JPH0470803A - 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

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JPH0470803A
JPH0470803A JP2184894A JP18489490A JPH0470803A JP H0470803 A JPH0470803 A JP H0470803A JP 2184894 A JP2184894 A JP 2184894A JP 18489490 A JP18489490 A JP 18489490A JP H0470803 A JPH0470803 A JP H0470803A
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color
color filter
polishing
liquid crystal
crystal display
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Tsuneichi Yoshino
吉野 常一
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) この発明は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ
および製造方法に関する。
(従来の技術) 液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、透明基板
上に赤(R)、緑(G)、と青(B)の各画素に対応し
たそれぞれの色要素(素子)を規則正しく配列し、さら
にこれら各画素の周囲を光遮蔽するため黒色材料、また
は金属蒸着膜等で黒枠(ブラックマトリックス)を形成
して迷光を遮断し、各画素のコントラストを強調させて
いる。
このカラーフィルタ部分は、染色法、顔料分散法、電着
法および印刷法等の方法によって形成されているが、一
般には1乃至〜数ミクロン、製造方法によっては〜数十
ミクロンの凹凸を有している。これらの凹凸を平滑化し
て、液晶表示装置の一方の電極となる透明導電性膜を安
定な状態で形成するために、オーバーコート層が必要で
ある。
オーバーコート層を塗布すると、0.2〜0.5ミクロ
ン以下の平滑性を得ることが容易である。しかしカラー
フィルタの製造方法が、染色法、顔料分散法、電着法等
の場合は薄膜のフォトリソグラフィ法を多用するために
廉価にならない欠点がある。
カラーフィルタ部分が、印刷法で形成できれば価格面で
非常に有利になる。しかし印刷法で色領域を形成できる
技術は、オフセット印刷あるいはスクリーン印刷であり
、印刷時に混入するごみ異物を考慮すると表面凹凸は〜
数十ミクロンにも達することが通常である。以上からカ
ラーフィルタの饗造方法は印刷法が最も廉価に製造でき
る可能性を有しているが、インキ材料中のゴミ異物(粘
度が大きく濾過が不可能)、印刷物のごみ異物の混入に
よって高さを有する異常点の発生が多く、今だ実用化さ
れていない。
上述の印刷法に起因するごみ異物の混入の有害性をさら
に詳しく説明すると、液晶表示装置は2枚のガラス基板
を僅か6〜7μsの間隙を有する状態で貼り合わせて、
液晶材料を注入した構造になっている。従って上記説明
の6〜7μsの間隙に影響を与える様なごみ異物の存在
は許されない。先に説明したインキ材料中、印刷時のご
み異物に起因する高さは〜数ミクロンから〜数十ミクロ
ンもあって、有機制脂のオーバーコート層を塗布しても
減少することは希で、樹脂にくるまれて増大するのが通
常であり、オーバーコート層の塗布だけでは平滑化が不
十分で実用に耐えない。また最近になって多用されてい
るスーパーツイストネマチック(STN)液晶用のカラ
ーフィルタとしては本来の表示性能を得るためには、十
分な平滑性が必要であり研磨等の強制平滑化工程が不可
欠である。しかしオフィスオートメーション(OA)用
のカラーフィルタは有効対角長が10インチ以上もあり
、柔らかいインキ材料のみをベースとしたカラーフィル
タ表面のごみ異物を取り除くために大型ガラス基板を偏
りなく均一に研磨することは至難と言わざるを得ない。
液晶表示装置は、近年10〜14インチ程度の大型の装
置が作られるようになりOAA表示装置として用途が益
