JPH0464567B2 - - Google Patents
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- JPH0464567B2 JPH0464567B2 JP62245939A JP24593987A JPH0464567B2 JP H0464567 B2 JPH0464567 B2 JP H0464567B2 JP 62245939 A JP62245939 A JP 62245939A JP 24593987 A JP24593987 A JP 24593987A JP H0464567 B2 JPH0464567 B2 JP H0464567B2
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- angle measuring
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- upb
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- Expired - Lifetime
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- KJWMGLBVDNMNQW-VWTMXFPPSA-N Pectenotoxin 1 Chemical compound O[C@@H]1[C@H](C)CCO[C@]1(O)[C@H]1O[C@@H]2/C=C/C(/C)=C/[C@H](C)C[C@](C)(O3)CC[C@@H]3[C@](O3)(O4)CC[C@@]3(CO)C[C@@H]4[C@@H](O3)C(=O)C[C@]3(C)[C@@H](O)[C@@H](O3)CC[C@@]3(O3)CCC[C@H]3[C@@H](C)C(=O)O[C@@H]2C1 KJWMGLBVDNMNQW-VWTMXFPPSA-N 0.000 description 2
- PTKFEDGHUVZLPL-LLUYWJARSA-N Pectenotoxin 2 Chemical compound O[C@@H]1[C@H](C)CCO[C@]1(O)[C@H]1O[C@@H]2/C=C/C(/C)=C/[C@H](C)C[C@](C)(O3)CC[C@@H]3[C@](O3)(O4)CC[C@@]3(C)C[C@@H]4[C@@H](O3)C(=O)C[C@]3(C)[C@@H](O)[C@@H](O3)CC[C@@]3(O3)CCC[C@H]3[C@@H](C)C(=O)O[C@@H]2C1 PTKFEDGHUVZLPL-LLUYWJARSA-N 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、一方の物体に連結する目盛ホルダ
ーの格子目盛を、円周上の対向位置にある二つの
格子目盛領域で、他方の物体に連結する走査ユニ
ツトによつて光ビーム回折に基づき走査する、相
対的に回転する二つの物体の角度を測定する光電
測角装置に関する。
ーの格子目盛を、円周上の対向位置にある二つの
格子目盛領域で、他方の物体に連結する走査ユニ
ツトによつて光ビーム回折に基づき走査する、相
対的に回転する二つの物体の角度を測定する光電
測角装置に関する。
この種の測角装置は加工品に対する工具の相対
位置を測定するために、特に工作機械に使用され
ている。
位置を測定するために、特に工作機械に使用され
ている。
F.Hockによる学位論文「回折格子による長さ
または角度の変化の光電測定」1975年の第８６図
には、目盛円盤の角度目盛の偏心誤差を除去する
測角装置が記載されている。この装置では、第１
０図に示すように、光源Ｌの光ビームが集光レン
ズＫを経由して目盛円盤Ｒの角度目盛の第一角度
領域M1を通過し、第一５角形プリズムP1、第１
偏向プリズムP2および第一対物レンズO1を経由
してウオラストンプリズムＷに導入され、二つの
分割ビームに分離される。両方の分割ビームは、
第二対物レンズO2、第二５角形プリズムP3およ
び第二偏向プリズムP4を経由して、第一角度領
域W1に対して円周上で対向する目盛円盤Ｒの角
度目盛の第二角度領域W2を通過し、偏光分離プ
リズムＴを経由して２個の光検出器Ａ，Ｂに入射
する。この測角装置は多数の光学部材を使用する
ため、寸法が大きく、組立や調整に経費がかか
る。
または角度の変化の光電測定」1975年の第８６図
には、目盛円盤の角度目盛の偏心誤差を除去する
測角装置が記載されている。この装置では、第１
０図に示すように、光源Ｌの光ビームが集光レン
ズＫを経由して目盛円盤Ｒの角度目盛の第一角度
領域M1を通過し、第一５角形プリズムP1、第１
偏向プリズムP2および第一対物レンズO1を経由
してウオラストンプリズムＷに導入され、二つの
分割ビームに分離される。両方の分割ビームは、
第二対物レンズO2、第二５角形プリズムP3およ
び第二偏向プリズムP4を経由して、第一角度領
域W1に対して円周上で対向する目盛円盤Ｒの角
度目盛の第二角度領域W2を通過し、偏光分離プ
リズムＴを経由して２個の光検出器Ａ，Ｂに入射
する。この測角装置は多数の光学部材を使用する
ため、寸法が大きく、組立や調整に経費がかか
る。
出版物「Motion」７月／８月号、1986年の第
３、４頁には、西村等の「レーザーロータリエン
コーダ」の論説で、目盛円盤の目盛角度の偏心誤
差を除去する測角装置が開示されている。この装
置では、第１１図に示すように、レーザーダイオ
ードLXの光ビームが偏光分離プリズムPPXを通
り抜けて二つの分割ビームに分離される。第一分
割ビームは第一位相板PTX1と第一鏡MX1を経由
して目盛円盤RXの角度目盛SXの第一角度領域
W1を通過して、回折ビームを発生する。正の一
次回折ビームDBX1が第一反射体RFX1によつて
第一角度領域M1、第一鏡MX1および第一位相板
PTX1を通り抜け、偏向分離プリズムPPXに戻
り、第三位相板TX3、ビーム分離器BSXおよび
第一偏光板PZ1を通り抜けて第一光検出器DX1に
入射する。第二分割ビームは第二位相板PTX2と
第二鏡MX2を経由して目盛円盤RXの角度目盛
SXの第二角度領域M2を通過して、回折ビームを
発生させる。負の一次回折ビーム−DBX2が第二
反射体RFX2によつて第二角度領域M2、第二鏡
MX2および第二位相板PTX2を通過して偏光分離
プリズムPPXに戻り、第三位相板PTX3、ビーム
分離器BSXと第二偏光板PZ2を経由して第二検出
器DX2に入射する。比較的経費の少ない上記の測
角装置でも、組立、調整の経費がかなり必要であ
