JPH0468079A - 発光スクリーンとその製造方法および陰極線管 - Google Patents
発光スクリーンとその製造方法および陰極線管Info
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- JPH0468079A JPH0468079A JP17960190A JP17960190A JPH0468079A JP H0468079 A JPH0468079 A JP H0468079A JP 17960190 A JP17960190 A JP 17960190A JP 17960190 A JP17960190 A JP 17960190A JP H0468079 A JPH0468079 A JP H0468079A
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Landscapes
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はセラミック板上に蛍光体層を備えた発光スクリ
ーンに関するものである。又、本発明はこのような発光
スクリーンを備えた陰極線管に係り、特にＸ線イメージ
管や投写型ブラウン管に関するものである。
ーンに関するものである。又、本発明はこのような発光
スクリーンを備えた陰極線管に係り、特にＸ線イメージ
管や投写型ブラウン管に関するものである。
（従来の技術）
従来、このような発光スクリーンは大きさ数ミクロンの
蛍光体粒子を適当な分散媒に均一に分散してペースト（
スラリー）状にして塗布又は沈降法により適当な基板上
に形成された粉末粒子の積み重ねたものが用いられてき
た。しかしながら蛍光体粒子の積み重ねて形成された蛍
光発光スクリーンでは、陰極線による蛍光体粒子内部で
の発光は蛍光体粒子の表面で移しい反射、屈折を繰り返
すので、得られた発光像は本来の電子線像より、ぼやけ
たものになってしまう欠点を有する。このような欠点は
、将来主流になる高品位、高解像度陰極線管に要求され
る発光スクリーンとしては不十分である。これを解決す
るために、微粒子の蛍光体を用いる方法、蒸着法で蛍光
面を形成する方法が一部で試みられているか、発光効率
の低下が大きく実用化に至っていない。もう一つの方法
としては基板にＹＡＧ等の単結晶を用いてその上に、液
相エピタキシーによりＹＡＧ：Ｃｅ単結晶蛍光面を成長
させた発光スクリーンが提案されている。
蛍光体粒子を適当な分散媒に均一に分散してペースト（
スラリー）状にして塗布又は沈降法により適当な基板上
に形成された粉末粒子の積み重ねたものが用いられてき
た。しかしながら蛍光体粒子の積み重ねて形成された蛍
光発光スクリーンでは、陰極線による蛍光体粒子内部で
の発光は蛍光体粒子の表面で移しい反射、屈折を繰り返
すので、得られた発光像は本来の電子線像より、ぼやけ
たものになってしまう欠点を有する。このような欠点は
、将来主流になる高品位、高解像度陰極線管に要求され
る発光スクリーンとしては不十分である。これを解決す
るために、微粒子の蛍光体を用いる方法、蒸着法で蛍光
面を形成する方法が一部で試みられているか、発光効率
の低下が大きく実用化に至っていない。もう一つの方法
としては基板にＹＡＧ等の単結晶を用いてその上に、液
相エピタキシーによりＹＡＧ：Ｃｅ単結晶蛍光面を成長
させた発光スクリーンが提案されている。
しかしながらこの発光スクリーンでは単結晶表面での全
反射の割合が多く、発光が全面にでないで、基板の横方
向にでてしまい、みかけの発光効率が低いこと、コント
ラストに難点がある。この欠点を補うために、単結晶蛍
光面の表面にＶ字型の溝を網目状に形成して横方向の反
射を防ぐ等の改良が提案されている（特開昭５５−４８
９８号公報参照）が、これに適用できる蛍光体の中に、
現在効率の高いものがないこと、微細加工の困難な点、
量産性製造上の問題点のあること、この網目状のパター
ンが映像に現れること等の欠点があり、十分なものでな
い。
反射の割合が多く、発光が全面にでないで、基板の横方
向にでてしまい、みかけの発光効率が低いこと、コント
ラストに難点がある。この欠点を補うために、単結晶蛍
光面の表面にＶ字型の溝を網目状に形成して横方向の反
射を防ぐ等の改良が提案されている（特開昭５５−４８
９８号公報参照）が、これに適用できる蛍光体の中に、
現在効率の高いものがないこと、微細加工の困難な点、
量産性製造上の問題点のあること、この網目状のパター
ンが映像に現れること等の欠点があり、十分なものでな
い。
更にこれ以外には、市販されている蛍光体を押し固めて
セラミック板状に形成して、これをシンチレータとして
用いることが知られている。例えば、特開昭５４〜９３
６８４号公報には蛍光体としてＢａＦＣｌ：Ｅｕ、Ｌａ
０Ｂｒ：Ｔｂ Ｃｓ！：ＴＩ ＣａＷＯ４又はＣｄＷＯ
４を用いたシンチレータ、特開昭５９−３０８８２号公
