JPH0476613B2 - - Google Patents
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- JPH0476613B2 JPH0476613B2 JP22167386A JP22167386A JPH0476613B2 JP H0476613 B2 JPH0476613 B2 JP H0476613B2 JP 22167386 A JP22167386 A JP 22167386A JP 22167386 A JP22167386 A JP 22167386A JP H0476613 B2 JPH0476613 B2 JP H0476613B2
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- Japan
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- magnetic bubble
- magnetic
- light
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- chip
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、回転軸等の回転数を検出する回転数
検出器に関するものである。 更に詳しくは、電源が遮断された状態において
も動作し、常に回転数に応じた出力を得ることの
できる回転数検出器に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、この種の回転数検出器の一例としては、
本願出願人が特開昭62−238414号公報としてすで
に出願している装置がある。第３図はこの回転数
検出器の概要を示す構成図である。図に示す回転
数検出器は、駆動磁界の回転に応じて磁気バブル
を順次転送する磁気バブル素子３と、回転軸１等
に取り付けられて回転し、この磁気バブル素子３
の駆動磁界を発生する永久磁石２とを有し、この
磁気バブル素子３における転送パターン上の磁気
バブルの位置から回転軸１等の回転数を検出する
ようにしたものである。また、第４図は磁気バブ
ル素子３において磁気バブルチツプ３１に形成さ
れた転送パターンの一例を示すものである。図に
示す転送パターンは、一般にTI形と呼ばれるも
のを基本としたもので、独立した３つの転送ルー
プＡ〜Ｃから構成されている。Ｈは永久磁石２に
より発生され、永久磁石２の回転とともに転送ル
ープＡ〜Ｃと同一の平面内で回転する駆動磁界、
Ａ１，Ｂ１，Ｃ１は磁気バブル発生用パターン、
Ａ２，Ｂ２，Ｃ２は例えば磁気抵抗素子よりなる
磁気バブルデイテクタ（磁気バブル検出用パター
ン）である。さらに、図中の〇印は駆動磁界Ｈの
回転に応じて磁気バブルが移動する転送ループ上
の位置を示したもので、斜線を施した〇印は磁気
バルブの存在を表わしている。 したがつて、永久磁石２の極数を２とした場
合、回転軸１が１回転すると、磁気バブル素子３
における磁気バブルは、その転送パターン上を１
ステツプだけ移動することになり、転送パターン
上の磁気バブルの位置を検出すれば、回転軸１の
回転数を知ることができる。なお、磁気バブルデ
イテクタＡ２〜Ｃ２からは回転軸１の回転数に応
じた３ビツトのバイナリ信号が得られる。 例えば、図示の状態を初期状態とし、磁気バブ
ルデイテクタＡ２〜Ｃ２の位置でそれぞれ磁気バ
ブルの有無を検出すると、駆動磁界Ｈ（回転軸１）
の回転数に対する各検出出力は、次の表のように
表わされる。
検出器に関するものである。 更に詳しくは、電源が遮断された状態において
も動作し、常に回転数に応じた出力を得ることの
できる回転数検出器に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、この種の回転数検出器の一例としては、
本願出願人が特開昭62−238414号公報としてすで
に出願している装置がある。第３図はこの回転数
検出器の概要を示す構成図である。図に示す回転
数検出器は、駆動磁界の回転に応じて磁気バブル
を順次転送する磁気バブル素子３と、回転軸１等
に取り付けられて回転し、この磁気バブル素子３
の駆動磁界を発生する永久磁石２とを有し、この
磁気バブル素子３における転送パターン上の磁気
バブルの位置から回転軸１等の回転数を検出する
ようにしたものである。また、第４図は磁気バブ
ル素子３において磁気バブルチツプ３１に形成さ
れた転送パターンの一例を示すものである。図に