る。加えて、レーザーダイオードの光強度の半分
しか両方の光検出器に到達しない。
３、４頁には、西村等の「レーザーロータリエン
コーダ」の論説で、目盛円盤の目盛角度の偏心誤
差を除去する測角装置が開示されている。この装
置では、第１１図に示すように、レーザーダイオ
ードLXの光ビームが偏光分離プリズムPPXを通
り抜けて二つの分割ビームに分離される。第一分
割ビームは第一位相板PTX1と第一鏡MX1を経由
して目盛円盤RXの角度目盛SXの第一角度領域
W1を通過して、回折ビームを発生する。正の一
次回折ビームDBX1が第一反射体RFX1によつて
第一角度領域M1、第一鏡MX1および第一位相板
PTX1を通り抜け、偏向分離プリズムPPXに戻
り、第三位相板TX3、ビーム分離器BSXおよび
第一偏光板PZ1を通り抜けて第一光検出器DX1に
入射する。第二分割ビームは第二位相板PTX2と
第二鏡MX2を経由して目盛円盤RXの角度目盛
SXの第二角度領域M2を通過して、回折ビームを
発生させる。負の一次回折ビーム−DBX2が第二
反射体RFX2によつて第二角度領域M2、第二鏡
MX2および第二位相板PTX2を通過して偏光分離
プリズムPPXに戻り、第三位相板PTX3、ビーム
分離器BSXと第二偏光板PZ2を経由して第二検出
器DX2に入射する。比較的経費の少ない上記の測
角装置でも、組立、調整の経費がかなり必要であ
る。加えて、レーザーダイオードの光強度の半分
しか両方の光検出器に到達しない。
この発明の課題は、目盛円盤の角度目盛にある
偏心誤差が除去されるため、高精度が得られる単
純な構造で冒頭に述べた種類の小型の高分解能測
角装置を提供することにある。
偏心誤差が除去されるため、高精度が得られる単
純な構造で冒頭に述べた種類の小型の高分解能測
角装置を提供することにある。
上記の課題は、この発明により、一方の物体に
連結する目盛ホルダーの格子目盛を、円周上の対
向位置にある二つの格子目盛領域で、他方の物体
に連結する走査ユニツトによつて光ビーム回折に
基づき走査する、相対的に回転する二つの物体の
角度を測定する光電測角装置の場合、第一格子目
盛領域WB１から回折角＋α、−αをなして出射
した二つの一次回折ビーム＋BS１，−BS１が、
同じ回折角＋α、−αをなして格子目盛WTの円
周上の対向位置にある第二格子目盛領域WB２で
合致し、第一格子目盛領域WB１で発生した両方
の回折ビーム＋BS１、−BS１が第二格子目盛領
域WB２でそれぞれ相互に平行を保つて入射する
ことによつて解決されている。
連結する目盛ホルダーの格子目盛を、円周上の対
向位置にある二つの格子目盛領域で、他方の物体
に連結する走査ユニツトによつて光ビーム回折に
基づき走査する、相対的に回転する二つの物体の
角度を測定する光電測角装置の場合、第一格子目
盛領域WB１から回折角＋α、−αをなして出射
した二つの一次回折ビーム＋BS１，−BS１が、
同じ回折角＋α、−αをなして格子目盛WTの円
周上の対向位置にある第二格子目盛領域WB２で
合致し、第一格子目盛領域WB１で発生した両方
の回折ビーム＋BS１、−BS１が第二格子目盛領
域WB２でそれぞれ相互に平行を保つて入射する
ことによつて解決されている。
この発明による他の有利な構成は、特許請求の
範囲の従属請求項に記載されている。
範囲の従属請求項に記載されている。
この発明によつて得られる利点は、光学部材を
低減することにより、単純に構成されているた
め、低価格で、寸法の小さい測角装置となり、同
時に部品の保管が単純化され、組立や調整の経費
が低減する点にある。
低減することにより、単純に構成されているた
め、低価格で、寸法の小さい測角装置となり、同
時に部品の保管が単純化され、組立や調整の経費
が低減する点にある。
更に、光源と光検出器の間で光ビームの強度の
損失が殆ど生じない。角度目盛と目盛ホルダーの
回転軸との間の偏心誤差が効果的に除去され、目
盛ホルダーのガタつき誤差が測定精度に影響を与
えない。
損失が殆ど生じない。角度目盛と目盛ホルダーの
回転軸との間の偏心誤差が効果的に除去され、目
盛ホルダーのガタつき誤差が測定精度に影響を与
えない。
この発明の実施例を示す図面に基づき、この発
明をより詳しく説明する。
明をより詳しく説明する。
第１図には、第一測角装置の側面が、そして第
２図には部分平面図が示してある。回転軸Daの
周りに回転可能に支承されている目盛ホルダー
TTaは、回転軸Daに固定された透明な中空円筒
で構成されていて、この円筒には内壁Ｗ上に位相
格子状の角度目盛WTaが付けてある。この角度
目盛WTaは固定物体（図示せず）に連結する走
査ユニツトによつて走査される。この走査ユニツ
トには、レーザーによる光源La、二つの鏡SP１
ａ，SP２ａおよび光電素子Paを有する。レーザ
ー光源Laから出射した光LSaは目盛円筒TTaの
角度目盛WTaの第一角度領域WB１ａを半径方
向に通過し、位相格子として形成された第一目盛
領域WB１ａの角度目盛WTaによつて角度目盛
WTaの法線Naに対して、正の回折角＋α１ａで
正の一次回折ビームに、また負の回折角−α１ａ
で負の一次回折ビームに分離される。０次の回折
ビームは、位相格子として形成された角度目盛
WTaの場合、光が遮られるので発生しない。図
示していない方法により、回転物体はスピンドル
で、また固定物体は工作機械の固定台で形成され
ている。
２図には部分平面図が示してある。回転軸Daの
周りに回転可能に支承されている目盛ホルダー
TTaは、回転軸Daに固定された透明な中空円筒
で構成されていて、この円筒には内壁Ｗ上に位相
格子状の角度目盛WTaが付けてある。この角度
目盛WTaは固定物体（図示せず）に連結する走
査ユニツトによつて走査される。この走査ユニツ
トには、レーザーによる光源La、二つの鏡SP１
ａ，SP２ａおよび光電素子Paを有する。レーザ
ー光源Laから出射した光LSaは目盛円筒TTaの
角度目盛WTaの第一角度領域WB１ａを半径方
向に通過し、位相格子として形成された第一目盛
領域WB１ａの角度目盛WTaによつて角度目盛
WTaの法線Naに対して、正の回折角＋α１ａで
正の一次回折ビームに、また負の回折角−α１ａ
で負の一次回折ビームに分離される。０次の回折
ビームは、位相格子として形成された角度目盛
WTaの場合、光が遮られるので発生しない。図
示していない方法により、回転物体はスピンドル
で、また固定物体は工作機械の固定台で形成され
ている。
両方の鏡SP１ａ，SP２ａは、目盛円筒TTaに
対して半径方法に、互いに平行であつて、走査ユ
ニツトのビーム通路の光軸OAaに対して対称に
固定されている。第一角度領域WB１ａから付随