報、特開昭５９−３０８８３号公報には（Ｙ、Ｇｄ）２
Ｏ３系の蛍光体を用いた多結晶質のシンチレータが提案
されている。このシンチレータはＸ線ＣＴなどのディテ
クターとして発光効率の向上及びそのために光の透過率
には注意が払われてきたが。しかしながら解像度に注目
した蛍光面として用いることはあまり試みられていなか
った。
セラミック板状に形成して、これをシンチレータとして
用いることが知られている。例えば、特開昭５４〜９３
６８４号公報には蛍光体としてＢａＦＣｌ：Ｅｕ、Ｌａ
０Ｂｒ：Ｔｂ Ｃｓ！：ＴＩ ＣａＷＯ４又はＣｄＷＯ
４を用いたシンチレータ、特開昭５９−３０８８２号公
報、特開昭５９−３０８８３号公報には（Ｙ、Ｇｄ）２
Ｏ３系の蛍光体を用いた多結晶質のシンチレータが提案
されている。このシンチレータはＸ線ＣＴなどのディテ
クターとして発光効率の向上及びそのために光の透過率
には注意が払われてきたが。しかしながら解像度に注目
した蛍光面として用いることはあまり試みられていなか
った。
（発明が解決しようとする課題）
上述の如く、従来の発光スクリーンでは、高い発光効率
と大きな解像度とを同時に満足させることができなかっ
た。
と大きな解像度とを同時に満足させることができなかっ
た。
本発明の目的は、高い発光効率および高解像度を兼ね備
えたセラミック板状の発光スクリーンを得ることにある
。又、本発明の発光スクリーンを用いて品質向上を図っ
た陰極線管を提供することを目的とする。
えたセラミック板状の発光スクリーンを得ることにある
。又、本発明の発光スクリーンを用いて品質向上を図っ
た陰極線管を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明の発光スクリーンは、一般式ＲＥ２Ｏ２Ｓ ：Ｒ
Ｅ’ （但し、ＲＥはＹ、 Ｌａ、 Ｇｄ’、 Ｌｕ
の中から選ばれた少なくとも一種、ＲＥ’ はＴｂ、
Ｅｕ、 Ｐｒ、 Ｔｍ、 Ｓｍ、 Ｄ７の中から選ばれ
た少なくとも一種）で表される希土類酸硫化物蛍光体の
成型物をセラミックス板上に形成したことを特徴とする
ものである。
Ｅ’ （但し、ＲＥはＹ、 Ｌａ、 Ｇｄ’、 Ｌｕ
の中から選ばれた少なくとも一種、ＲＥ’ はＴｂ、
Ｅｕ、 Ｐｒ、 Ｔｍ、 Ｓｍ、 Ｄ７の中から選ばれ
た少なくとも一種）で表される希土類酸硫化物蛍光体の
成型物をセラミックス板上に形成したことを特徴とする
ものである。
また、本発明の発光スクリーンの製造方法は、一般式Ｒ
Ｅ２Ｏ３とＲＥ′２Ｏ３（但し、ＲＥはＹ、ＬａＧ＋ｌ
、 Ｌｏの中から選ばれた少なくとも一種、ＲＥ’
はＴｂ、 Ｅｕ、 Ｐ「、 Ｔｍ、 Ｓｍ、 Ｄｙの中
から選ばれた少なくとも一種）と硫黄および炭酸アルカ
リとを混合し混合物を得る工程と、この混合物を焼成し
焼成物を得る工程と、この焼成物を洗浄して希土類酸硫
化物蛍光体粒子を得る工程と、この希土類酸硫化物蛍光
体粒子をラバープレスにより成型する工程と、この成型
物をアニールした後ホットアイソスタティックプレスを
行う工程と、前記成型物を研磨する工程と、セラミック
板上に前記成型物を形成する工程とを具備することを特
徴とするものである。
Ｅ２Ｏ３とＲＥ′２Ｏ３（但し、ＲＥはＹ、ＬａＧ＋ｌ
、 Ｌｏの中から選ばれた少なくとも一種、ＲＥ’
はＴｂ、 Ｅｕ、 Ｐ「、 Ｔｍ、 Ｓｍ、 Ｄｙの中
から選ばれた少なくとも一種）と硫黄および炭酸アルカ
リとを混合し混合物を得る工程と、この混合物を焼成し
焼成物を得る工程と、この焼成物を洗浄して希土類酸硫
化物蛍光体粒子を得る工程と、この希土類酸硫化物蛍光
体粒子をラバープレスにより成型する工程と、この成型
物をアニールした後ホットアイソスタティックプレスを
行う工程と、前記成型物を研磨する工程と、セラミック
板上に前記成型物を形成する工程とを具備することを特
徴とするものである。
更に、本発明は、上記発光スクリーンを備えた陰極線管
である。
である。
尚、本発明でいうセラミックは、多結晶質の物質をいう
。
。
（作用）
希土類酸硫化物 ＲＥ２Ｏ２ Ｓ ： ＲＥ’ 蛍光体
は、陰極線励起で硫化亜鉛ＺｎＳ系蛍光体に次いで発光
効率が高いものとして知られており、コンタミネーショ
ンに強く化学的にも安定な蛍光体である。
は、陰極線励起で硫化亜鉛ＺｎＳ系蛍光体に次いで発光
効率が高いものとして知られており、コンタミネーショ
ンに強く化学的にも安定な蛍光体である。
通常ブラウン管等に用いる希土類酸硫化物ＲＬ０２Ｓ：
ＲＥ’蛍光体の粒径は５μｍ以上であるが、本発明者等
は種々の粒径の蛍光体について実験を行なった結果、粒
径が５μｍ程度かそれ以上の場合には、上記のラバープ
レスで十分よく固まらず、セラミック板状態にするには
かなりの圧力を要し、また結晶中の気泡が抜けにくく、
結晶中の歪みも大きくなり、このため発光特性が悪化し
、好ましくないことがわかった。第１図は蛍光体として
Ｙ２Ｏ２８：Ｔｂを用いて、下記の方法で発光スクリー
