JPH08313233A - 光センサおよびこれを用いた光学装置 - Google Patents
光センサおよびこれを用いた光学装置Info
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- JPH08313233A JPH08313233A JP7148308A JP14830895A JPH08313233A JP H08313233 A JPH08313233 A JP H08313233A JP 7148308 A JP7148308 A JP 7148308A JP 14830895 A JP14830895 A JP 14830895A JP H08313233 A JPH08313233 A JP H08313233A
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/254—Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体の表面凹凸形状をモアレ縞を利用して
検査する光学装置において、光センサ２８により１本の
光ビームで光ビーム網を形成して平面的に被検体を検出
できるようにし、これにより簡易な構成でモアレ格子１
２に被検体が異常接近するのを未然に防止する。 【構成】 １対のミラー５０、５２間で光ビームを同一
平面内において複数回反射させた後その強度を検出する
光センサ２８を用い、この光センサ２８を、その光ビー
ム網がモアレ格子１２の直下に位置するようにして配置
する。これにより、モアレ格子１２に異常接近する被検
体２を、上記光ビーム網により平面的に検出できるよう
にし、検出精度を高める。
検査する光学装置において、光センサ２８により１本の
光ビームで光ビーム網を形成して平面的に被検体を検出
できるようにし、これにより簡易な構成でモアレ格子１
２に被検体が異常接近するのを未然に防止する。 【構成】 １対のミラー５０、５２間で光ビームを同一
平面内において複数回反射させた後その強度を検出する
光センサ２８を用い、この光センサ２８を、その光ビー
ム網がモアレ格子１２の直下に位置するようにして配置
する。これにより、モアレ格子１２に異常接近する被検
体２を、上記光ビーム網により平面的に検出できるよう
にし、検出精度を高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、対象物の光ビーム遮
蔽作用により対象物の位置検出を行う光センサおよびこ
の光センサを用いた光学装置に関するものである。
蔽作用により対象物の位置検出を行う光センサおよびこ
の光センサを用いた光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、物体の凹凸形状を検査する方
法の１つとして、モアレ縞を利用した光学装置を用いた
検査方法が知られている。このモアレ縞を利用した光学
装置においては、被検体と所定間隔をおいてモアレ格子
を配置し、このモアレ格子に光を照射するとともに、こ
の光ビーム入射方向とは異なる方向からモアレ格子およ
び被検体を観察することにより、物体の凹凸形状を検査
するようになっている。
法の１つとして、モアレ縞を利用した光学装置を用いた
検査方法が知られている。このモアレ縞を利用した光学
装置においては、被検体と所定間隔をおいてモアレ格子
を配置し、このモアレ格子に光を照射するとともに、こ
の光ビーム入射方向とは異なる方向からモアレ格子およ
び被検体を観察することにより、物体の凹凸形状を検査
するようになっている。
【０００３】このようなモアレ縞を利用した光学装置に
おいては、被検体を所定方向に移動可能に支持する被検
体支持移動手段が設けられており、この被検体支持移動
手段により被検体をモアレ格子に十分近づけ、これによ
り明瞭なモアレ縞を形成させるようになっている。
おいては、被検体を所定方向に移動可能に支持する被検
体支持移動手段が設けられており、この被検体支持移動
手段により被検体をモアレ格子に十分近づけ、これによ
り明瞭なモアレ縞を形成させるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光学装置においては、被検体支持移動手段の被検体
支持面が傾斜していた場合には、被検体をモアレ格子に
近づけたとき、被検体が所定近接位置に達する前にその
一部がモアレ格子に当接してモアレ格子を損傷させるお
それがあるという問題がある。また、被検体の寸法バラ
ツキや被検体の取り違え等により、被検体がモアレ格子
に当接してしまうおそれがあるという問題もある。
来の光学装置においては、被検体支持移動手段の被検体
支持面が傾斜していた場合には、被検体をモアレ格子に
近づけたとき、被検体が所定近接位置に達する前にその
一部がモアレ格子に当接してモアレ格子を損傷させるお
