JP4578194B2 - カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタに関するものである。

近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色層とこれを仕切るブラックマトリックスを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。

ここで、このようなカラーフィルタの着色層を形成する際、不純物が付着すること等により、着色層中に突起が生じ、欠陥となる場合や、不純物が付着して、白抜けが発生する場合、また、例えばブラックマトリクスを形成する材料が付着し、黒欠陥が生じる場合等があった。着色層がこのような欠陥を有する場合には、カラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、カラーフィルタ上に形成される液晶の配向性を乱したり、高品質な表示ができない等の問題があった。

そこで、従来より、このような欠陥を修正する方法として、例えば欠陥部分をレーザー光の照射や、テープによる研磨等で除去した後、着色層を形成する着色層形成用塗工液を再度塗布する方法等が用いられている。ここで、上記欠陥部分が遮光部にかかる場合や、上記欠陥部分が遮光部に近接している場合等には、着色層だけでなく、遮光部も同時に除去した後、再度遮光部形成用塗工液を塗布することにより、欠陥部分を修正する方法が用いられている。しかしながらこの場合、上記遮光部形成用塗工液が上記遮光部に隣接する着色層が形成されている領域にも塗布されることとなるため、修正後のカラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、修正された部分が黒い点として認識され、欠陥となる等の問題があった。

このような問題を解決するため、例えば特許文献１においては、欠陥部分を含む遮光部と、その近傍にある着色層とを同時に除去し、遮光部形成用塗工液ではなく遮光部近傍の着色層と同色の修正用着色剤を塗布する方法が提案されている。この方法によれば、修正部分に遮光部形成用塗工液が塗布されないため、黒色が着色層にはみ出ることはなく、液晶表示装置に用いた際、修正個所が観察者に黒く認識されることがない、という利点を有する。しかしながらこの場合、修正用着色剤が目的とする領域より広い領域に塗布された場合等には、混色欠陥の原因となる場合があり、修正用着色剤の塗布面積の制御等が難しい場合等があった。
特開平２００３−３２２８４４

以上のことから、製造時に遮光部または着色層に生じた欠陥が修正されたカラーフィルタであって、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタの製造方法、およびカラーフィルタの提供が望まれている。

本発明は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、上記修正遮光部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。

本発明によれば、上記欠陥部除去工程により、着色層または遮光部に生じた欠陥部およびその周辺部を除去した後、上記修正遮光層形成工程および上記修正遮光部形成工程によって、修正遮光部が欠陥として検出されないような形状となるように修正遮光部を形成し、さらに修正着色層形成工程により修正着色層を形成することから、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができる。

また、本発明は、基材と、上記基材上に形成された遮光部と、上記遮光部の開口部に形成された着色層とを有するカラーフィルタであって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含む修正部分を有することを特徴とするカラーフィルタを提供する。

本発明によれば、製造時に修正された修正部分が欠陥として検出されないような修正遮光部と、その修正遮光部に隣接した修正着色層とを有していることから、液晶表示装置に用いた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタとすることができる。

本発明によれば、液晶表示装置に本発明により製造されたカラーフィルタを用いた際、欠陥等のない、高品質なものとすることができるという効果を奏する。

本発明は、カラーフィルタ、およびその製造方法に関するものである。以下それぞれについてわけて説明する。

Ａ．カラーフィルタの製造方法
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、上記修正部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とするものである。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、遮光部２が形成された基材１の、遮光部２の開口部に着色層３を形成する着色層形成工程（図１（ａ））と、遮光部２の一部およびその遮光部２に隣接する着色層３の一部を除去する欠陥部除去工程（図１（ｂ））と、欠陥部除去工程により遮光部２および着色層３が除去された領域に修正遮光層４を形成する修正遮光層形成工程（図１（ｃ））と、その修正遮光層４の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部４´とする修正遮光部形成工程（図１（ｄ））と、上記修正遮光部形成工程により修正遮光層４を除去した領域に修正着色層３´を形成する修正着色層形成工程（図１（ｅ））とを有するものである。

一般的なカラーフィルタの製造方法においては、遮光部上、または遮光部近傍で欠陥が生じた場合、欠陥およびその周辺部の遮光部および着色層を除去し、その遮光部および着色層が除去された領域に修正遮光部を形成してカラーフィルタとされる。しかしながら、この場合、本来着色層が形成される領域にも修正遮光部が形成されることとなる。したがって、製造されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いた際、修正遮光部が形成された領域が黒い点として認識され、欠陥となる場合があった。