ンを形成したときのラバープレス前の蛍光体の粒径と発
光スクリーンの輝度、解像度の関係を示したものである
。この図から明らかなように、粒径が３μｍを越えると
輝度の低下が大きくなることがわかる。
ＲＥ’蛍光体の粒径は５μｍ以上であるが、本発明者等
は種々の粒径の蛍光体について実験を行なった結果、粒
径が５μｍ程度かそれ以上の場合には、上記のラバープ
レスで十分よく固まらず、セラミック板状態にするには
かなりの圧力を要し、また結晶中の気泡が抜けにくく、
結晶中の歪みも大きくなり、このため発光特性が悪化し
、好ましくないことがわかった。第１図は蛍光体として
Ｙ２Ｏ２８：Ｔｂを用いて、下記の方法で発光スクリー
ンを形成したときのラバープレス前の蛍光体の粒径と発
光スクリーンの輝度、解像度の関係を示したものである
。この図から明らかなように、粒径が３μｍを越えると
輝度の低下が大きくなることがわかる。
そしてこれより小さい現在の製造方法での最小に近い粒
径である０、０５μｍの範囲では輝度は良好な値を示す
ことがわかる。より好ましい粒径の範囲は０．１〜２μ
ｍである。この図の中の解像度もラバープレス前の蛍光
体の粒径が３μｍを越えると発光スクリーン上の１ｍｍ
当たりの識別できる臨界ラインペア数も低下し好ましく
ないことが分かる。
径である０、０５μｍの範囲では輝度は良好な値を示す
ことがわかる。より好ましい粒径の範囲は０．１〜２μ
ｍである。この図の中の解像度もラバープレス前の蛍光
体の粒径が３μｍを越えると発光スクリーン上の１ｍｍ
当たりの識別できる臨界ラインペア数も低下し好ましく
ないことが分かる。
本発明のセラミック板状発光スクリーンに用いる粒径が
約０．０５〜３μｍの蛍光体は、以下のような工程で製
造される。すなわち、ＲＥ２Ｏ３とＲＥ′２Ｏ３と硫黄
Ｓと融剤として炭酸アルカリであるＮａ２ＣＯ３、Ｋ２
ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３の少なくとも一種を所定量秤量し
て、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツボ等
に充填し、蓋をして５００〜１０００℃で４〜５關焼成
を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩
別工程を経て、粒径か約０．１〜２μｍの希土類酸硫化
物ＲＥ、 ０７ＳＲＥ’ 蛍光体か得られる。
約０．０５〜３μｍの蛍光体は、以下のような工程で製
造される。すなわち、ＲＥ２Ｏ３とＲＥ′２Ｏ３と硫黄
Ｓと融剤として炭酸アルカリであるＮａ２ＣＯ３、Ｋ２
ＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３の少なくとも一種を所定量秤量し
て、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツボ等
に充填し、蓋をして５００〜１０００℃で４〜５關焼成
を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩
別工程を経て、粒径か約０．１〜２μｍの希土類酸硫化
物ＲＥ、 ０７ＳＲＥ’ 蛍光体か得られる。
この蛍光体をラバープレスで１〜２ｊ／ｃｍ２の圧力て
成型した後、窒素または硫黄雰囲気中８００〜１０００
℃の温度で１〜５時間アニールする。アニール後、この
成型物を温度１０００−１６００℃、圧力１〜２ｔ／ｃ
ｍ’のアルゴンガス雰囲気でホットアイソスタティック
プレス（ＨＩ Ｐ）処理を行う。次にこのＨＩＰ処理の
終了した成型物を、セラミック板上に低融点ガラスの無
機物系接着剤で接着させ、スライス、研磨、イオンミリ
ングにより １０〜５０μｍの厚さのセラミック板状本
発明の発光スクリーンを構成している蛍光体層は、通常
のブラウン管用の蛍光体粒子５〜１０μｍとほぼ同等の
発光効率を示し、１〜１０μｍの粒界て区切られている
ため、発光スクリーンの横方向における発光の散乱を抑
えることができ解像度およびコントラストに優れ、発光
スクリーンの前面に効率よく発光を集中させることがで
きる。
成型した後、窒素または硫黄雰囲気中８００〜１０００
℃の温度で１〜５時間アニールする。アニール後、この
成型物を温度１０００−１６００℃、圧力１〜２ｔ／ｃ
ｍ’のアルゴンガス雰囲気でホットアイソスタティック
プレス（ＨＩ Ｐ）処理を行う。次にこのＨＩＰ処理の
終了した成型物を、セラミック板上に低融点ガラスの無
機物系接着剤で接着させ、スライス、研磨、イオンミリ
ングにより １０〜５０μｍの厚さのセラミック板状本
発明の発光スクリーンを構成している蛍光体層は、通常
のブラウン管用の蛍光体粒子５〜１０μｍとほぼ同等の
発光効率を示し、１〜１０μｍの粒界て区切られている
ため、発光スクリーンの横方向における発光の散乱を抑
えることができ解像度およびコントラストに優れ、発光
スクリーンの前面に効率よく発光を集中させることがで