それがあるという問題がある。また、被検体の寸法バラ
ツキや被検体の取り違え等により、被検体がモアレ格子
に当接してしまうおそれがあるという問題もある。
【０００５】これに対し、光センサを用いて被検体のモ
アレ格子に対する異常接近を検出することが考えられる
が、通常の光センサでは、光源と受光器とを結ぶ１本の
直線でしか対象物を認識することができないので、十分
な検出精度を得ることができないという問題がある。あ
るいは、検出精度を高めるため光センサを複数個並列配
置して上記異常接近を検出することも考えられるが、こ
のようにした場合には、装置が複雑になりかつ高コスト
となるという問題がある。
アレ格子に対する異常接近を検出することが考えられる
が、通常の光センサでは、光源と受光器とを結ぶ１本の
直線でしか対象物を認識することができないので、十分
な検出精度を得ることができないという問題がある。あ
るいは、検出精度を高めるため光センサを複数個並列配
置して上記異常接近を検出することも考えられるが、こ
のようにした場合には、装置が複雑になりかつ高コスト
となるという問題がある。
【０００６】なお、上記問題は、モアレ縞を利用した光
学装置に限らず、異常接近が発生し得る状況下において
共通の問題であり、さらに広くは、対象物の位置検出が
要求される種々の状況下において生じ得る問題である。
本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、簡易な構成により対象物の位置検出を精度よく行
うことができる光センサおよびこれを用いた光学装置を
提供することを目的とするものである。
学装置に限らず、異常接近が発生し得る状況下において
共通の問題であり、さらに広くは、対象物の位置検出が
要求される種々の状況下において生じ得る問題である。
本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、簡易な構成により対象物の位置検出を精度よく行
うことができる光センサおよびこれを用いた光学装置を
提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願発明は、光センサの
光ビームを、所定配置された複数のミラーにより同一平
面内において複数回反射させるようにすることにより、
１本の光ビームで光ビーム網を形成して平面的に対象物
を検出できるようにし、もって上記目的達成を図るよう
にしたものである。
光ビームを、所定配置された複数のミラーにより同一平
面内において複数回反射させるようにすることにより、
１本の光ビームで光ビーム網を形成して平面的に対象物
を検出できるようにし、もって上記目的達成を図るよう
にしたものである。
【０００８】すなわち、本願発明に係る光センサは、請
求項１に記載したように、反射面の法線が同一平面内に
含まれるようにして互いに内向きに配置された複数のミ
ラーからなるミラー群と、前記平面内において前記ミラ
ー群内に光ビームを所定入射角で入射させる光ビーム入
射手段と、前記ミラー群内において複数回反射した前記
光ビームを受けて該光ビームの強度を検出する光ビーム
検出手段とを備えてなることを特徴とするものである。
求項１に記載したように、反射面の法線が同一平面内に
含まれるようにして互いに内向きに配置された複数のミ
ラーからなるミラー群と、前記平面内において前記ミラ
ー群内に光ビームを所定入射角で入射させる光ビーム入
射手段と、前記ミラー群内において複数回反射した前記
光ビームを受けて該光ビームの強度を検出する光ビーム
検出手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【０００９】また、本願発明に係る光学装置は、請求項
４に記載したように、被検体を所定方向に移動可能に支
持する被検体支持移動手段を備えた光学装置において、
前記光センサが、前記被検体の可動範囲内において前記
平面が該被検体の移動方向と略垂直となるような位置関
係で配設されていることを特徴とするものである。
４に記載したように、被検体を所定方向に移動可能に支
持する被検体支持移動手段を備えた光学装置において、
前記光センサが、前記被検体の可動範囲内において前記
平面が該被検体の移動方向と略垂直となるような位置関
係で配設されていることを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の作用効果】上記構成により、本願発明に係る光
センサにおいては、ミラー群内に所定入射角で入射した
光ビームを同一平面内において複数回反射させた後、そ
の強度を検出することとなるので、光ビーム網により平
面的に対象物を検出できることとなり、単に１本の直線
上に位置する対象物だけではなく、ある平面上に位置す
る対象物を広く検出することができる。しかもこれを１