本発明においては、遮光部または着色層に生じた欠陥部およびその周辺部の遮光部および着色層を除去し、その遮光部および着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する。その後、欠陥として認識されないような形状に修正遮光層の一部を除去し、さらに修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する。したがって、液晶表示装置に用いられた際、修正された修正遮光部が黒い点の欠陥等として認識されることのない、高品質なカラーフィルタとすることができるのである。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程ごとに詳しく説明する。

１．着色層形成工程
まず、本発明の着色層形成工程について説明する。本発明の着色層形成工程は、遮光部が形成された基材上の、上記遮光部の開口部に着色層を形成する工程であり、着色層を形成することが可能な方法であれば、特に限定されるものではない。

このような着色層の形成は、一般的なカラーフィルタに用いられる着色層の形成と同様の方法により行うことができ、例えば顔料分散や印刷法等を用いることができる。

本工程により形成される着色層としては、通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色で構成される。またこの着色パターンの形状としては、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。また、本工程により形成される着色層の膜厚としては、目的とするカラーフィルタの種類等により、適宜選択されるものであるが、通常１．３μｍ〜２．０μｍ程度とされることが好ましい。

ここで、本工程において用いられる基材としては、遮光部を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような基材としては、通常カラーフィルタに用いられるものを用いることができ、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を用いることができる。

また、このような基材上に形成される遮光部としては、一般的なカラーフィルタに遮光部として用いられるもの等を用いることができる。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等によって、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングしたもの等であってもよく、また例えば樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をフォトリソ法、印刷法等により形成したもの等であってもよい。

２．欠陥部除去工程
次に、本発明における欠陥部除去工程について説明する。本発明における欠陥部除去工程は、遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去し、上記遮光部または上記着色層に生じた欠陥部およびその周辺部を除去する工程である。ここで本発明でいう欠陥部とは、着色層または遮光部を形成した際に、不純物等が付着して生じた突起や、不純物等によって着色層または遮光部が均一に形成されずに生じたいわゆる白欠陥、遮光部を形成する遮光部形成用塗工液が着色層内に付着して生じたいわゆる黒欠陥等の欠陥をいうこととする。

本工程においては、上記着色層または上記遮光部に生じた欠陥およびその周辺部の遮光部および着色層を除去することが可能な方法であれば、その除去方法は特に限定されるものではなく、例えばスクラッチ、レーザー等を用いて除去することができる。

また、上記遮光部の一部および上記遮光部の一部に隣接する上記着色層の一部を除去するとは、例えば図２（ａ）に示すように、遮光部２の一部と、その遮光部２の一部と隣接する両隣の着色層３の一部を除去するものであってもよく、また例えば図２（ｂ）に示すように、遮光部２の一部と、その遮光部２と隣接する片側の着色層３の一部を除去するものであってもよい。なお、上記遮光部２および着色層３を除去することにより、通常、基材１が露出することとなる。また、遮光部および着色層を除去する面積は、欠陥部の面積や形状等に合わせて適宜選択される。またさらに、本工程において欠陥部およびその周辺部の遮光部および着色層を除去する形状としては、特に限定されるものではなく、例えば矩形状や円形状等とすることができる。

３．修正遮光層形成工程
次に、本発明の修正遮光層形成工程について説明する。本発明の修正遮光層形成工程は、上記欠陥部除去工程により上記遮光部および上記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する工程であり、上記領域に修正遮光層を形成することが可能な方法であれば、その修正遮光層の形成方法等は特に限定されるものではない。

上記修正遮光層を形成する方法としては、例えば修正遮光層を形成する修正遮光層形成用塗工液を上記領域に塗布のみ行う方法としてもよく、修正遮光層形成用塗工液を塗布した後、紫外線硬化させ、さらに焼成する方法等としてもよい。上記塗布の方法としては、例えば平面状の先端を有する針に付着させて、上記遮光部および着色層が除去された領域に塗布する方法としてもよく、またディスペンサやインクジェット法、転写法等により上記領域に塗布する方法等としてもよい。また、修正遮光層を形成する形状としては、例えば図３（ａ）に示すように、上記欠陥部除去工程で遮光部２および着色層３が除去された形状（図中ａで示される部分）と相似する形状に修正遮光層４を形成してもよく、また例えば上記欠陥部除去工程で遮光部２および着色層３が除去された形状（図中ａで示される部分）と異なる形状に修正遮光層４を形成してもよい。なお、本発明においては、特に上記欠陥部除去工程により除去されなかった遮光部にかかるように上記修正遮光層形成用塗工液が塗布されることが好ましい。これにより、後述する修正遮光部と修正部分以外の遮光部との間に隙間ができず、製造されたカラーフィルタに白抜け等のないものとすることができるからである。

