JPH0478469A - 塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は液晶デイスプレィ（ＬＣＤ）の製造工程等に用
いる塗布方法に関する。

（従来の技術） ブラウン管（ＣＲＴ）に代わる表示装置として液晶デイ
スプレィが注目されている。

液晶デイスプレィは表面に画素を構成する電極や素子を
形成した２枚のガラス基板の間に液晶を注入した構造と
なっている。そして各画素を薄膜トランジスタ（ＴＰＴ
）や金属／絶縁体／金属接合（Ｍ　Ｉ　Ｍ）などの素子
で駆動せしめるアクティブマトリクス方式が高画質の画
面が得られるため主流になりつつある。

ぞして、上記の薄膜トランジスタをガラス基板上に形成
する技術はシリコンウェハ等に集積回路を形成する半導
体製造技術をそのまま応用している。レジスト液の塗布
も一連の工程のうちの一つであり、この工程ではカップ
内にガラス基板をセットして、ガラス基板上にレジスト
液を滴下し、次いでカップを回転せしめ遠心力によって
ガラス基板表面にレジスト液を均一に塗布するようにし
ている。

（発明が解決しようとする課題） 上述したレジスト液の塗布において、カップを回転せし
める際にはカップ上面を蓋体によって閉塞しレジスト液
のカップ外への飛散を防止した状態で行なっている。ま
たカップの下部側壁にはドレインバイブを取り付け、回
転中にカップ側壁に（′１着したレジスト液をカップ外
に排出するようにしている。

このように、カップ側壁にドレインバイブを取り付ける
と回転に伴う遠心力によりカップ内の空気或いはガスが
ドレインバイブを通って排出されカップ内が減圧状態と
なる。そ【７て用／シスト液の塗布が終了し減圧状態で
蓋体を外してガラス基板をカップから取り出そうとする
と、内部が減圧状態のため急激にカップ内に空気が流入
し、乾燥し２て固化したレジストの微細粉かガラス基板
表面に付着する不利がある。これを解消すべく蓋体にガ
ス導入ノズルを取り付けることも考えられるが、カップ
内にノズルを臨ませるとこのノズルによって乱流が生じ
且つノズルから噴出するガスによってガラス基板上に塗
布したレジスト液の厚みが部分的に異なることになる。

特に液晶デイスプレィの製造にあってはガラス基板上に
多数のトランジスタを埋め込む（１平方センチ当たり５
０個以上）こととなり、このうちの１個のトランジスタ
が不良でも基板全体か不良品ということになる。これが
アクティブマトリクス方式の液晶デイスプレィの製造と
ＬＳＩなどの半導体の製造との歩留まりの面における決
定的な差となっている。

（課題を解決するための手段） 上記課題を解決すべく本発明は、インナーカップ内の真
空チャック上にセットした板状被処理物表面に回転によ
る遠心力で塗布液を均一に拡散せしめ、次いで蓋体と整
流板との間にガスを導入してインナーカップ内の減圧状
態を解除した後に蓋体を開けて板状被処理物を取り出す
ようにした。

（作用） インナーカップの上面開口を閉塞した状態で、インナー
カップ内の板状被処理物表面に回転による遠心力で塗布
液を均一に拡散せしめると、遠心力によってインナーカ
ップ内は減圧状態となる。

そこで、インナーカップ内から処理後の板状被処理物を
取り出すにあたっては、インナーカップ内にガスを導入
して減圧状態を解除した後に行なう。

（実施例） 以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に係る塗布方法を組み込んだ被膜形成ラ
インの平面図、第２図は本発明に係る塗布方法の実施に
用いる塗布装置の蓋体を上げた状態の断面図、第３図は
同塗布装置の蓋体を閉じた状態の断面図である。