本の光ビームで実現することができる。
センサにおいては、ミラー群内に所定入射角で入射した
光ビームを同一平面内において複数回反射させた後、そ
の強度を検出することとなるので、光ビーム網により平
面的に対象物を検出できることとなり、単に１本の直線
上に位置する対象物だけではなく、ある平面上に位置す
る対象物を広く検出することができる。しかもこれを１
本の光ビームで実現することができる。
【００１１】また、本願発明に係る光学装置において
は、上記光センサが、被検体の可動範囲内において該光
センサの光ビームで構成される平面が被検体の移動方向
と略垂直となるような位置関係で配設されているので、
被検体の少なくとも一部が上記平面を横切ったときこれ
を検出することができる。したがって、本願発明によれ
ば、簡易な構成により対象物の位置検出を精度よく行う
ことができる。
は、上記光センサが、被検体の可動範囲内において該光
センサの光ビームで構成される平面が被検体の移動方向
と略垂直となるような位置関係で配設されているので、
被検体の少なくとも一部が上記平面を横切ったときこれ
を検出することができる。したがって、本願発明によれ
ば、簡易な構成により対象物の位置検出を精度よく行う
ことができる。
【００１２】そして、これにより、請求項５に記載した
ようなモアレ縞を利用した光学装置等において、モアレ
格子に対する被検体の異常接近の発生を未然に防止する
ことができる。上記「ミラー群」は、反射面の法線が同
一平面内に含まれるようにして互いに内向きに配置され
た複数のミラーからなるものであれば、特定の構成に限
定されるものではないが、例えば、請求項２に記載した
ように、平行に配置された１対のミラーからなる構成と
すれば、極めて簡易な構成により上記作用効果を得るこ
とができる。
ようなモアレ縞を利用した光学装置等において、モアレ
格子に対する被検体の異常接近の発生を未然に防止する
ことができる。上記「ミラー群」は、反射面の法線が同
一平面内に含まれるようにして互いに内向きに配置され
た複数のミラーからなるものであれば、特定の構成に限
定されるものではないが、例えば、請求項２に記載した
ように、平行に配置された１対のミラーからなる構成と
すれば、極めて簡易な構成により上記作用効果を得るこ
とができる。
【００１３】また、請求項３に記載したように、上記
「光ビーム入射手段」を、レーザ光源と、このレーザ光
源からの光ビームを任意の反射角で反射させる反射角可
変ミラーとからなる構成とすれば、上記反射角を適当に
設定することにより、光ビーム網の密度を対象物に応じ
て任意に設定することができる。上記モアレ縞を利用し
た光学装置等において、上記「光センサ」は、単独で用
いてもよいことはもちろんであるが、被検体の移動方向
に複数の光センサを積層して設けるようにしてもよい。
そして、このようにした場合には、例えば、モアレ格子
に近い光センサを異常接近防止用として用い、他の光セ
ンサを、モアレ格子に対して被検体をモアレ縞が明瞭に
見える位置にセッティングするために用いることも可能
となる。
「光ビーム入射手段」を、レーザ光源と、このレーザ光
源からの光ビームを任意の反射角で反射させる反射角可
変ミラーとからなる構成とすれば、上記反射角を適当に
設定することにより、光ビーム網の密度を対象物に応じ
て任意に設定することができる。上記モアレ縞を利用し
た光学装置等において、上記「光センサ」は、単独で用
いてもよいことはもちろんであるが、被検体の移動方向
に複数の光センサを積層して設けるようにしてもよい。
そして、このようにした場合には、例えば、モアレ格子
に近い光センサを異常接近防止用として用い、他の光セ
ンサを、モアレ格子に対して被検体をモアレ縞が明瞭に
見える位置にセッティングするために用いることも可能
となる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を用いて、本願発明の実施例につ
いて説明する。図１は、本願発明に係る光学装置の一実
施例を示す全体構成図であり、図２は、この光学装置に
用いられる光センサを示す平面図である。
いて説明する。図１は、本願発明に係る光学装置の一実
施例を示す全体構成図であり、図２は、この光学装置に
用いられる光センサを示す平面図である。
【００１５】図１に示すように、この光学装置１０は、
ミラーやフィルタ等の光学部材の表面凹凸形状を、モア
レ縞を利用して検査する装置であって、モアレ格子１２
と、被検体支持移動機構１４と、縞走査用アクチュエー
タ１６と、白色光源１８と、ＣＣＤカメラ２０と、モア
レ縞観察用ディスプレイ２２と、コントローラ２４と、
ドライバ２６と、光センサ２８とを備えてなっている。
上記モアレ格子１２は、水平に配置されたガラス板の下
面に等ピッチの縞が形成されてなり、縞走査用アクチュ