また、本工程において塗布する修正遮光層形成用塗工液としては、未修正の遮光部を形成した遮光部形成用塗工液と同一のものであってもよく、また例えば粘度や流動性、濃度等が異なる修正遮光層形成用塗工液を用いてもよい。

なお、本工程に用いられる修正遮光層形成用塗工液は、一般的なカラーフィルタの遮光部の形成に用いられる材料等と同様のものを用いることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。

４．修正遮光部形成工程
次に、本発明における修正遮光部形成工程について説明する。本発明における修正遮光部形成工程は、上記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する工程である。

上記欠陥として検出されないような修正遮光部とは、本発明により製造されたカラーフィルタを目視により観察した際、修正遮光部が欠陥として認識されないような形状を有する修正遮光部をいう。このような修正遮光部の形成は、上記修正遮光層の一部を除去することにより、例えば図４（ａ）に示すように修正遮光部４´の形状を、上述した欠陥部除去工程において除去される前の遮光部２の形状とほぼ同一の形状とすることや、例えば図４（ｂ）に示すように、修正遮光部４´の形状をカラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際に、修正遮光部４´が欠陥として認識されない程度の凸部や凹部等を有するような形状とすること等により行うことができる。なお、上記修正遮光層４を除去することにより、通常、基材１が露出することとなる。

また、上記修正遮光層の一部を除去する方法としては、上記修正遮光層を除去することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、上述した欠陥部除去工程で遮光部および着色層を除去する方法と同様とすることができる。

なお、本工程により形成される上記修正遮光部の幅は、欠陥部除去工程前に形成されていた遮光部の幅を１としたときに０．２〜２の範囲内、中でも０．５〜１．５の範囲内となることが好ましい。これにより、上記修正遮光部が欠陥として認識されないものとすることができるからである。

５．修正着色層形成工程
次に、本発明の修正着色層形成工程について説明する。本発明の修正着色層形成工程は、上記修正部形成工程により上記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する工程であり、上記領域に修正着色層を形成することが可能な方法であれば特に限定されるものではない。

修正着色層を形成する方法としては、例えば修正着色層を形成する修正着色層形成用塗工液を、上記領域に塗布した後、紫外線硬化させ、さらに焼成する方法等とすることができる。修正着色層形成用塗工液の塗布方法等については、上記修正遮光層形成工程で説明した方法と同様とすることができる。

また、修正着色層を形成する形状としては、上記修正遮光部形成工程により修正遮光層が除去された領域と相似する形状としてもよく、また上記領域と異なる形状としてもよい。なお、修正着色層は上記修正遮光部、および修正部分以外の着色層や遮光部にかかるように形成されることが好ましい。これにより、カラーフィルタとした際、白抜け等のないものとすることができるからである。

また、本工程において塗布する修正着色層形成用塗工液としては、未修正の着色層を形成した着色層形成用塗工液と同一のものであってもよく、また例えば粘度や流動性、濃度等が異なる修正着色層形成用塗工液を用いてもよい。このような修正着色層形成用塗工液としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる材料等と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。

Ｂ．カラーフィルタ
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、基材と、上記基材上に形成された遮光部と、上記遮光部の開口部に形成された着色層とを有するカラーフィルタであって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含む修正部分を有することを特徴とするものである。

本発明のカラーフィルタは、例えば図５に示すように、基材１と、その基材１上に形成された遮光部２と、その遮光部２の開口部に形成された着色層３とを有し、その遮光部２および着色層３が製造時に修正された修正部分６を有しているものである。また、修正部分６は、本発明のカラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際、欠陥として検出されないような形状に遮光部２が修正された修正遮光部２´と、その修正遮光部２´に隣接する着色層３が修正された修正着色層３´とを有するように形成されているものである。