する回折角＋α１ａ，−α１ａをなして出射した
両方の回折ビーム＋BS１ａ，−BS１ａは、両方
の鏡SP１ａ，SP２ａで１回目の偏向を行つた
後、目盛円筒TTaの回転軸Daの中心線Maで交
差し、両方の鏡SP１ａ，SP２ａによる２回目の
偏向を行つた後、付随する同じ回折角＋α１ａ，
−α１ａをなして、それぞれ互いに平行に同じ向
きになつて第二角度領域WB２ａで再び合致す
る。この第二角度領域は角度目盛WTaの第一角
度目盛領域WB１ａに対して円周上の対向位置に
ある。角度目盛WTaの第二角度領域WB２ａを
通過して、両方の一次回折ビーム＋BS１ａ，−
BS１ａは干渉して、受光素子Paに入射する。こ
の受光素子Paは、走査ユニツトで角度目盛WTa
を走査するとき、周期的な走査信号Saを出力す
る。この走査ユニツトに後続する評価装置AWa
中では、受光素子Paの周期的な走査信号Saから
互いに相対的に回転する両方の物体の角度に対す
る測定値が求まる。
対して半径方法に、互いに平行であつて、走査ユ
ニツトのビーム通路の光軸OAaに対して対称に
固定されている。第一角度領域WB１ａから付随
する回折角＋α１ａ，−α１ａをなして出射した
両方の回折ビーム＋BS１ａ，−BS１ａは、両方
の鏡SP１ａ，SP２ａで１回目の偏向を行つた
後、目盛円筒TTaの回転軸Daの中心線Maで交
差し、両方の鏡SP１ａ，SP２ａによる２回目の
偏向を行つた後、付随する同じ回折角＋α１ａ，
−α１ａをなして、それぞれ互いに平行に同じ向
きになつて第二角度領域WB２ａで再び合致す
る。この第二角度領域は角度目盛WTaの第一角
度目盛領域WB１ａに対して円周上の対向位置に
ある。角度目盛WTaの第二角度領域WB２ａを
通過して、両方の一次回折ビーム＋BS１ａ，−
BS１ａは干渉して、受光素子Paに入射する。こ
の受光素子Paは、走査ユニツトで角度目盛WTa
を走査するとき、周期的な走査信号Saを出力す
る。この走査ユニツトに後続する評価装置AWa
中では、受光素子Paの周期的な走査信号Saから
互いに相対的に回転する両方の物体の角度に対す
る測定値が求まる。
第３図には、第２図の第一測角装置に対する変
形が示してある。この測角装置では、二つの鏡
SP１ａ，SP２ａが二つの線状回折格子Ｇ１ａ，
Ｇ２ａで置き換えてある。残りの部材は、第２図
のものと同じであるので、同じ参照符号を付け
る。両方の線状回折格子Ｇ１ａ，Ｇ２ａは、目盛
円筒TTaに関して半径方向に垂直で、走査ユニ
ツトのビーム通路の光軸OAaに対して対称で、
互いに平行に固定されている。従つて、第２図と
同じビーム通路が生じる。両方の線状回折格子Ｇ
１ａ，Ｇ２ａの格子間隔は、両者の相互間隔、両
方の角度領域WB１ａ，WB２ａの半径方向の相
互間隔および角度目盛WTaの格子間隔に依存す
る。角度目盛WTaと目盛円筒TTaの回転軸Daと
の間の偏心誤差は、第４図と第５図の第二測角装
置に基づき、以下に詳しく説明するように、効果
的に除去される。
形が示してある。この測角装置では、二つの鏡
SP１ａ，SP２ａが二つの線状回折格子Ｇ１ａ，
Ｇ２ａで置き換えてある。残りの部材は、第２図
のものと同じであるので、同じ参照符号を付け
る。両方の線状回折格子Ｇ１ａ，Ｇ２ａは、目盛
円筒TTaに関して半径方向に垂直で、走査ユニ
ツトのビーム通路の光軸OAaに対して対称で、
互いに平行に固定されている。従つて、第２図と
同じビーム通路が生じる。両方の線状回折格子Ｇ
１ａ，Ｇ２ａの格子間隔は、両者の相互間隔、両
方の角度領域WB１ａ，WB２ａの半径方向の相
互間隔および角度目盛WTaの格子間隔に依存す
る。角度目盛WTaと目盛円筒TTaの回転軸Daと
の間の偏心誤差は、第４図と第５図の第二測角装
置に基づき、以下に詳しく説明するように、効果
的に除去される。
第４図には第二測角装置の側面が、また第５図
には背面が模式的に示してある。回転軸Dbに回
転可能に支承された目盛ホルダーTTbは回転物
体（図示せず）に連結している。平坦な円盤目盛
状の目盛ホルダーTTbは表面OFb上に位相格子
状の角度目盛WTbを有する。この角度目盛WTb
は固定物体（図示せず）に連結している走査ユニ
ツトによつて走査される。この走査ユニツトに
は、レーザー光源Lb、目盛円盤TTbに対して半
径方向に配設された偏向プリズムUPb、偏光分
離プリズムTPbおよび２個の受光素子Ｐ１ｂ，
Ｐ２ｂがある。レーザー光源Lbから出射し、直
線偏光している光ビームLSbは、目盛円盤TTb
に垂直にこの目盛円盤TTbの角度目盛WTbの第
一角度領域WB１ｂを通過し、位相格子として形
成された第一角度領域WB１ｂの角度目盛WTb
によつて、角度目盛WTbの垂線Nbに対して正の
回折角＋α１ｂをなす正の一次回折ビーム＋BS
１ｂと、負の回折角−α１ｂをなす負の一次回折
ビーム−BS１ｂとに分離される。０次の回折ビ
ームは位相格子として形成されている角度目盛
WTbの場合、減衰によつて生じない。図示いな
い方法により、回転物体はスピンドルで、また固
体物体は工作機械の固定台によつて形成されてい
る。
には背面が模式的に示してある。回転軸Dbに回
転可能に支承された目盛ホルダーTTbは回転物
体（図示せず）に連結している。平坦な円盤目盛
状の目盛ホルダーTTbは表面OFb上に位相格子
状の角度目盛WTbを有する。この角度目盛WTb
は固定物体（図示せず）に連結している走査ユニ
ツトによつて走査される。この走査ユニツトに
は、レーザー光源Lb、目盛円盤TTbに対して半
径方向に配設された偏向プリズムUPb、偏光分
離プリズムTPbおよび２個の受光素子Ｐ１ｂ，
Ｐ２ｂがある。レーザー光源Lbから出射し、直
線偏光している光ビームLSbは、目盛円盤TTb
に垂直にこの目盛円盤TTbの角度目盛WTbの第
一角度領域WB１ｂを通過し、位相格子として形
成された第一角度領域WB１ｂの角度目盛WTb
によつて、角度目盛WTbの垂線Nbに対して正の
回折角＋α１ｂをなす正の一次回折ビーム＋BS
１ｂと、負の回折角−α１ｂをなす負の一次回折
ビーム−BS１ｂとに分離される。０次の回折ビ
ームは位相格子として形成されている角度目盛
WTbの場合、減衰によつて生じない。図示いな
い方法により、回転物体はスピンドルで、また固
体物体は工作機械の固定台によつて形成されてい
る。
第一角度領域WB１ｂから付属する二つの回折
角＋α１ｂ，−α１ｂは、偏向プリズムUPbの偏
向面UF１ｂによつて目盛円盤TTbに平行な平面
内で目盛円盤の回転軸Dbの方向に偏向し、ビー
ム通路の光軸OAbに対して対称に延びる偏向プ
リズムUPbの二つの側面SF１ｂ，SF２ｂで全反
射して、平面Ｅで１回目の偏向を行つた後、目盛