エータ１６により上下方向に移動可能とされている。
ミラーやフィルタ等の光学部材の表面凹凸形状を、モア
レ縞を利用して検査する装置であって、モアレ格子１２
と、被検体支持移動機構１４と、縞走査用アクチュエー
タ１６と、白色光源１８と、ＣＣＤカメラ２０と、モア
レ縞観察用ディスプレイ２２と、コントローラ２４と、
ドライバ２６と、光センサ２８とを備えてなっている。
上記モアレ格子１２は、水平に配置されたガラス板の下
面に等ピッチの縞が形成されてなり、縞走査用アクチュ
エータ１６により上下方向に移動可能とされている。
【００１６】上記被検体支持移動機構１４は、昇降機構
３０と２軸アオリ台３２とからなっている。昇降機構３
０は、モータ３４によりパンタグラフ（Ｚステ−ジ；以
下同じ）３６を駆動して台座３８に対して上板４０を上
下動させるようになっており、２軸アオリ台３２は、昇
降機構３０の上板４０に固定された基準板４２とその上
方に配置された支持板４４とからなり、２つのモータ４
６、４８により支持板４４を基準板４２に対して所定の
支持点回りに直交２方向に傾動させるようになってい
る。そして、これにより、被検体支持移動機構１４は、
その支持板４４に載置された被検体２をモアレ格子１２
に近づけるとともに、この被検体２をモアレ格子１２に
対して平行に配置することができるようになっている。
３０と２軸アオリ台３２とからなっている。昇降機構３
０は、モータ３４によりパンタグラフ（Ｚステ−ジ；以
下同じ）３６を駆動して台座３８に対して上板４０を上
下動させるようになっており、２軸アオリ台３２は、昇
降機構３０の上板４０に固定された基準板４２とその上
方に配置された支持板４４とからなり、２つのモータ４
６、４８により支持板４４を基準板４２に対して所定の
支持点回りに直交２方向に傾動させるようになってい
る。そして、これにより、被検体支持移動機構１４は、
その支持板４４に載置された被検体２をモアレ格子１２
に近づけるとともに、この被検体２をモアレ格子１２に
対して平行に配置することができるようになっている。
【００１７】上記縞走査用アクチュエータ１６および各
モータ３４、４６、４８の駆動は、ドライバ２６を介し
てコントローラ２４により行われるようになっている。
上記白色光源１８は、モアレ格子１２に対して、縞走査
用アクチュエータ１６とは反対側の斜め上方から、モア
レ格子１２に光を照射するようになっている。また、上
記ＣＣＤカメラ２０は、モアレ格子１２の真上に配置さ
れている。これにより、白色光源１８からの光により被
検体２の表面に形成されるモアレ格子１２の影とモアレ
格子２１自体の像とでモアレ縞を形成させ、これをＣＣ
Ｄカメラ２０で撮像するようになっている。
モータ３４、４６、４８の駆動は、ドライバ２６を介し
てコントローラ２４により行われるようになっている。
上記白色光源１８は、モアレ格子１２に対して、縞走査
用アクチュエータ１６とは反対側の斜め上方から、モア
レ格子１２に光を照射するようになっている。また、上
記ＣＣＤカメラ２０は、モアレ格子１２の真上に配置さ
れている。これにより、白色光源１８からの光により被
検体２の表面に形成されるモアレ格子１２の影とモアレ
格子２１自体の像とでモアレ縞を形成させ、これをＣＣ
Ｄカメラ２０で撮像するようになっている。
【００１８】上記モアレ縞観察用ディスプレイ２２は、
ＣＣＤカメラ２０で撮像されたモアレ縞の拡大像を画面
上に映し出して観察に供するようになっている。また、
このモアレ縞観察用ディスプレイ２２に取り込まれた画
像データはコントローラ２４に入力されるようになって
いる。上記コントローラ２４には、被検体支持移動機構
１４から、その昇降機構１４の上下駆動位置および２軸
アオリ台３２の２方向の傾斜角度位置のデータが入力さ
れるようになっており、これらデータから被検体２の姿
勢を演算するようになっている。そして、コントローラ
２４は、ＣＣＤカメラ２０で撮像されたモアレ縞の全体
像と、被検体２の姿勢とを、そのディスプレイの画面上
に並べて映し出すようになっている。
ＣＣＤカメラ２０で撮像されたモアレ縞の拡大像を画面
上に映し出して観察に供するようになっている。また、
このモアレ縞観察用ディスプレイ２２に取り込まれた画
像データはコントローラ２４に入力されるようになって
いる。上記コントローラ２４には、被検体支持移動機構
１４から、その昇降機構１４の上下駆動位置および２軸
アオリ台３２の２方向の傾斜角度位置のデータが入力さ
れるようになっており、これらデータから被検体２の姿
勢を演算するようになっている。そして、コントローラ
２４は、ＣＣＤカメラ２０で撮像されたモアレ縞の全体
像と、被検体２の姿勢とを、そのディスプレイの画面上
に並べて映し出すようになっている。
【００１９】このようなモアレ縞を利用した光学装置１
０においては、被検体２をモアレ格子１２に十分近づけ
