JPH0469839A - 光情報記憶装置および光ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光情報記憶装置に係り、特にシリコン基板とに
光検出器を含む光学要素を集積化したピックアップを、
光磁気ディスクに応用した光情報記憶装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、光磁気ディスクを内蔵した光情報記憶装置には、
より一層の小型軽量化と、データの記録・読み出しに対
する信頼性のより一層の向１が要求されている。

光情報記憶装置を小型軽量にするための１つの手段とし
て、光学系の構成の簡素化を図ることが行オ）れている
。すなわち、従来の光情報記憶装置においては、Ｊｏｕ
ｒｍａｌ　ｏｆ　ｌｉｇｈｔｗａｖｅ　ｔｅｃｈｎｏｌ
ｇｙ。

シｏ１．６．Ｎｏ、６．Ｊｕｒ＋ｅ　１９８８　Ｆｏｅ
ｕｓｊ、ｎｇ　Ｇｒａｔｉｎｇ　Ｃｏｕｐｌ−ｅｒｓ　
ｆｏｒ　Ｐｏ１ａｒｊｚａｔｊｏｎ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏ
ｎ　Ｓｈｏｇｏ　Ｕｒａ、ｅｉａｌで論じられているよ
うに、導波路上にＴＥ用ダグレーティングカップラＴＭ
用ダグレーティングカップラが設けられ、これら２つの
グレーティングカップラを用いて、光磁気ディスクから
の反射光のうち、直交する２方向の偏光成分を独立に検
出して光磁気情報を読み出すようにしている。

また、データの記録・読み呂しに対する信頼性を高める
ために、レーザ光源の波動変動に起因する光学的特性の
劣化を防止することが考えられている。すなわち、６丸
　外３名「光磁気ディスク検出光学系の光集積回路化」
、電子情報通信学会。

０ＱＥ８８−１０５　１９８８年１２月１９日号で論じ
られているように、グレーティングビームスプリッタを
利用して、許容波長変動幅を拡大させ、同時にフォーカ
シングエラー信号も検出するようにすることである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来技術では、光検出器が導波路基
板（シリコン基板）上に貼り付けられているので、光検
出器と導波路の位置合わせが難しく、生産性低下の原因
となっている。また、光磁気ディスクからの反射光を空
気中から（あるいは平行平板ガラスを介して）導波路内
に結合する構成であるため、グレーティングカップラの
格子ビッチが細かくなり１．グレーティングカップラの
製造が難ルくなって、この点においても生産性低ドの原
因となっている。

また、導波路内の導波光伝播方向が光磁気ディスクに対
して大きく傾いているため、導波路基板を光磁気ディス
クに対して傾けて設置しなければならず、ピックアップ
全体の高さが高くなってしまうという問題がある。

なお、レーザ光源からのレーザ光の波長は常に変動して
いるが、この変動幅が大きくなるとグレーティングカッ
プラから光検出器へ光が到達しなくなる。すなオ〕ち、
グレーティングカップラは光源の波長変動に対して弱い
という欠点があるが、上記従来技術では、この欠点を解
決するための具体的手段が開示されていない。

本発明の目的は、導波路基板の生産性が低下したり、ピ
ックアップ全体の高さが高くなったりすることなく、装
置全体のより一層の小型軽量化とデータの信頼性向上が
図れる光情報記憶装置を提供することである。

〔課題を解決するだめの手段〕

」二記目的を達成するために、光磁気ディスクと、該光
磁気ディスク面に略平行にレーザ光を照射するレーザ光
源と、該レーザ光源からのレーザ光の進行方向を前記光
磁気ディスク面に垂直な方向に変化させ、かつレーザ光
を回転中の光磁気ディスク面に集光させるレンズ系と、
前記光磁気ディスク面からの反射光を検出する光検出器
と、該光検出器からの信号に基づいて、前記レンズ系の
駆動部にトラッキングとフォーカシングの制御信吐を出
力するとともに、前記光磁気ディスクとの間でアクセス
を行う信号処理部と、を備えた光情報記憶装置において
、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク面に対し７
て傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を
光磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、
光磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させ
る回折格子と、該回折格子で回折された前記光ディスク
からの反射光をグレーティングカップラで取り込んで、
その反射光を導波路を介して前記光検出器番Ｊ導く導波
路基板と。

端面に前記回折格子が密接して固定され、側面に前記導
波路基板が密接して固定された角柱状のガラスブロック
と、を備えたものである。

また、本発明は、光磁気ディスクと、該光磁気ディスク
面に略平行にレーザ光を照射するレーザ光源と、該レー
ザ光源からのレーザ光の進行方向を前記光磁気ディスク
面に垂直な方向に変化させ、かつレーザ光を回転中の光
磁気ディスク面に集光させるレンズ系と、前記光磁気デ
ィスク而からの反射光を検出する光検出器と、該光検出
器からの信号に基づいて、前記レンズ系の駆動部にトラ
ッキングとフォーカシングの制御信号を出力するととも
に、前記光磁気ディスクとの間でアクセスを行う信号処
理部と、を備えた光情報記憶装置において、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク面に対して
傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を光
磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、光
磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させる
回折格子と、該回折格子で回折された前記光ディスクか
らの反射光を取り込むグレーティングカップラと前記光
検出器とが一体的に形成され、グレーティングカップラ
と光検出器が導波路で接続された導波路基板と、 端面に前記回折格子が密接して固定され、側面に前記導
波路基板が密接して固定された角柱状のガラスブロック
と、を備えたものである。

さらに、本発明は、光磁気ディスクと、該光磁気ディス
ク面に略平行にレーザ光を照射するレーザ光源と、該レ
ーザ光源からのし・−ザ光の進行方向を前記光磁気ディ
スク面に垂直な方向に変化させ、かつレーザ光を回転中
の光磁気ディスク面に集光させるレンズ系と、前記光磁
気ディスク面からの反射光を検出する光検出器と、該光
検出器からの信号に基づいて、前記レンズ系の駆動部に
トラッキングとフォーカシングの制御信号を出力すると
ともに、前記光磁気ディスクとの間でアクセスを行う信
号処理部と、を備えた光情報記憶装置において、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク而に対して
傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を光
磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、光
磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させる
回折格子と、該回折格子で回折された前記光ディスクか
らの反射光を取り込むグレーティングカップラと前記光
検出器とが一体的に形成され、グレーティングカップラ
と光検出器が導波路で、光検出器と信号処理部が配線で
それぞれ接続された導波路基板と、端面に前記回折格子
が密接して固定され、側面に前記導波路基板が密接して
固定された角柱状のガラスブロックと、を備えたもので
ある。