きる。
（実施例）
以下本発明を具体的実施例により図面を参照しながら詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例１゜
Ｙ ２Ｏ３２８５ｇとＥｕ２Ｏ３１５ｇと硫黄８９０ｇ
と融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ ＣＯ３９０ｇを秤
量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツ
ボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成を行う。
と融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ ＣＯ３９０ｇを秤
量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツ
ボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成を行う。
焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工程を
経て、粒径が約０．３μｍの赤色発光希土類酸硫化物Ｙ
２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ蛍光体を製造する。
経て、粒径が約０．３μｍの赤色発光希土類酸硫化物Ｙ
２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ蛍光体を製造する。
この蛍光体はラバープレスで１．５ｊ／ｃｍ’の圧力で
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０
００℃の温度で１５時間アニールする。アニール後、こ
の成型物は温度１５００°Ｃ１圧力１．５ｔ／ｃｍ２の
アルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。次にこのＨＩ
Ｐ処理の終了した成型物を外周刃にて切削加工後、片面
を鏡面研磨したウエノ＼状態のものを、第１図に示すよ
うなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低融点ガラス
の無機物系接着剤３て接着させ、成型物１の表面を粗研
磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによるイオンミ
リングにより約２Ｏμｍの厚さの赤色発光スクリーンを
作製する。
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０
００℃の温度で１５時間アニールする。アニール後、こ
の成型物は温度１５００°Ｃ１圧力１．５ｔ／ｃｍ２の
アルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。次にこのＨＩ
Ｐ処理の終了した成型物を外周刃にて切削加工後、片面
を鏡面研磨したウエノ＼状態のものを、第１図に示すよ
うなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低融点ガラス
の無機物系接着剤３て接着させ、成型物１の表面を粗研
磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによるイオンミ
リングにより約２Ｏμｍの厚さの赤色発光スクリーンを
作製する。
このようにして得られた発光スクリーン５を構成してい
る蛍光体層である成型物１は、多数に区画された粒界２
を有し、ブラウン管等に用いられる通常の粒径５〜１０
μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発光効率を示す高いもの
であり、解像度は通常の塗布蛍光面が５０１ｐ／ｍｍで
あるのに対して、１２Ｏ ｌｐ／ｍｍと高く優れたもの
である。
る蛍光体層である成型物１は、多数に区画された粒界２
を有し、ブラウン管等に用いられる通常の粒径５〜１０
μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発光効率を示す高いもの
であり、解像度は通常の塗布蛍光面が５０１ｐ／ｍｍで
あるのに対して、１２Ｏ ｌｐ／ｍｍと高く優れたもの
である。
実施例２、
Ｇ ｄ ２Ｏ３２８５ｇとＴｂ４０７１５ｇと硫黄８９
０ｇと融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ ＣＯ３９０ｇ
を秤量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナ
ルツボ等に充填し、蓋をして６００℃で３時間焼成を行
う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工