円盤TTbの回転軸Dbの中心線Mbで交差し、前
記両側面SF１ｂ，SF２ｂで全反射による２回目
の偏向を行つた後、偏向プリズムUPbの第二偏
向面UF２ｂによつて目盛円盤TTbに垂直に偏向
され、第二角度領域WB２ｂで二つの付随する同
じ回折角＋α１ｂ，−α１ｂをなして再び合致す
る。この第二角度領域WB２ｂは角度目盛WTb
の第一角度領域WB１ｂに対して円周上の対向位
置にある。第一角度領域WB１ｂで発生した二つ
の一次回折ビームは、各々に平行で、逆向きの進
行方向で第二角度領域WB２ｂに現れる。偏向プ
リズムUPb中で２回偏向する場合、両方の一次
回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂは楕円偏光にな
る。
角＋α１ｂ，−α１ｂは、偏向プリズムUPbの偏
向面UF１ｂによつて目盛円盤TTbに平行な平面
内で目盛円盤の回転軸Dbの方向に偏向し、ビー
ム通路の光軸OAbに対して対称に延びる偏向プ
リズムUPbの二つの側面SF１ｂ，SF２ｂで全反
射して、平面Ｅで１回目の偏向を行つた後、目盛
円盤TTbの回転軸Dbの中心線Mbで交差し、前
記両側面SF１ｂ，SF２ｂで全反射による２回目
の偏向を行つた後、偏向プリズムUPbの第二偏
向面UF２ｂによつて目盛円盤TTbに垂直に偏向
され、第二角度領域WB２ｂで二つの付随する同
じ回折角＋α１ｂ，−α１ｂをなして再び合致す
る。この第二角度領域WB２ｂは角度目盛WTb
の第一角度領域WB１ｂに対して円周上の対向位
置にある。第一角度領域WB１ｂで発生した二つ
の一次回折ビームは、各々に平行で、逆向きの進
行方向で第二角度領域WB２ｂに現れる。偏向プ
リズムUPb中で２回偏向する場合、両方の一次
回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂは楕円偏光にな
る。
角度目盛WTbの第二角度領域WB２ｂによつ
て、両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂ
は干渉し、次いで偏光分離プリズムTPbを通過
し、二つの受光素子Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂに入射する。
これ等の受光素子は走査ユニツトAbで角度目盛
WTbを走査する場合、90°位相のずれた二つの周
期信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂを出力する。走査ユニツト
Abに後続する評価装置AWb中では、両方の受光
素子Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂの二つの周期走査信号Ｓ１
ｂ，Ｓ２ｂから、測定方向（目盛円盤TTbの回
転の向き）および互いに相対回転する二つの物体
の相対位置に対する測定値が求まる。
て、両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂ
は干渉し、次いで偏光分離プリズムTPbを通過
し、二つの受光素子Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂに入射する。
これ等の受光素子は走査ユニツトAbで角度目盛
WTbを走査する場合、90°位相のずれた二つの周
期信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂを出力する。走査ユニツト
Abに後続する評価装置AWb中では、両方の受光
素子Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂの二つの周期走査信号Ｓ１
ｂ，Ｓ２ｂから、測定方向（目盛円盤TTbの回
転の向き）および互いに相対回転する二つの物体
の相対位置に対する測定値が求まる。
両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂは
偏向プリズムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで２
回偏向することにより、以下のことが生じる。即
ち、目盛円盤TTbが回転する場合、両方の角度
領域WB１ｂ，WB２ｂが互いに逆に動くことに
よつて、両方の周期走査信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂの強
度の変調が生じ、これ等の走査信号は角度領域
WB１ｂ，WB２ｂの接線方向の動きＸ１ｂ，Ｘ
２ｂの和の二倍の周期を有し、相互に回転する二
つの物体に対する測定値が求まる。
偏向プリズムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで２
回偏向することにより、以下のことが生じる。即
ち、目盛円盤TTbが回転する場合、両方の角度
領域WB１ｂ，WB２ｂが互いに逆に動くことに
よつて、両方の周期走査信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂの強
度の変調が生じ、これ等の走査信号は角度領域
WB１ｂ，WB２ｂの接線方向の動きＸ１ｂ，Ｘ
２ｂの和の二倍の周期を有し、相互に回転する二
つの物体に対する測定値が求まる。
両方の走査信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂの強度の上記変
調は、等式 Ｉ＝I0＋2A2cos［4π（X1b＋X2b）／ｇ］ によつて表せる。ここで、Ａは両方の周期信号Ｓ
１ｂ，Ｓ２ｂの最大振幅、ｇは角度目盛WTbの
両方の角度領域WB１ｂ，WB２ｂの格子間隔お
よびI0は一定の数である。
調は、等式 Ｉ＝I0＋2A2cos［4π（X1b＋X2b）／ｇ］ によつて表せる。ここで、Ａは両方の周期信号Ｓ
１ｂ，Ｓ２ｂの最大振幅、ｇは角度目盛WTbの
両方の角度領域WB１ｂ，WB２ｂの格子間隔お
よびI0は一定の数である。
そこで、角度目盛WTbと目盛円盤TTbの回転
軸Dbとの間の偏心ｅが生じれば、両方の角度領
域WB１ｂ，WB２ｂが互いに逆に動くことの外
に、両方の角度領域WB１ｂ，WB２ｂの同方向
の動きも生じる。しかしながら、両方の一次回折
ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂが２回偏向すること
によつて、角度目盛WTbの両方の角度領域WB
１ｂ，WB２ｂが同方向に動く場合、両方の走査
信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂの強度には変調が生じない。