ること（具体的には３mm程度以下にすること）が明瞭な
モアレ縞を形成させる上で肝要である。しかしながら、
２軸アオリ台３２の支持板４４が傾斜していた場合に
は、被検体２を上昇させてモアレ格子１２に近づけたと
き、被検体２が所定近接位置に達する前にその一部がモ
アレ格子１２に当接してモアレ格子１２を損傷させるお
それがある。また、被検体２の寸法バラツキや被検体２
の取り違え等により、被検体２がモアレ格子１２に当接
してしまうおそれもある。
０においては、被検体２をモアレ格子１２に十分近づけ
ること（具体的には３mm程度以下にすること）が明瞭な
モアレ縞を形成させる上で肝要である。しかしながら、
２軸アオリ台３２の支持板４４が傾斜していた場合に
は、被検体２を上昇させてモアレ格子１２に近づけたと
き、被検体２が所定近接位置に達する前にその一部がモ
アレ格子１２に当接してモアレ格子１２を損傷させるお
それがある。また、被検体２の寸法バラツキや被検体２
の取り違え等により、被検体２がモアレ格子１２に当接
してしまうおそれもある。
【００２０】そこで、本実施例においては、上記光セン
サ２８により、モアレ格子１２の直下（モアレ格子１２
から約０.５ｍｍ下方）にモアレ格子１２と平行に被検
体検出用の光ビーム網を形成するようになっている。こ
の光センサ２８は、図２に示すように、１対のミラー５
０、５２と、レーザ光源５４と、反射角可変ミラー５６
と、受光器５８と、これらを支持する基板６０とを備え
てなっている。上記１対のミラー５０、５２は、上下方
向に延びるようにして互いに内向き平行で配置されてい
る。
サ２８により、モアレ格子１２の直下（モアレ格子１２
から約０.５ｍｍ下方）にモアレ格子１２と平行に被検
体検出用の光ビーム網を形成するようになっている。こ
の光センサ２８は、図２に示すように、１対のミラー５
０、５２と、レーザ光源５４と、反射角可変ミラー５６
と、受光器５８と、これらを支持する基板６０とを備え
てなっている。上記１対のミラー５０、５２は、上下方
向に延びるようにして互いに内向き平行で配置されてい
る。
【００２１】これら各ミラー５０、５２は、基板６０に
固定されたブラケット６２に長短のボルト６４、６６で
取り付けられており、これらボルト６４、６６の調整に
より、両ミラー５０、５２の平行度を出すことができる
ようになっている。上記レーザ光源５４は、両ミラー５
０、５２と平行に配置されてブラケット６８を介して基
板６０に固定されており、反射角可変ミラー５６に向け
て水平方向にレーザ光を射出するようになっている。
固定されたブラケット６２に長短のボルト６４、６６で
取り付けられており、これらボルト６４、６６の調整に
より、両ミラー５０、５２の平行度を出すことができる
ようになっている。上記レーザ光源５４は、両ミラー５
０、５２と平行に配置されてブラケット６８を介して基
板６０に固定されており、反射角可変ミラー５６に向け
て水平方向にレーザ光を射出するようになっている。
【００２２】上記反射角可変ミラー５６は、このレーザ
光を水平方向に反射して上記１対のミラー５０、５２の
うち一方のミラー５０に所定入射角で入射させるように
なっている。この入射光は両ミラー５０、５２間でジグ
ザグ状に数多く反射を繰り返すこととなるが、受光器５
８はこうして反射を繰り返した後のレーザ光を受光する
ようになっている。上記反射角可変ミラー５６は、ミラ
ーユニット７０の一部として組み込まれており、このミ
ラーユニット７０は、基板６０に固定されたブラケット
７２に、上下方向に延びる支持ピン７４回りに回動可能
に取り付けれており、ボルト７６の調整により、反射角
可変ミラー５６による光ビームの反射角の調整を行うこ
とができるようになっている。
光を水平方向に反射して上記１対のミラー５０、５２の
うち一方のミラー５０に所定入射角で入射させるように
なっている。この入射光は両ミラー５０、５２間でジグ
ザグ状に数多く反射を繰り返すこととなるが、受光器５
８はこうして反射を繰り返した後のレーザ光を受光する
ようになっている。上記反射角可変ミラー５６は、ミラ
ーユニット７０の一部として組み込まれており、このミ
ラーユニット７０は、基板６０に固定されたブラケット
７２に、上下方向に延びる支持ピン７４回りに回動可能
に取り付けれており、ボルト７６の調整により、反射角
可変ミラー５６による光ビームの反射角の調整を行うこ
とができるようになっている。
【００２３】上記基板６０は、モアレ格子１２を支持す
るモアレ格子支持板（図示せず）に固定されている。こ
の基板の中央部には、略正方形の開口部６０ａが形成さ
れており、その左右両縁部に上記１対のミラー５０、５
２が配置されている。この開口部６０ａは、モアレ格子
１２の平面外形形状に対して十分大きいサイズで形成さ
れている。そして、これにより、被検体２（モアレ格子