程を経て、粒径が約０．２μｍの緑色発光希土類酸硫化
物Ｇｄ２Ｏ□Ｓ：Ｔｂ蛍光体を製造する。この蛍光体は
ラバープレスで１．５１７ｃｍ２の圧力で直径約５ｃｍ
の円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０００℃の温度
で１．５時間アニールする。
０ｇと融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ ＣＯ３９０ｇ
を秤量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナ
ルツボ等に充填し、蓋をして６００℃で３時間焼成を行
う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工
程を経て、粒径が約０．２μｍの緑色発光希土類酸硫化
物Ｇｄ２Ｏ□Ｓ：Ｔｂ蛍光体を製造する。この蛍光体は
ラバープレスで１．５１７ｃｍ２の圧力で直径約５ｃｍ
の円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０００℃の温度
で１．５時間アニールする。
アニール後、この成型物は温度１２Ｏ０℃、圧力１，５
１７ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
１７ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
次にこのＨＩＰ処理の終了した成型物を外周刃にて切削
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの緑色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μ山の蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が６（ｌ ｌｐ、／ａ＋ｍであるのに対して、１２Ｏ
１ｐ／ｍｍ以上と高く優れたものである。
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの緑色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μ山の蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が６（ｌ ｌｐ、／ａ＋ｍであるのに対して、１２Ｏ
１ｐ／ｍｍ以上と高く優れたものである。
実施例３゜
Ｇｄ２Ｏ３２９１１．５ｇトＰ ｒ６ ｏｌｌｌ、５ｇ
と硫黄８９０ｇと融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ Ｃ
０３！ｌＯｇを秤量して、十分良く混合する。この混合
物をアルミナルツボ等に充填し、蓋をして５００℃で３
時間焼成を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、
乾燥、篩別工程を経て、粒径が約０．１μｍの緑色発光
希土類酸硫化物Ｇｄ２Ｏ□Ｓ：Ｐｒ蛍光体を製造スる。
と硫黄８９０ｇと融剤として炭酸ソーダＮ ａ ２ Ｃ
０３！ｌＯｇを秤量して、十分良く混合する。この混合
物をアルミナルツボ等に充填し、蓋をして５００℃で３
時間焼成を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、
乾燥、篩別工程を経て、粒径が約０．１μｍの緑色発光
希土類酸硫化物Ｇｄ２Ｏ□Ｓ：Ｐｒ蛍光体を製造スる。
この蛍光体はラバープレスで１．５ｔ／ｃｍ２の圧力で
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０
００℃の温度で１．５時間アニールする。
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０
００℃の温度で１．５時間アニールする。
アニール後、この成型物は温度ＩＨａ℃、圧力１．５ｊ
／ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
／ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
次にこのＨＩＰ処理の終了した成型物を外周刃にて切削
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの緑色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が４０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１００ ｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの緑色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が４０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１００ ｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