また、本発明は、箱型のハウジング内に、レーザ光源、
コリメートレンズ、角柱状のガラスブロックが一直線上
に固定され、前記ガラスブロックの端面に回折格子が、
側面に導波路基板がそれぞれ密着され、かつ前記ガラス
ブロックの、上方に集光レンズが取り付けられたもので
ある。

さらに、本発明は、箱型のハウジング内に、角柱状のガ
ラスブロックが固定され、該ガラスブロックの端面に回
折格子が、側面に導波路基板がそれぞれ密着され、かつ
前記ガラスブロックの上方に集光レンズが取り付けられ
たものである。

また、本発明は、角柱状のガラスブロックの端面に回折
格“ｔが密着され、側面に導波路基板が密着されたもの
である。

〔作用〕

上記構成によれば、ガラスブロックの側面と端面にそれ
ぞれ導波路基板と回折格ｆ・を密接して固定したので、
回折格子で回折された光磁気ディスクからの反射光を、
ガラスブロックから直接グレーティングカップラに入射
させることができ、その入射光の光軸と導波路平面との
角度を小さくすることができるとともに、導波路の等価
屈折率とガラスブロックの屈折率との差を小さくするこ
とができる。そして、このような条件のとき、西原［光
集積回路Ｊ　、１９８５年、オーム社、第８９頁の第（
４゜７１）式に示されているように、グレーティングカ
ップラの格ｆピッチを大きくすることが可能となる。

また、丘記構成によれば、光磁気ディスクに照射される
レーザ光には回折格子で回折された０次回折光が用いら
れ、グレーティングカップラへの入射光には回折格子で
回折された１次回折光が用いられるにれにより、導波路
平面の設置方向を適切に選択することができ、導波光の
伝播方向を光磁気ディスクと平行にすることができる。

その結果、ピックアップ全体の高さを低くして、ピック
アップの小型化・軽量化の達成が可能となる。

〔実施例〕

以下に本発明の一実施例を図面に従って説明する。

（第１、実施例） 第１図〜第４図は本発明の第１実施例を示している。第
１図において、ベース６３には、光磁気ディスク７１を
駆動するモータ７０．磁気回路６２、レール６１が固定
されている。レール６１上にはガイド機構６０を有する
箱型のハウジング５ｏが載置され、ハウジング５０はレ
ール６〕に沿って移動自在となっている。またハウジン
グ５０の両側にはアーム５３ａ、５３ｂが取り付けられ
ている。アーム５３ａ、５３ｂはハウジング５０の中心
軸に対して左右対称な形状をしているが、図ではアーム
５３ｂの一部のみが示されている。またアーム５３ｂ側
にも磁気回路６２が設けられているが、図では省略され
ている。アーム５３ａにはコイル５４が取り付けられ、
このコイル５４は磁気回路６２が発生する磁界中に置か
れている。そして、コイル５４と磁気回路６２で構成す
るリニアアクチュエータを駆動することにより、ハウジ
ング５０がレール６１上を往復移動するようになってい
る。

ハウジング５０内には、レーザ光源２３、位置決め部材
５２により位置決めされたコリメートレンズホルダ２１
ｂ、および位置決め部材５１により位置決めされたガラ
スブロック１０がそれぞれ固定され、これらは−直線上
に配置されている。

そして、コリメートレンズホルダ２１ｂにはコリメート
レンズ２１ａが内蔵されている。ここで、コリメートレ
ンズホルダ２１．　ｂを用いずに、位置決め部材５２で
直接コリメートレンズ２１．　ａを固定するようにして
もよい。またガラスブロック１０は４角柱状をしており
、その一端面が斜めに切断されて、その切断面に回折格
子１２が密接して設けられている。さらに、ガラスブロ
ック１０の上方には集光レンズ２０が配設され、この集
光レンズ２０を駆動するためのレンズアクチュエータ２
４がハウジング５０の上部に取り付けられている。なお
、ハウジング５０とレンズアクチュエータ２４は、内部
構成を詳しく示すために部分的に破断されて描かれてい
る。

ガラスブロック１ｏの側面には、光検出器６が形成され
た導波路基板１が密接して設けられ、この導波路基板１
は配線５５を介してサーボユニット１００とリードライ
トユニット１０１に接続さ九ている。光検出器６は基板
材料としてシリコン。

ガリウム砒素等の半導体で構成されている。また、基板
材料としてガラスや誘電体を用いて、光検出器６を基板
」−に接着固定してもよい。

サーボユニット１００とリードライトユニット１、０１
は、共にシステムコントローラ１．０２に接続されてい
る。システムコントローラ１０２には、配線１０４と、
インターフェース１０３を介して配線１０５とがそれぞ
れ接続されている。さらに、サーボユニット１００は、
モータ７０とレンズアクチュエータ２４およびコイル５
４にそれぞれ接続されている（サーボユニット１００と
レンズアクチュエータ２４との接続関係およびサーボユ
ニット１、　ＯＯとコイル５４との接続関係は図では省
略しである）。

サーボユニット１００は、モータ７０を駆動したり、光
検出器６からの信号に基づきフォーカシングエラー信号
やトラッキングエラー信号を抽出したりする。また、サ
ーボユニット１００は、抽出した信号に応じて、レンズ
アクチュエータ２４やコイル５４を駆動し、常にレンズ
２０からでた光が光磁気ディスク７１面上に焦点を形成
し、また、システムコントローラ１０２の命令に応じた
所定のトラックを正しく追従するように、サーボをかけ
ることができる６ レンズアクチュエータ２４は光磁気ディスク７１面に対
して集光レンズ２０を垂直方向に移動させることができ
、これにより焦点合わせを行う。

また、レンズアクチュエータ２４として集光レンズ２０
を光磁気ディスク７１の半径方向にも駆動できるものを
用いると、コイル５４と磁気回路６２によるリニアアク
チュエータと、レンズアクチュエータ２４との２つを用
いてトラッキング制御を行うことができるので、トラッ
キング追随精度が向上する。

リードライトユニット１０１は、光検出器６からの信号
を処理して光磁気信号を抽出し、これをシステムコント
ローラ１０２に転送する。そして、さらにインターフェ
ース１０３と信号ｌｌＡ１０５を介して外部の機器にそ
の信号を送信する。

信号線１０５を通じて外部の機器から送信されてきた信
号は、インターフェース１０３、システムコントローラ
１０２を介してリードライトユニット１０１に送られ、
この信号をもとにレーザ光源２３の光量の変調を行う。