示す転送パターンは、一般にTI形と呼ばれるも
のを基本としたもので、独立した３つの転送ルー
プＡ〜Ｃから構成されている。Ｈは永久磁石２に
より発生され、永久磁石２の回転とともに転送ル
ープＡ〜Ｃと同一の平面内で回転する駆動磁界、
Ａ１，Ｂ１，Ｃ１は磁気バブル発生用パターン、
Ａ２，Ｂ２，Ｃ２は例えば磁気抵抗素子よりなる
磁気バブルデイテクタ（磁気バブル検出用パター
ン）である。さらに、図中の〇印は駆動磁界Ｈの
回転に応じて磁気バブルが移動する転送ループ上
の位置を示したもので、斜線を施した〇印は磁気
バルブの存在を表わしている。 したがつて、永久磁石２の極数を２とした場
合、回転軸１が１回転すると、磁気バブル素子３
における磁気バブルは、その転送パターン上を１
ステツプだけ移動することになり、転送パターン
上の磁気バブルの位置を検出すれば、回転軸１の
回転数を知ることができる。なお、磁気バブルデ
イテクタＡ２〜Ｃ２からは回転軸１の回転数に応
じた３ビツトのバイナリ信号が得られる。 例えば、図示の状態を初期状態とし、磁気バブ
ルデイテクタＡ２〜Ｃ２の位置でそれぞれ磁気バ
ブルの有無を検出すると、駆動磁界Ｈ（回転軸１）
の回転数に対する各検出出力は、次の表のように
表わされる。
しかしながら、このような回転数検出器におい
ては、転送パターン上の磁気バブルの位置を磁気
抵抗素子などの磁気バブルデイテクタを使用して
検出しているので、この磁気バブルデイテクタを
転送パターンを形成した磁気バブルチツプ上に一
体に形成しなければならず、磁気バブルチツプの
製造工程が増し、製造時の歩止まりが低下してし
まう。 本発明は、上記のような従来装置の欠点をなく
し、転送パターン上の磁気バブルの位置を磁気バ
ブルチツプとは独立の検出手段で検出し、磁気バ
ブルチツプの製造工程を減らして製造時の歩止ま
りを向上させることのできる回転数検出器を簡単
な構成により実現することを目的としたものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の回転数検出器は、回転軸等に取り付け
られた永久磁石により磁気バブル素子の駆動磁界
を発生しこの磁気バブル素子における転送パター
ン上の磁気バブルの位置から前記回転軸等の回転
数を検出するようにした回転数検出器において、
磁気バブルの存在に応じて磁気バブルチツプ中の
フアラデー偏光角が局所的に変化することを利用
して、磁気バブルの有無を光学的に検出するよう
にしたもので、前記磁気バブル素子（磁気バブル
チツプ）に光を照射する光源と、前記磁気バブル
素子を透過した光を受ける受光素子と、前記光源
と前記磁気バブル素子との間に配置された偏光子
と、前記磁気バブル素子と前記受光素子との間に
配置された検光子とを具備したものである。 〔作用〕 このように、転送パターン上の磁気バブルの位
置を光学的に検出するように構成すると、磁気バ
ブルの有無を磁気バブルチツプとは独立した検出
手段により検出することができ、磁気バブルチツ
プの製造工程を減らし、製造時の歩止まりを向上
させることができる。 〔実施例〕 以下、図面を用いて本発明の回転数検出器を説
明する。 第１図は本発明の回転数検出器の一実施例を示
す構成図で、磁気バブルの有無を検出する検出部
分の一例を示したものである。図において、前記
第３図および第４図と同様のものは同一符号を付
して示す。３１は転送パターンなどが形成された
磁気バブルチツプ、３２はバイアス磁石で、これ
らは磁気バブル素子３を構成している。また、４
はレンズ４１およびミラー４２などを介して磁気
バブルチツプ３１に光を照射する光源、５は磁気
バブルチツプ３１を透過した光を受ける受光素
子、６は光源４と磁気バブルチツプ３１との間に
配置された偏光子、７は磁気バブルチツプ３１と
受光素子５との間に配置された検光子である。し
たがつて、光源４から出射された光は偏光子６を
介して磁気バブルチツプ３１に照射され、磁気バ
ブルチツプ３１を透過した後、検光子７を介して
受光素子５に入射することになる。 ここで、磁気バブルチツプ３１は一般に透光性
を有し、しかも、磁気バブルの存在に応じてチツ
プ中のフアラデー偏光角が局所的に変化するとい
う特性を有している。 このため、偏光子６により一定の偏光角に偏光
した光を磁気バブルチツプ３１に照射すると、磁
気バブルチツプ３１上の磁気バブルが存在する部
分では、透過光の偏光角が他の部分とは異なつて
くる。したがつて、この透過光を検光子７に当
て、所定の偏光角の光のみを選択的に通過させれ
ば、磁気バブルの位置に応じた光スポツトが明点