実施例４゜
Ｌ ａ ２Ｏ３２９７ｇとＴ ｍ ２Ｏ３３ｇと硫黄８
９０ｇと融剤として炭酸ソーダ Ｎａ２ＣＯ３９０ｇを
秤量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナル
ツボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成を行う
。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工程
を経て、粒径が約０．３μｍの青色発光希土類酸硫化物
Ｌａ２Ｏ２Ｓ：Ｔｍ蛍光体を製造する。この蛍光体はラ
バープレスで１．５ｔ／ｃｍ２の圧力で直径約５ｃｍの
円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０００℃の温度で
１，５時間アニールする。
９０ｇと融剤として炭酸ソーダ Ｎａ２ＣＯ３９０ｇを
秤量して、十分良く混合する。この混合物をアルミナル
ツボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成を行う
。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工程
を経て、粒径が約０．３μｍの青色発光希土類酸硫化物
Ｌａ２Ｏ２Ｓ：Ｔｍ蛍光体を製造する。この蛍光体はラ
バープレスで１．５ｔ／ｃｍ２の圧力で直径約５ｃｍの
円柱状に成型した後、硫黄雰囲気で１０００℃の温度で
１，５時間アニールする。
アニール後、この成型物は温度１５００℃、圧力１５１
／ｃｎ＋２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
／ｃｎ＋２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
次にこのＨＩＰ処理の終了した成型物を外周刃にて切削
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの青色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜ｊＯμｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が５０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１１０ ｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの青色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜ｊＯμｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が５０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１１０ ｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
実施例５゜
Ｌ ０２Ｏ３２９５ｇとＳｍ２Ｏｈ １５ｇ と硫黄８
９０ｇと融剤として炭酸リチウムＬ ｉ ２ Ｃ０３５
０ｇを秤量して、十分良く混合する。この混合物をアル
ミナルツボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成
を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩
別工程を経て、粒径が約０３μｍの光種発光希土類酸硫
化物Ｌｕ２Ｏ２Ｓ：Ｓｍ蛍光体を製造する。この蛍光体
はラバープレスで］、 ５ｔ／ｃｍ２の圧力で直径約５
ｃｍの円柱状に成型した後、窒素雰囲気で１０００℃の
温度で１．５時間アニールする。
９０ｇと融剤として炭酸リチウムＬ ｉ ２ Ｃ０３５
０ｇを秤量して、十分良く混合する。この混合物をアル
ミナルツボ等に充填し、蓋をして８００℃で３時間焼成
を行う。焼成物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩
別工程を経て、粒径が約０３μｍの光種発光希土類酸硫
化物Ｌｕ２Ｏ２Ｓ：Ｓｍ蛍光体を製造する。この蛍光体
はラバープレスで］、 ５ｔ／ｃｍ２の圧力で直径約５
ｃｍの円柱状に成型した後、窒素雰囲気で１０００℃の
温度で１．５時間アニールする。
アニール後、この成型物は温度１５００℃、圧力１．５
ｔ／ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