々拡大されてきている。しかしカラーフィルタを使用し
た液晶表示装置として実用化されているのは、まだ10
インチ以下の小型に分類されるTV用液晶カラー表示装
置のみである。OA用用液及表示装置大型化の要望と同
時に、カラー化(カラーフィルム基板が必要)と大幅な
価格の低減を要求されるようになってきている。液晶表
示装置の価格構成を瀾へるとカラーフィルタ基板の占め
る割合が大きなものとなっている。
従って低価格、高品位のカラーフィルタの供給要望が益
々大きくなって来ている。
(発明が解決しようとする課題) 以上に説明したように本発明は、従来の液晶表示装置用
カラーフィルタにおいて印刷法の適用が可能な大型カラ
ーフィルタおよび製造方法を得るもので、十分な平滑性
を有し、しかも廉価なカラーフィルタを提供するもので
ある。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 第1の発明は光透過性基板上に形成されている複数の色
領域よりなるカラーフィルタにおいて。
油泥の複数の領域の少なくとも一色を他色よりも硬度の
大きな材料で形成したことを特徴とする。
第2の発明は光透過性基板と、この光透過性基板上に形
成されている複数の色領域とからなるカラーフィルタに
おいて、前記の複数の色領域の少なくとも一色を他色よ
りも硬度の大きな材料で形成し、次に残りの複数の色領
域を形成した後、硬度の大きな材料を耐研磨層として利
用して前記金色領域の平滑化を研磨で行うことを特徴と
する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法にある。
−例として前記の硬度の大きな材料はガラス粉体を主成
分として、バインダー、溶媒の他、金属粉体、またはカ
ーボン粉体を含有する複合材料であることを特徴として
いる。この複合材料で一つの色領域例えば黒色(ブラッ
クマトリックス)を形成してから、焼成によってバイン
ダー、溶媒を揮発させて硬度の大きいガラス体から成る
黒色領域を先ず形成する。次いで赤(R)、緑(G)、
青(B)の三原色部分を簡便な印刷法で形成する。この
後に平滑化工程が必要であるが、最初に形成した硬度の
大きいガラス体から成る領域を研磨工程の保護材料(耐
研磨材料層)として利用し、均一で偏りのない研磨(ポ
リシュイング)を行うことを特徴とする。
(作 用) この発明によれば、光透過基板上に形成される複数の色
領域のうち、少なくとも一色の領域が他の色領域よりも
硬度が大きい材料で構成され、所定の層厚を有するから
、他の色領域を形成し。
その上にオーバーコート層を積層して、ポリノシュイン
グ研磨をすると、前記硬度の大きい色領域は研磨されに
くく、その層厚で色領域の厚みを規制することになる。
したがって、印刷法を用いて色領域を形成しても、色領
域に付着したごみ等の突出は研磨により解消し、しかも
色領域全面を均一で偏りなく平滑化することを容易にす
る。この高硬度色領域はガラス粉体などの耐熱材料を主
体にして形成することができ、そのオーバーコート層上
に酸化インジウムなどの透明導電膜を被着するときの高
温熱処理にも十分に対応することができる。
(実施例) この発明の一実施例によれば光透過性基板とその上に形
成されている色領域とからなるカラーフィルタにおいて
、さらに樹脂オーバーコート層と、透明導電膜層が積層
される。前記色領域は複数色でなり少なくとも一色を硬
度の大きな複合材料で形成している。この硬度の大きな
複合材料はガラス粉体を主成分として、バインダー、溶
媒の他金属粉体、またはカーボン粉体を含有することを
特徴としており、印刷法例えばスクリーン印刷法で光透
過性基板(ガラス基板)上に形成する。
この複合材料で一つの色部分例えば黒色(ブランクマト
リックス)形成してから、焼成によってバインダー、溶
媒を揮発させて硬度の大きいガラス体から成る黒色部分
を先ず形成する。次いで赤(R)、緑(G)、青(B)
の三原色部分を同様に簡便なスクリーン印刷法又はオフ
セット印刷法で形成する。この後の強制平滑化工程で最
初に形成した硬度の大きいガラス体から成る黒色部分を
研磨工程の保護材料として利用し、均一で偏りのない研
磨(ポリシュイング)を行なう。
ガラス粉体は一般に市販されているフリットガラスすな
わち低融点封着用ガラス粉体を利用することができる。
ドントマトリックス型の液晶表示装置のガラス材質とし