被膜形成ラインは最上流部（第１図において左端）にガ
ラス基板等の板状被処理物Ｗの投入部１を設け、この投
入部１の下流側に本発明方法を実施する塗布装置２を配
置し、この塗布装置２の下流側に順次、減圧乾燥装置３
、被処理物Ｗの裏面洗浄装置４及びホットプレート５ａ
・・・を備えた加熱部５を配置し、投入部１から加熱部
５に至るまでは搬送装置６によって被処理物Ｗの前後端
の下面を支持した状態で搬送し、加熱部５においては垂
直面内でクランク動をなす搬送装置７により被処理物Ｗ
の下面を支持した状態で各ホットブレー）５ａ上を順次
移し換えるようにしつつ被処理物Ｗを搬送するようにし
ている。

次に塗布装置２の詳細について第２図及び第３図に基づ
いて説明する。

塗布装置２はスピンナー装置の軸２１に取り付けられた
インナーカップ２２の外側にアウターカップ２３を固設
している。これらインナー力・ソフ２２及びアウターカ
ップ２３は下面を閉じ上面を開放し、インナーカップ２
２内の中央部には被処理物Ｗを吸着固定する真空チャッ
ク２４を設け、更にインナーカップ２２の側壁下部には
ドレインバイブ２５を取り付けている。また、アウター
カップ２３内にはドレイン回収リング２６を配置してい
る。このドレイン回収リング２６は内側壁を外側壁より
も低くして前記ドレインバイブ２５の先端を臨ませ且つ
底壁を一方に傾斜せしめ最も低くなった位置にドレイン
回収バイブ２７を取り付けている。また、アウターカッ
プ２３の閉じられた下面には排気口２８が形成されてい
る。

一方、インナーカップ２２及びアウターカップ２３の上
方には第１図に示すようにアーム２９．３０を配置して
いる。これらアーム２９．３０は直線動、同転勤、上下
動或いはこれらを合成した動きが可能で互いに干渉しな
いようになっている。

ソシテ、アーム２９にはレジスト液等の塗布液を滴下す
るノズルを取り付け、アーム３０の先端には下方に伸び
る軸３１を取り付け、この軸３１にはノズル孔３２を穿
設し、このノズル孔３２をジヨイント３３及びアーム３
０内を通るホース３４を介してチッ素ガスなどの圧気源
につなげている。

また、前記軸３１にはベアリング３５及び磁気シール３
６を介してボス部３７を回転自在に嵌合し、このボス部
３７にインナーカップ２２の上面開口を閉塞するための
円板状をなすアルミニウム製の蓋体３８を取り付けてい
る。

そして、蓋体３８の下面にはビス３９によって整流板４
０を取り付けている。この整流板４０の外径寸法はイン
ナーカップ２２の内径寸法よりも若干小径とされ、また
蓋体３８の下面と整流板４０上面との間に形成される空
間に前記ノズル孔３２が開口する。

以上において、ガラス基板等の被処理物Ｗ表面にレジス
ト液を均一に塗布するには、インナーカップ２２の上面
を開放して真空チャック２４上に固着されている被処理
物Ｗの表面にアーム２９に取り付番ブられているノズル
からレジスト液を滴下し２、次いでアーム２９を後退せ
しめて第２図に示すようにインナーカップ２２上にアー
ム３０を回動させて蓋体３８を臨ませる。そして第３図
に示すように、アーム３０を下降することで蓋体３８に
よりインナーカップ２２の上面を閉塞したならば、スピ
ンナーによってインナーカップ２２を回転せしめ、遠心
力によりレジスト液を被処理物Ｗの表面に均一に拡散塗
布する。

そして、以上の処理においてインナー力・ノブ２２内は
減圧状態になっているので、レジスト液が均一に塗布さ
れた被処理物Ｗを取り出すには、先ずノズル孔３２を介
して蓋体３８と整流板４０の間の空間に窒素ガス等を導
入する。すると導入されたガスは整流板４０とインナー
カップ２２との間の隙間を通ってインナーカップ内に行
き渡り、減圧状態が解除される。このときノズル孔３２
からのガスは整流板４０があるため、被処理物Ｗ表面の
レジスト液に直接吹き付けられることがない。