本発明は、遮光部の形成時または着色層の形成時に、遮光部上または遮光部の近傍で生じた欠陥が修正されたカラーフィルタであって、上記遮光部および着色層が修正された修正部分を有するが、これらの修正部分が、欠陥として検出されないような形状に形成されていることから、液晶表示装置に用いられた際、欠陥等のない、高品質なカラーフィルタとすることができる。

以下、本発明のカラーフィルタの特徴である、修正部分について説明し、その後本発明のカラーフィルタの各構成ごとに説明する。

１．修正部分
まず、本発明のカラーフィルタにおける修正部分について説明する。本発明のカラーフィルタにおける修正部分は、製造時に生じた欠陥が修正された部分であって、欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正された修正遮光部と、上記修正遮光部に隣接する上記着色層が修正された修正着色層とを含むものである。

本発明のカラーフィルタにおいて、上記修正部分の形状としては、遮光部の一部と、その遮光部の一部に隣接する着色層の一部とが修正されたものであれば、特に限定されるものではなく、遮光部の一部と、その遮光部の一部と隣接する両隣の着色層の一部とが修正された形状であってもよく、また例えば遮光部の一部と、その遮光部と隣接する片側の着色層の一部とが修正された形状等であってもよい。

ここで、上記修正遮光部は、遮光部が修正されたものであり、かつ欠陥として検出されないような形状に形成されたものであれば、特に限定されるものではない。欠陥として検出されないような形状に上記遮光部が修正されたとは、本発明のカラーフィルタを目視により観察した際、修正遮光部が黒い点等の欠陥として認識されないような形状に遮光部が修正されたことをいう。このような修正遮光部としては、例えば修正前の遮光部と同様の形状に形成したものや、カラーフィルタが液晶表示装置に用いられた際に、修正遮光部が欠陥として認識されない程度の凸部や凹部等を有するような形状に形成したもの等とすることができる。このような修正遮光部の形状や修正遮光部の形成方法等としては、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」の修正遮光層形成工程および修正遮光部形成工程で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。なお、本発明においては、上記修正遮光部が、修正部分以外の遮光部にかかるように形成されていることが好ましい。これにより、修正遮光部と修正部分以外の遮光部との間に隙間ができず、製造されたカラーフィルタに白抜け等のないものとすることができるからである。

また、上記修正着色層は、着色層が修正されたものであり、上記修正遮光部に隣接する着色層が修正されたものであれば、特に限定されるものではない。このような修正着色層の形状や、修正着色層の形成方法等については、上述した「Ａ．カラーフィルタの製造方法」で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。

なお、修正着色層は上記修正遮光部、および修正部分以外の着色層や遮光部にかかるように形成されることが好ましい。これにより、カラーフィルタとした際、白抜け等のないものとすることができるからである。

２．遮光部
次に、本発明に用いられる遮光部について説明する。本発明に用いられる遮光部は、後述する基材上に形成され、かつ後述する着色層間に設けられるものであって、上記修正遮光部を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような遮光部としては、一般的なカラーフィルタに遮光部として用いられるもの等を用いることができる。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等によって、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングしたもの等であってもよく、また例えば樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をフォトリソ法、印刷法等により形成したもの等であってもよい。

３．着色層
次に、本発明のカラーフィルタに用いられる着色層について説明する。本発明に用いられる着色層は、上記遮光部の開口部に形成され、上記修正着色層を有するものであれば、特に限定されるものではない。このような着色層としては、通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色で形成される。またこの着色パターンの形状としては、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。

なお、本発明に用いられる着色層の形成方法や形成材料等については、一般的なカラーフィルタに用いられる着色層と同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。

４．基材
次に、本発明に用いられる基材について説明する。本発明に用いられる基材としては、通常カラーフィルタに用いられるものであれば特に限定されるものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等を用いることができる。

５．カラーフィルタ
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明におけるカラーフィルタは、基材と、上記修正部分を有する着色層および遮光部とを有するものであれば特に限定されるものではなく、必要に応じて適宜、オーバーコート層や、透明電極層等を有していてもよい。このようなオーバーコート層や透明電極層等は、一般的なカラーフィルタに用いられる部材と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。