ては釦ガラス系の板ガラスが使用されており、膨張係数
を極力近ずける為に、このような鉛ガラス粉体を選択す
れば良い。黒色領域は光遮蔽のために黒色粉体を混合し
て使用する必要があるが、カーボン粉体あるいは金属粉
体を必要量混合してメノウ鉢等で粉砕混合すれば良い。
さらにバインダー、有機溶媒を添加してスクリーン印刷
に適した粘度として使用できる。
本発明では上記に説明した複合材料を光透過性基板(ガ
ラス基板)上にピッチ110ミクロン、線幅20ミクロ
ンで、後で色領域を形成する箇所を残して平行な多数の
ストライブ状の黒色領域に形成する。この複合材料で形
成した黒色領域(ブラックマトリックス)はスクリーン
印刷終了後で20ミクロンから30ミクロンの高さを有
している。オーブンてバインダー、溶媒を揮発させてガ
ラス体を主成分とするストライプに焼成することで高さ
は約半分の10ミクロンから15ミクロンに減少する。
カーボン粉体あるいは金属粉体の混合量で光学濃度は制
御できるがこの黒色領域の光学濃度は2以上とすること
が好ましい。
また先に説明した様にこの硬度の大きいガラス体から成
る黒色領域を研磨工程の保護材料として利用し、均一で
偏りのない研磨(ポリシュイング)を容易に行えること
が重要なので、有効色部分以外の領域に、研磨(ポリシ
ュイング)の偏りを防止するための、適当なパターンを
配置しておくことは相当に有効な手段になる。
次いで赤(R)、緑(G)、青(B)の光透過カラーフ
ィルタの三原色領域を同様にスクリーン印刷法又はブラ
ンケット胴にシリコーンゴム等柔らかく弾性のある材料
を用いたオフセット印刷法で形成する。顔料は十分に耐
熱性を有するものを選択して使用する。インキの基材は
アルキッド樹脂が一般的で印刷も容易であるが、高温の
熱処理で黄色着色するものが多い。ポリエステル樹脂は
着色が無く、インキの基材として好ましく本発明では高
耐熱性のものを選んで採用した。
スクリーン印刷法又はオフセット印刷法で赤(R)、緑
(G)、青(8)の三原色部分を一色ずつ順次形成する
。印刷終了毎にインキの乾燥硬化をオーブンで行う。こ
れらの色領域の印刷後の高さは、スクリーン印刷法の場
合20〜30ミクロンであり。
乾燥硬化でガラス体を主成分とする黒色領域とほぼ同し
程度10〜15ミクロンの高さになる。ガラス体を主成
分とする黒色領域は平坦なガラス基板上に最初に印刷す
るので比較的きれいに印刷が可能であるが、このあとで
印刷する三原色領域は黒色領域の高さの影響を受けて若
干の乱れは避けられず、色層の膜厚バラツキに起因する
印刷むらが発生する。また前述したごみ異物の混入も避
けられず、−枚の大型ガラス基板内に突起と呼称される
高さを有する異常部分が〜数十から〜数百も存在するの
が通常である。
このため印刷むらと、ごみ異物の混入による突起を除去
するための強制平滑化工程が必要である。
本発明の天施例では先に説明した硬度の大きな複合材n
、:りなる色領域を利用して研磨(ポリシュイング)す
ることを特徴としている。
スクリーン印刷性以外の印刷技術としてオフセット印刷
法でも赤(R)、緑(G)、と青(B)の三原色領域を
一色ずつ順次形成することができる。先に説明したよう
に黒色領域に焼成後でも高さが10ミクロンから1.5
ミクロンもあるので、黒色領域ストライブ間の溝の底に
三原色領域を十分に印刷するために、ブランケット胴に
シリコーンゴム等柔らかく弾性のある材料を用いなけれ
ばならない。
回のみの印刷ではインキが完全に転写できないがあるい
はインキ量の不足で白抜け(ピンホール)が発生し易い
ので、印刷版からインキを補給しながらブランケット胴
を複数回、往復させて印刷を行うことが好ましい。最初
に形成硬化した黒色領域の高さが土手になって三原色領
域の混色が防止できる効果がある。オフセット印刷法の
場合は色領域の印刷法の高方は4〜8ミクロンであり、
オブンによる乾燥硬化で2〜・1ミクロンに減少する。
オフセット印刷法は三原色領域の厚みが小さくむらの程
度もスクリーン印刷法よりすぐれたカラーフィルタが得
られる。色領域の厚みが小さくむらも許容以内のものが
得られているので、研磨の損傷を与えない方が好ましい
。スクリーン印刷法の場合は三原色領域を有機樹脂等で
保護して研磨したほうが良いと言える。本発明ではオフ
セット印刷法で三原色領域を形成した場合は、研磨しに
くい(以下、耐研磨性と称す)有機樹脂材料を色部分全
体に設置してから研磨する。