１２よりサイズが小さい）が、ミラー５０、５２と当接
するのを未然に防止するようになっている。
るモアレ格子支持板（図示せず）に固定されている。こ
の基板の中央部には、略正方形の開口部６０ａが形成さ
れており、その左右両縁部に上記１対のミラー５０、５
２が配置されている。この開口部６０ａは、モアレ格子
１２の平面外形形状に対して十分大きいサイズで形成さ
れている。そして、これにより、被検体２（モアレ格子
１２よりサイズが小さい）が、ミラー５０、５２と当接
するのを未然に防止するようになっている。
【００２４】以上詳述したように、本実施例に係る光セ
ンサ２８においては、１対のミラー５０、５２間で光ビ
ームを同一平面内において複数回反射させた後、その強
度を検出するようになっているので、光ビーム網により
平面的に対象物を検出できることとなり、単に１本の直
線上に位置する対象物だけではなく、ある平面上に位置
する対象物を広く検出することができる。しかもこれを
１本の光ビームで実現することができる。
ンサ２８においては、１対のミラー５０、５２間で光ビ
ームを同一平面内において複数回反射させた後、その強
度を検出するようになっているので、光ビーム網により
平面的に対象物を検出できることとなり、単に１本の直
線上に位置する対象物だけではなく、ある平面上に位置
する対象物を広く検出することができる。しかもこれを
１本の光ビームで実現することができる。
【００２５】そして、本実施例に係る光学装置において
は、上記光センサ２８が、光ビーム網がモアレ格子１２
の直下に位置するようにして配されているので、被検体
２の少なくとも一部が上記光ビーム網の平面を横切った
ときこれをモアレ格子１２に対する被検体２の異常接近
として検出することができる。また、本実施例において
は、反射角可変ミラー５６の反射角調整により、１対の
ミラー５０、５２への光ビームの入射角を適宜変更する
ことができるので、これにより、上記光ビーム網の密度
を対象物に応じて任意に設定することができる。
は、上記光センサ２８が、光ビーム網がモアレ格子１２
の直下に位置するようにして配されているので、被検体
２の少なくとも一部が上記光ビーム網の平面を横切った
ときこれをモアレ格子１２に対する被検体２の異常接近
として検出することができる。また、本実施例において
は、反射角可変ミラー５６の反射角調整により、１対の
ミラー５０、５２への光ビームの入射角を適宜変更する
ことができるので、これにより、上記光ビーム網の密度
を対象物に応じて任意に設定することができる。
【図１】本願発明に係る光学装置の一実施例を示す全体
構成図
構成図
【図２】上記光学装置に用いられる光センサを示す平面
図
図
１０ 光学装置 １２ モアレ格子 １４ 被検体支持移動機構 １６ 縞走査用アクチュエータ １８ 白色光源 ２０ ＣＣＤカメラ ２２ モアレ縞観察用ディスプレイ ２４ コントローラ ２６ ドライバ ２８ 光センサ ３０ 昇降機構 ３２ ２軸アオリ台 ３４ モータ ３６ パンタグラフ ３８ 台座 ４０ 上板 ４２ 基準板 ４４ 支持板 ４６、４８ モータ ５０、５２ ミラー ５４ レーザ光源 ５６ 反射角可変ミラー ５８ 受光器 ６０ 基板 ６０ａ 開口部 ６２、６８、７２ ブラケット ６４、６６ ボルト ７０ ミラーユニット ７４ 支持ピン ７６ ボルト
Claims (5)
- 【請求項１】 反射面の法線が同一平面内に含まれるよ
うにして互いに内向きに配置された複数のミラーからな
るミラー群と、 前記平面内において前記ミラー群内に光ビームを所定入
射角で入射させる光ビーム入射手段と、 前記ミラー群内において複数回反射した前記光ビームを
受けて該光ビームの強度を検出する光ビーム検出手段と
を備えてなることを特徴とする光センサ。 - 【請求項２】 前記ミラー群が、平行に配置された１対
のミラーからなることを特徴とする請求項１記載の光セ
ンサ。 - 【請求項３】 前記光ビーム入射手段が、レーザ光源
と、このレーザ光源からの光ビームを任意の反射角で反
射させる反射角可変ミラーとからなることを特徴とする
請求項１または２記載の光センサ。 - 【請求項４】 被検体を所定方向に移動可能に支持する
被検体支持移動手段を備えた光学装置において、 前記請求項１、２または３記載の光センサが、前記被検
体の可動範囲内において該光センサの前記平面が前記被
検体の移動方向と略垂直となるような位置関係で配設さ
れていることを特徴とする光センサを用いた光学装置。 - 【請求項５】 前記光センサの前記平面と所定間隔をお
いて配置されたモアレ格子と、 このモアレ格子に光を照射する照射手段と、 この照射手段からの光入射方向とは異なる方向から前記
モアレ格子および前記被検体を観察する観察手段とを備
えてなることを特徴とする請求項４記載の光センサを用