図には示されていないが、レーザ光が集光する光磁気デ
ィスク７１上の焦点位置近傍には永久磁石あるいは電磁
石が設置さ九ており、これらの磁石により磁界が印加さ
れ、この磁界と光量の変化からデータを光磁気ディスク
７１面上に記録する。

または、信号線１０５を通じて外部の機器から送信され
てきた信号は、光磁気ディスク７１の上の焦点位置近傍
に磁界を印加する電磁石を駆動して、焦点に於ける磁界
強度を変調する。この磁界の変化とレーザ光源２３から
の光の照射によりデータを光磁気ディスク７１面七に記
録する。

さらに、配線１０４からは電源が供給され、各々の機器
に必要な電力を供給する。

次に本実施例の光情報記憶装置における光学系の動作に
ついて説明する。第２図は第１図に示した光情報記憶装
置の光学系の詳細図である６図において、レーザ光源２
３から射出されたレーザ光８０は、コリメートレンズホ
ルダ２１ｂ内のコリメートレンズ２１ａにより平行光８
１とされ、この平行光８１はガラスブロック１０に入射
し、光磁気ディスク７１面とのなす角度が４５度程度に
設定された、ガラスブロック１０の斜面にある回折格子
１２により回折される０回折光のうちＯ次回折光８２（
反射光）は集光レンズ２０を通過して光磁気ディスク７
１面上に焦点を形成する。そして、光磁気ディスク７１
面からの反射光は、集光レンズ２０により略平行光８３
とされ、ガラスブロック１０に入射し１回折格子１２に
より回折される。回折された光のうち１次回折光８４は
。

導波路基板１に設けられたグレーティングカップラ８に
より導波路を伝播する導波光８５となる。

この導波光８５は、導波路レンズ９により集光されて導
波光８６とされた後、光検出器６に入射する。

光磁気ディスク７１面に対する回折格子１２の傾斜角を
４５度程度に設定することにより、導波光８５，８６の
光軸を光磁気ディスク７１と平行とできる。これにより
、導波路基板１の長手方向を光磁気ディスクと平行とす
ることができ、導波路基板１の高さを減少させることが
できる。また、上記のように回折格子１２の傾斜角を４
５度程度に設定することにより、平行光８１の光軸を光
磁気ディスク７１と平行とすることができる。これによ
り、レーザ光源２３やコリメートレンズホルダ２１ｂに
要する高さを減少させることができる。

結果的に、第１図に於けるハウジング５ｏの高さを減少
させることができ、ピックアップの小型化、軽量化、低
電力化および耐展性の向上を図ることが可能となる。な
お、光磁気ディスク７１面に対する回折格子１２の傾斜
角は３０度から６０度の範囲のときに、ハウジング５０
の高さを減少させることが可能である。

第３図は、第２図に示した光学系をレーザ光源２３を含
む水平面で切断し、その切断面を光磁気ディスク７１側
から見たものである。第３図において、回折格子１２の
ガラスブロックｌｏ側の表面は、断面形状で三角波形状
に形成されている。

そして、この三角波形状の表面にはアルミ等の金属の薄
膜１１が付着され、回折格子１２は薄膜１１と共に接着
剤５ｂによりガラスブロック１０に固定されている。な
お、金属で形成された回折格子を用いれば、薄膜１１を
付着させる必要はない。また１回折格子１２の表面を断
面形状で矩形波形状に形成してもよいが、ブレーズ化し
たものを用いることにより、不要な回折光の出現を防止
し、光の利用効率を向上させることができる。

第３図においては、導波路基板１として、基板１ａに半
導体を用い、光検出器６を基板１ａに作りつけたものを
示しである。半導体としてシリコンを用いた場合につい
て考える。シリコンの上には絶縁膜２が形成されている
。この絶縁膜２はシリコンの熱酸化により形成した酸化
珪素を用いるか、スパッタ、ＣＶＤ、蒸着、スピンコー
ドによるＳ　ＯＧ　（５ｐｉｒｉ　ｏｎ　Ｇｌａｓｓ　
：液状ガラスで、スピンコードにより膜を形成し、後に
加熱焼成するもの）、その他の技術で形成した薄膜のガ
ラス（あるいは誘電体）でも良い、一般に基板１ａの上
の薄膜は、熱酸化を含め、上記のような技術を用いて形
成する。絶縁膜２の上には導波層３が形成されている。

導波層３にはグレーティングカップラ８、導波路レンズ
９が形成されている。導波層３の上には保護膜４が形成
されている。導波路基板１は接着剤５ａを用いてガラス
ブロック１０に固定されている。

グレーティングカップラ８で導波光となった光は導波路
レンズ９を通過する。光検出器６が形成された領域では
絶縁膜２の厚みが薄く、あるいは無くなっており、ここ
で導波光は光検出器６に入射して信号が検出される。検
出信号は配線７を通じて外部に伝えられる。この光検出
器６の構造は、Ｊ　ｏｕｒｎａｌ　　ｏｆ　　Ｈｇｈｔ
ｔｓａｖｅ　　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、　　シｏ１、、
ＬＴ−４　、　Ｎｏ　７　、　Ｊ　ｕｌｙ　１９８６　
Ａｎ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ−ＯｐｔｉｃＤｉｓｋ　Ｐ
ｉｅｕｐ　Ｄｅｖｉｃｅ、　Ｓｈｏｇｏ　Ｕｒａ　ｅｔ
　ａｌ、第９１５ページの第５図に詳しく示されており
、これは公知の技術である。

レーザ光源２３から射出するレーザ光８０の波長に変動
が生じた際、グレーティングカップラ８で光が結合する
際の結合角度に変動が生じる。このため、回折格子１２
を用い、回折格子１２の回折角度の波長分散を利用し、
波長の変動に応じてグレーティングカップラ８に入射す
る光の角度を調整するように回折格子１２のピッチ、グ
レーティングカツラ８のピッチを選択する。この様にす
ることで、波長変動が生じても、常に高い光学性能を維
持できる。

保護膜４は、導波路の保護と、ガラスブロック１０が存
在しない部分（ガラスブロック１ｏと接していない部分
）で、導波路の等偏屈折率が急激に変化し、光の拡散が
生じることを防止している。

本実施例に要求される光学性能に応じては、保護膜４は
省略することもできる。

保護膜４に接着性のものを用いると、その保護膜４を用
いてガラスブロック１０と導波路基板１とを固定するこ
ともできる。これにより、接着剤５ａを省略して、構成
の単純化を図ることができる。