あるいは暗点として受光素子５に投射される。受
光素子５においては、光スポツトの入射位置から
転送パターン上の磁気バブルの位置が検出され、
これに応じて、回転軸１等の回転数が検出され
る。 第２図は受光素子５の一例を示す構成図であ
る。 図中に破線で示したパターンは磁気バブルチツ
プ３１上に形成された転送ループの一部であり、
矢印はこの磁気バブルチツプ３１を介して受光素
子５に投射される光スポツトの様子を示したもの
である。 図に示す受光素子５は、磁気バブルの転送位置
に応じて複数のセンサ５１〜５４を配置したもの
である。図中に破線で示すように、磁気バブルチ
ツプ３１における転送パターンの形状が決まれ
ば、磁気バブルが転送される位置も決まるので、
それに応じてセンサ５１〜５４を配置すれば、磁
気バブルの位置を容易に検出することができる。
なお、図に示す例は、転送パターン上の４つの転
送位置を全て検出するものであるが、前記した第
４図の例のように、転送パターン（転送ループＡ
〜Ｃ）上の一部の転送位置の状態のみを検出する
場合には、それに対応した位置のみセンサが設け
られる。また、転送パターンの形状は任意であ
る。 このように、磁気バブルの存在に応じて磁気バ
ブルチツプ３１中のフアラデー偏光角が局所的に
変化することを利用して、磁気バブルの有無を光
学的に検出するようにすると、転送パターン上の
磁気バブルの位置を磁気バブルチツプ３１とは独
立した検出手段で検出することができ、磁気バブ
ルチツプ３１の製造工程を減らして、製造時の歩
止まりを向上させることができる。 なお、上記の説明においては、受光素子５とし
て、磁気バブルの転送位置にそれぞれセンサ５１
〜５４を有する受光素子５を例示したが、磁気バ
ブルの位置に応じた光スポツトの入射位置を検出
できるものであれば、イメージセンサのようなも
のであつてもよい。 また、上記の説明においては、本発明の回転数
検出器を単独で使用する場合を例示したが、本発
明の回転数検出器は、アブソリユートな測定出力
を得ることのできるエンコーダと組み合わせ、多
回転のエンコーダを実現するのに好適である。す
なわち、回転軸等の回転数を本発明の回転数検出
器により検出するとともに、０〜360゜の回転角を
エンコーダにより検出すれば、測定の途中で電源
が遮断されたような場合においても、常にアブソ
リユートな測定出力を得ることのできる多回転の
エンコーダを実現することができる。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の回転数検出器で
は、回転軸等に取り付けられた永久磁石により磁
気バブル素子の駆動磁界を発生しこの磁気バブル
素子における転送パターン上の磁気バブルの位置
から前記回転軸等の回転数を検出するようにした
回転数検出器において、前記磁気バブル素子に光
を照射する光源と、前記磁気バブル素子を透過し
た光を受ける受光素子と、前記光源と前記磁気バ
ブル素子との間に配置された偏光子と、前記磁気
バブル素子と前記受光素子との間に配置された検
光子とを具備するようにしているので、転送パタ
ーン上の磁気バブルの位置を光学的に検出するこ
とができ、転送パターン上の磁気バブルの位置を
磁気バブルチツプとは独立の検出手段で検出し、
磁気バブルチツプの製造工程を減らして製造時の
歩止まりを向上させることのできる回転数検出器
を簡単な構成により実現することができる。
ては、転送パターン上の磁気バブルの位置を磁気
抵抗素子などの磁気バブルデイテクタを使用して
検出しているので、この磁気バブルデイテクタを
転送パターンを形成した磁気バブルチツプ上に一
体に形成しなければならず、磁気バブルチツプの
製造工程が増し、製造時の歩止まりが低下してし
まう。 本発明は、上記のような従来装置の欠点をなく
し、転送パターン上の磁気バブルの位置を磁気バ
ブルチツプとは独立の検出手段で検出し、磁気バ
ブルチツプの製造工程を減らして製造時の歩止ま
りを向上させることのできる回転数検出器を簡単
な構成により実現することを目的としたものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の回転数検出器は、回転軸等に取り付け
られた永久磁石により磁気バブル素子の駆動磁界
を発生しこの磁気バブル素子における転送パター
ン上の磁気バブルの位置から前記回転軸等の回転
数を検出するようにした回転数検出器において、
磁気バブルの存在に応じて磁気バブルチツプ中の
フアラデー偏光角が局所的に変化することを利用