第４図及び第５図は第２実施例を実施する塗布装置の蓋
体を上げた状態と蓋体を閉じた状態の断面図であり、こ
の実施例では蓋体３８の上方のアーム３０の先端下面に
アウターカップ２３の上面開口を閉塞するための蓋体４
１を固着１７、塗布液を拡散塗布する際にはインナーカ
ップ２２を蓋体３８で、アウターカップ２３を蓋体４１
で同時に閉塞するようにしている。

このようにすることでアウターカップ内に回収した塗布
液が霧状になって外部に飛散することがなくなり、した
がって、塗布後に蓋体を開けて被処理物を取り出す際に
、空気中を浮遊している塗布液の固化粉体が被処理物表
面に付着することを防止できる。

第６図及び第７図は第３実施例を実施する塗布装置の蓋
体を上げた状態と蓋体を閉じた状態の断面図であり、こ
の実施例ではアウターカップ２３の上面開口を閉塞する
蓋体４１の下面にスペーサ４２を介して一定間隔をあけ
て防塵板４３を取り付けている。この防塵板４３は前記
ボス部３７外周面との間に隙間４４を形成しインナーカ
ップ２２の回転とともにボス部３７が回転する際にボス
部３７に防塵板４３が接触しないようにし、また防塵板
４３外端と蓋体４１のスカート部内周面との間にも隙間
４５を形成し２、蓋体４１と防塵板４３との間のスペー
スに入り込んだ微細な塵埃を排出するようにし２ている
。このような構成とすることで、塗布後に蓋体を開けて
被処理物を取り出す際等に上下の蓋体間に存在する微細
なゴミなどが被処理物表面に付着し、て欠陥品となるこ
とを防止できる。

（効果） 以上に説明したように本発明によれば、塗布装置のカッ
プ上面を閉じる蓋体にガス導入ノズルを取り付け、更に
このガス導入ノズルよりも下方位置となるように整流板
を蓋体下面に取り付けたので、カップを回転させた場合
にカップ内に乱流か生じにくく、また塗布完了後にカッ
プ内にガスを導入する際に導入ガスによって塗布された
液体に悪影響を及ぼすことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る塗布方法を組み込んた被膜形成ラ
インの平面図、第２図は本発明に係る塗布方法の実施に
用いる塗布装置の蓋体を上げた状態の断面図、第３図は
同塗布装置の蓋体を閉じた状態の断面図、第４図及び第
５図は第２実施例を実施する塗布装置の蓋体を七げた状
態と蓋体を閉じた状態の断面図、第６図及び第７図は第
３実施例を実施する塗布装置の蓋体を上げた状態と蓋体
を閉じた状態の断面図である。 尚、図面中】は板状被処理物の投入部、２は塗布装置、
２２はインナーカップ、２３はアウターカップ、３８．
４１は蓋体、３２はノズル孔、４０は整流板、Ｗは板状
被処理物である。 特　　許　　出　　願　　人 同

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）インナーカップ内の真空チャック上にガラス等の
   板状被処理物をセットし、この板状被処理物の表面に塗
   布液を滴下し、この後インナーカップ上面を蓋体で閉塞
   するとともに板状被処理物の上方に蓋体下面に取り付け
   た整流板を臨ませた状態で真空チャック、インナーカッ
   プ及び蓋体を一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面
   に滴下した塗布液を均一に拡散せしめ、次いで蓋体と整
   流板との間にガスを導入してインナーカップ内の減圧状
   態を解除した後、蓋体を開けて板状被処理物を取り出す
   ようにしたことを特徴とする塗布方法。
2. （２）前記真空チャック、インナーカップ及び蓋体を一
   体的に回転せしめるにあたっては、インナーカップの外
   側に配置したアウターカップの上面開口を別の蓋体で閉
   塞した状態で行なうようにしたことを特徴とする請求項
   １に記載の塗布方法。
3. （３）前記真空チャック、インナーカップ及び蓋体を一
   体的に回転せしめるにあたっては、インナーカップの外
   側に配置したアウターカップの上面開口を別の蓋体で閉
   塞するとともに当該別の蓋体の下面に取り付けた防塵板
   をインナーカップの上面開口を閉塞する蓋体上方に臨ま
   せた状態で行なうようにしたことを特徴とする請求項１
   に記載の塗布方法。