研磨工程としてラッピングを行うと、色領域の表面を完
全な鏡面状に平滑することができるが、大型の液晶表示
装置用カラーフィルタでは端部でラッピングの偏りのた
めに色領域の膜厚が異なってしまい、色のむらが発生し
使用できないものになりやすい。これに沈入でポリシュ
イングは表面を鏡面にするには比較的に長時間の時間を
要するが、ギャップや配向膜に最も悪影響を与える凸部
から平均的に研磨を行うため、本発明実施例構造の研讃
により適している。また上述した耐研磨性に就いて詳述
すると、この11研磨性は基脚に硬度のみで決定される
ものでなく、引っ張り強度、弾性係数等のX響が太きい
。従って、ブリネル硬度、ロックエル硬度等で比較され
るものでなく、同一条件のFで同程度に研磨されるに必
要な時間で比較されるものである。ポリシュイングにた
いして耐研磨性の大きい有機樹脂材料としてエポキシ系
樹脂がよく知られている。
印刷法の場合、三原色領域を形成するインキ材料はポリ
エステル樹脂またまアルキッド樹脂と複数の顔料の混合
物からなり、エンピッ硬度で表記すると11−(程度で
ある。耐研磨性の観点から評価すると非常に研磨され易
い材料であり、硬度の大きい保護材料(耐研磨層)無し
では研磨の不均一が生じ易く、実際問題として研磨不可
能である。
液晶表示装置用カラーフィルタとして透明電極を形成す
る必要がありオーバーコート層の硬度は大きい事が望ま
しく、耐研磨性の大きいエポキシ系樹脂を第1のオーバ
ーコート層としてポリシュィングを施して平滑化した後
、表面硬度の大きなアクリル樹脂を第2のオーバーコー
ト層とすることが望ましい。透明導電層(一般にはIT
O膜)をパターニングする必要がある場合には耐薬品性
を確保するためにエポキシ系樹脂を第3のオーバーコー
ト層として薄く積層する。この様な積層構造とすること
により高温熱処理時の応力によるクラックを防止し、飛
躍的に耐熱性を向上したカラーフィルタを提供できる。
従来の液晶表示装置用カラーフィルタの耐熱性はせいぜ
い180℃〜200℃前後であった。本発明によれば、
少なくとも250℃以上とすることが可能である。これ
は従来のものと比較すると画期的な高耐熱性を実現した
液晶表示装置用カラーフィルタを廉価に提供できるもの
である。
エポキシ系樹脂の耐熱性は一般に大きい。有機樹脂類の
なかでも高温度でも酸素遮断能力が大きく、高温時の酸
素放出量(吸着内蔵)も少ない。
さらにエポキシ樹脂群の中からこの基準に従って選択す
ることで耐熱性が大幅に向上する。とりわけ、V素の遮
断能力の大小の作用効果が大きい事が比較実験の結果惇
]明した。上記に説明した如く積層された万一ハーコー
ト層の一部分にエポキシ系樹脂を匝用することでカラー
フィルタの耐熱性を向上することができる。最終の工程
で透明導1!膜を形成し、必要に応じてパターニングを
♀行う。このカラーフィルタを使用して、対向基板と接
合して液晶材料を注入して、液晶表示装置として完成さ
せ、ざらに駆動用ICの出力端子と透明導電膜を接続下
る。
以下1図面を参照して説明する。
(実施例−1) 第1図は二の発明の一実施例を得るだめの製造工程を説
明するための図である。 まず第1図(a)に示すよう
に、例えばガラスからなる光透過性基板(1)上に、複
合材料たとえばカラス粉体とカーボン粉体を主成分とし
て、バインダーおよび高沸点溶媒を含むインキ材料を使
用して、スクリーン印刷機を用いて光を遮断する黒色領
域すなわちブラックマトリックス■を形成する。
ブランクマトリックス■はストライブ状でピッチは11
0ミクロン、線幅は20ミクロンとした。
次にオーブン中で400℃で30分間の焼成を行い高沸
点溶媒とバインダーの除去でガラス質よりなる硬度の大
きなブラックマトリックス層が得られる。このブラック
マトリックスを形成する黒色基材の膜厚は10〜15ミ
クロン程度あれば十分な光学濃度が得られる(光学濃度
≧2.5以上となるようにカーボン粉体を混合する)。
次にスクリーン印刷機を用いて赤色光を透過する第1の
三原色領域■R2緑色光を透過する第2の三原色領域(
3)G、青色光を透過する第、3の三原色領域(3)B
を印刷法で順次形成する。
各色の印刷が完了する毎にベーキング(150℃で30
分間)により上記着色部のインキを固化する。
3回の繰り返しで第1図(b)に示すようにカラーフィ
ルタが完成される。この様にして得られたカラーフィル