ｔ／ｃｍ２のアルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。
次にこのＨＩＰ処理の終了した成型物を外周刃にて切削
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの青色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が５０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１２（ｌｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
加工後、片面を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１
図に示すようなガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低
融点ガラスの無機物系接着剤３で接着させ、成型物１の
表面を粗研磨または鏡面研磨した後、アルゴンガスによ
るイオンミリングにより約５０μｍの厚さの青色発光ス
クリーンを作製する。このようにして得られた発光スク
リーン５を構成している蛍光体層である成型物１は、多
数に区画された粒界２を有し、ブラウン管等に用いられ
る通常の粒径５〜１０μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発
光効率を示す高いものであり、解像度は通常の塗布蛍光
面が５０１ｐ／ｍｍであるのに対して、１２（ｌｌｐ／
ｍｍと高く優れたものである。
実施例６゜
Ｙ２Ｏ３２９０ｇとＤ ７４０７１０ｇと硫黄３９０ｇ
と融剤として炭酸カリウムに２ Ｃ０３９０ｇを秤量し
て、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツボ等
に充填し、蓋をして６００℃で３時間焼成を行う。焼成
物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工程を経て
、粒径が約０．２μｍの緑色発光希土類酸硫化物Ｙ２Ｏ
□８：ＤＶ蛍光体を製造する。
と融剤として炭酸カリウムに２ Ｃ０３９０ｇを秤量し
て、十分良く混合する。この混合物をアルミナルツボ等
に充填し、蓋をして６００℃で３時間焼成を行う。焼成
物はルツボより取りだし、洗浄、乾燥、篩別工程を経て
、粒径が約０．２μｍの緑色発光希土類酸硫化物Ｙ２Ｏ
□８：ＤＶ蛍光体を製造する。
この蛍光体はラバープレスで１．５ｆ／ｃｍ２の圧力で
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、窒素雰囲気で１０
００℃の温度で１．５時間アニールする。アニール後、
この成型物は温度１２Ｏ０℃、圧力１．５ｔ／ｃｍ２の
アルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。次にこのＨＩ
Ｐ処理の終了した成型物を外周刃にて切削加工後、片面
を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１図に示すよう
なガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低融点ガラスの
無機物系接着剤３て接着させ、成型物１の表面を粗研磨
または鏡面研磨した後、アルゴンガスによるイオンミリ
ングにより約５０μｍの厚さの青色発光スクリーンを作
製する。
直径約５ｃｍの円柱状に成型した後、窒素雰囲気で１０
００℃の温度で１．５時間アニールする。アニール後、
この成型物は温度１２Ｏ０℃、圧力１．５ｔ／ｃｍ２の
アルゴンガス雰囲気でＨＩＰ処理を行う。次にこのＨＩ
Ｐ処理の終了した成型物を外周刃にて切削加工後、片面
を鏡面研磨したウェハ状態のものを、第１図に示すよう
なガラス基板４上に硼珪酸アルカリ等の低融点ガラスの
無機物系接着剤３て接着させ、成型物１の表面を粗研磨
または鏡面研磨した後、アルゴンガスによるイオンミリ
ングにより約５０μｍの厚さの青色発光スクリーンを作
製する。
このようにして得られた発光スクリーン５を構成してい
る蛍光体層である成型物１は、多数に区画された粒界２
を有し、ブラウン管等に用いられる通常の粒径５〜１０
μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発光効率を示す高いもの
であり、解像度は通常の塗布蛍光面が６０ ｌｐ／ｍｍ
であるのに対して、１２Ｏ ｌｐ／ｍｍ以上と高く優れ
たものである。
る蛍光体層である成型物１は、多数に区画された粒界２
を有し、ブラウン管等に用いられる通常の粒径５〜１０
μｍの蛍光体粒子とほぼ同等の発光効率を示す高いもの
であり、解像度は通常の塗布蛍光面が６０ ｌｐ／ｍｍ
であるのに対して、１２Ｏ ｌｐ／ｍｍ以上と高く優れ