何故なら、この場合には、第５図に与えたＸ１
ｂ，Ｘ２ｂの符号により、Ｘ１ｂ＝−Ｘ２ｂとな
るため、上の等式から一定値Ｉ＝I0＋2A2が生じ、
周期的な両方の走査信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂから得ら
れた測定値に何も影響を与えないからである。従
つて、角度目盛WTbと目盛円盤TTbの回転軸Db
の間の偏心ｅは光学通路上で除去さている。
軸Dbとの間の偏心ｅが生じれば、両方の角度領
域WB１ｂ，WB２ｂが互いに逆に動くことの外
に、両方の角度領域WB１ｂ，WB２ｂの同方向
の動きも生じる。しかしながら、両方の一次回折
ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂが２回偏向すること
によつて、角度目盛WTbの両方の角度領域WB
１ｂ，WB２ｂが同方向に動く場合、両方の走査
信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂの強度には変調が生じない。
何故なら、この場合には、第５図に与えたＸ１
ｂ，Ｘ２ｂの符号により、Ｘ１ｂ＝−Ｘ２ｂとな
るため、上の等式から一定値Ｉ＝I0＋2A2が生じ、
周期的な両方の走査信号Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂから得ら
れた測定値に何も影響を与えないからである。従
つて、角度目盛WTbと目盛円盤TTbの回転軸Db
の間の偏心ｅは光学通路上で除去さている。
角度目盛WTbに対する位相格子の代わりに、
振幅格子を使用する場合には、０次の回折ビーム
BS０も生じる。しかし、この回折ビームは、第
５図のように、主に両方の一次回折ビーム＋BS
１ｂ，−BS１ｂの第一偏向領域で、偏向プリズム
UPb中の穴Ｂによつて遮光される。
振幅格子を使用する場合には、０次の回折ビーム
BS０も生じる。しかし、この回折ビームは、第
５図のように、主に両方の一次回折ビーム＋BS
１ｂ，−BS１ｂの第一偏向領域で、偏向プリズム
UPb中の穴Ｂによつて遮光される。
角度目盛WTbでは、格子間隔ｇが半径ｒに依
存する放射状格子を問題にするので、両方の一次
回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの両回折角＋α
１ｂ，−α１ｂも同じように半径ｒに依存する。
存する放射状格子を問題にするので、両方の一次
回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの両回折角＋α
１ｂ，−α１ｂも同じように半径ｒに依存する。
第６図は、第二測角装置の展開光線図を模式的
に示す。目盛円盤TTbの回転軸Dbから距離ｒに
あるレーザー光源Lbから出射した光ビームLSb
は、第一角度領域WB１ｂで二つの回折角＋α１
ｂ，−α１ｂの二つの一次回折ビーム＋BS１ｂ，
−BS１ｂに分離する。これ等の回折ビームは偏
向プリズムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで全反
射して、２回偏向した後、角度目盛WTbの第二
角度領域WB２ｂで同じ回折角＋α１ｂ，−α１
ｂの下で合致する。目盛円盤TTbの回転軸Dbか
ら距離r′（＜ｒ）にあるレーザー光源Lbから出射
した光ビームLSb′は、第一角度領域WB１ｂで法
線Nbに対して二つの回折角＋α１b′，−α１b′の
下で二つの一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′に
分離する。光ビームLSb′の位置のところの第一
角度領域WB１ｂの角度目盛WTbの格子間隔
g′は、光ビームLSbの位置のところの第一角度領
域WB１ｂの角度目盛WTbの格子間隔ｇよりも
狭いので、両方の一次回折ビーム＋BS１b′、−
BS１b′の両方の回折角＋α１b′，−α１b′は、両
方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの両方
の回折角＋α１ｂ，−α1bよりも大きい。従つて、
一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′は偏向プリズ
ムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで２回偏向した
後、第二角度領域WB２ｂで合致せず、この第二
角度領域WB２ｂではボケSTを呈する（破線の
光線図参照）。
に示す。目盛円盤TTbの回転軸Dbから距離ｒに
あるレーザー光源Lbから出射した光ビームLSb
は、第一角度領域WB１ｂで二つの回折角＋α１
ｂ，−α１ｂの二つの一次回折ビーム＋BS１ｂ，
−BS１ｂに分離する。これ等の回折ビームは偏
向プリズムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで全反
射して、２回偏向した後、角度目盛WTbの第二
角度領域WB２ｂで同じ回折角＋α１ｂ，−α１
ｂの下で合致する。目盛円盤TTbの回転軸Dbか
ら距離r′（＜ｒ）にあるレーザー光源Lbから出射
した光ビームLSb′は、第一角度領域WB１ｂで法
線Nbに対して二つの回折角＋α１b′，−α１b′の
下で二つの一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′に
分離する。光ビームLSb′の位置のところの第一
角度領域WB１ｂの角度目盛WTbの格子間隔
g′は、光ビームLSbの位置のところの第一角度領
域WB１ｂの角度目盛WTbの格子間隔ｇよりも
狭いので、両方の一次回折ビーム＋BS１b′、−
BS１b′の両方の回折角＋α１b′，−α１b′は、両
方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの両方
の回折角＋α１ｂ，−α1bよりも大きい。従つて、
一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′は偏向プリズ
ムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂで２回偏向した
後、第二角度領域WB２ｂで合致せず、この第二
角度領域WB２ｂではボケSTを呈する（破線の
光線図参照）。
偏向プリズムUPbの両側面SF１ｂ，SF２ｂが
平行でなく、楔角γを有することによつて、両方
の一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′のボケST
