JPH0460920A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0460920A JPH0460920A JP16735790A JP16735790A JPH0460920A JP H0460920 A JPH0460920 A JP H0460920A JP 16735790 A JP16735790 A JP 16735790A JP 16735790 A JP16735790 A JP 16735790A JP H0460920 A JPH0460920 A JP H0460920A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録媒体の製造力法に関する。史に詳細に
は、本発明は磁気特性および生産性の改、′Ｉ−された
磁気記録媒体の製造方法に関する。
は、本発明は磁気特性および生産性の改、′Ｉ−された
磁気記録媒体の製造方法に関する。
［従来の技術］
現イ１の磁気記録媒体の１：、流は、強磁性金属と自機
パインタとの混合物を−Ｉ ＪｉＡ性高分子フィルムに
Ｉ？ｔｒｉ Ｌ、た塗布型媒体である。塗布型媒体は製
造か容易なのて：１１産性の点で優れているが、記録密
度か低いという欠点を自する。
パインタとの混合物を−Ｉ ＪｉＡ性高分子フィルムに
Ｉ？ｔｒｉ Ｌ、た塗布型媒体である。塗布型媒体は製
造か容易なのて：１１産性の点で優れているが、記録密
度か低いという欠点を自する。
媒体の、１ｈ記録密瓜化の間中に答えるために、最近は
Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性金属を１１■撓性高分子フィルム
に真空蒸着した薄膜型媒体か使用されるようになりつつ
ある。
Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性金属を１１■撓性高分子フィルム
に真空蒸着した薄膜型媒体か使用されるようになりつつ
ある。
ＥＣ，空蒸着法とは真空中で磁性体を加熱して蒸発ある
いはシ１１□？１￥させ、その蒸気をプラスチックフィ
ルムなとの非磁性基体表面に付着凝縮させて厚さ数丁・
入量ドの膜を形成させる方法である。磁性体を加熱する
方法としては抵抗加熱法あるいは電ｒ・線加熱法なとか
ある。
いはシ１１□？１￥させ、その蒸気をプラスチックフィ
ルムなとの非磁性基体表面に付着凝縮させて厚さ数丁・
入量ドの膜を形成させる方法である。磁性体を加熱する
方法としては抵抗加熱法あるいは電ｒ・線加熱法なとか
ある。
抵抗加熱法では、蒸発磁性体は必す抵抗体とかルツボに
接触して溶けるため、膜中に不純物か入るｉｉ）能性か
ある。このような不純物の混入を避けるために、蒸発磁
性体の・部分を瞬間的に溶融蒸発させる電子線加熱力式
か提案されている。
接触して溶けるため、膜中に不純物か入るｉｉ）能性か
ある。このような不純物の混入を避けるために、蒸発磁
性体の・部分を瞬間的に溶融蒸発させる電子線加熱力式
か提案されている。
［発明か解決しようとする課題］
前記の電子線照射は、ルツボ内の金属を均一に加熱させ
るために電ｒ−線を所定の距離で走査させる方法が用い
られている。この方法では、特に人１％ｌＪ装置等を使
用する場合なと、電子線照射位置かルツボの両端にある
と、基体−１−に到達する粒子の入射角度が異なり、粒
子成長や結晶の配向性か悪化するという問題が生してい
る。また、電子線か走査することによって未照射部の温
度か低ドするため、蒸発効率が良好ではない。このため
、ルツボ底面や側面にクロム等の断熱性材料をコーティ
／グして溶融金属の温度を保持するなどの方法か用いら
れているが、結晶の配向性を１°分に生かした特性は得
られていない。
るために電ｒ−線を所定の距離で走査させる方法が用い
られている。この方法では、特に人１％ｌＪ装置等を使
用する場合なと、電子線照射位置かルツボの両端にある
と、基体−１−に到達する粒子の入射角度が異なり、粒
子成長や結晶の配向性か悪化するという問題が生してい
る。また、電子線か走査することによって未照射部の温
度か低ドするため、蒸発効率が良好ではない。このため
、ルツボ底面や側面にクロム等の断熱性材料をコーティ
／グして溶融金属の温度を保持するなどの方法か用いら
れているが、結晶の配向性を１°分に生かした特性は得
られていない。
本発明は、１−記従来技術における入射粒子角度および
蒸発効率か悪いきいう問題を解決し、以て磁気特性およ
び生産性の改りされた磁気記録媒体を提供することを１
Ｉ的とする。
蒸発効率か悪いきいう問題を解決し、以て磁気特性およ
び生産性の改りされた磁気記録媒体を提供することを１
Ｉ的とする。
［課題を解決するための手段］
前記１１的を達成するために、本発明では、電子線加熱
蒸着法により非磁性基体りに強磁性金属薄膜層を形成さ
せることからなる磁気記録媒体の製造方法において、強
磁性金属材料に電子線を１００Ｈｚ以１゛、の走査周波
数で照射して加熱蒸発させることを１．５徴とする磁気
記録媒体の製造方法を提供する。
蒸着法により非磁性基体りに強磁性金属薄膜層を形成さ
せることからなる磁気記録媒体の製造方法において、強
磁性金属材料に電子線を１００Ｈｚ以１゛、の走査周波
数で照射して加熱蒸発させることを１．５徴とする磁気
記録媒体の製造方法を提供する。
［作用］
本発明者か長年にわたり広範な実験を続けた結束、基体
１・に強磁性金属層を電子線加熱蒸着法により形成する
にあたり、ルツボ内にあらかじめ設置した強磁性金属材
料に、電子線を走査周波数１００Ｈｚ以１・、で照射し
て加熱蒸発させて蒸着することにより、磁気特性および
生Ｐｒ：、性か改ｔ１．された磁気記録媒体が得られる
ことを見いだした。
１・に強磁性金属層を電子線加熱蒸着法により形成する
にあたり、ルツボ内にあらかじめ設置した強磁性金属材
料に、電子線を走査周波数１００Ｈｚ以１・、で照射し
て加熱蒸発させて蒸着することにより、磁気特性および
生Ｐｒ：、性か改ｔ１．された磁気記録媒体が得られる
ことを見いだした。