タ部分(3)R1(3)G、(3)Bは10〜15ミク
ロンの不規則な凹凸を有している。また前述したように
黒色部分の高さの影響を受けて三原色領域の印に−1の
乱れ(色層の厚さはばらつき)は避けら札す、印刷むら
か発生する  第1図(b)、次いでこれら光透過カラ
ーフィルタ層(3)を直接研磨(ボリンユイング)する
ことによってごみ異物を除去し、更に研磨平滑化するこ
とによって上記の印刷むらも取り除く巷か可能である。
光透過カラーフィルタ層である三原色領域(3) R、
(3) G、(3)Bの研磨量は硬度の大きなブラック
マトリックス部分■で保護されているか、研磨バッドの
弾性のためにブラックマトリックス部分(2)よりも1
〜2ミクロン程度低い状態で研磨が完了する第1図(C
)。
次いで光透過カラーフィルタ層とブランクマドノックス
■上に強固な接合が得られる接合用のアクリル系樹脂(
イ)を極く薄く塗布(0,1〜0.2ミクロン)した後
に耐熱性、耐薬品性の優れたエポキシ系樹脂を2乃至3
ミクロンの厚さに最終オーバーコート層(ハ)として塗
布して、オーブン中で硬化する  第1図(d)。
上記オーバーコート層(ハ)上に液晶表示装置の液晶を
駆動する為の透明電極(へ)を形成する。オーバーコー
ト層(ト)の表面層であるエポキシ系樹脂上にマグネト
ロンスパッタ装置でIT○(インジウム・すず酸化物)
をターゲットとして、基板温度150℃程度で2000
オングストローム厚さに形成する。
上記の実施例によるカラーフィルタは例えばSTN液晶
表示装置の液晶を駆動する為の透明電極0は、更にパタ
ーニングが必要である。透明導電膜層(へ)のパターニ
ングは、通常のポジレジスト(OFPR−800東京応
化工業(株)製品名)を塗布、ベーキング、露光、現像
、ベーキング工程を経てポジレジストをパターニングし
て透明導電膜層を塩酸系エッチャントでエツチングし、
最後にポジレジストを剥離すれば液晶表示装置用カラー
フィルタとして完成する・・第1図(e)。
以上に説明した実施例の液晶表示装置用カラーフィルタ
の大気中での耐熱上限温度は280℃であった。耐熱上
限温度は完成したカラーフィルタを大気中で30分間加
熱処理して前後の各色の色差ΔEab 傘≦3を判断基
準とした。
液晶表示装置として完成するには、別のパターニングさ
れた透明導電膜が形成されたガラス基板と貼り合わせて
、その間隙に液晶材料を注入してから、注入口を塞いで
セル工程が完了する。この後に駆動用ICの出力端子と
パターニングされている透明導電膜端と接続して液晶表
示装置として完成させる。
(実施例−2) 第2図はこの発明の他の実施例を得るための製造工程を
説明するための図である。なお、第1図と対応する部分
は同一記号を用いている。まず第2[1(a)に示すよ
うに1例えばガラスからなる光透過性基板■上に、複合
材料たとえばガラス粉体と金属の銀粉体を主成分として
、バインダーおよび高沸点溶媒を含むインキ材料を使用
して、スクリーン印刷機を用いてブラックマトリックス
■を形成する。この実施例もブラックマトリックスはス
トライブ状でピッチは110ミンロン1、線幅は20ミ
クロンとした。しかしこのブランクマトリックス■を形
成する黒色基材の膜厚は薄くても良く、5〜10ミンロ
ン程度あれば十分な光学濃度が得られる。次にオーブン
中で400″Cで30分間の焼成を行い高沸点溶媒とバ
インダーの除去でガラス質よりなる硬度の大きなブラッ
クマトリックス■が得られる。前述の黒色基材の膜厚は
薄くても良い理由は焼成工程で金属の銀粉体は酸化され
てガラス粉体中に拡散して黒ガラスが生成されて光学濃
度の大きなブラックマトリックス■が容易に得られるか
らである。
次にオフセット印刷機を用いて赤■R1緑■G、青(3
)Bの光透過カラーフィルタ層(3)を印刷法で順次形
成する。
各色の印刷が完了する毎にベーキング(150℃で30
分間)により上記着色部のインキを固化する。
3回の繰り返しで第1図(b)に示すようにカラーフィ
ルタが完成される。この様にして得られた光透過カラー
フィルタ■R1■G、■Bは3〜5ミクロンの不規則な
凹凸を有している・・・第2図(b)。
次いで光透過カラーフィルタ層(3)とブラックマトリ
ックス■のいずれにも強固な接合が得られる接合用樹脂
(11)を極く薄く塗布(0,1〜0.2ミクロン)し
た後に、耐研磨性の優れたエポキシ系樹脂の保護層(1
5)脂を2乃至3ミクロンの厚さに研磨(ポリジュイン