を除去できる。第７図には、偏向プリズムUPb
の両側が、また第８図には楔角γを有する断面が
示してある。この楔角γによつて、偏向プリズム
UPbは二つの一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１
ｂに対する平面Ｅよりも、二つの一次回折ビーム
＋BS１b′，−BS１b′に対する平面E′でより広い幅
を有する。従つて、一次回折ビー＋Ｂ１b′，−BS
１b′も第二角度領域WB２ｂで同じように合致す
る。
平行でなく、楔角γを有することによつて、両方
の一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′のボケST
を除去できる。第７図には、偏向プリズムUPb
の両側が、また第８図には楔角γを有する断面が
示してある。この楔角γによつて、偏向プリズム
UPbは二つの一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１
ｂに対する平面Ｅよりも、二つの一次回折ビーム
＋BS１b′，−BS１b′に対する平面E′でより広い幅
を有する。従つて、一次回折ビー＋Ｂ１b′，−BS
１b′も第二角度領域WB２ｂで同じように合致す
る。
偏向プリズムUPbの楔角γによつて、両方の
一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの平面Ｅお
よび両方の一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′の
平面E′は最早目盛円盤TTbに平行でない。従つ
て、一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂと一次
回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′は偏向プリズム
UPbの第二偏向面UF２ｂによつて最早目盛円盤
TTbに垂直に偏向されない。偏向プリズムUPb
の第二偏向面UF２ｂが第二偏向角β2＜45°を、ま
た偏向プリズムUPbの第一偏向面UF１ｂが第一
偏向角β1＝45°を有することによつて、上記の偏
向誤差を除去できる。図示していないが、両方の
偏向角β１，β２が共に45°以外であつてもよい。
一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの平面Ｅお
よび両方の一次回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′の
平面E′は最早目盛円盤TTbに平行でない。従つ
て、一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂと一次
回折ビーム＋BS１b′，−BS１b′は偏向プリズム
UPbの第二偏向面UF２ｂによつて最早目盛円盤
TTbに垂直に偏向されない。偏向プリズムUPb
の第二偏向面UF２ｂが第二偏向角β2＜45°を、ま
た偏向プリズムUPbの第一偏向面UF１ｂが第一
偏向角β1＝45°を有することによつて、上記の偏
向誤差を除去できる。図示していないが、両方の
偏向角β１，β２が共に45°以外であつてもよい。
光ビームLSbを第一角度領域WB１ｂで二つの
一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂに分離し、
両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂを第
二角度領域WB２ｂで合致させることは、光ビー
ムLSbの波長λに依存する。第二測角装置の部材
配置は、一定の波長λに対しのみ正しい。光ビー
ムLSbが広いスペクトル帯域を有する時には、波
長フイルタ処理を施す必要がある。第９図は、こ
の目的のため第二測角装置に対する他の展開光線
図を示す。この光線図には、波長λ0を有する両方
の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂと波長λ1，
λ2を有する他の一次回折ビームが示してある。波
長λ0を有する両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−
BS１ｂを選択し、波長λ1，λ2を有する他の一次
回折ビームをフイルタ処理で除去するには、偏向
プリズムUPbが両方の偏向領域でのみ幅ｂを有
し、一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの領域
でのみ一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂを偏
向できることによつて行われる。
一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂに分離し、
両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂを第
二角度領域WB２ｂで合致させることは、光ビー
ムLSbの波長λに依存する。第二測角装置の部材
配置は、一定の波長λに対しのみ正しい。光ビー
ムLSbが広いスペクトル帯域を有する時には、波
長フイルタ処理を施す必要がある。第９図は、こ
の目的のため第二測角装置に対する他の展開光線
図を示す。この光線図には、波長λ0を有する両方
の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂと波長λ1，
λ2を有する他の一次回折ビームが示してある。波
長λ0を有する両方の一次回折ビーム＋BS１ｂ，−
BS１ｂを選択し、波長λ1，λ2を有する他の一次
回折ビームをフイルタ処理で除去するには、偏向
プリズムUPbが両方の偏向領域でのみ幅ｂを有
し、一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂの領域
でのみ一次回折ビーム＋BS１ｂ，−BS１ｂを偏
向できることによつて行われる。
光電測角装置の場合、この発明を透過光でも反
射光でも採用できる。
射光でも採用できる。
第１図、測角装置の模式側面図。第２図、測角
装置の模式平面図。第３図、第２図の第一測角装
置を変形した場合の平面図。第４図、第二測角装
置の模式側面図。第５図、第二測角装置の模式平
面図。第６図、第二測角装置に対する模式的展開
光線図。第７図、偏向プリズムの側面図。第８
図、偏向プリズムの断面図。第９図、第二測角装
置に対する他の展開光線図。第１０図、従来の技
術による測角装置の模式図。第１１図、従来の技
