JPH0475878A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH0475878A JPH0475878A JP18993290A JP18993290A JPH0475878A JP H0475878 A JPH0475878 A JP H0475878A JP 18993290 A JP18993290 A JP 18993290A JP 18993290 A JP18993290 A JP 18993290A JP H0475878 A JPH0475878 A JP H0475878A
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、サジタル方向に曲率が変化する変形シリンド
リカルレンズ、ぺ）シリンダーレンズのレンズ面を形成
する金型の入子の研磨装置に凹する。
リカルレンズ、ぺ）シリンダーレンズのレンズ面を形成
する金型の入子の研磨装置に凹する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来、
変形シリンドリカ／ｌ用メンズのレンズ面やツーマルト
・ロイダル面を形成する入子の研磨加工においては、第
５図や第６図に示すように７総形の研磨皿１を作り、こ
れを被研磨面Ｘの中心軸線に沿わせて、即ち長手方向に
動か１−て入子２を研磨Ｉ−ていた。しかｌ〜ながら、
：のような研磨方法では、入子２の被研磨面Ｘの長手方
向にスジ目が残り、レンズ面にもそのスジ目が転写され
、ｌ／−ザービーム系がレンズを透過するど回折が生じ
てＬまうことになるという問題があった。
変形シリンドリカ／ｌ用メンズのレンズ面やツーマルト
・ロイダル面を形成する入子の研磨加工においては、第
５図や第６図に示すように７総形の研磨皿１を作り、こ
れを被研磨面Ｘの中心軸線に沿わせて、即ち長手方向に
動か１−て入子２を研磨Ｉ−ていた。しかｌ〜ながら、
：のような研磨方法では、入子２の被研磨面Ｘの長手方
向にスジ目が残り、レンズ面にもそのスジ目が転写され
、ｌ／−ザービーム系がレンズを透過するど回折が生じ
てＬまうことになるという問題があった。
ところで、金型も１−＜はその入子の曲率の小さな凹凸
面を研磨する装置としては例えば実開昭６３ ３５５７
８号に示すようなものがある。、二の装置は第７図に示
すようなもので、研磨装置の駆動軸に取イづける回転軸
３の先端に球状部４を設け、球状部４＆二回転軸３の軸
線と直交する保合突起５．５を形成し、砥石６を取イづ
けるための部材７に球状部４を収納するソケット８を設
け、このソケッ１−８に保合突起５，５を係合溝させ、
ソケット８の内部で球状部４を相対回転可能に支持する
ようにしたものである。そして回転軸３を軸線の回りで
回転させつつ揺動させれば、被加工面の曲率変化に伴っ
て砥石６の傾きが変わってもソケット８の球状部４に対
して相対回転し、曲率の小さい凹凸面を研磨できるとい
うものである。
面を研磨する装置としては例えば実開昭６３ ３５５７
８号に示すようなものがある。、二の装置は第７図に示
すようなもので、研磨装置の駆動軸に取イづける回転軸
３の先端に球状部４を設け、球状部４＆二回転軸３の軸
線と直交する保合突起５．５を形成し、砥石６を取イづ
けるための部材７に球状部４を収納するソケット８を設
け、このソケッ１−８に保合突起５，５を係合溝させ、
ソケット８の内部で球状部４を相対回転可能に支持する
ようにしたものである。そして回転軸３を軸線の回りで
回転させつつ揺動させれば、被加工面の曲率変化に伴っ
て砥石６の傾きが変わってもソケット８の球状部４に対
して相対回転し、曲率の小さい凹凸面を研磨できるとい
うものである。
この装置を変形シリンドリカルレンズのレンズ面やノー
マルトロイダル面を形成する入子の研磨加工に用いて上
述のようなスジ目を取るためには例えば第８図ないし第
１２図に示す装置が考えられる。
マルトロイダル面を形成する入子の研磨加工に用いて上
述のようなスジ目を取るためには例えば第８図ないし第
１２図に示す装置が考えられる。
この装置は振り子装置と回転装置とからなる。
振り子装置は一対のモーター１１．１２によりワイヤー
１３を可逆的に巻取り、振り子アーム１４を揺動させる
