを用いる
のが最も好ましい。このフツ素樹脂シートは通
常、厚さ30〜200μm、気孔率50〜90％、通気度
0.01c.c.／cm2・sec（JIS L1096に準じて測定）以上
のものが用いられる。また、このフツ素樹脂に充
填剤を添加して成形することもできる。 さらに、フツ素樹脂シートは延伸、発泡等によ
り微細孔の形成された多孔質体で通気性を有する
ので、研磨中に被研磨材のある面の逆側から吸気
することにより被研磨材を確実に固定しておくこ
とができる、弾力性が向上する等の効果がある。 また、補強材としてはポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリエステルあるいはポリアミド等の耐
薬品性、耐久性の良好な材料よりなる編布（ニツ
ト）、織布、不織布、メツシユ、シート等が用い
られ、通常は編布、織布では140〜1200デニール、
不織布では３〜1200デニール、メツシユでは10〜
150メツシユの凸凹を有するものが用いられる。
そして、シートの場合は上記の織布、不織布等と
同程度の凸凹を有するものが好ましく、より好ま
しくは通気性を有するように加工されたものであ
る。 本考案では、上記フツ素樹脂シートと補強材と
は接着、融着等により積層される。多孔質のフツ
素樹脂シートを用いるので、部分的に接着または
融着しておけば、通気性が喪失しないのでより好
ましい。 そして、凸凹面を有する金型等へ追従させてラ
ミネートする方法、フツ素樹脂シートと収縮性を
有する補強材を点状、筋状、格子状等に部分接着
した後、補強材を収縮させる方法等によりフツ素
樹脂シートの表面を凸凹にしておけば研磨後、被
研磨材を研磨固定用材から取り外す時、固定面に
水を流せば凸凹部分に水が入り込む等して被研磨
材を容易に、しかも一度に何枚も取り外すことが
できる。さらに表面が凸凹であれば研磨固定用材
が弾力性を有するので被研磨材を容易に均一な厚
さに研磨することができる。 ここで、凸凹とは例えば第５〜７図のような形
状であり、具体的には格子状の凸凹の場合では１
cm2当たり25〜250個程度の凹部または凸部がある
状態、筋状の凸凹の場合は１cm当たり５〜15本程
度の筋がある状態をいう。 本考案では被研磨材を固定する固定面の摩擦係
数（動摩擦係数をいう）が0.1以上、好ましくは
0.2以上であればよい。それより小さければ研磨
するときに被研磨材が動きやすくなるので好まし
くない。 また、被研磨材としては、ガラス、金属、半導
体等種々のものが考えられるが、半導体ウエハー
のように両面が共に平坦なものが特に好適であ
る。 以下、図面により本考案の実例を説明する。
【表】
【表】
本考案の研磨固定用材は上記のように多孔質の
フツ素樹脂シートを用いているので撥水性、耐薬
品性、弾力性等が良好であり、しかも固定面の摩
擦係数が0.1以上であるので凹部を設けなくとも
研磨をすることができ、種々の大きさ、形状の被
研磨材に対応できるので非常に経済的である。
フツ素樹脂シートを用いているので撥水性、耐薬
品性、弾力性等が良好であり、しかも固定面の摩
擦係数が0.1以上であるので凹部を設けなくとも
研磨をすることができ、種々の大きさ、形状の被
研磨材に対応できるので非常に経済的である。
第１図、第３図および第４図は本考案の研磨固
定用材に被研磨材を取りつけた実例を示す断面
図、第２図は従来の研磨固定用材に被研磨材を取
りつけた状態を示す断面図である。第５〜７図は
本考案の研磨固定用材の一部を拡大した断面図で
ある。 １……被研磨材、２……フツ素樹脂シート、３
……補強材、４……固定面。
定用材に被研磨材を取りつけた実例を示す断面
図、第２図は従来の研磨固定用材に被研磨材を取
りつけた状態を示す断面図である。第５〜７図は
本考案の研磨固定用材の一部を拡大した断面図で
ある。 １……被研磨材、２……フツ素樹脂シート、３
……補強材、４……固定面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 多孔質のフツ素樹脂シートと補強材とがそれ
ぞれ少なくとも一枚ずつ積層されて成る研磨固
定用材であつて、且つ固定面の摩擦係数が0.1
以上である研磨固定用材。 (2) 固定面が凸凹である実用新案登録請求の範囲
第１項記載の研磨固定用材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985180488U JPH047889Y2 (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985180488U JPH047889Y2 (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288557U JPS6288557U (ja) | 1987-06-06 |
| JPH047889Y2 true JPH047889Y2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31124494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985180488U Expired JPH047889Y2 (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047889Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11356921B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-06-07 | Star Mesh LLC | Radio system using nodes with high gain antennas |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08258198A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用多孔質シート |
| JP2002154051A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Daikin Ind Ltd | 研磨パッド |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56142952U (ja) * | 1980-03-26 | 1981-10-28 | ||
| JPS59219153A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | Citizen Watch Co Ltd | 磁気ヘツドの精密研磨加工法 |
-
1985
- 1985-11-22 JP JP1985180488U patent/JPH047889Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11356921B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-06-07 | Star Mesh LLC | Radio system using nodes with high gain antennas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6288557U (ja) | 1987-06-06 |
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