術による他の測角装置の模式図。 図中参照符号：WT……格子目盛、WB１，
WB２……格子目盛領域、SP１ａ，SP２ａ……
鏡、Ｇ１ａ，Ｇ２ａ……線状格子、UPb……偏
向プリズム。
装置の模式平面図。第３図、第２図の第一測角装
置を変形した場合の平面図。第４図、第二測角装
置の模式側面図。第５図、第二測角装置の模式平
面図。第６図、第二測角装置に対する模式的展開
光線図。第７図、偏向プリズムの側面図。第８
図、偏向プリズムの断面図。第９図、第二測角装
置に対する他の展開光線図。第１０図、従来の技
術による測角装置の模式図。第１１図、従来の技
術による他の測角装置の模式図。 図中参照符号：WT……格子目盛、WB１，
WB２……格子目盛領域、SP１ａ，SP２ａ……
鏡、Ｇ１ａ，Ｇ２ａ……線状格子、UPb……偏
向プリズム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一方の物体に連結する目盛ホルダーの格子目
盛を、円周上の対向位置にある二つの格子目盛領
域で、他方の物体に連結する走査ユニツトによつ
て光ビーム回折に基づき走査する、相対的に回転
する二つの物体の角度を測定する光電測角装置に
おいて、第一格子目盛領域WB１から回折角＋
α、−αをなして出射した二つの一次回折ビーム
＋BS１，−BS１が、同じ回折角＋α、−αをなし
て格子目盛WTの円周上の対向位置にある第二格
子目盛領域WB２で合致し、第一格子目盛領域
WB１で発生した両方の回折ビーム＋BS１，−
BS１が第二格子目盛領域WB２でそれぞれ相互
に平行を保つて入射することを特徴とする測角装
置。 ２ 第一格子目盛領域WB１から出射した両方の
回折ビーム＋BS１，−BS１は、介在する光学部
材SP１ａ，SP２ａ；Ｇ１ａ，Ｇ２ａ；UPbの下
で数回偏向した後、第二格子目盛領域WB２で合
致することを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の測角装置。 ３ 両方の回折ビーム＋BS１，−BS１を２回偏
向させるため、平行な二つの鏡SP１ａ，SP２ａ
が設置してあることを特徴とする特許請求の範囲
第２項に記載の測角装置。 ４ 両方の回折ビーム＋BS１，−BS１を２回偏
向させるため、二つの線状格子Ｇ１ａ，Ｇ２ａが
設置してあることを特徴とする特許請求の範囲第
２項に記載の測角装置。 ５ 両方の回折ビーム＋BS１，−BS１を２回偏
向させるため、一つの偏向プリズムUPbが設置
してあることを特徴とする特許請求の範囲第２項
に記載の測角装置。 ６ 偏向プリズムUPbの断面は楔角γを有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の
測角装置。 ７ 偏向プリズムUPbは、少なくとも一つの偏
向角β1、β2＜45°を有することを特徴とする特許
請求の範囲第５項に記載の測角装置。 ８ 偏向プリズムUPbは、幅ｂの二つの偏向領
域を有することを特徴とする特許請求の範囲第５
項に記載の測角装置。 ９ 偏向プリズムUPbは、第一偏向領域に穴Ｂ
を有することを特徴とする特許請求の範囲第５項
に記載の測角装置。 １０ 格子目盛WTは位相格子で形成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
測角装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3633574.6 | 1986-10-02 | ||
| DE19863633574 DE3633574A1 (de) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391515A JPS6391515A (ja) | 1988-04-22 |
| JPH0464567B2 true JPH0464567B2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=6310911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62245939A Granted JPS6391515A (ja) | 1986-10-02 | 1987-10-01 | 光電測角装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4792678A (ja) |
| EP (1) | EP0262349B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6391515A (ja) |
| DE (2) | DE3633574A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3706277C2 (de) * | 1986-02-28 | 1995-04-27 | Canon Kk | Drehungsmeßgeber |
| US4819051A (en) * | 1987-06-29 | 1989-04-04 | Honeywell Inc. | Compensated rotary position encoder |
| DE3807011C1 (ja) * | 1988-03-04 | 1989-04-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| CH680240A5 (ja) * | 1988-06-30 | 1992-07-15 | Politechnika Warszawska | |
| DE3822007A1 (de) * | 1988-06-30 | 1990-01-04 | Bodenseewerk Geraetetech | Digitaler lagesignalgeber |
| JPH0778433B2 (ja) * | 1988-07-19 | 1995-08-23 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
| JP2586120B2 (ja) * | 1988-09-22 | 1997-02-26 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
| DE3836703A1 (de) * | 1988-10-28 | 1990-05-03 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung |
| JP2586122B2 (ja) * | 1988-11-18 | 1997-02-26 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
| DE3901534C1 (ja) * | 1989-01-20 | 1990-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
| DE3905730C2 (de) * | 1989-02-24 | 1995-06-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE69011188T2 (de) * | 1989-05-12 | 1994-12-08 | Canon Kk | Kodierer. |
| DE58904652D1 (de) * | 1989-09-27 | 1993-07-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung. |
| EP0425726B1 (de) * | 1989-11-02 | 1993-05-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
| GB2239088B (en) * | 1989-11-24 | 1994-05-25 | Ricoh Kk | Optical movement measuring method and apparatus |
| EP0439804B1 (en) * | 1989-12-26 | 1995-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotation detecting apparatus |
| US5323001A (en) * | 1989-12-26 | 1994-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Rotary encoder with scale member and interference of zero and first order diffraction beam |
| US5079418A (en) * | 1990-02-20 | 1992-01-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring apparatus with reflection |
| DE4006365A1 (de) * | 1990-03-01 | 1991-10-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
| DE4007968A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische vorrichtung |
| DE4007967A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische positionsmesseinrichtung |
| DE4011718A1 (de) * | 1990-04-11 | 1991-10-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Integriert-optische sensoreinrichtung |
| DE4013566A1 (de) * | 1990-04-27 | 1991-11-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Winkelmesseinrichtung |
| US5138564A (en) * | 1990-07-31 | 1992-08-11 | Xerox Corporation | Automatic encoder calibration |
| JPH05256666A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Canon Inc | ロータリーエンコーダー |
| JP3116535B2 (ja) * | 1992-03-13 | 2000-12-11 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダー及びエンコーダー |
| JP3254737B2 (ja) * | 1992-06-17 | 2002-02-12 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
| JP3478567B2 (ja) * | 1992-09-25 | 2003-12-15 | キヤノン株式会社 | 回転情報検出装置 |
| DE4420276C2 (de) * | 1993-06-10 | 2001-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparat zur Versatzmessung von bewegten Körpern |
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| DE4337005C2 (de) * | 1993-10-29 | 2000-11-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
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| JP3977126B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2007-09-19 | キヤノン株式会社 | 変位情報検出装置 |
| EP2963394B1 (de) | 2014-07-01 | 2016-06-08 | SICK STEGMANN GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur diffraktiven Messung eines Drehwinkels |
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| EP0262349A2 (de) | 1988-04-06 |
| EP0262349B1 (de) | 1992-02-19 |
| EP0262349A3 (en) | 1989-06-21 |
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