ものである。また回転装置は、振り子アーム１４の下端
に設けたモーター１５により回転体１６を回転させ、回
転体１６の先端に設けた研磨工具１７で金型の入子１８
を研磨、ラッピング加工するものである。研磨工具１７
の研磨面形状はもちろん入子１８の被研磨面の形状に対
応させたものであり、図示の例は第１０図に示すように
半球状としである９回転体１６の回転軸１９は図示のよ
うに所定角度θ傾けてあり、研磨工具１７はこの傾いた
軸線の回りで回転する。なお第１０図中２０は加ニガイ
ドである。
１３を可逆的に巻取り、振り子アーム１４を揺動させる
ものである。また回転装置は、振り子アーム１４の下端
に設けたモーター１５により回転体１６を回転させ、回
転体１６の先端に設けた研磨工具１７で金型の入子１８
を研磨、ラッピング加工するものである。研磨工具１７
の研磨面形状はもちろん入子１８の被研磨面の形状に対
応させたものであり、図示の例は第１０図に示すように
半球状としである９回転体１６の回転軸１９は図示のよ
うに所定角度θ傾けてあり、研磨工具１７はこの傾いた
軸線の回りで回転する。なお第１０図中２０は加ニガイ
ドである。
ところがこのような装置構成とすると、研磨工具１７の
部位によって回転周速度が異なり、これが加工速度の差
となるため、入子１８の被加工面（曲率Ｒ１）のセンタ
一部と両側周辺部で加工量が異なってしまい、このため
ウネリ成分が生じるという問題がある。即ち第１１図に
示すように、ａ部を加工する部位の直径を２ｒｌ、ｂ部
を加工する部位の直径を２ｒ２とすると、研磨工具１７
の加工速度（ｖ＝２πｒｎ：ｎは回転数）はその半径に
よって定まるから、上記ａ、ｂ部の加工速度には差が生
じてしまうことになり、被加工面の曲率Ｒ１の精度にウ
ネリが形成されてしまうことになる。そしてこのような
、ウネリが生じてしまうのではレンズの高精度化要求に
対応できない。
部位によって回転周速度が異なり、これが加工速度の差
となるため、入子１８の被加工面（曲率Ｒ１）のセンタ
一部と両側周辺部で加工量が異なってしまい、このため
ウネリ成分が生じるという問題がある。即ち第１１図に
示すように、ａ部を加工する部位の直径を２ｒｌ、ｂ部
を加工する部位の直径を２ｒ２とすると、研磨工具１７
の加工速度（ｖ＝２πｒｎ：ｎは回転数）はその半径に
よって定まるから、上記ａ、ｂ部の加工速度には差が生
じてしまうことになり、被加工面の曲率Ｒ１の精度にウ
ネリが形成されてしまうことになる。そしてこのような
、ウネリが生じてしまうのではレンズの高精度化要求に
対応できない。
本発明は上記従来の種々の間超点に鑑みてなしたもので
、曲率精度のウネリをなくことができる研磨装置を提供
することを目的とする。
、曲率精度のウネリをなくことができる研磨装置を提供
することを目的とする。
本発明に係る研磨装置は、上記目的を達成するために、
サジタル方向に曲率が変化する変形シリンドリカルレン
ズ等のレンズ面を形成する入子の研磨装置において、研
磨工具を被加工曲面の中心軸線に沿って揺動可能に保持
し、かつ上記研磨工具の回転軸を被加工曲面の中心軸線
に沿わせてなる構成としたものである。
サジタル方向に曲率が変化する変形シリンドリカルレン
ズ等のレンズ面を形成する入子の研磨装置において、研
磨工具を被加工曲面の中心軸線に沿って揺動可能に保持
し、かつ上記研磨工具の回転軸を被加工曲面の中心軸線
に沿わせてなる構成としたものである。
また本発明に係る研磨装置は、上記研磨工具が略球面状
の研磨面を有するように構成することもできる。
の研磨面を有するように構成することもできる。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本考案の一実施例の要部を加工方向の側面から
見た部分断面図、第２図は同正面から見た部分断面図で
、第図に示す変形シリンドリカルレンズのレンズ面を研
磨加工するためのものである。
見た部分断面図、第２図は同正面から見た部分断面図で
、第図に示す変形シリンドリカルレンズのレンズ面を研
磨加工するためのものである。
図中２１は本体ユニットで、図示せぬ研磨装置本体の揺
動アーム先端に取付けてあり１図中矢印のように揺動す
るようになっている０本体ユニット２１には下端部を逆
回字状に切り欠いて、両端部に軸受部２２．２２３設け