して、磁気バブルの有無を光学的に検出するよう
にしたもので、前記磁気バブル素子（磁気バブル
チツプ）に光を照射する光源と、前記磁気バブル
素子を透過した光を受ける受光素子と、前記光源
と前記磁気バブル素子との間に配置された偏光子
と、前記磁気バブル素子と前記受光素子との間に
配置された検光子とを具備したものである。 〔作用〕 このように、転送パターン上の磁気バブルの位
置を光学的に検出するように構成すると、磁気バ
ブルの有無を磁気バブルチツプとは独立した検出
手段により検出することができ、磁気バブルチツ
プの製造工程を減らし、製造時の歩止まりを向上
させることができる。 〔実施例〕 以下、図面を用いて本発明の回転数検出器を説
明する。 第１図は本発明の回転数検出器の一実施例を示
す構成図で、磁気バブルの有無を検出する検出部
分の一例を示したものである。図において、前記
第３図および第４図と同様のものは同一符号を付
して示す。３１は転送パターンなどが形成された
磁気バブルチツプ、３２はバイアス磁石で、これ
らは磁気バブル素子３を構成している。また、４
はレンズ４１およびミラー４２などを介して磁気
バブルチツプ３１に光を照射する光源、５は磁気
バブルチツプ３１を透過した光を受ける受光素
子、６は光源４と磁気バブルチツプ３１との間に
配置された偏光子、７は磁気バブルチツプ３１と
受光素子５との間に配置された検光子である。し
たがつて、光源４から出射された光は偏光子６を
介して磁気バブルチツプ３１に照射され、磁気バ
ブルチツプ３１を透過した後、検光子７を介して
受光素子５に入射することになる。 ここで、磁気バブルチツプ３１は一般に透光性
を有し、しかも、磁気バブルの存在に応じてチツ
プ中のフアラデー偏光角が局所的に変化するとい
う特性を有している。 このため、偏光子６により一定の偏光角に偏光
した光を磁気バブルチツプ３１に照射すると、磁
気バブルチツプ３１上の磁気バブルが存在する部
分では、透過光の偏光角が他の部分とは異なつて
くる。したがつて、この透過光を検光子７に当
て、所定の偏光角の光のみを選択的に通過させれ
ば、磁気バブルの位置に応じた光スポツトが明点
あるいは暗点として受光素子５に投射される。受
光素子５においては、光スポツトの入射位置から
転送パターン上の磁気バブルの位置が検出され、
これに応じて、回転軸１等の回転数が検出され
る。 第２図は受光素子５の一例を示す構成図であ
る。 図中に破線で示したパターンは磁気バブルチツ
プ３１上に形成された転送ループの一部であり、
矢印はこの磁気バブルチツプ３１を介して受光素
子５に投射される光スポツトの様子を示したもの
である。 図に示す受光素子５は、磁気バブルの転送位置
に応じて複数のセンサ５１〜５４を配置したもの
である。図中に破線で示すように、磁気バブルチ
ツプ３１における転送パターンの形状が決まれ
ば、磁気バブルが転送される位置も決まるので、
それに応じてセンサ５１〜５４を配置すれば、磁
気バブルの位置を容易に検出することができる。
なお、図に示す例は、転送パターン上の４つの転
送位置を全て検出するものであるが、前記した第
４図の例のように、転送パターン（転送ループＡ
〜Ｃ）上の一部の転送位置の状態のみを検出する
場合には、それに対応した位置のみセンサが設け
られる。また、転送パターンの形状は任意であ
る。 このように、磁気バブルの存在に応じて磁気バ
ブルチツプ３１中のフアラデー偏光角が局所的に
変化することを利用して、磁気バブルの有無を光
学的に検出するようにすると、転送パターン上の
磁気バブルの位置を磁気バブルチツプ３１とは独
立した検出手段で検出することができ、磁気バブ
ルチツプ３１の製造工程を減らして、製造時の歩
止まりを向上させることができる。 なお、上記の説明においては、受光素子５とし
て、磁気バブルの転送位置にそれぞれセンサ５１
〜５４を有する受光素子５を例示したが、磁気バ
ブルの位置に応じた光スポツトの入射位置を検出
できるものであれば、イメージセンサのようなも
のであつてもよい。 また、上記の説明においては、本発明の回転数
検出器を単独で使用する場合を例示したが、本発
明の回転数検出器は、アブソリユートな測定出力
を得ることのできるエンコーダと組み合わせ、多
回転のエンコーダを実現するのに好適である。す
なわち、回転軸等の回転数を本発明の回転数検出
器により検出するとともに、０〜360゜の回転角を
エンコーダにより検出すれば、測定の途中で電源
が遮断されたような場合においても、常にアブソ
リユートな測定出力を得ることのできる多回転の