いた光学装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7148308A JPH08313233A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 光センサおよびこれを用いた光学装置 |
| US08/612,789 US5663796A (en) | 1995-05-23 | 1996-03-11 | Optical sensor and optical apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7148308A JPH08313233A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 光センサおよびこれを用いた光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313233A true JPH08313233A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=15449891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7148308A Withdrawn JPH08313233A (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 光センサおよびこれを用いた光学装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5663796A (ja) |
| JP (1) | JPH08313233A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008249340A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Yokogawa Electric Corp | デバイス位置検出装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017191717A1 (ja) * | 2016-05-06 | 2017-11-09 | ソニー株式会社 | 制御装置および撮像装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3524066A (en) * | 1966-08-22 | 1970-08-11 | Monsanto Co | Fluid measurement system having sample chamber with opposed reflecting members for causing multiple reflections |
| US3677652A (en) * | 1971-06-15 | 1972-07-18 | Gte Sylvania Inc | Fluid analyzer apparatus |
| DE3633574A1 (de) * | 1986-10-02 | 1988-04-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische winkelmesseinrichtung |
| US5485276A (en) * | 1994-09-22 | 1996-01-16 | Spectral Sciences Inc. | Multi-pass optical cell species concentration measurement system |
-
1995
- 1995-05-23 JP JP7148308A patent/JPH08313233A/ja not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-03-11 US US08/612,789 patent/US5663796A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008249340A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Yokogawa Electric Corp | デバイス位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5663796A (en) | 1997-09-02 |
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|---|---|---|---|
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