グ)時の損傷から保護するために保護層として塗布して
、オーブン中で硬化する第2図(c)。
次いで保護層(15)の上から、印刷カラーフィルタ層
を研磨(ポリシュイング)することによってごみ異物を
除去する。ブラックマトリックス部分上の保護層(I4
)と(15)は最大の高さを有している。
従って研磨(ポリシュイング)工程によっての、高さの
減少が大きく、保護層は研磨工程の初期に除去されて硬
度の大きなブランクマトリックス■が露出されて耐研磨
層としての働きをする。三原色領域である光透過カラー
フィルタ層(3)はブラックマトリックス間隙の低い部
分に存在し保護層(15)に覆われて保護されているの
で、ごみ異物等の高い部分は除去されるが研磨で損傷を
受ける事なく研磨平滑化工程が実施できる。研磨平滑化
工程を実施した後の凹凸の程度はこのブラックマトリッ
クス部分が高く、三原色部分が低く、その段差を2ミク
ロン以下とすることができる −・第2図(d)。
次いでエポキシ系樹脂保護層(15)と強固な接合が得
られ耐熱性、耐薬品性の優れたエポキシ系樹脂を1乃至
2ミクロンの厚さに最終オーバーコート層■として塗布
する ・ 第2図(e)。
上記の工程が完了した印刷カラーフィルタのオーバーコ
ート層口上に液晶表示装置の液晶を駆動する為の透明電
極を形成しなければならない。オーバーコート層(ハ)
の表面層でエポキシ樹脂上にマグネトロンスパッタ装置
でITOをターゲットとして基板温度150℃程度で2
00オングストローム厚さに形成すればよい・・ 第2
図(f)。
上記の実施例で完成させたカラーフィルタは対向基板と
してTFTアレイを形成したものと組み合わせて液晶表
示装置として完成するのであれば、透明導電膜のパター
ニングの必要はない。
以上に説明した実施例の液晶表示装置用カラーフィルタ
の大気中での耐熱上限温度は260℃であった。耐熱上
限温度は完成したカラーフィルタを大気中で30分間加
熱処理して前後の各色の色差ΔEab 本≦3を判断基
準とした。
以上実施例では硬度の大きな色領域を黒色領域としたが
、本発明によれば光透過色領域のいずれかに硬度の大き
な領域を選定してもよく、また複数色領域を硬度の大き
な領域とすることができることはいうまでもない。
〔発明の効果〕
以上、詳述して来たように本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタは全ての色要素を印刷法で容易に形成できる
構造であり、製造が容易で、廉価かつ生産性の向上が可
能になる。またごみ異物の除去および平滑化のために研
磨工程(ポリシュイング)が採用できて、十分な平滑性
を確保し、高画質を表示できるカラーフィルタを提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構造および製造工程を示す
断面図、第2図は本発明の他の実施例の構造および製造
工程を示す断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光透過性基板と、この光透過性基板上に形成され
    ている複数の色領域とからなるカラーフィルタにおいて
    、前記の複数の色領域の少なくとも一色を他色よりも硬
    度の大きな材料で所定の高さを持たせて形成したことを
    特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ。(2)光透
    過性基板と、この光透過性基板上に形成されている複数
    の色領域とからなるカラーフィルタにおいて、前記の複
    数の色領域の少なくとも一色を他色よりも硬度の大きな
    材料で形成し、次に残りの複数の色領域を形成した後、
    硬度の大きな材料を耐研磨層として利用して前記全色領
    域の平滑化をポリシェイング研磨で行うことを特徴とす
    る液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
JP2184894A 1990-07-12 1990-07-12 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 Pending JPH0470803A (ja)

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