エンコーダを実現することができる。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の回転数検出器で
は、回転軸等に取り付けられた永久磁石により磁
気バブル素子の駆動磁界を発生しこの磁気バブル
素子における転送パターン上の磁気バブルの位置
から前記回転軸等の回転数を検出するようにした
回転数検出器において、前記磁気バブル素子に光
を照射する光源と、前記磁気バブル素子を透過し
た光を受ける受光素子と、前記光源と前記磁気バ
ブル素子との間に配置された偏光子と、前記磁気
バブル素子と前記受光素子との間に配置された検
光子とを具備するようにしているので、転送パタ
ーン上の磁気バブルの位置を光学的に検出するこ
とができ、転送パターン上の磁気バブルの位置を
磁気バブルチツプとは独立の検出手段で検出し、
磁気バブルチツプの製造工程を減らして製造時の
歩止まりを向上させることのできる回転数検出器
を簡単な構成により実現することができる。
第１図および第２図は本発明の回転数検出器の
一実施例を示す構成図、第３図および第４図は従
来の回転数検出器の一例を示す構成図である。 １……回転軸、２……永久磁石、３……磁気バ
ブル素子、３１……磁気バブルチツプ、３２……
バイアス磁石、４……光源、４１……レンズ、４
２……ミラー、５……受光素子、５１〜５４……
センサ、６……偏光子、７……検光子、Ａ〜Ｃ…
…転送ループ、Ａ１〜Ｃ１……磁気バブル発生用
パターン、Ａ２〜Ｃ２……磁気バブルデイテク
タ、Ｈ……駆動磁界。
一実施例を示す構成図、第３図および第４図は従
来の回転数検出器の一例を示す構成図である。 １……回転軸、２……永久磁石、３……磁気バ
ブル素子、３１……磁気バブルチツプ、３２……
バイアス磁石、４……光源、４１……レンズ、４
２……ミラー、５……受光素子、５１〜５４……
センサ、６……偏光子、７……検光子、Ａ〜Ｃ…
…転送ループ、Ａ１〜Ｃ１……磁気バブル発生用
パターン、Ａ２〜Ｃ２……磁気バブルデイテク
タ、Ｈ……駆動磁界。
Claims (1)
- １ 回転軸等に取り付けられた永久磁石により磁
気バブル素子の駆動磁界を発生しこの磁気バブル
素子における転送パターン上の磁気バブルの位置
から前記回転軸等の回転数を検出するようにした
回転数検出器において、前記磁気バブル素子に光
を照射する光源と、前記磁気バブル素子を透過し
た光を受ける受光素子と、前記光源と前記磁気バ
ブル素子との間に配置された偏光子と、前記磁気
バブル素子と前記受光素子との間に配置された検
光子とを具備してなる回転数検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22167386A JPS6375619A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 回転数検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22167386A JPS6375619A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 回転数検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375619A JPS6375619A (ja) | 1988-04-06 |
| JPH0476613B2 true JPH0476613B2 (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=16770476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22167386A Granted JPS6375619A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 回転数検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375619A (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22167386A patent/JPS6375619A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6375619A (ja) | 1988-04-06 |
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