てあり、軸受部２２゜２２間に回転軸２３を回転自在に
保持している。
動アーム先端に取付けてあり１図中矢印のように揺動す
るようになっている０本体ユニット２１には下端部を逆
回字状に切り欠いて、両端部に軸受部２２．２２３設け
てあり、軸受部２２゜２２間に回転軸２３を回転自在に
保持している。
この回転軸２３はその軸線を本体ユニット２１の揺動方
向に沿わせである。また回転軸２３には略球状の研磨工
具２４を挿通保持させてあり、研磨工具２４は回転軸２
３と共に回転するようになっている。研磨工具２４の研
磨面形状は入子２５の被研磨面Ｘの形状に対応させたも
のであり、図示の例は略球状としである。なお図中２８
は加ニガイドである。
向に沿わせである。また回転軸２３には略球状の研磨工
具２４を挿通保持させてあり、研磨工具２４は回転軸２
３と共に回転するようになっている。研磨工具２４の研
磨面形状は入子２５の被研磨面Ｘの形状に対応させたも
のであり、図示の例は略球状としである。なお図中２８
は加ニガイドである。
また本体ユニット２１の上面にはモーター２６が配置し
てあり、このモーター２６の出力軸と回転軸２３の一方
の端部との間には例えば歯車装置等の回転伝達機ｔ１２
７が介在し、回転軸２３を回転駆動するようになってい
る。
てあり、このモーター２６の出力軸と回転軸２３の一方
の端部との間には例えば歯車装置等の回転伝達機ｔ１２
７が介在し、回転軸２３を回転駆動するようになってい
る。
次に本実施例の動作を説明する。
研磨工具２４を研磨対象となる入子２５の被研磨面Ｘ上
に当接させる。このとき入子２５と研磨工具２４との位
置関係は、第１図に示すように回転１ｉ１１１２３の１
ｌＩＩ線方向が入子２５の中心軸線、即ち被＠磨面Ｘ
／７） ｈｃ手力方向沿うようにする。そして、回転伝
達機構２７を介［２て王−ター・２６により回転軸２３
を回転さぜつつ図示ぜぬ揺動アームにより本体ユニツ）
−２：ｉごと被研磨面Ｘの上手方向に沿って揺動させる
に のような研磨作業中において、第２図に示すように、回
転軸２３の軸線、即ちその回転中心と入子２５の被研磨
面Ｘの曲率中心とは常に一致１２１、研磨工具２４の砥
面上すべでの部位で回転周速度が一致するので、加工速
度には差が生ぜず、被加工面の曲率精度にはウネリが形
成さ′ｔ１２ない、また被研磨面Ｘに対する研磨１Ｊ、
揺動による長手方向での研磨と回転による短手方向での
研磨とが同時に施され、スジ目が形成されることがない
。
に当接させる。このとき入子２５と研磨工具２４との位
置関係は、第１図に示すように回転１ｉ１１１２３の１
ｌＩＩ線方向が入子２５の中心軸線、即ち被＠磨面Ｘ
／７） ｈｃ手力方向沿うようにする。そして、回転伝
達機構２７を介［２て王−ター・２６により回転軸２３
を回転さぜつつ図示ぜぬ揺動アームにより本体ユニツ）
−２：ｉごと被研磨面Ｘの上手方向に沿って揺動させる
に のような研磨作業中において、第２図に示すように、回
転軸２３の軸線、即ちその回転中心と入子２５の被研磨
面Ｘの曲率中心とは常に一致１２１、研磨工具２４の砥
面上すべでの部位で回転周速度が一致するので、加工速
度には差が生ぜず、被加工面の曲率精度にはウネリが形
成さ′ｔ１２ない、また被研磨面Ｘに対する研磨１Ｊ、
揺動による長手方向での研磨と回転による短手方向での
研磨とが同時に施され、スジ目が形成されることがない
。
第３図は＊考案の第二実施例の要部を加工方向の側面か
ら見た側面図、第４図は同正面から見た部分断面図で、
シリンダーレンズの研磨加工用のものである。
ら見た側面図、第４図は同正面から見た部分断面図で、
シリンダーレンズの研磨加工用のものである。
図中３１は本体ユニットで、図示せぬ研磨装置本体の揺
動アーム先部に取付けてあり、図中矢印のように水平方
向で揺動するようになっている。
動アーム先部に取付けてあり、図中矢印のように水平方
向で揺動するようになっている。
本体ユニット３１には下端部を逆開字状に切り欠いて、
両端部に軸受部３２．３２を設けてあり、軸受部３２．
３２間に回転軸３３を回転自在に保持１−でいる。
両端部に軸受部３２．３２を設けてあり、軸受部３２．
３２間に回転軸３３を回転自在に保持１−でいる。
この回転＠３３はその軸線を本体７−ニツ１＝３１の揺