これは、電子線のビー１１・スボ、トをルツボ内てｌ’
＋’＋ｌ速走森してｊ（（１射することにより、各位置
での電子線照射時間の間隔を低減して照射部からＬに蒸
発する拉ｒの基体への入射角度分散を減少させるもので
ある。これにより磁気特性の改善が達成される。
＋’＋ｌ速走森してｊ（（１射することにより、各位置
での電子線照射時間の間隔を低減して照射部からＬに蒸
発する拉ｒの基体への入射角度分散を減少させるもので
ある。これにより磁気特性の改善が達成される。
このため、走査周波数が１００Ｈｚ以下では電子線！（
（ツ射位置かルツボの両端にある場合は基体十に到達す
る粒子の入射角度が異なり、粒子成長や結晶の配向性が
悪化する。しかし、周波数があまり高すぎると、ルツボ
内の溶融金属にうず電流か生じて蒸着効率が悪化する。
（ツ射位置かルツボの両端にある場合は基体十に到達す
る粒子の入射角度が異なり、粒子成長や結晶の配向性が
悪化する。しかし、周波数があまり高すぎると、ルツボ
内の溶融金属にうず電流か生じて蒸着効率が悪化する。
このため、走査周波数は・膜内に、７００Ｈ２以下であ
ることが好ましい。
ることが好ましい。
また、走査周波数を１００Ｈｚ以１−にすることにより
、電子線照射時間の間隔が短縮され、溶融金属の未照射
部の温度低下が生じにくくなり、蒸発効率が向Ｉｔ Ｌ
、結果的に磁気記録媒体の生産性が改牌される。
、電子線照射時間の間隔が短縮され、溶融金属の未照射
部の温度低下が生じにくくなり、蒸発効率が向Ｉｔ Ｌ
、結果的に磁気記録媒体の生産性が改牌される。
［実施例］
実施例により本発明を更に詳細に説明する。
厚さ１０μＩｎのポリエステルフィルムおよびコバルト
−ニッケル（８，０：２０ａｔ％）合金を連続ｌ゛〔空
蒸着装置に装填し、ｌ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以−ドま
で１°を空脱気した。次いで、電子銃（２０ｋＶ、３Ａ
）をド記の表１に／］＜す周波数でルツボ内合金を照射
し加熱蒸発させて、ポリエステルフィルム１−１に１′
ノさ０．２μｍのコバルト−ニッケルからなる強磁性金
属層を被着形成した。その後、所定の幅に裁断して磁気
テープを作製した。
−ニッケル（８，０：２０ａｔ％）合金を連続ｌ゛〔空
蒸着装置に装填し、ｌ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以−ドま
で１°を空脱気した。次いで、電子銃（２０ｋＶ、３Ａ
）をド記の表１に／］＜す周波数でルツボ内合金を照射
し加熱蒸発させて、ポリエステルフィルム１−１に１′
ノさ０．２μｍのコバルト−ニッケルからなる強磁性金
属層を被着形成した。その後、所定の幅に裁断して磁気
テープを作製した。
Ｋ上
各実施例において、強磁性金属層の膜厚を統するために
、蒸着時のフィルム送り速度を制御しＣ成膜した。１記
の表２に、各実施例のフィルノ・送り速度、および各磁
気テープについて６ｍ気トルク計を用いて測定したＷ力
性定数Ｋ ｕ ）を／１＜す。
、蒸着時のフィルム送り速度を制御しＣ成膜した。１記
の表２に、各実施例のフィルノ・送り速度、および各磁
気テープについて６ｍ気トルク計を用いて測定したＷ力
性定数Ｋ ｕ ）を／１＜す。
−表から明らかなように、実施例２，３．４でｊＪられ
た磁気テープは、他の実施例の磁気テープに比へて、成
膜速度および異カ性定数が共に１１°ｊｌｌ、Ｘ。
た磁気テープは、他の実施例の磁気テープに比へて、成
膜速度および異カ性定数が共に１１°ｊｌｌ、Ｘ。
従って、本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば、磁
気特性および生産性を向１・、させることかできること
が理解される。
気特性および生産性を向１・、させることかできること
が理解される。
［発明の効果コ
以１−説明したように、本発明の製造方法によれば、電
γ線を１００Ｈｚ以上の走査周波数で照射して加熱蒸発
させて蒸着することにより、磁気特性および生産性が向
モした薄膜型磁気記録媒体か得られる。
γ線を１００Ｈｚ以上の走査周波数で照射して加熱蒸発
させて蒸着することにより、磁気特性および生産性が向
モした薄膜型磁気記録媒体か得られる。
Claims (2)
- （１）電子線加熱蒸着法により非磁性基体上に強磁性金
属薄膜層を形成させることからなる磁気記録媒体の製造
方法において、強磁性金属材料に電子線を１００Ｈｚ以
上の走査周波数で照射して加熱蒸発させることを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 - （２）走査周波数は７００Ｈｚ以下である請求項１の磁
気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735790A JPH0460920A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16735790A JPH0460920A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460920A true JPH0460920A (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15848222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16735790A Pending JPH0460920A (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460920A (ja) |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP16735790A patent/JPH0460920A/ja active Pending
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