コリメートレンズホルダ２１−ｂあるいはコリメートレ
ンズ２１ａを、ガラスブロック〕０に接着固定すること
もできる。この様な構成にすれば、さらに部品間の保持
が強固になり、長期にわたる信頼性の向」二を図ること
ができる。特にこの様な場合には、コリメート・レンズ
ホルダ２１ｂを省略し、レンズとしてフレネルレンズ、
ゾーンプレート、ホログラｌえ等の平面レンズを用いる
ことができ、光学系をより一層単純化、小型化すること
が可能である。

次に第４図を用いて、第３図に於ける導波／ｆｙ３に設
けられたグレーティングカップラ８、導波路レンズ９、
および電気処理回路について説明する。

第４図は第３図における導波路基板１を接着剤５ａの部
分で剥し、ガラスブロックのある側から見たものである
。

導波路基板１に形成されたグレーティングカップラ８は
、第４図に示すように、グレーティングカップラ８ａ〜
８ｅ（グレーティングカップラ８８〜８ｅを総称する際
には、グレーティングカップラ８と称する）に分割され
ている。そして、互い違いにＴＥモード用ダグレーティ
ングカップラ、ＴＭモード用ダグレーティングカップラ
が並べられている。ずなオ）ち、グレーティングカップ
ラ８ａ、８ｃ、８ｅがＴＥモート用であり、グレーティ
ングカップラ８ｂ、８ｄがＴＭＭモードである。あるい
は逆にグレーティングカップラ８ａ。

８ｃ、８ｅがＴＭＭモードで、グレーティングカップラ
８ｂ、８ｄがＴＥＥモードでもよい。第４図においては
、グレーティングカップラ８は直線格子であり、ＴＥＥ
モードとＴＭＭモードで、格子ピッチが若干具なってい
る。

グレーティングカップラ８を直線格子とすることで、結
合（入射光９０のような導波路外部を伝播する光を、導
波度内部を伝播する光に変換すること）時の結合角度誤
差許容範囲を拡大することができる。

グレーティングカップラ８に入射する光は、入射光９０
のように斜めに変形された楕円（あるいは円）になる。

これは、第２図におけるガラスブロック１０の回折面が
光磁気ディスク７１に対して４５度程度傾き、さらに反
射面が導波路基板１に対して直角になっていることに起
因する。このため、グレーティングカップラ８の外形は
、入射光９０の形状に合わせ、適当な平行四辺形、ある
いは斜めに変形された楕円、あるいはその他の形状とす
ることができる。

グレーティングカップラ８で結合した光は、各々のグレ
ーティングカップラの領域により、導波光９１ａ−９１
ｅとなる。各々の導波光９１．　ａ〜９１ｅは、導波路
レンズ９，１〜９．ｊに入射する。

本実施例においては、導波路レンズ９（導波路レンズ９
８〜９．ｊを総称する際には、導波路レンズ９と称する
）は、モードインデックスレンズ（導波路の上に、適当
な形状の層を装荷し、装荷部分の等偏屈折率の変化を利
用し２てレンズ効果を発生させるレンズ）として描かれ
ている。

また、導波光９１ａ〜９　’Ｊ、　ｅは、導波路レンズ
９ａ〜９ｅを透過した後に、導波路レンズ９ｆ〜９ｊを
透過して、導波光９１ｆ〜９１．ｊになる５導波路レン
ズ９ｆ〜９ｊは省略しても良いが、２枚構成のレンズと
することで、焦点距離の短いしンズを構成し、導波路基
板１の長さを短くすることができる。また、各々の導波
光が３つ以−ヒの導波路レンズを透過するようにすれば
、さらに導波路基板１の長さを短くすることが０工能で
ある。

導波光９１ｆ　〜９１．ｊは、光検出器６　ａ　〜６　
ｇ（光検出器６ａ〜ｅｇを総称する際には、光検出器６
と称する）に入射する。

第１図において、レーザ光源２３からの光が光磁気デイ
１９フ１面ト、に止しく集光されている場合は、第４図
の入射光９０は平行光であり、グレーティングカップラ
８に直線格子を用いたとき、導波光９１ａ〜９１ｅも平
行光となる。導波光９１ｆは光検出器６ａと６ｂの分割
線近傍に入射し、導波光９１ｊは光検出器６ｆと６ｇの
分割線近傍に入射する。レーザ光源２３からの光が光磁
気ディスク７１面上に正しく集光されていない場合は、
導波光９１ｆが光検出器６ａと６ｂに入射する位置が変
化し、光検出器６ａと６ｂとの出力に差が生じる。同時
に、導波光９１ｊが光検出器６ｆと６ｇに入射する位置
も変化し、光検出器６ｆと６ｇとの出力に差が生じる。

このため、光検出器６ａ、６ｂ、、６ｆ、６ｇの出力髭
プリアンプ３０ａ、３０ｂ、３０ｆ、３０ｇで処理した
後、減算器３１ａ、３１ｂ及び加算器３１ｅで処理する
ことにより、出力線３２ａにフォーカシングエラー信号
が得られる。

導波光９１ｇ、９１ｉは光検出器６Ｃ及び６ｅに入射す
る。後に詳しく述べるが、グレーティングカップラ８ｂ
、８ｄはトラッキングに誤差が生じた際に光量変化が生
じる領域に設けられている。

このため、トラッキング誤差が生じると光検出器６ｃ及
び６ｅからの出力が変化する。そして、それぞれの出力
をプリアンプ３０ｅ、３０ｅで処理した後、減算器３１
ｄで処理することにより、出力１１３２ｂ上にトラッキ
ングエラー信号を得ることができる。

光検出器６ａ、６ｂ、６ｄ、６ｆ、６ｇと、光検出器６
ｃ、６ｅとは別の偏光の光を検出しているので、前者を
加算器３１ｅで加算し、後者を加算器３１ｆで加算して
、互いの出力を減算器３１ｇで減算すれば、出力線３２
ｅ上に光磁気信号の読みだし信号を得ることが出来る。

光磁気信号の検出を効果的に行うため、レーザ光源２３
として、直線偏光を射出できるものを用いる。また、レ
ーザ光源２３からのレーザ光８０の偏光方向は、第２図
において、０次回杭先８２と４５度の角度をなすように
選択すると良い。但し、偏光方向については、第４図に
おける出力線３２ｃ上で光磁気信号の読みだし信号のオ
フセツ°ト、感度等を最適化するため、前述の０次回杭
先と４５度の角度をなす偏光方向から、若干の調整を行
うと良い。