たものである。
［発明の効果］
本発明の発光スクリーンによれば、結晶性がよく発光効
率が高い。また、横方向の発光の散乱を抑えることがで
きるため、解像度に優れている。
率が高い。また、横方向の発光の散乱を抑えることがで
きるため、解像度に優れている。
従って、本発明の発光スクリーンを備えた陰極線管は発
光効率と解像度が高いため、工業的価値は極めて高い。
光効率と解像度が高いため、工業的価値は極めて高い。
第１図は本発明の発光スクリーンを示す断面図、第２図
は蛍光体としてＹ２Ｏ２８：Ｔｂを用いて本発明の製造
方法で発光スクリーンを形成したときのラバープレス前
の蛍光体の粒径と発光スクリーンの輝度および解像度の
関係を示したものである。 １・・・・・成型物 ３・・・・・・無機物系接着剤 ４・・・・・・セラミック板 ５・・・・・・発光スクリーン 同 竹 花 喜久男
は蛍光体としてＹ２Ｏ２８：Ｔｂを用いて本発明の製造
方法で発光スクリーンを形成したときのラバープレス前
の蛍光体の粒径と発光スクリーンの輝度および解像度の
関係を示したものである。 １・・・・・成型物 ３・・・・・・無機物系接着剤 ４・・・・・・セラミック板 ５・・・・・・発光スクリーン 同 竹 花 喜久男
Claims (3)
- （１）一般式ＲＥ＿２Ｏ＿２Ｓ：ＲＥ′（但し、ＲＥは
Ｙ，Ｌａ，Ｇｄ，Ｌｕの中から選ばれた少なくとも一種
、ＲＥ′はＴｂ，Ｅｕ，Ｐｒ，Ｔｍ，Ｓｍ，Ｄｙの中か
ら選ばれた少なくとも一種）で表される希土類酸硫化物
蛍光体の成型物をセラミック板上に形成したことを特徴
とする発光スクリーン。 - （２）一般式ＲＥ＿２Ｏ＿３とＲＥ′＿２Ｏ＿３（但し
、ＲＥはＹ，Ｌａ，Ｇｄ，Ｌｕの中から選ばれた少なく
とも一種、ＲＥ′はＴｂ，Ｅｕ，Ｐｒ，Ｔｍ，Ｓｍ，Ｄ
ｙの中から選ばれた少なくとも一種）と硫黄および炭酸
アルカリとを混合し混合物を得る工程と、この混合物を
焼成し焼成物を得る工程と、この焼成物を洗浄して希土
類酸硫化物蛍光体粒子を得る工程と、この希土類酸硫化
物蛍光体粒子をラバープレスにより成型する工程と、こ
の成型物をアニールした後ホットアイソスタティックプ
レスを行う工程と、前記成型物を研磨する工程と、セラ
ミック板上に前記成型物を形成する工程とを具備するこ
とを特徴とする発光スクリーンの製造方法。 - （３）請求項１に記載の発光スクリーンを備えたことを
特徴とする陰極線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17960190A JPH0468079A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 発光スクリーンとその製造方法および陰極線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17960190A JPH0468079A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 発光スクリーンとその製造方法および陰極線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468079A true JPH0468079A (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=16068598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17960190A Pending JPH0468079A (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 | 発光スクリーンとその製造方法および陰極線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0468079A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004059767A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Nichia Chem Ind Ltd | 電子線励起ディスプレイ、及びそれに用いる赤色発光蛍光体 |
-
1990
- 1990-07-09 JP JP17960190A patent/JPH0468079A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004059767A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Nichia Chem Ind Ltd | 電子線励起ディスプレイ、及びそれに用いる赤色発光蛍光体 |
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