動方向に沿わせである、また回転軸３３には略球状の研
磨工具３４を挿通保持させてあり、研磨工具３４は回転
軸３３と共に回転するようになっている。研磨工具３４
の研磨面形状は入子３５の被研磨面Ｘ′の形状に対応さ
せるものであり、シリンダーレンズ用のものであるので
、円筒状とし５である。なお第・１図中３６は加］Ｌガ
イドである。
動方向に沿わせである、また回転軸３３には略球状の研
磨工具３４を挿通保持させてあり、研磨工具３４は回転
軸３３と共に回転するようになっている。研磨工具３４
の研磨面形状は入子３５の被研磨面Ｘ′の形状に対応さ
せるものであり、シリンダーレンズ用のものであるので
、円筒状とし５である。なお第・１図中３６は加］Ｌガ
イドである。
また本体１ニツト３］には図示せぬモータ・−と、さき
の例と同様の回転伝達機１ｉｉ３７が設けてあり、回転
軸３３を回転駆動するようになっている。
の例と同様の回転伝達機１ｉｉ３７が設けてあり、回転
軸３３を回転駆動するようになっている。
なお、この例の動作については先の例とほぼ同様につき
説明を省略する。
説明を省略する。
本発明に係る研＋１装訂は、以上説明１，２てきｆ・よ
うに、研磨工具を被加工曲面の中心軸饅に沿って揺動さ
せ、かつ研磨工具を被加工曲面の中心軸線の回りで回転
させて研磨加工するようにしたので・、研磨工具の砥面
上すべての部位で回転周速度が一致１２、被加工面の曲
率Ｎ度にウネリを生じさせずに研磨することができるよ
うになるという効果がある。また被研磨面に対１２て長
手方向での研磨と短手方向での研磨とを同時に施してス
ジ目を形成ぜずに加工することができるという効果があ
る。
うに、研磨工具を被加工曲面の中心軸饅に沿って揺動さ
せ、かつ研磨工具を被加工曲面の中心軸線の回りで回転
させて研磨加工するようにしたので・、研磨工具の砥面
上すべての部位で回転周速度が一致１２、被加工面の曲
率Ｎ度にウネリを生じさせずに研磨することができるよ
うになるという効果がある。また被研磨面に対１２て長
手方向での研磨と短手方向での研磨とを同時に施してス
ジ目を形成ぜずに加工することができるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例に係る変形シリンドリカルレ
ンズのレンズ面を研磨加工するための研磨装置の要部を
加工方向の側面から見た部分断面図、第２図は同正面か
ら見た部分断面図、第３図は本発明の第二実施例でシリ
ンダーレンズのレンズ面を研磨加工するための研磨装置
の要部を加工方向の側面から見た側面図、第４図は同正
面から見た部分断面図、第５図及び第６図は従来の研磨
加工用の総型を示す斜視図、第７図は他の従来の例を示
す部分断面図、第８図は第７図の例を応用１−た従来の
装置の側面図、第９図は第８図の例の研磨工具を示す拡
大図、第１０図は同正面図５第１１図は第８図の装置に
よる加工でウネリが生ずる状態を示す説明するための側
面図５第１２図は同正面図である。 ２１ 、３１ 、、、本体ユニッ１− ２２．３２ 、、、軸受部 ２３．３３ 、、、回転軸 ２４．３４ 、、、研磨工具 ２５．３５ 、、、入子 ２６ 、、、モーター ２７．３７ 、、、回転伝達機構 ｘ、ｘ’、、、被研磨面
ンズのレンズ面を研磨加工するための研磨装置の要部を
加工方向の側面から見た部分断面図、第２図は同正面か
ら見た部分断面図、第３図は本発明の第二実施例でシリ
ンダーレンズのレンズ面を研磨加工するための研磨装置
の要部を加工方向の側面から見た側面図、第４図は同正
面から見た部分断面図、第５図及び第６図は従来の研磨
加工用の総型を示す斜視図、第７図は他の従来の例を示
す部分断面図、第８図は第７図の例を応用１−た従来の
装置の側面図、第９図は第８図の例の研磨工具を示す拡
大図、第１０図は同正面図５第１１図は第８図の装置に
よる加工でウネリが生ずる状態を示す説明するための側
面図５第１２図は同正面図である。 ２１ 、３１ 、、、本体ユニッ１− ２２．３２ 、、、軸受部 ２３．３３ 、、、回転軸 ２４．３４ 、、、研磨工具 ２５．３５ 、、、入子 ２６ 、、、モーター ２７．３７ 、、、回転伝達機構 ｘ、ｘ’、、、被研磨面
Claims (2)
- （１）サジタル方向に曲率が変化する変形シリンドリカ