［実施例］
基材として、厚さ０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製１７３７ガラス）を準備した。この基材を定法にしたがって洗浄した後、基材の片側全面に下記の組成を有する遮光部形成用塗工液を塗布し、乾燥後ホットプレート上で９０℃に加熱（プリベーク）した。その後、所定のフォトマスクと遮光部形成用塗工液とのギャップが１５０μｍとなるようにフォトマスクを配置し、５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光した。その後、２．５ｋｇｆの現像圧で現像した後、焼成して遮光部を形成した。

（遮光部形成用塗工液）
・カーボンブラック ６１重量部
・感光性樹脂組成物 ３９重量部
・メトキシブチルアセテート ３００重量部
上記感光性樹脂組成物は、下記組成を有するものである。以下の実施例について用いられる感光性樹脂組成物についても、同様である。

（感光性樹脂組成物）
・アクリル樹脂 ３２重量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４２重量部
・エピコート１８０Ｓ７０（三菱油化シェル（株）社製） １８重量部
・Ｉｒｇ．９０７（チバスペシャリティケミカルズ（株）社製） ８重量部

次に、下記組成の赤色着色層、緑色着色層、青色着色層用の各着色層形成用塗工液を調整し、これらを用いて公知の顔料分散法にしたがって、画素領域に赤色着色層、緑色着色層、および青色着色層（各厚み１．７μｍ）をそれぞれ形成してカラーフィルタとした。

（赤色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＲ２５４分散液 ３３重量部
・感光性樹脂組成物 ６７重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００重量部

（緑色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＧ３６／ＰＹ１５０分散液 ３４重量部
・感光性樹脂組成物 ６６重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００重量部

（青色着色層形成用塗工液の組成）
・ＰＢ１５：６／ＰＶ２３分散液 １７重量部
・感光性樹脂組成物 ８３重量部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート ４００重量部

上記カラーフィルタにハロゲンランプ光を照射し、その反射光をＣＣＤライセンサにて受光した後、その受光した結果を画像処理して欠陥部を検出する装置により検査したところ、着色層および遮光部に欠陥が検出された。

上記検査により検出された欠陥およびその周辺部を、図２（ａ）に示すような形状に、ＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□５０μｍにて３パルス照射し、上記領域の遮光部および着色層を除去した。

次に、修正遮光層形成用塗工液を先端に付着させた上記欠陥修正用針を、上記遮光部を除去した部分に接触させ、その後欠陥除去部から引き離すことにより、修正遮光層形成用塗工液を塗布した。

その後、図４（ｂ）に示すような形状に、上記と同様の装置により、ＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□５０μｍにて３パルス照射し、上記修正遮光層の一部を除去した。

続いて、上記着色層が除去された領域および上記修正着色層が除去された領域に、先端に上記着色層形成用塗工液と同様の修正着色層形成用塗工液を付着させた上記欠陥修正用針を、上記着色層を除去した部分に接触させ、その後欠陥除去部から引き離すことにより、修正着色層形成用塗工液を塗布した。その後、５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光し、焼成して修正着色層を形成した。

本発明のカラーフィルタの製造方法を説明する工程図である。 本発明のカラーフィルタの製造方法における欠陥部除去工程を説明するための説明図である。 本発明のカラーフィルタの製造方法における修正遮光層形成工程を説明するための説明図である。 本発明のカラーフィルタの製造方法における修正遮光部形成工程を説明するための説明図である。 本発明のカラーフィルタを説明するための概略断面図である。

符号の説明

１ …基材
２ …遮光部
３ …着色層
３´…修正着色層
４ …修正遮光層
２´、４´…修正遮光部

Claims (1)

1. 遮光部が形成された基材上の、前記遮光部の開口部に着色層を形成する着色層形成工程と、
   前記遮光部の一部および前記遮光部の一部に隣接する前記着色層の一部を除去し、前記遮光部または前記着色層に生じた欠陥部全ておよびその周辺部を除去する欠陥部除去工程と、
   前記欠陥部除去工程により前記遮光部および前記着色層が除去された領域に修正遮光層を形成する修正遮光層形成工程と、
   前記修正遮光層の一部を除去し、欠陥として検出されないような修正遮光部を形成する修正遮光部形成工程と、
   前記修正遮光部形成工程により前記修正遮光層が除去された領域に修正着色層を形成する修正着色層形成工程と
   を有し、
   前記修正遮光部の幅は、前記欠陥部除去工程前に形成されていた前記遮光部の幅を１としたときに０．５〜１．５の範囲内となることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

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