グレーティングカップラ８は、曲線状の格子を有するフ
ォーカシンググレーティングカップラを用いることがで
きる。このようにすることで、導波路レンズ９を廃し、
単純な構成の素子を構成することが可能である。

基板１ａに半導体を用いた場合、第４図のプリアンプ３
０　ａ　〜３０　ｇ　、加算器３１　ｅ　ｓ　３１　ｅ
　ｔ３１ｆ、減算器３１ａ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｇ。

および各配線を導波路基板１上に作り付けることができ
る。このような構成にすることで、光検出器６からの信
号を長い配線を介せずにアンプに導入することができ、
ノイズの低い、信頼性の高い信号を得ることができる。

本実施例によれば、ピックアップ光学系を簡略化して、
ハウジング５０の高さを小さくし、ハウジング５０をき
わめて小型で軽量なものにすることができるので、必要
なデータに対するアクセス速度を向上させることができ
るほか、可動部の慣性を低減して、外部からの外乱に強
く信頼性の高いデータ記録読みたしが可能となるという
効果がある。

（第２実施例） 第５図は、本発明の第２実施例を示している。

本実施例の特徴は、ベース６３に位置決め部材６４およ
び６５が固定され５位置決め部材６５にはレーザ光源２
３が１位置決め部材６４にはコリメートレンズ２１ａを
内蔵したコリメートレンズホルダ２１．　ｂが取り付け
られ、さらにハウジング５０の側面に窓５６が設けられ
ていることである。

この場合にも位置決め部材６４にコリメートレンズ２１
ａを直接取り付けるようにしてもよい。

このような構成によれば、レーザ光源２３から射出した
光は、コリメートレンズホルダ２１ｂに内蔵されたコリ
メートレンズ２１ａにより平行光にされ、ハウジング５
０に設けられた窓５６を通過してガラスブロック１０に
至る。ここを通過した光はレンズアクチュエータ２４に
より保持される集光レンズ２０を通過し、光磁気ディス
ク７１の上に焦点を形成する。そして、光磁気ディスク
７１からの反射光は、集光レンズ２０、ガラスブロック
１０、導波路基板１に設けられたグレーティングカップ
ラ、導波路レンズを通過し、光検出器６に入射する。こ
こで所定の信号を得ることができる。

本実施例によれば、レーザ光源２３及びコリメートレン
ズホルダ２１ｂ、及びコリメートレンズ２１ａを、可動
部分であるハウジング５０から取り外し、非可動部のベ
ース６３に取り付けることができるので、可動部分のハ
ウジング５０を小型、軽量にすることができ、必要な情
報へのアクセス速度の向上、耐震性の向上、消費電力の
低減を図ることができる。

（第３実施例） 第６図から第９図は本発明の第３実施例を示している。

第６図は本実施例の光情報記憶装置の光学系の詳細を示
している。図に示すように、ガラスブロック１０の下面
には導波路基板１が密接して固定されている。またガラ
スブロックｌＯの端面に溶接して固定された回折格子に
は、その三角波形状のＨ線の向きが導波路基板１の長手
方向と直交するように配置されている。他の構成は第１
実施例に示したものと同じであるので、その詳細な説明
は省略する。

上記構成において、レーザ光源２３から射出したレーザ
光８０は、コリメートレンズ２１ａにより平行光８１と
され、その平行光８１はガラスブロック１０に入射し、
回折格子１２に到達する。

そして、回折格子１２からのＯ次回杭先（反射光）８２
が集光レンズ２０を通過し、光磁気ディスク面上に焦点
を形成する。光磁気ディスクからの反射光は集光レンズ
２０で略平行光８３とされ、この略平行光８３はガラス
ブロック１０に入射し、回折格子１２で回折される。そ
して、その１次回折光８６はガラスブロック１ｏに固定
された導波路基板１に照射される。

導波路基板１は、第７図に示すように、基板ｌａ上に絶
縁膜２と導波層３が形成されている。

また、導波層３にはグレーティングカップラ１２１とモ
ードインデックスレンズ１２０が形成されている。ここ
に示したグレーティングカップラ１２１とモードインデ
ックスレンズ１２０は、導波層３を削り込む形態のもの
である。また基板１には光検出ＨＡ６が形成されている
。このように構成された導波路基板１は、接着剤５ａに
よりガラスブロック１０に固定されている。この接着剤
５ａは接着部分以外にも塗布され、保護膜としての効果
も兼ねている。また回折格子１２は接着剤５ｂによって
ガラスブロック１０に固定されている。

次に第８図を用いて、導波路基板１上の光学要素につい
ての説明をする。第８図は、第７図において、接着剤５
ａの部分で導波路基板１とガラスブロック１０とを剥し
、導波路基板１をガラスブロック１０側から見たもので
ある。

グレーティングカップラ１２１は、グレーティングカッ
プラ１２１ａ〜１２１ｅ　（グレーティングカップラ１
２１ａ〜１２１Ｃを総称する際は。

グレーティングカップラ１２１という）に分割されてい
る。ここに入射する光９０はグレーティングカップラ１
２１により導波光９２ａ〜９２ｅとなる。この導波光９
２ａ〜９２ｅは導波路レンズ１２０ａ〜１２０ｅ　（導
波路レンズ１２０ａ〜１２０ｃを総称する際は、導波路
レンズ１２０という）により集光され、導波光９３ａ〜
９３ｅとなって、光検出器１２２ａ〜１２２ｅに入射す
る。

光検出器１２２ａ〜１２２ｅの各々からの出力は、プリ
アンプ３３ａ〜３３ｅにより増幅される。

グレーティングカップラ１２１８〜１２１Ｃは、隣合う
グレーティングカップラの結合する偏光方向が互いに異
なるように配置されている。すなわち、グレーティング
カップラ１２１ａ、１２１ＣがＴＥモード用のグレーテ
ィングカップラで、グレーティングカップラ１２１ｂが
ＴＭモード用のグレーティングカップラである。または
、グレーティングカップラ１２１ａ、１２１ｅがＴＭモ
ード用のグレーティングカップラで、グレーティングカ
ップラ１２１ｂがＴＥモード用のグレーティングカップ
ラとすることもできる。

フォーカシングエラー信号を得る手段は、第４図で述べ
た手法と同様である。すなわち、導波光９３ａは光検出
器１２２ａと１２２ｂの分割線付近に入射する。また、
導波光９３ｃは光検出器１２２ｄと１２２ｅの分割線付
近に入射する。各々の光検出器からの出力を減算器３４
．　ａ、３４ｂ、加算器３４ｅで処理することによりフ
ォーカシングエラー信号を得る。

トラッキングエラー信号を得る手法も、第４図で述べた
手法に似ている。すなわち、第４図におけるグレーティ
ングカップラ８ｂが第８図のグレーティングカップラ１
２１ａに相当し、第４図に於けるグレーティングカップ
ラ８ｄが第８図のグレーティングカップラ１２】ｃに相
当している。

また、第４図の光検出器６ｃからの出力が、第８図の光
検出器１２２ａと１２２ｂの出力の和に相当し、第４図
の光検出器６ｅからの出力が、第８図の光検出器１２２
ｄと１２２ｅの出力の和に相当している１以上のことか
ら、光検出器１２２ａと１２２ｂの出力の和から光検出
器】２２ｄと１２２ｅの出力の和を減ずれば、トラッキ
ングエラー信号を得ることができる。

光磁気信号の検出には、ＴＥモード光強度と。

ＴＭモード光強度の差をとれば良いので、光検出器１、
２２ａ、１２２ｂ、１２２ｄ、１２２ｅの出力の和から
光検出器１２２ｃの出力髪減ずれば良い。

ここでは、グレーティングカップラ１２１を３分割した
手法を例に挙げたが、第４図にみるように、５分割にし
ても良い。同様に、第４図に於て、第８図のような３分
割の手法を用いても良い。

導波光９２ａおよび９２ｅと、導波光９２ｂとは伝播モ
ードが異なる。また、導波光９３ａ及び９３ｅと、導波
光９３ｂとは伝播モードが異なる。

これら異なるモードの光が混じると、クロストークが生
じて、得られる信号の品位が劣化する恐れがある。この
ため、導波路基板１には導波光分離部１３が設けられて
いる。

第９図を用いて、導波路分離部１３について説明する。

第９図は第８図のＩＫ、　−ＩＫ線に沿った断面図であ
る。導波層３ａ〜３ｅ（導波層３ａ〜３ｃを総称する際
は、導波層３という）の各々の間に導波光分離部１３（
光が伝播できない部分）が設けられている。これにより
導波層３の各々の部分を伝播する導波光は別の導波層に
漏れ込むことが無い。

本実施例によれば、ピックアップ光学系を簡略化して、
ピックアップの小型軽量化を達成することができるので
、必要なデータに対するアクセス速度を向上させること
ができる他、可動部の慣性を小さくして、信頼性の高い
データ記録・データ読み呂しを行うことができる。

（第４実施例） 第１０図および第１１図は１本発明の第４実施例を示し
ている。第１０図はトラッキング検出の原理を説明して
いる。光磁気ディスク７１はディスク円盤７１ａ、保護
膜７１ｂ、光磁気記録媒体７１ｃおよびトラック７１ｄ
からなる。そして、トラック７１ｄからの光は、０次回
折光８７．１次回指光ｓｓ、−ｉ次回折光８９から構成
される。

そこで、０次回折光８７と、１次回折光８８とが重なり
あった部分、およびＯ次回杭先８７と、１次回折光８８
とが重なりあった部分が、トラッキング情報受光可能範
囲１１０となる。

第１１図は、導波路基板１にトラッキング検出用のグレ
ーティングカップラがｆｆ！されている模様を示してい
る。すなわち、第１１図のグレーティングカップラ１１
５ａは第４図のグレーティングカップラ８ｂあるいは第
８図のグレーティングカップラ１２１ａに相当している
。また、第１１図のグレーティングカップラ１１５ｂは
、第４図のグレーティングカップラ８ｄあるいは第８図
のグレーティングカップラ１２］Ｃに相当している。

なお、第１１図では、他のグレーティングカップラは省
略されている。

通常、グレーティングカップラ１１５ａ、］１５ｂに入
射する光は、第１１図（ａ）のような位置関係を有しで
いる。すなわち、トラッキング情報受光可能範囲〕】Ｏ
ａの範囲に、グレーティングカップラ１１５ｄ、１１５
ｂが存在している。

第１図や第５図におけるハウジング５０がレール６０に
沿って往復連動した場合、あるいは第１図や第５図にお
ける集光レンズ２０がレンズアクチュエータ２４により
往復連動した場合、あるいはその他の理由により、第１
１図（ｂ）および（ｅ）のように、グレーティングカッ
プラ１１５ａ、１１５ｂに入射する光の位置が変化する
ことがある。

このよう１こ、トラッキング情報受光可能範囲１１０ａ
、１１０ｂ、１１０Ｃの位置は常に一定の位置にあるわ
けではない。そこで、トラッキング情報受光６■能範囲
が変化しても１．常し、トラッキング情報受光可能範囲
にある、オーバーラツプ範囲１１］にグレーティングカ
ップラ１１５ａ、１１５ｂを設けるようにする。これよ
り、導波光１１６ａ、１１６ｂから得られるトラッキン
グエラー信号から、トラッキングエラー信号強度の変動
、トラッキングエラー信号検出感度の変動、トラッキン
グエラー信号のオノセットを除くことができる。

本実施例によれば、常に高品位のトラッキングエラー信
号を得ることができ、装置の信頼性向１−を図ることが
できる。

（第５実施例） 第１２図および第１３図は、本発明の第５実施例を示し
ている。第１２図はフォーカシングエラー信号検出の原
理図を説明している。第１２図において、光磁気ディス
ク７１からの反射光は集光レンズ２０により略平行とな
り、後述のような光学系を経て、光検出５１２５ａ〜１
２５ｃ　（光検出器１２５ａ〜１２５ｃを総称する際は
、光検出器１２．５という）に入射する。ここで、第１
２図（ａ）〜（ｅ）の様に、光磁気ディスク７１と集光
レンズ２０との間隔が変化することにより、光検出器１
２５ａ〜１２５ｃに入射する光の幅が変化する。これに
より、光検出器１２５ａと１２５Ｃからの出力の和から
、光検出器１２５ｂからの出力の和を減じることにより
、フォーカシングエラー信号を検出することができる。

第１３図は導波路基板であり、第８図と同様のグレーテ
ィングカップラ１２１ａ〜１２１ｃが設けられている。

そして、グレーティングカップラ１２１ａで結合した光
は導波路レンズ１２３ａを通過して光検出器１２６ａに
入射し、グレーティングカップラ１２１、ｂで結合した
光は導波路レンズ１２３ｂを通過して光検出器１２５に
入射し、さらにグレーティングカップラ１２１ｃで結合
した光は導波路レンズ１２３ｃを通過して光検出器１２
６ｂに入射する。光検出器１２５，１２６ａ。

１２６ｂからの信号は信号処理回路２００に送られる。

ここで、光検出器１２５から出力される信号によってフ
ォーカシングエラー信号をえる手法は、第１２鐸で説明
したものと同一である。また。

光検出器１２６ａ、１２６ｂからの出力される信号によ
って、トラッキングエラー信号を得る手法は、第１１図
で説明した手法と同一であり、減算器３５ｅを用いる。

また、光磁気信号を検出する手法は、第８図で説明した
手法に似ており、ＴＥモード光強度と、ＴＭモード光強
度の差をとれば良い。すなわち、光検出器１２５の出力
の和を加算器３５ｄで得て、これから光検出器１２６ａ
と１２６ｂの出力の和を減ずれば良い。

本実施例によれば、フォーカシングエラー信号を検出す
るのにグレーティングカップラに入射する光の中央部分
を利用するので、常に誤差の少ない、信頼性の高いフォ
ーカシングエラー信号を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明しまたように、本発明によれば、グレーティン
グカップラの格子ピッチを大きくすることができるので
、導波路基板の４産性を向Ｊさせることができる。

また、ピックアップの小型軽量化が達成できるので、外
部からの振動等の外乱に強い光情報記憶装置を得ること
ができ、データの記録・読み出し２のイご頼性を向上さ
せることがｉｉＪ能となる。

さらに、ピックアップの小型軽量化により、ピックアッ
プ駆動部を小さくすることができ、装置の消費電力も低
減させることが可能どなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す光情報記憶装置の全
体構成図、第２図は第１図の光学系の詳細図、第３図は
第２図のレーザ光源を含む横断面図、第４図は第１図の
光情報記憶装置の導波路基板と信号処理回路の構成図、
第５図は本発明の第２実施例を示す光情報記憶装置の要
部構成図、第６図は本発明の第３実施例を丞す光情報記
憶装置の光学系の詳細図、第７図は第６図のレーザ光源
を含む縦断面図、第８図は第６図の光情報記憶装置の導
波路基板と信号処理回路の構成図、第９図は第８図のＩ
Ｘ−ＩＸ紛、に沿った断面図、第１０図はトラッキング
検出の原理を示す説明図、第１１図は本発明の第４実施
例を示しトラッキング検出用グレーティングカップラの
設置位Ｉｌ！’ｌ示す説明図。 第１２図はフォーカシングエラー検出の原理を丞す説明
図２第１３図は本発明の第５実施例を示し信号処理回路
が設けられた導波路基板の平面図である。 ■・・基板、２・・絶縁膜、３，３ａ〜３ｃ・・・導波
層、４・・保護膜、５ａ、５ｈ−接着剤、６，６ａ〜６
ｇ、１２２ａ〜１、、２２ｅ、１２５ａ〜・１２５ｅ、
１、］２６ａ、１２６ｂ−光検出器７，５５゜１０４・
・・配線、８．８ａ〜８ｅ・・・グレーティングカップ
ラ、９，９８〜・９Ｊ・・・導波路レンズ、１゜・・・
ガラスブロック、〕１　・薄膜、１２・・・回折格子。 １３・・・導波光分離部、２０・・・集光レンズ、２１
−ａ・コリメートレンズ、２１ｂ・・・コリメートレン
ズホルダ、２３・・・レーザ光源、２４・・・レンズア
クチュエータ、３０ａ−３０ｇ、３３ａ〜３３ｅ−プリ
アンプ、３１ａ、３１ｂ、３１ａ、３１ｇ。 ３４、ａ、、　　３４ｂ、　　３４ｆ、　　３４ｈ、　
　３５ｂ、　　３５ｃ、３５ｆ・−減算器、３１　ｃ　
、　３　１、　ｅ　、　３１．　ｆ　。 ３４ｃ、　　３４ｄ、　　３４ｅ、　　３４ｇ、　　３
５ａ、　　３５ｄ、３５ｅ−加算器、３２ａ〜３２ｃ・
出力線、５０　・ハウジング、５１，５２，６４．６５
・・・位置決め部材、５３ａ、５３ｂ・・・アーム、５
４・・・コイル、５６　・窓、６０・ガイド機構、６１
・・・レール、６２・・・磁気回路、６３・・・ベース
、７０・・モータ、７１・・・光磁気ディスク、７１．
　ａディスク円盤、７１ｂ・・保護膜、７１ｅ・・・光
磁気記録媒体、７１．　ｄ・・トラック、８０・・・レ
ーザ光。 ８１・・−平行光、８２．８７・・・０次回折光、８３
略平行光、８４，８６．８８・・・１次回折光、８５導
波光、８９・・−１次回折光、９０・・・入射光、９　
１、、　ａ〜９１ｊ、９２ａ〜９２ｃ、９３ａ〜９３ｅ
、１１６ａ、１１６ｂ・・導波光、１００−・・サーボ
ユニット、】０１・・・リードライトユニット、１０２
・・・システムコントローラ、１０３・・・インターフ
ェース、１０５・・・信号線、１１０・・トラッキング
情報受光可能範囲、１１０ａ〜１１０ｃ・・トラッキン
グ情報受光可能範囲、１１１・・・オーバラップ範囲、
１１５ａ、１１５ｂ・・・トラッキング検出用グレーテ
ィングカップラ、１２０，１２０ａ〜１２０ｅ、１２３
ａ−１２３ｃ・＝導波路レンズ、１２１、．１２１ａ〜
１２１ｃ・・・グレーティングカップラ、２００・・・
信号処理回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光磁気ディスクと、該光磁気ディスク面に略平行に
   レーザ光を照射するレーザ光源と、該レーザ光源からの
   レーザ光の進行方向を前記光磁気ディスク面に垂直な方
   向に変化させ、かつレーザ光を回転中の光磁気ディスク
   面に集光させるレンズ系と、前記光磁気ディスク面から
   の反射光を検出する光検出器と、該光検出器からの信号
   に基づいて、前記レンズ系の駆動部にトラッキングとフ
   ォーカシングの制御信号を出力するとともに、前記光磁
   気ディスクとの間でアクセスを行う信号処理部と、を備
   えた光情報記憶装置において、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク面に対して
   傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を光
   磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、光
   磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させる
   回折格子と、 該回折格子で回折された前記光ディスクからの反射光を
   グレーティングカップラで取り込んで、その反射光を導
   波路を介して前記光検出器に導く導波路基板と、 端面に前記回折格子が密接して固定され、側面に前記導
   波路基板が密接して固定された角柱状のガラスブロック
   と、を備えたことを特徴とする光情報記憶装置。 ２、光磁気ディスクと、該光磁気ディスク面に略平行に
   レーザ光を照射するレーザ光源と、該レーザ光源からの
   レーザ光の進行方向を前記光磁気ディスク面に垂直な方
   向に変化させ、かつレーザ光を回転中の光磁気ディスク
   面に集光させるレンズ系と、前記光磁気ディスク面から
   の反射光を検出する光検出器と、該光検出器からの信号
   に基づいて、前記レンズ系の駆動部にトラッキングとフ
   ォーカシングの制御信号を出力するとともに、前記光磁
   気ディスクとの間でアクセスを行う信号処理部と、を備
   えた光情報記憶装置において、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク面に対して
   傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を光
   磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、光
   磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させる
   回折格子と、 該回折格子で回折された前記光ディスクからの反射光を
   取り込むグレーティングカップラと前記光検出器とが一
   体的に形成され、グレーティングカップラと光検出器が
   導波路で接続された導波路基板と、 端面に前記回折格子が密接して固定され、側面に前記導
   波路基板が密接して固定された角柱状のガラスブロック
   と、を備えたことを特徴とする光情報記憶装置。 ３、光磁気ディスクと、該光磁気ディスク面に略平行に
   レーザ光を照射するレーザ光源と、該レーザ光源からの
   レーザ光の進行方向を前記光磁気ディスク面に垂直な方
   向に変化させ、かつレーザ光を回転中の光磁気ディスク
   面に集光させるレンズ系と、前記光磁気ディスク面から
   の反射光を検出する光検出器と、該光検出器からの信号
   に基づいて、前記レンズ系の駆動部にトラッキングとフ
   ォーカシングの制御信号を出力するとともに、前記光磁
   気ディスクとの間でアクセスを行う信号処理部と、を備
   えた光情報記憶装置において、 前記光磁気ディスクの下方に光磁気ディスク面に対して
   傾斜して設けられ、前記レーザ光源からのレーザ光を光
   磁気ディスク面に垂直な方向に回折させるとともに、光
   磁気ディスク面からの反射光を所定の方向へ回折させる
   回折格子と、 該回折格子で回折された前記光ディスクからの反射光を
   取り込むグレーティングカップラと前記光検出器とが一
   体的に形成され、グレーティングカップラと光検出器が
   導波路で、光検出器と信号処理部が配線でそれぞれ接続
   された導波路基板と、 端面に前記回折格子が密接して固定され、側面に前記導
   波路基板が密接して固定された角柱状のガラスブロック
   と、を備えたことを特徴とする光情報記憶装置。 ４、請求項１〜３のいずれかに記載の光情報記憶装置に
   おいて、 前記レーザ光源、回折格子、導波路基板、ガラスブロッ
   クおよびレンズ系を構成するコリメートレンズと集光レ
   ンズを、前記光磁気ディスクの半径方向に沿って往復移
   動するハウジング内に収納したことを特徴とする光情報
   記憶装置。 ５、請求項１〜３のいずれかに記載の光情報記憶装置に
   おいて、 前記レーザ光源およびレンズ系の構成要素であるコリメ
   ートレンズをベース上に固定するとともに、前記回折格
   子、導波路基板、ガラスブロックおよびレンズ系の構成
   要素である集光レンズを、前記ベース上を前記光磁気デ
   ィスクの半径方向に沿って往復移動するハウジング内に
   収納したことを特徴とする光情報記憶装置。 ６、請求項４又は５に記載の光情報記憶装置において、 前記ハウジングは、リニアモータにより駆動されて往復
   移動をすることを特徴とする光情報記憶装置。 ７、請求項１〜５のいずれかに記載の光情報記憶装置に
   おいて、 前記導波路基板を半導体で構成したことを特徴とする光
   情報記憶装置。 ８、請求項１〜５のいずれかに記載の光情報記憶装置に
   おいて、 前記回折格子は、前記光磁気ディスク面に対して３０度
   から６０度の範囲で傾斜していることを特徴とする光情
   報記憶装置。 ９、請求項１〜５、８のいずれかに記載の光情報記憶装
   置において、 前記回折格子は、表面が三角波状に形成された反射型回
   折格子であることを特徴とする光情報記憶装置。 １０、請求項１〜５のいずれかに記載の光情報記憶装置
   において、 前記導波路基板には、導波路外部の光を導波路内部のＴ
   Ｅ光に変換するＴＥ用グレーティングカップラと、導波
   路外部の光を導波路内部のＴＭ光に変換するＴＭ用グレ
   ーティングカップラとが交互に形成されていることを特
   徴とする光情報記憶装置。 １１、請求項１０に記載の光情報記憶装置において、前
   記ＴＥ用グレーティングカップラとＴＭ用グレーティン
   グカップラとの境界に沿って導波光分離帯を設けたこと
   を特徴とする光情報記憶装置。 １２、請求項１０に記載の光情報記憶装置において、前
   記ＴＥ用またはＴＭ用グレーティングカップラの幅は、
   前記光磁気ディスクからの０次回折光と１次回折光、あ
   るいは０次回折光とマイナス１次回折光との重なり合っ
   た幅より狭く設定されていることを特徴とする光情報記
   憶装置。 １３、請求項２又は３に記載の光情報記憶装置において
   、 前記導波路基板に設けられた光検出器は、前記グレーテ
   ィングカップラからの導波光を同時に受光する３分割タ
   イプの光検出器であることを特徴とする光情報記憶装置
   。 １４、箱型のハウジング内に、レーザ光源、コリメート
   レンズ、角柱状のガラスブロックが一直線上に固定され
   、前記ガラスブロックの端面に回折格子が、側面に導波
   路基板がそれぞれ密着され、かつ前記ガラスブロックの
   上方に集光レンズが取り付けられた光ヘッド。 １５、箱型のハウジング内に、角柱状のガラスブロック
   が固定され、該ガラスブロックの端面に回折格子が、側
   面に導波路基板がそれぞれ密着され、かつ前記ガラスブ
   ロックの上方に集光レンズが取り付けられた光ヘッド。 １６、角柱状のガラスブロックの端面に回折格子が密着
   され、側面に導波路基板が密着された光ヘッド用部品。