ルレンズ等のレンズ面を形成する入子の研磨装置におい
て、研磨工具を被加工曲面の中心軸線に沿って揺動可能
に保持し、かつ上記研磨工具の回転軸を上記被加工曲面
の中心軸線に沿わせてなることを特徴とする研磨装置。 - （２）上記研磨工具が略球面状の研磨面を有する請求項
１の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2189932A JP3027397B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2189932A JP3027397B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475878A true JPH0475878A (ja) | 1992-03-10 |
| JP3027397B2 JP3027397B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=16249624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2189932A Expired - Fee Related JP3027397B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3027397B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5404680A (en) * | 1991-05-09 | 1995-04-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for polishing slight area of surface of workpiece and tool therefor |
| JP2001054872A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Nikon Corp | 円筒面研削砥石 |
| JP2011079063A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Fujitsu Ltd | 研磨治具及び分析方法 |
| CN106475868B (zh) * | 2016-12-08 | 2018-08-03 | 东北大学 | 一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床及其使用方法 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP2189932A patent/JP3027397B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5404680A (en) * | 1991-05-09 | 1995-04-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for polishing slight area of surface of workpiece and tool therefor |
| JP2001054872A (ja) * | 1999-08-19 | 2001-02-27 | Nikon Corp | 円筒面研削砥石 |
| JP2011079063A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Fujitsu Ltd | 研磨治具及び分析方法 |
| CN106475868B (zh) * | 2016-12-08 | 2018-08-03 | 东北大学 | 一种光学曲面加工用五轴二维超声抛光机床及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3027397B2 (ja) | 2000-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080128 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |